JP2013207243A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート貼付装置1は、塑性変形可能な接着シートMSを支持するシート支持手段3と、シート支持手段3で支持された接着シートMSを一方の面に凹部WF1が設けられた被着体WFの凹部WF1の形状に合わせて塑性変形させるように加工する塑性加工手段4と、被着体WFの一方の面に塑性加工手段4で塑性加工された接着シートMSを押圧して貼付する押圧手段5とを備えている。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、一方の面に凹部が形成されたウェハを吸着保持するテーブルと、保持されたウェハの前記一方の面に接着シートを押圧する押圧部材とを備え、押圧部材で接着シートを弾性変形させながら凹部内に押圧することにより、当該凹部内にも接着シートを貼付可能に構成されている。
また、本発明のシート貼付装置において、前記伸張手段は、前記接着シートを保持可能に設けられ、当該接着シートを伸張する第1伸張部材と、前記第1伸張部材を囲んで設けられ、前記接着シートを伸張する第2伸張部材と、前記第1伸張部材と前記第2伸張部材とを相対移動させる移動手段とを備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記塑性加工手段が前記押圧手段を構成することが好ましい。
また、移動手段を設ければ、第1伸張部材を囲んで設けられた第2伸張部材で接着シートにおける凹部の内縁に対応する領域を伸張しつつ、接着シートを保持した第1伸張部材を第2伸張部材の伸張方向の反対方向に移動させることができる。このことにより、接着シートの当該領域を大きく伸張させることができるので、接着シートを確実に塑性変形させることができる。
また、塑性加工手段で押圧手段を構成すれば、接着シートを被着体に押圧させるための構成を別途設ける必要がないので、装置の構造をより簡素化することができる。
なお、本実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、手前、奥方向が紙面に直交する方向とする。
第2伸張部材49の下端部には、当該第2伸張部材49の内側に向かって上方に傾斜した傾斜面が形成され、当該傾斜面には、加圧ポンプやタービンなどの加圧手段43に連通する加圧部49Aが設けられている。この第2伸張部材49の外縁の形状は、ウェハWFの凹部WF1の内周縁よりもわずかに小さい形状に設けられている。
そして、第1伸張部材46、第2伸張部材49、およびリニアモータLM1により、押圧手段5が構成される。
先ず、図示しない搬送手段が、マウント用シートMSによって開口部RF1が閉塞されたリングフレームRFを支持部材33の支持面32に載置すると、図1に示すように、シート支持手段3が直動モータ35を駆動し、挟持部材36でリングフレームRFを挟持する。そして、塑性加工手段4がリニアモータLM2を駆動し、図1中二点鎖線で示すように、テーブルTBとシート支持手段3との間に型41を移動させる。
すなわち、ウェハWFの凹部WF1の形状に合わせて塑性変形させるように加工したマウント用シートMSをウェハWFに貼付するので、マウント用シートMSに弾性復元力が働くことを防止することができ、ウェハWFの凹部WF1とマウント用シートMSとの間に空隙を生じさせることなくウェハWFにマウント用シートMSを貼付することができる。
さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体としては、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
3 シート支持手段
4 塑性加工手段
5 押圧手段
41 型
46 第1伸張部材(伸張手段)
47 直動モータ(移動手段、伸張手段)
49 第2伸張部材(伸張手段)
MS マウント用シート(接着シート)
WF ウェハ(被着体)
WF1 凹部
Claims (5)
- 一方の面に凹部が設けられた被着体に塑性変形可能な接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記接着シートを支持するシート支持手段と、
前記シート支持手段で支持された接着シートを前記被着体の凹部の形状に合わせて塑性変形させるように加工する塑性加工手段と、
前記被着体の一方の面に前記塑性加工手段で塑性加工された接着シートを押圧して貼付する押圧手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記塑性加工手段は、前記凹部の形状に合わせて形成された型と、当該型に前記接着シートを押圧し、当該接着シートを前記凹部の形状に伸張する伸張手段とを備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 前記伸張手段は、
前記接着シートを保持可能に設けられ、当該接着シートを伸張する第1伸張部材と、
前記第1伸張部材を囲んで設けられ、前記接着シートを伸張する第2伸張部材と、
前記第1伸張部材と前記第2伸張部材とを相対移動させる移動手段とを備えていることを特徴とする請求項2に記載のシート貼付装置。 - 前記塑性加工手段が前記押圧手段を構成することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のシート貼付装置。
- 一方の面に凹部が設けられた被着体に塑性変形可能な接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記接着シートを支持する工程と、
支持された接着シートを前記被着体の凹部の形状に合わせて塑性変形させるように加工する工程と、
前記被着体の一方の面に塑性加工された接着シートを押圧して貼付する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2013232582A (ja) * | 2012-05-01 | 2013-11-14 | Nitto Denko Corp | 粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置 |
JP2021027070A (ja) * | 2019-07-31 | 2021-02-22 | 日東電工株式会社 | シート材貼付け方法およびシート材貼付け装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61248724A (ja) * | 1985-04-25 | 1986-11-06 | Mazda Motor Corp | 熱可塑性樹脂シ−トのスタンピング成形方法 |
JPH0927466A (ja) * | 1995-07-13 | 1997-01-28 | Nippondenso Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
US20020062921A1 (en) * | 2000-10-20 | 2002-05-30 | Muffler Pirmin Gerhard | Method for applying a substrate |
JP2007100039A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 両面粘着シート及びそれを用いた部材の製造方法 |
JP2008042016A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの保持方法および半導体ウエハ保持構造体 |
JP2011029359A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP2011151199A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
JP2011243886A (ja) * | 2010-05-21 | 2011-12-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | テープ貼着装置 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61248724A (ja) * | 1985-04-25 | 1986-11-06 | Mazda Motor Corp | 熱可塑性樹脂シ−トのスタンピング成形方法 |
JPH0927466A (ja) * | 1995-07-13 | 1997-01-28 | Nippondenso Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
US20020062921A1 (en) * | 2000-10-20 | 2002-05-30 | Muffler Pirmin Gerhard | Method for applying a substrate |
JP2007100039A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 両面粘着シート及びそれを用いた部材の製造方法 |
JP2008042016A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの保持方法および半導体ウエハ保持構造体 |
JP2011029359A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP2011151199A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
JP2011243886A (ja) * | 2010-05-21 | 2011-12-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | テープ貼着装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013232582A (ja) * | 2012-05-01 | 2013-11-14 | Nitto Denko Corp | 粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置 |
JP2021027070A (ja) * | 2019-07-31 | 2021-02-22 | 日東電工株式会社 | シート材貼付け方法およびシート材貼付け装置 |
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