JP2006223965A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗工液を被印刷物10上に滴下するノズル1と、前記ノズルから滴下された前記塗工液を、前記被印刷物を回転させることにより前記被印刷物上に均一に塗布するスピンコート部2と、前記塗工液滴下後の前記ノズルを一時的に収納する収納部3とを有し、前記収納部は、前記ノズル収納時に前記収納部内の気密性を保持するための気密保持部材4と、前記ノズル収納時に、前記ノズルの下方に前記ノズルの乾燥を防止するための溶液を保持する溶液保持部5とを有する。
【選択図】 図1
Description
以下、本発明の塗布装置の各構成ごとに詳しく説明する。
まず、本発明の塗布装置における収納部について説明する。本発明の塗布装置における収納部は、上記塗工液を滴下した後のノズルを、次の塗工液の滴下までの間、一時的に収納するための部材であり、本発明においては、上記ノズル収納時に上記収納部内の気密性を保持するための気密保持部材と、上記ノズル収納時に、上記ノズルの下方に上記ノズルの乾燥を防止するための溶液を保持する溶液保持部とを有するものとされる。
以下、上記収納部の各構成について詳しく説明する。
まず、本発明に用いられる気密保持部について説明する。本発明に用いられる気密保持部は、ノズルを収納した際、上記収納部内部の気密性を保持するための部材である。本発明において気密性を保持するとは、ノズル収納時、溶液保持部に保持された溶液から揮発した溶剤が収納部内に充満し、上記ノズルに充填されている塗工液中の溶剤の揮発が抑制される程度、気密性を保つことをいう。
次に、本発明に用いられる溶液保持部について説明する。本発明に用いられる溶液保持部は、上記ノズル収納時に、上記ノズルの下方にノズルの乾燥を防止するための溶液を保持するための部材である。ここで、上記溶液保持部は、ノズルの先端と溶液保持部に保持された溶液とが接触しない程度、かつ溶液保持部に保持されている溶液中の溶剤が揮発して、上記ノズルの先端付近での溶剤の濃度を高いものとすることが可能な程度、ノズルから離れた位置に形成される。なお、本発明においては、特に上記ノズルの先端と溶液保持部中の溶液の表面との距離が近い位置とされていることが好ましい。これにより、上記ノズル先端付近での溶剤の濃度をより高いものとすることができるからである。
本発明において上記収納部は、上記気密保持部および収納部を有するものであれば特に限定されるものではないが、上記収納部内でノズルの洗浄を行うことが可能なものであることが好ましい。これにより、別途ノズルを洗浄する洗浄部を塗布装置に形成する必要がなく、効率やコスト等の面からも好ましいものとすることができるからである。このようなノズルの洗浄は、塗工液の換わりに溶剤をノズル内に流すことにより行われる。このようなノズルの洗浄が収納部内で行われる場合、例えば図5に示すように、収納部3は、収納部3内の気密性を保持しつつ、溶液保持部5中の余分な溶液を廃液管6から排出するラビリンス構造を有することが好ましい。これにより、ノズル1から洗浄用の溶剤が排出されて、一定量以上の溶液が溶液保持部5に流れ込んだ場合であっても、余分な溶液を廃液管6から排出することができ、溶液保持部5内の溶液の量を一定に保つことが可能となるからである。なお、上記廃液管は、通常廃液タンクと連結される。
次に、本発明に用いられるノズルについて説明する。本発明に用いられるノズルは、後述するスピンコート部上で、被印刷物に塗工液を滴下するために用いられるものである。このようなノズルは、通常、上記ノズルの先端まで常に塗工液を充填するための送液手段や、上記塗工液の滴下の際に塗工液の滴下量を調整するための調整手段、上記収納部と上記スピンコート部との間を移動させたり、塗工液の滴下位置を決定する移動手段等とともに用いられる。
次に、本発明の塗布装置に用いられるスピンコート部について説明する。本発明の塗布装置に用いられるスピンコート部としては、上述したノズルから塗工液が滴下された被印刷物を、例えば図1に示すような回転部11によって回転させて、塗工液を均一に被印刷物10上に塗布する部材である。このようなスピンコート部に用いられる回転部には、通常、被印刷物を保持するための被印刷物保持手段が設けられることとなる。また、上記回転部の周囲には、通常、回転部の回転により、被印刷物の外にはじき飛ばされた余分な塗工液を回収する回収カップ等が設けられることとなる。
本発明の塗布装置は、上記ノズル、収納部、およびスピンコート部を有するものであれば特に限定されるものではなく、例えば上記ノズルを洗浄するためのノズル洗浄部や、カップを洗浄するためのカップ洗浄部等を有するものであってもよい。
2 …スピンコート部
3 …収納部
4 …気密保持部
5 …溶液保持部
Claims (3)
- 塗工液を被印刷物上に滴下するノズルと、前記ノズルから滴下された前記塗工液を、前記被印刷物を回転させることにより前記被印刷物上に均一に塗布するスピンコート部と、前記塗工液滴下後の前記ノズルを一時的に収納する収納部とを有する塗布装置であって、前記収納部は、前記ノズル収納時に前記収納部内の気密性を保持するための気密保持部材と、前記ノズル収納時に、前記ノズルの下方に前記ノズルの乾燥を防止するための溶液を保持する溶液保持部とを有することを特徴とする塗布装置。
- 前記溶液保持部が、前記ノズル収納時に前記ノズルの直下となる領域に、前記溶液保持部内の前記溶液表面に対して角度のついた上底面を持つ凸部を有することを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 前記収納部が、前記収納部内の気密性を保持しつつ前記溶液保持部中の前記溶液を廃液管から排出するラビリンス構造を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の塗布装置。
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