JP2013188737A - 液体材料吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】装置稼動中に下カメラ581でニードル503先端周辺の樹脂付着状態を撮像して、樹脂付着による品質不具合が懸念される場合(樹脂付着の異常を検出したとき)はノズルクリーニングを実施する。異常検出時には音声や光、画像等により作業者に報知する。上カメラ587は、基板上に塗布された数個の液滴を撮像し画像処理をすることでそれら液滴の中心位置(XY座標)を特定し、ニードル503のプログラム上のXY中心位置と実際の液滴中心位置のズレ量を特定して補正することが可能である。
【選択図】図1
Description
シリンジと、
前記シリンジの内部に存在する液体材料を吐出するニードルと、
前記シリンジの内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記シリンジを相対移動可能に保持する相対移動手段と、
前記相対移動手段を支持する基台と、
前記基台に固定され、前記ニードルの先端を先端側から撮像する下カメラとを備え、
前記下カメラは、前記ニードル先端周辺の樹脂付着を撮像する。
シリンジと、
前記シリンジの内部に存在する液体材料を吐出するニードルと、
前記シリンジの内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記シリンジを相対移動可能に保持する相対移動手段と、
前記相対移動手段を支持する基台と、
前記シリンジを保持して水平一軸或いは二軸方向に移動可能なフレームに固定され、前記塗布対象物を上方から撮像する上カメラとを備え、
前記上カメラの撮像画像における塗布対象物に塗布された液滴の中心位置を特定し、当該中心位置と前記液滴の吐出時における前記ニードルの水平座標の設定値とのずれを補正する補正手段を有する。
シリンジと、
前記シリンジの内部に存在する液体材料を吐出するニードルと、
前記シリンジの内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記シリンジを相対移動可能に保持する相対移動手段と、
前記相対移動手段を支持する基台と、
前記シリンジとともに前記相対移動手段に保持され、前記ニードル先端或いは塗布対象物を斜め上方から撮像する傾斜カメラとを備え、
前記傾斜カメラの撮像した画像により、塗布動作時の塗布対象物近傍の前記ニードルの位置を確認可能である。
シリンジと、
前記シリンジの内部に存在する液体材料を吐出するニードルと、
前記シリンジの内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記シリンジを相対移動可能に保持する相対移動手段と、
前記相対移動手段を支持する基台と、
前記シリンジとともに前記相対移動手段に保持され、前記ニードル先端或いは塗布対象物を斜め上方から撮像する傾斜カメラとを備え、
前記傾斜カメラの撮像した画像により、前記塗布対象物への塗布後の液滴の塗布状態を確認可能である。
シリンジと、
前記シリンジの内部に存在する液体材料を吐出するニードルと、
前記シリンジの内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記シリンジを相対移動可能に保持する相対移動手段と、
前記相対移動手段を支持する基台と、
前記シリンジとともに前記相対移動手段に保持され、前記ニードル先端或いは塗布対象物を斜め上方から撮像する傾斜カメラとを備え、
塗布対象物が寸法変動要素を含み、前記寸法変動要素を前記傾斜カメラで撮像し、当該撮像した画像により前記寸法変動要素の寸法を算出して前記ニードルから前記塗布対象物への液体材料の吐出量を補正する。
シリンジと、
前記シリンジの内部に存在する液体材料を吐出するニードルと、
前記シリンジの内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記シリンジを相対移動可能に保持する相対移動手段と、
前記相対移動手段を支持する基台と、
前記ニードルによる液体材料の捨て打ち用に設けられた捨て打ち部と、
前記シリンジとともに前記相対移動手段に保持され、前記ニードル先端或いは塗布対象物を斜め上方から撮像する傾斜カメラとを備え、
前記捨て打ち部は鉛直方向に起立するピンを有し、捨て打ちを行う時は前記ピン先端と前記ニードル先端を近接させ、前記傾斜カメラは前記ピン先端と前記ニードル先端の位置を撮像して両者が近接していることを確認可能とする。
Claims (7)
- シリンジと、
前記シリンジの内部に存在する液体材料を吐出するニードルと、
前記シリンジの内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記シリンジを相対移動可能に保持する相対移動手段と、
前記相対移動手段を支持する基台と、
前記基台に固定され、前記ニードルの先端を先端側から撮像する下カメラとを備え、
前記下カメラは、前記ニードル先端周辺の樹脂付着を撮像する、液体材料吐出装置。 - 前記下カメラの撮像画像により前記ニードル先端周辺の樹脂付着の異常を検出したときに作業者に報知する報知手段を備える、請求項1に記載の液体材料吐出装置。
- シリンジと、
前記シリンジの内部に存在する液体材料を吐出するニードルと、
前記シリンジの内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記シリンジを相対移動可能に保持する相対移動手段と、
前記相対移動手段を支持する基台と、
前記シリンジを保持して水平一軸或いは二軸方向に移動可能なフレームに固定され、前記塗布対象物を上方から撮像する上カメラとを備え、
前記上カメラの撮像画像における塗布対象物に塗布された液滴の中心位置を特定し、当該中心位置と前記液滴の吐出時における前記ニードルの水平座標の設定値とのずれを補正する補正手段を有する、液体材料吐出装置。 - シリンジと、
前記シリンジの内部に存在する液体材料を吐出するニードルと、
前記シリンジの内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記シリンジを相対移動可能に保持する相対移動手段と、
前記相対移動手段を支持する基台と、
前記シリンジとともに前記相対移動手段に保持され、前記ニードル先端或いは塗布対象物を斜め上方から撮像する傾斜カメラとを備え、
前記傾斜カメラの撮像した画像により、塗布動作時の塗布対象物近傍の前記ニードルの位置を確認可能である、液体材料吐出装置。 - シリンジと、
前記シリンジの内部に存在する液体材料を吐出するニードルと、
前記シリンジの内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記シリンジを相対移動可能に保持する相対移動手段と、
前記相対移動手段を支持する基台と、
前記シリンジとともに前記相対移動手段に保持され、前記ニードル先端或いは塗布対象物を斜め上方から撮像する傾斜カメラとを備え、
前記傾斜カメラの撮像した画像により、前記塗布対象物への塗布後の液滴の塗布状態を確認可能である、液体材料吐出装置。 - シリンジと、
前記シリンジの内部に存在する液体材料を吐出するニードルと、
前記シリンジの内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記シリンジを相対移動可能に保持する相対移動手段と、
前記相対移動手段を支持する基台と、
前記シリンジとともに前記相対移動手段に保持され、前記ニードル先端或いは塗布対象物を斜め上方から撮像する傾斜カメラとを備え、
塗布対象物が寸法変動要素を含み、前記寸法変動要素を前記傾斜カメラで撮像し、当該撮像した画像により前記寸法変動要素の寸法を算出して前記ニードルから前記塗布対象物への液体材料の吐出量を補正する、液体材料吐出装置。 - シリンジと、
前記シリンジの内部に存在する液体材料を吐出するニードルと、
前記シリンジの内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記シリンジを相対移動可能に保持する相対移動手段と、
前記相対移動手段を支持する基台と、
前記ニードルによる液体材料の捨て打ち用に設けられた捨て打ち部と、
前記シリンジとともに前記相対移動手段に保持され、前記ニードル先端或いは塗布対象物を斜め上方から撮像する傾斜カメラとを備え、
前記捨て打ち部は鉛直方向に起立するピンを有し、捨て打ちを行う時は前記ピン先端と前記ニードル先端を近接させ、前記傾斜カメラは前記ピン先端と前記ニードル先端の位置を撮像して両者が近接していることを確認可能とする、液体材料吐出装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015153903A (ja) * | 2014-02-14 | 2015-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理方法、基板処理装置、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
WO2018026186A1 (ko) * | 2016-08-03 | 2018-02-08 | 이승학 | 단일 카메라를 이용한 대상물의 3차원 좌표 추출 장치 및 그 방법 |
JP2018058045A (ja) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | 三菱電機株式会社 | 粘性材の塗布装置 |
JP2018167190A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-01 | 株式会社Fuji | 粘性流体塗布装置 |
JP2019051499A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | アイシン精機株式会社 | 吐出ユニット |
US10571801B2 (en) | 2014-12-09 | 2020-02-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Coating apparatus, imprint apparatus, and method of manufacturing article |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07132259A (ja) * | 1993-11-10 | 1995-05-23 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | ペースト塗布機 |
JPH09122553A (ja) * | 1995-11-07 | 1997-05-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板への塗布液塗布方法及び装置並びに該装置に用いられる塗布液溶剤容器 |
JPH1133458A (ja) * | 1997-07-22 | 1999-02-09 | Toshiba Corp | 液状体の塗布装置 |
JP2001246299A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-09-11 | Toshiba Corp | ぺースト塗布方法および実装装置 |
JP2004055607A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-02-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2006223965A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗布装置 |
JP2007105730A (ja) * | 2007-01-16 | 2007-04-26 | Seiko Epson Corp | 塗布装置及び塗布方法 |
JP2007222789A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Yamaha Motor Co Ltd | 塗布機および実装ライン |
JP2008062137A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Athlete Fa Kk | ポッティング装置 |
JP2010102892A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Canon Inc | 有機el表示パネルの製造方法および装置 |
JP2010279932A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Toshiba Corp | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2012024704A (ja) * | 2010-07-23 | 2012-02-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 液体塗布装置及び液体塗布方法 |
-
2013
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07132259A (ja) * | 1993-11-10 | 1995-05-23 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | ペースト塗布機 |
JPH09122553A (ja) * | 1995-11-07 | 1997-05-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板への塗布液塗布方法及び装置並びに該装置に用いられる塗布液溶剤容器 |
JPH1133458A (ja) * | 1997-07-22 | 1999-02-09 | Toshiba Corp | 液状体の塗布装置 |
JP2001246299A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-09-11 | Toshiba Corp | ぺースト塗布方法および実装装置 |
JP2004055607A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-02-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2006223965A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗布装置 |
JP2007222789A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Yamaha Motor Co Ltd | 塗布機および実装ライン |
JP2008062137A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Athlete Fa Kk | ポッティング装置 |
JP2007105730A (ja) * | 2007-01-16 | 2007-04-26 | Seiko Epson Corp | 塗布装置及び塗布方法 |
JP2010102892A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Canon Inc | 有機el表示パネルの製造方法および装置 |
JP2010279932A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Toshiba Corp | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2012024704A (ja) * | 2010-07-23 | 2012-02-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 液体塗布装置及び液体塗布方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015153903A (ja) * | 2014-02-14 | 2015-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理方法、基板処理装置、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
US10571801B2 (en) | 2014-12-09 | 2020-02-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Coating apparatus, imprint apparatus, and method of manufacturing article |
WO2018026186A1 (ko) * | 2016-08-03 | 2018-02-08 | 이승학 | 단일 카메라를 이용한 대상물의 3차원 좌표 추출 장치 및 그 방법 |
JP2018058045A (ja) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | 三菱電機株式会社 | 粘性材の塗布装置 |
JP2018167190A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-01 | 株式会社Fuji | 粘性流体塗布装置 |
JP2019051499A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | アイシン精機株式会社 | 吐出ユニット |
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