JP2013211364A - ウェーハの収容方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハの出し入れを許容する開口部90と、開口部90の両側部に設けられた一対の側壁91と、一対の側壁91の内側の面に対向して形成され開口部90から背部95にかけて設けられた支持棚92とを少なくとも備えたカセット9に、交差する分割予定ラインLに沿って改質層8が形成されたウェーハを収容する場合において、分割予定ラインLの方向が支持棚92に交差するようにウェーハWを収容することにより、ウェーハWの自重が分割予定ラインLに集中しないようにして、カセット9の搬送中等にウェーハWが割れるのを防ぐ。
【選択図】図7
Description
図1に示すウェーハWの表面W1には保護テープT1が貼着され、図2に示すように、表面W1に形成されたデバイスDが保護テープT1によって保護され、裏面W2が露出した状態となる。なお、図2は、ウェーハWの表面W1に保護テープT1を貼着してから裏返した状態を示している。このようにして表面W1に保護テープT1が貼着されたウェーハWの分割予定ラインLの内部に、例えば図3に示すレーザー加工装置1を用いて改質層を形成する。
波長 :1300[nm]
平均出力 :1[W]
繰り返し周波数 :90[kHz]
パルス幅 :10[ps]
スポット径 :1[μm]
改質層8が形成されたウェーハWは、図7に示すカセット9に収容される。このカセット9は、ウェーハWの出し入れを許容する出入り口となる開口部90と、開口部90の両側部に立設された一対の側壁91と、一対の側壁91の内側の面に対向して形成され開口部90からカセット9の背部95にかけてのびる支持棚92と、一対の側壁91の上部の間に架設された天板93と、天板93の上面に設けられた把持部94とを備えている。
[数1]
となり、90度の角度で交差する分割予定ラインLに対して曲げモーメントを最小にすることができるため、より確実にウェーハWの割れを防止することができる。このようにしてウェーハWがカセット9に収容されると、カセット9は、後の研削工程や分割工程に搬送される際に、ウェーハWが割れるのを防ぐことができる。
研削工程では、例えば図9に示す研削装置10を用いることができる。研削装置10は、ウェーハWを保持して回転可能なチャックテーブル100と、ウェーハに研削を施す研削手段101とを備えている。研削手段101は、回転軸102の下端にマウント103を介して研削ホイール104が装着されて構成され、研削ホイール104の下面には研削砥石104aが複数固着されている。
図10に示すように、研削されたウェーハWの裏面W2側を拡張テープT2に貼着する。拡張テープT2の周縁部には、リング状のフレームFが貼着されている。また、保護テープT1をウェーハWの表面W1から剥離する。そうすると、ウェーハWが拡張テープT2を介してフレームFに支持された状態となる。
2:保持手段
3:加工手段
30:レーザー光照射ヘッド 31:ハウジング 32:検出手段
4:保持手段X方向送り部
40:ボールネジ 41:ガイドレール 42:モータ 43:スライド部
5:保持手段Y方向送り部
50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:パルスモータ 53:移動基台
54:回転駆動部
6:加工手段Y方向送り部
60:ボールネジ 61:ガイドレール 62:パルスモータ 63:スライド部
7:加工手段Z方向送り部
70:ボールネジ 71:ガイドレール 72:パルスモータ 73:昇降部
8:改質層
9:カセット
90:開口部 91:側壁 92:支持棚 92a:溝 93:天板 94:把持部
95:保持部材
10:研削装置
100:チャックテーブル 101:研削手段 102:マウント
103:研削ホイール 103a:研削砥石
11:ウェーハ拡張装置
110:保持テーブル
111:フレーム保持部 111a:テーブル部 111b:押さえ部
W:ウェーハ
W1:表面 L:分割予定ライン D:デバイス
W2:裏面
T1:保護テープ T2:拡張テープ F:フレーム
Claims (2)
- 複数の交差する分割予定ラインによって区画された領域にデバイスが形成されたウェーハをカセットに収容するウェーハの収容方法であって、
ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザー光線を、分割予定ラインの内部に集光点を位置付けて照射し、該分割予定ラインに沿って改質層を形成する改質層形成工程と、
ウェーハの出し入れを許容する開口部と、該開口部の両側部に設けられた一対の側壁と、該一対の側壁の内側の面に対向して形成され該開口部から背部にかけて設けられた支持棚とを少なくとも備えたカセットに、該分割予定ラインに沿って改質層が形成されたウェーハを収容する収容工程と、
を含み、
該収容工程において、該分割予定ラインの方向が該支持棚に交差するように該ウェーハを収容するウェーハの収容方法。 - 前記収容工程において、前記ウェーハに形成された分割予定ラインの方向が該支持棚に対して45度の角度で交差するようにウェーハを収容する
請求項1に記載のウェーハの収容方法。
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