JP2013172265A - Piezoelectric vibration piece, piezoelectric vibrator, oscillator, electronic device and radio clock - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric vibration piece capable of securing rigidity of a base part and suppressing decline of impact resistance while suppressing vibration leakage by a narrow part, and a piezoelectric vibrator, an oscillator, an electronic device and a radio clock using the piezoelectric vibration piece.SOLUTION: A piezoelectric vibration piece 4 includes a base part 12 for integrally fixing the -Y side of a pair of vibration arm parts 10, 11, and the base part 12 includes a connection part 21, a mount part 22, and a narrow part 23 narrower than the connection part 21 and the mount part 22. The narrow part 23 is formed by a pair of notched parts 24, and a connection part wall surface 21a arranged on the +Y side of the notched part 24 and a mount part wall surface 22a arranged on the -Y side of the notched part 24 are formed so as to partially overlap in the view from a Z direction.

Description

この発明は、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計に関するものである。   The present invention relates to a piezoelectric vibrating piece, a piezoelectric vibrator, an oscillator, an electronic device, and a radio timepiece.

携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として、水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが提供されているが、その１つとして、いわゆる音叉型の圧電振動片をパッケージに封入した圧電振動子が知られている。   In cellular phones and portable information terminal devices, piezoelectric vibrators using quartz or the like are used as time sources, timing sources of control signals, reference signal sources, and the like. Various types of piezoelectric vibrators of this type are provided, and one of them is a piezoelectric vibrator in which a so-called tuning fork type piezoelectric vibrating piece is enclosed in a package.

音叉型の圧電振動片は、所定方向に並んで配置された一対の振動腕部と、一対の振動腕部の長手方向（以下、単に「長手方向」ということがある。）の基端側を一体的に固定する基部とを有する、薄板状の水晶片である。この圧電振動片は、各振動腕部に形成された励振電極に電圧が印加されると、一対の振動腕部が接近および離間するように、所定方向に所定の共振周波数で振動する。   The tuning fork-type piezoelectric vibrating piece has a pair of vibrating arm portions arranged side by side in a predetermined direction and a base end side in the longitudinal direction of the pair of vibrating arm portions (hereinafter, simply referred to as “longitudinal direction”). It is a thin plate-shaped crystal piece having a base portion that is integrally fixed. When a voltage is applied to the excitation electrode formed on each vibrating arm portion, the piezoelectric vibrating piece vibrates at a predetermined resonance frequency in a predetermined direction so that the pair of vibrating arm portions approach and separate from each other.

近年、パッケージが搭載される機器の小型化に伴って、圧電振動片のさらなる小型化が望まれている。そこで、例えば基部の長さを短くして、圧電振動片の全長をより短くすることが検討されている。しかしながら、圧電振動片は、基部を介してパッケージの内部電極にマウントされるので、基部の長さを短くしてしまうとマウント性能が劣ってしまうという問題がある。したがって、基部の長さは、通常、マウント性能を確保できる範囲内においてできるだけ短くなるように設計されている。   In recent years, with the miniaturization of devices on which packages are mounted, further miniaturization of piezoelectric vibrating reeds is desired. In view of this, for example, it has been studied to shorten the length of the base and shorten the overall length of the piezoelectric vibrating piece. However, since the piezoelectric vibrating reed is mounted on the internal electrode of the package via the base, there is a problem that the mounting performance is inferior if the length of the base is shortened. Therefore, the length of the base is normally designed to be as short as possible within a range in which the mount performance can be secured.

また、圧電振動片を作動させた際、基部を通じて振動漏れが発生することが知られている。この振動漏れは、ＣＩ値（Ｃｒｙｓｔａｌ Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ）の上昇に繋がってしまうものであるので、できるだけ振動漏れを抑制する必要がある。この点、基部の長さをできるだけ長くすることで、基部により振動腕部の振動を十分減衰させることができるので、振動漏れを効率良く抑えることができる。しかしながら、上述したように、基部の長さは、小型化の観点からマウント性能を確保できる範囲内においてできるだけ短くなるように設計されているので、この長さを変更せずに振動漏れを抑制させることが要求される。   Further, it is known that vibration leakage occurs through the base when the piezoelectric vibrating piece is operated. Since this vibration leakage leads to an increase in CI value (Crystal Impedance), it is necessary to suppress the vibration leakage as much as possible. In this respect, by making the length of the base portion as long as possible, the vibration of the vibrating arm portion can be sufficiently attenuated by the base portion, so that vibration leakage can be efficiently suppressed. However, as described above, the length of the base is designed to be as short as possible within a range in which mount performance can be ensured from the viewpoint of miniaturization, so that vibration leakage is suppressed without changing this length. Is required.

図１６は、従来技術の圧電振動片２０１の平面図である。
例えば、特許文献１では、図１６に示すように、基部２１２の両側に切り込み部２２４，２２４（本願請求項の「切り欠き部」に相当。）が二箇所設けられた圧電振動片２０１が提案されている。基部２１２には、切り込み部２２４，２２４によって、音叉腕２１０，２１１（本願請求項の「振動腕部」に相当。）の溝２１８，２１９の下端部２２１（本願請求項の「接続部」に相当。）と基部２１２の固定領域２２２（本願請求項の「マウント部」に相当。）との間に、他の部分に比べて幅狭な領域２２３（以下、「幅狭部」という。）が形成されている。 FIG. 16 is a plan view of a conventional piezoelectric vibrating piece 201.
For example, in Patent Document 1, as shown in FIG. 16, there is proposed a piezoelectric vibrating piece 201 in which two notches 224 and 224 (corresponding to “notches” in the claims of the present application) are provided on both sides of a base 212. Has been. In the base 212, the notches 224 and 224 are used to form lower ends 221 of the grooves 218 and 219 of the tuning fork arms 210 and 211 (corresponding to “vibrating arm” in the claims of the present application). And a fixed region 222 of the base 212 (corresponding to the “mount portion” in the claims of the present application). The region 223 narrower than the other portions (hereinafter referred to as “narrow portion”). Is formed.

特許文献１によれば、音叉腕２１０，２１１の振動により溝２１８，２１９から漏れてきた漏れ振動は、切り込み部２２４，２２４により基部２１２の固定領域２２２に伝わり難くなることで、エネルギー逃げが生じ難くなるとされている。なお、幅狭部２２３の幅を狭くすればするほど、音叉腕２１０，２１１の振動が基部２１２の固定領域に伝わるルートを狭くできるので、音叉腕２１０，２１１側に振動を閉じ込め易くなり、振動漏れの抑制効果を高めることができると考えられる。   According to Patent Document 1, the leakage vibration leaking from the grooves 218 and 219 due to the vibration of the tuning fork arms 210 and 211 is difficult to be transmitted to the fixing region 222 of the base 212 by the notches 224 and 224, thereby causing energy escape. It will be difficult. Note that the narrower the width of the narrow portion 223, the narrower the route through which the vibration of the tuning fork arms 210 and 211 is transmitted to the fixed region of the base 212, so that the vibration is more easily confined on the tuning fork arms 210 and 211 side. It is considered that the leakage suppressing effect can be enhanced.

特開２００２−２６１５５８号公報JP 2002-261558 A

しかし、特許文献１に記載の圧電振動片のように幅狭部を形成した場合には、幅狭部において、基部の断面積（振動腕部の長手方向と直交する断面における断面積。以下同じ。）が振動腕部の接続部およびマウント部の断面積よりも小さくなる。すなわち、幅狭部の断面係数（断面二次モーメントおよび断面二次極モーメント。以下同じ。）が、振動腕部の接続部およびマウント部の断面係数よりも小さくなる。これにより、基部の剛性（曲げ剛性およびねじり剛性。以下同じ。）が確保できず、外部衝撃等に対する耐衝撃性が低下するおそれがある。特に、この問題は、振動漏れの抑制効果を高めるために幅狭部の幅を狭くしたとき顕著になる。これに対して、基部の剛性を確保するために幅狭部の幅を広くしたときには、外部衝撃等に対する耐衝撃性を向上できるが、上述した振動漏れの抑制効果が十分に得られないおそれがある。   However, when the narrow portion is formed as in the piezoelectric vibrating piece described in Patent Document 1, the cross-sectional area of the base (the cross-sectional area in the cross section orthogonal to the longitudinal direction of the vibrating arm portion. .) Is smaller than the cross-sectional area of the connecting portion of the vibrating arm portion and the mount portion. That is, the section modulus of the narrow portion (secondary section moment and second moment of section, the same applies hereinafter) is smaller than the section modulus of the connecting portion and the mount portion of the vibrating arm portion. As a result, the rigidity of the base (bending rigidity and torsional rigidity; the same shall apply hereinafter) cannot be ensured, and the impact resistance against external impacts and the like may be reduced. In particular, this problem becomes prominent when the width of the narrow portion is narrowed in order to enhance the effect of suppressing vibration leakage. On the other hand, when the width of the narrow portion is widened in order to ensure the rigidity of the base portion, it is possible to improve the impact resistance against external impacts, etc. is there.

そこで本発明は、幅狭部により振動漏れを抑制しつつ、基部の剛性を確保して耐衝撃性の低下を抑制できる圧電振動片と、この圧電振動片を用いた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計の提供を課題とする。   Therefore, the present invention provides a piezoelectric vibrating piece that can suppress vibration leakage by a narrow portion and secure rigidity of the base portion to suppress a reduction in impact resistance, and a piezoelectric vibrator, an oscillator, and an electronic device using the piezoelectric vibrating piece. The issue is to provide equipment and radio timepieces.

上記の課題を解決するため、本発明の圧電振動片は、所定方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部の長手方向における基端側を一体的に固定する基部と、を備えた圧電振動片であって、前記基部は、前記振動腕部の前記基端側が固定された接続部と、前記基部をマウントするためのマウント部と、前記接続部と前記マウント部との間に位置し、基部側面の外側から内側に切り欠かれた切り欠き部によって形成される幅狭部と、を備えており、前記切り欠き部を前記基部の厚さ方向から見た場合に、前記接続部側の壁面の少なくとも一部と、前記マウント部側の壁面の少なくとも一部が重なるように前記切り欠き部が形成されていることを特徴とする。   In order to solve the above problems, a piezoelectric vibrating piece according to the present invention integrally fixes a pair of vibrating arm portions arranged side by side in a predetermined direction and a proximal end side in the longitudinal direction of the pair of vibrating arm portions. A piezoelectric vibration piece including a base, wherein the base includes a connection portion to which the base end side of the vibrating arm portion is fixed, a mount portion for mounting the base, and the connection portion and the mount. And a narrow portion formed by a notch portion that is notched inward from the outside of the base side surface, and the notch portion is viewed from the thickness direction of the base portion. In this case, the notch portion is formed so that at least a part of the wall surface on the connection portion side overlaps at least a part of the wall surface on the mount portion side.

本発明によれば、切り欠き部において、接続部側の壁面およびマウント部側の壁面が、厚さ方向から見て一部が重なるように形成されているので、幅狭部を通過する基部の断面積には、幅狭部の断面積に加えて、少なくとも接続部およびマウント部のいずれかの断面積を含めることができる。すなわち、本発明の構成により、切り欠き部を浅くして幅狭部の断面積を増やすことなく、幅狭部を通過する基部の断面積を従来よりも大きくすることができ、その結果、基部の断面係数を従来よりも大きくすることが可能になる。従って、幅狭部により振動漏れを抑制しつつ、基部の剛性を確保して耐衝撃性の低下を抑制できる圧電振動片を形成できる。   According to the present invention, in the cutout portion, the wall surface on the connection portion side and the wall surface on the mount portion side are formed so as to partially overlap when viewed from the thickness direction. In addition to the cross-sectional area of the narrow part, the cross-sectional area can include at least one of the cross-sectional areas of the connection part and the mount part. That is, according to the configuration of the present invention, the cross-sectional area of the base passing through the narrow portion can be made larger than before without making the notch portion shallow and increasing the cross-sectional area of the narrow portion. It is possible to increase the section modulus of the conventional one. Therefore, it is possible to form a piezoelectric vibrating piece that can suppress the vibration leakage by the narrow portion and secure the rigidity of the base portion to suppress the decrease in impact resistance.

また、前記接続部側の壁面および前記マウント部側の壁面は、前記厚さ方向に対して傾斜する傾斜面であり、両壁面が略平行に形成されていることを特徴とする。または、前記接続部側の壁面および前記マウント部側の壁面は、段差形状を有しており、両壁面が略平行に形成されていてもよい。   The wall surface on the connection portion side and the wall surface on the mount portion side are inclined surfaces inclined with respect to the thickness direction, and both wall surfaces are formed substantially in parallel. Alternatively, the wall surface on the connection portion side and the wall surface on the mount portion side may have a step shape, and both wall surfaces may be formed substantially in parallel.

本発明によれば、ドライエッチングやレーザトリミング、機械加工等のいずれの方法を用いてもマウント部側の壁面と接続部側の壁面を容易に形成できる。したがって、幅狭部により振動漏れを抑制しつつ、基部の剛性を確保して耐衝撃性の低下を抑制できる圧電振動片を低コストに形成できる。   According to the present invention, the wall surface on the mount portion side and the wall surface on the connection portion side can be easily formed by any method such as dry etching, laser trimming, or machining. Therefore, it is possible to form a piezoelectric vibrating piece at a low cost that can suppress vibration leakage by the narrow portion and ensure the rigidity of the base portion and suppress the reduction in impact resistance.

また、前記切り欠き部には、前記幅狭部から外側に突出するリブが形成されていることを特徴とする。   The notch may be formed with a rib protruding outward from the narrow portion.

本発明によれば、切り欠き部に幅狭部から突出するリブを形成しているので、リブの断面積の分、幅狭部を通過する基部の断面積をさらに大きくして、基部の断面係数をさらに大きくできる。したがって、基部の剛性を十分に確保して耐衝撃性の低下を抑制できる圧電振動片を形成できる。また、リブの幅や高さを調整することにより、幅狭部により振動漏れを抑制しつつ、基部の断面係数および耐衝撃性を所望に調整できる。   According to the present invention, since the rib protruding from the narrow part is formed in the notch part, the cross-sectional area of the base part passing through the narrow part is further increased by the amount corresponding to the cross-sectional area of the rib, The coefficient can be further increased. Therefore, it is possible to form a piezoelectric vibrating piece that can sufficiently secure the rigidity of the base and suppress the decrease in impact resistance. Further, by adjusting the width and height of the rib, the section modulus and impact resistance of the base can be adjusted as desired while suppressing vibration leakage by the narrow portion.

また、本発明の圧電振動子は、上述した圧電振動片を備えたことを特徴としている。   The piezoelectric vibrator of the present invention is characterized by including the above-described piezoelectric vibrating piece.

本発明によれば、幅狭部により振動漏れを抑制しつつ、基部の剛性を確保して耐衝撃性の低下を抑制できる圧電振動片を備えているので、ＣＩ値の上昇を抑制でき、かつ耐衝撃性に優れた圧電振動子を提供できる。   According to the present invention, since the piezoelectric resonator element that can suppress the vibration leakage by the narrow portion and secure the rigidity of the base portion and suppress the reduction in impact resistance can be provided, the increase in the CI value can be suppressed, and A piezoelectric vibrator having excellent impact resistance can be provided.

また、本発明の発振器は、上述した圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする。
本発明の電子機器は、上述した圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする。
本発明の電波時計は、上述した圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする。 The oscillator according to the present invention is characterized in that the above-described piezoelectric vibrator is electrically connected to an integrated circuit as an oscillator.
The electronic apparatus according to the present invention is characterized in that the above-described piezoelectric vibrator is electrically connected to a time measuring unit.
The radio-controlled timepiece of the present invention is characterized in that the above-described piezoelectric vibrator is electrically connected to a filter unit.

本発明によれば、ＣＩ値の上昇を抑制でき、かつ耐衝撃性に優れた圧電振動子を備えているので、高効率で耐衝撃性に優れた発振器、電子機器および電波時計を提供できる。   According to the present invention, since the increase in the CI value can be suppressed and the piezoelectric vibrator having excellent impact resistance is provided, it is possible to provide an oscillator, an electronic device, and a radio timepiece having high efficiency and excellent impact resistance.

本発明によれば、接続部側の壁面およびマウント部側の壁面が、厚さ方向から見て一部が重なるように形成されているので、幅狭部を通過する基部の断面積に、幅狭部の断面積に加えて、少なくとも接続部およびマウント部のいずれかの断面積を含むことができる。すなわち、本発明の構成により、幅狭部の断面積を増やすことなく、幅狭部を通過する基部の断面積を従来よりも大きくできるので、基部の断面係数を従来技術よりも大きくできる。したがって、幅狭部により振動漏れを抑制しつつ、基部の剛性を確保して耐衝撃性の低下を抑制できる圧電振動片を形成できる。   According to the present invention, since the wall surface on the connection portion side and the wall surface on the mount portion side are formed so as to partially overlap when viewed from the thickness direction, the width of the cross-sectional area of the base portion passing through the narrow portion is reduced. In addition to the cross-sectional area of the narrow portion, at least one of the cross-sectional areas of the connection portion and the mount portion can be included. That is, according to the configuration of the present invention, since the cross-sectional area of the base passing through the narrow portion can be made larger than before without increasing the cross-sectional area of the narrow portion, the cross-sectional coefficient of the base can be made larger than that of the prior art. Therefore, it is possible to form a piezoelectric vibrating piece that can suppress the vibration leakage by the narrow portion and secure the rigidity of the base portion to suppress the decrease in impact resistance.

実施形態の圧電振動片の平面図である。It is a top view of the piezoelectric vibrating piece of the embodiment. 実施形態の圧電振動片の側面図である。It is a side view of the piezoelectric vibrating piece of the embodiment. 図１のＡ−Ａ線に沿った幅狭部の断面図である。It is sectional drawing of the narrow part along the AA line of FIG. 実施形態の第一変形例における圧電振動片の側面図である。It is a side view of the piezoelectric vibrating piece in the first modification of the embodiment. 実施形態の第二変形例における圧電振動片の側面図である。It is a side view of the piezoelectric vibrating piece in the 2nd modification of an embodiment. 実施形態の第三変形例における圧電振動片の側面図である。It is a side view of the piezoelectric vibrating piece in the third modification of the embodiment. 実施形態の第三変形例における幅狭部を通過する基部の断面図である。It is sectional drawing of the base which passes the narrow part in the 3rd modification of embodiment. 実施形態の第四変形例における圧電振動片の平面図である。It is a top view of the piezoelectric vibrating piece in the 4th modification of an embodiment. 圧電振動子の外観斜視図である。It is an external perspective view of a piezoelectric vibrator. 圧電振動子の内部構成図であって、リッド基板を取り外した状態の平面図である。It is an internal block diagram of a piezoelectric vibrator, and is a plan view in a state where a lid substrate is removed. 図１０のＢ−Ｂ線における断面図である。It is sectional drawing in the BB line of FIG. 図９に示す圧電振動子の分解斜視図である。FIG. 10 is an exploded perspective view of the piezoelectric vibrator shown in FIG. 9. 発振器の一実施形態を示す構成図である。It is a block diagram which shows one Embodiment of an oscillator. 電子機器の一実施形態を示す構成図である。It is a lineblock diagram showing one embodiment of electronic equipment. 電波時計の一実施形態を示す構成図である。It is a block diagram which shows one Embodiment of a radio timepiece. 従来技術の圧電振動片の平面図である。It is a top view of the piezoelectric vibrating piece of a prior art.

（圧電振動片）
以下に、図面に基づいて実施形態の圧電振動片について説明する。
図１は、第一実施形態の圧電振動片４の平面図である。なお、以下の説明では、振動腕部１０，１１が並んでいる所定方向（図１における紙面左右方向）をＸ方向とし、Ｘ方向における中心軸をＯとし、圧電振動片４の外側を＋Ｘ側とし、内側を−Ｘ側として説明している。また、振動腕部１０，１１の長手方向（図１における紙面上下方向）をＹ方向とし、振動腕部１０，１１の先端側を＋Ｙ側とし、振動腕部１０，１１の基端側を−Ｙ側として説明している。また、圧電振動片４の厚さ方向（図１における紙面表裏方向）をＺ方向とし、圧電振動片４の一方側（図１における紙面表側）を＋Ｚ側とし、他方側（図１における紙面裏側）を−Ｚ側として説明している。 (Piezoelectric vibrating piece)
Hereinafter, the piezoelectric vibrating piece according to the embodiment will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view of the piezoelectric vibrating piece 4 of the first embodiment. In the following description, the predetermined direction in which the vibrating arm portions 10 and 11 are arranged (the left-right direction in FIG. 1) is the X direction, the central axis in the X direction is O, and the outside of the piezoelectric vibrating piece 4 is the + X side. And the inside is described as the -X side. Further, the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 (the vertical direction in FIG. 1) is the Y direction, the distal end side of the vibrating arm portions 10 and 11 is the + Y side, and the proximal end side of the vibrating arm portions 10 and 11 is −. It is described as the Y side. Also, the thickness direction of the piezoelectric vibrating piece 4 (the front and back direction in FIG. 1) is the Z direction, one side of the piezoelectric vibrating piece 4 (the front side of the drawing in FIG. 1) is the + Z side, and the other side (the back side of the drawing in FIG. 1). ) On the −Z side.

図１に示すように、本実施形態の圧電振動片４は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された音叉型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。この圧電振動片４は、Ｘ方向に並んで配置された一対の振動腕部１０，１１と、一対の振動腕部１０，１１の基端側を一体的に固定する基部１２とを備えている。   As shown in FIG. 1, the piezoelectric vibrating reed 4 of this embodiment is a tuning fork type vibrating reed formed from a piezoelectric material such as crystal, lithium tantalate, or lithium niobate, and when a predetermined voltage is applied. It will vibrate. The piezoelectric vibrating reed 4 includes a pair of vibrating arm portions 10 and 11 arranged side by side in the X direction and a base portion 12 that integrally fixes the base end sides of the pair of vibrating arm portions 10 and 11. .

一対の振動腕部１０，１１の両主面上には、振動腕部１０，１１のＹ方向に沿ってそれぞれ溝部１８，１９が形成されている。溝部１８，１９は、振動腕部１０，１１のＹ方向における略中間付近から、振動腕部１０，１１と基部１２との接続部付近にわたって、所定の深さで形成されている。
また、一対の振動腕部１０，１１の両主面上には、不図示の励振電極が形成されている。励振電極は、電圧が印加されたときに振動腕部１０，１１を互いに接近または離間する方向（Ｘ方向）に所定の共振周波数で振動させる電極である。励振電極は、例えば、クロム等の単層の導電性膜により形成されている。 On both main surfaces of the pair of vibrating arm portions 10 and 11, groove portions 18 and 19 are formed along the Y direction of the vibrating arm portions 10 and 11, respectively. The groove portions 18 and 19 are formed with a predetermined depth from the vicinity of the substantially intermediate position in the Y direction of the vibrating arm portions 10 and 11 to the vicinity of the connecting portion between the vibrating arm portions 10 and 11 and the base portion 12.
Excitation electrodes (not shown) are formed on both main surfaces of the pair of vibrating arm portions 10 and 11. The excitation electrode is an electrode that vibrates the vibrating arm portions 10 and 11 at a predetermined resonance frequency in a direction (X direction) approaching or separating from each other when a voltage is applied. The excitation electrode is formed of, for example, a single layer conductive film such as chromium.

基部１２は、平面視略矩形状に形成されている。基部１２は、＋Ｙ側に位置する接続部２１と、接続部２１に対して−Ｙ側に位置するマウント部２２とを有している。
接続部２１は、振動腕部１０，１１の−Ｙ側が一体的に固定されることで、振動腕部１０，１１を支持している。接続部２１の両主面上には、不図示の引き出し電極が形成されている。引き出し電極は、励振電極と、後述するマウント部２２に形成されたマウント電極とを接続する電極である。引き出し電極は、励振電極と同様に、例えば、クロム等の単層の導電性膜により形成されている。 The base 12 is formed in a substantially rectangular shape in plan view. The base 12 includes a connection portion 21 located on the + Y side and a mount portion 22 located on the −Y side with respect to the connection portion 21.
The connecting portion 21 supports the vibrating arm portions 10 and 11 by integrally fixing the −Y side of the vibrating arm portions 10 and 11. On both main surfaces of the connection portion 21, lead electrodes (not shown) are formed. The extraction electrode is an electrode that connects the excitation electrode and a mount electrode formed on the mount portion 22 described later. Similarly to the excitation electrode, the extraction electrode is formed of a single-layer conductive film such as chromium, for example.

マウント部２２は、後述のパッケージ等に基部１２（圧電振動片４）をマウントするための部分である。マウント部２２の両主面上には、不図示のマウント電極が形成されている。マウント電極は、パッケージ等に電気的に接続され、圧電振動片４をマウントする電極である。マウント電極は、例えば、クロムと金との積層膜であり、水晶と密着性の良いクロムを下地層として成膜した後に、表面に金の薄膜を仕上げ層として成膜することにより形成されている。   The mount portion 22 is a portion for mounting the base portion 12 (piezoelectric vibrating piece 4) on a package or the like to be described later. Mount electrodes (not shown) are formed on both main surfaces of the mount portion 22. The mount electrode is an electrode that is electrically connected to a package or the like and mounts the piezoelectric vibrating reed 4. The mount electrode is, for example, a laminated film of chromium and gold, and is formed by forming a gold thin film on the surface as a finishing layer after forming chromium having good adhesion to crystal as an underlayer. .

（幅狭部）
基部１２は、Ｙ方向における接続部２１とマウント部２２との間に位置し、接続部２１およびマウント部２２よりもＸ方向の幅が狭い幅狭部２３を備えている。ここで、幅狭部２３とは、基部１２のＹ方向の略中間付近において、＋Ｘ側から−Ｘ側に向けて（基部１２の側面の外側から内側に向けて）それぞれ切り欠かれた一対の切り欠き部２４の間の領域のことをいう（図１におけるハッチング領域参照）。なお、ここでは切り欠き部２４の位置を「基部１２のＹ方向の略中間付近」としているが、切り欠き部２４が形成される位置はこれに限られるものではなく、接続部２１側であってもよいし、マウント部２２側であってもよい。さらに、ここでは「一対の」切り欠き部２４としているが、切り欠き部２４は少なくとも一つ設けられていればよく、「一対」設ける必要はない。 (Narrow part)
The base 12 includes a narrow portion 23 that is positioned between the connection portion 21 and the mount portion 22 in the Y direction and has a narrower width in the X direction than the connection portion 21 and the mount portion 22. Here, the narrow portion 23 is a pair of notches from the + X side to the −X side (from the outer side to the inner side of the side surface of the base portion 12) in the vicinity of the middle of the base portion 12 in the Y direction. This refers to the area between the notches 24 (see the hatched area in FIG. 1). Here, the position of the notch 24 is defined as “nearly the middle of the base 12 in the Y direction”, but the position where the notch 24 is formed is not limited to this, and is on the connection part 21 side. Alternatively, it may be on the mount 22 side. Furthermore, although the “pair” of cutout portions 24 is used here, at least one cutout portion 24 may be provided, and “a pair of” need not be provided.

幅狭部２３は、基部１２のＹ方向の略中間付近において、接続部２１とマウント部２２とを一体的に連結している。幅狭部２３は、振動腕部１０，１１の振動が、接続部２１からマウント部２２に伝わる際のルートとなっている。切り欠き部２４の深さを深くして幅狭部２３の幅（Ｘ方向の幅）を狭くすればするほど、振動が伝わるルートを狭くできるため、振動腕部１０，１１側に振動を閉じ込めて振動漏れを抑制できるが、その分、幅狭部２３において基部１２の断面係数が小さくなり、剛性が低下する。   The narrow portion 23 integrally connects the connection portion 21 and the mount portion 22 in the vicinity of the middle of the base portion 12 in the Y direction. The narrow portion 23 is a route when the vibration of the vibrating arm portions 10 and 11 is transmitted from the connection portion 21 to the mount portion 22. As the depth of the notch 24 is increased and the width of the narrow portion 23 (width in the X direction) is narrowed, the route through which vibration is transmitted can be narrowed, so that the vibration is confined on the vibrating arm portions 10 and 11 side. Thus, the vibration leakage can be suppressed, but the section coefficient of the base 12 is reduced in the narrow portion 23 and the rigidity is reduced accordingly.

切り欠き部２４の−Ｘ側には、底部２４ａが形成されている。また、切り欠き部２４の＋Ｙ側には、接続部２１の−Ｙ側壁面（以下、「接続部側の壁面２１ａ」という。）が配置されている。また、切り欠き部２４の−Ｙ側には、マウント部２２の＋Ｙ側壁面（以下、「マウント部側の壁面２２ａ」という。）が配置されている。換言すれば、切り欠き部２４は、接続部壁面２１ａ、マウント部壁面２２ａおよび底部２４ａにより囲まれた領域により形成されている。   A bottom 24 a is formed on the −X side of the notch 24. Further, on the + Y side of the notch portion 24, a −Y side wall surface of the connection portion 21 (hereinafter referred to as “connection portion side wall surface 21 a”) is disposed. Further, the + Y side wall surface of the mount portion 22 (hereinafter referred to as “mount portion side wall surface 22a”) is disposed on the −Y side of the cutout portion 24. In other words, the cutout portion 24 is formed by a region surrounded by the connection portion wall surface 21a, the mount portion wall surface 22a, and the bottom portion 24a.

一対の切り欠き部２４のＸ方向における切り欠きの深さは、要求される振動漏れ防止特性および基部１２の剛性に基づいて決定される。本実施形態の一対の切り欠き部２４は、振動腕部１０，１１のＸ方向における略中間付近に、それぞれ切り欠き部２４の底部２４ａが配置されるような深さに切り欠かれて形成されている。   The depth of the notch in the X direction of the pair of notches 24 is determined based on the required vibration leakage prevention characteristics and the rigidity of the base 12. The pair of cutout portions 24 of the present embodiment are formed by being cut out to such a depth that the bottom portion 24a of the cutout portion 24 is arranged in the vicinity of the approximate middle of the vibrating arm portions 10 and 11 in the X direction. ing.

図２は、圧電振動片４の側面図である。
図２に示すように、切り欠き部２４は、＋Ｘ側から見て、＋Ｙ方向から−Ｙ方向に傾斜するように切り欠かれている。したがって、切り欠き部２４の＋Ｙ側に配置された接続部壁面２１ａおよび切り欠き部２４の−Ｙ側に配置されたマウント部壁面２２ａの法線方向もＹ方向に対して傾斜している。 FIG. 2 is a side view of the piezoelectric vibrating piece 4.
As shown in FIG. 2, the notch 24 is notched so as to be inclined from the + Y direction to the −Y direction when viewed from the + X side. Therefore, the normal direction of the connection portion wall surface 21a disposed on the + Y side of the cutout portion 24 and the mount portion wall surface 22a disposed on the −Y side of the cutout portion 24 is also inclined with respect to the Y direction.

また、切り欠き部２４の＋Ｙ側に配置された接続部側の壁面２１ａおよび切り欠き部２４の−Ｙ側に配置されたマウント部側の壁面２２ａは、一定の離間距離を有しており、互いに対向して略並行に形成されている。すなわち、切り欠き部２４は、Ｘ方向から見て一定の幅で形成されている。接続部側の壁面２１ａおよびマウント部側の壁面２２ａは、ドライエッチングやレーザトリミング、機械加工等によって、平坦かつ両壁面が略平行になるように形成できる。なお、本実施形態の一対の切り欠き部２４は、後述するようにドライエッチングにより形成されている。   Further, the wall surface 21a on the connection portion side disposed on the + Y side of the cutout portion 24 and the wall surface 22a on the mount portion side disposed on the −Y side of the cutout portion 24 have a certain separation distance. Opposing each other, they are formed substantially in parallel. That is, the notch 24 is formed with a certain width when viewed from the X direction. The wall surface 21a on the connection portion side and the wall surface 22a on the mount portion side can be formed flat and substantially parallel to each other by dry etching, laser trimming, machining, or the like. Note that the pair of cutout portions 24 of the present embodiment is formed by dry etching as will be described later.

また、図１に示すように、切り欠き部２４の＋Ｙ側に配置された接続部側の壁面２１ａの少なくとも一部、および切り欠き部２４の−Ｙ側に配置されたマウント部側の壁面２２ａの少なくとも一部は、基部１２をＺ方向から見た場合に、互いに重なるように形成されている。
具体的には、切り欠き部２４は、接続部側の壁面２１ａの−Ｚ側縁部２１ｃが、マウント部側の壁面２２ａの＋Ｚ側縁部２２ｂよりも−Ｙ側に配置されるような傾斜角および幅で形成されている。これにより、基部１２を＋Ｚ側から見たとき、接続部壁面２１ａの−Ｚ側における一部と、マウント部壁面２２ａの＋Ｚ側における一部とが、Ｙ方向において重なるように形成されている。 Further, as shown in FIG. 1, at least a part of the wall surface 21 a on the connection portion side arranged on the + Y side of the cutout portion 24 and the wall surface 22 a on the mount portion side arranged on the −Y side of the cutout portion 24. Are at least partially overlapped with each other when the base 12 is viewed from the Z direction.
Specifically, the cutout portion 24 is inclined such that the −Z side edge portion 21c of the wall surface 21a on the connection portion side is arranged on the −Y side with respect to the + Z side edge portion 22b of the wall surface 22a on the mount portion side. It is formed with corners and widths. Thereby, when the base 12 is viewed from the + Z side, a part of the connection part wall surface 21a on the −Z side and a part of the mount part wall surface 22a on the + Z side are overlapped in the Y direction.

図３は、図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。すなわち、幅狭部２３を通過する基部１２の断面である。
Ａ−Ａ線は、Ｘ方向に沿った直線であり、Ｚ方向から見て、幅狭部２３を通過するとともに、Ｙ方向におけるマウント部側の壁面２２ａの＋Ｚ側縁部２２ｂと、接続部側の壁面２１ａの−Ｚ側縁部２１ｃとの間を通る直線である（図１参照）。
したがって、図３に示すように、Ａ−Ａ線に沿った基部１２の断面積には、幅狭部２３の断面積のみならず、接続部２１の断面積Ｓ１およびマウント部２２の断面積Ｓ２が含まれる。 3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. That is, it is a cross section of the base 12 passing through the narrow portion 23.
The AA line is a straight line along the X direction and passes through the narrow portion 23 when viewed from the Z direction, and the + Z side edge portion 22b of the wall surface 22a on the mount portion side in the Y direction, and the connecting portion side. This is a straight line passing between the wall surface 21a and the -Z side edge 21c (see FIG. 1).
Therefore, as shown in FIG. 3, the cross-sectional area of the base portion 12 along the line AA includes not only the cross-sectional area of the narrow portion 23 but also the cross-sectional area S1 of the connection portion 21 and the cross-sectional area S2 of the mount portion 22. Is included.

なお、Ａ−Ａ線に沿った断面以外であっても、幅狭部２３を通過する基部１２の断面積には、必ず接続部２１の断面積Ｓ１およびマウント部２２の断面積Ｓ２の少なくともいずれか一方が含まれるように形成されている。例えば、Ａ−Ａ線よりも＋Ｙ側であって、マウント部側の壁面２２ａの＋Ｚ側縁部２２ｂよりも＋Ｙ側における断面には、マウント部２２の断面は含まれないが、接続部２１の断面が含まれる。また、Ａ−Ａ線よりも−Ｙ側であって、接続部側の壁面２１ａの−Ｚ側縁部２１ｃよりも−Ｙ側における断面には、接続部２１の断面が含まれないが、マウント部２２の断面が含まれる。   Even if the cross section is not along the line AA, the cross sectional area of the base portion 12 passing through the narrow portion 23 must be at least one of the cross sectional area S1 of the connecting portion 21 and the cross sectional area S2 of the mount portion 22. Either one is formed. For example, the cross section of the mount portion 22 is not included in the cross section on the + Y side of the AA line and on the + Y side of the + Z side edge portion 22b of the wall surface 22a on the mount portion side. A cross section is included. The cross section of the connection portion 21 is not included in the cross section on the −Y side of the AA line and on the −Y side of the wall surface 21a on the connection portion side of the −Z side edge portion 21c. A cross section of part 22 is included.

ところで、従来技術においては、図１６に示すように、接続部側の壁面２２１ａおよびマウント部側の壁面２２２ａは、振動腕部２１０，２１１の長手方向（図１におけるＹ方向に相当。）に対して直交するように形成されており、厚さ方向（図１におけるＺ方向に相当。）から見て、互いに重なるように形成されていない。
このため、従来技術における幅狭部２２３を通過する基部２１２の断面には、接続部２２１の断面およびマウント部２２２の断面が含まれることがない。 In the prior art, as shown in FIG. 16, the wall surface 221a on the connection portion side and the wall surface 222a on the mount portion side are in the longitudinal direction of the vibrating arm portions 210 and 211 (corresponding to the Y direction in FIG. 1). And are not formed so as to overlap each other when viewed from the thickness direction (corresponding to the Z direction in FIG. 1).
For this reason, the cross section of the base 212 that passes through the narrow portion 223 in the prior art does not include the cross section of the connection portion 221 and the cross section of the mount portion 222.

これに対して、本実施形態では、図３に示すように、幅狭部２３を通過する基部１２の断面には、幅狭部２３の断面に加えて、接続部２１の断面およびマウント部２２の断面のうち少なくとも一方が含まれている。すなわち、接続部２１の断面積Ｓ１およびマウント部２２の断面積Ｓ２の面積分だけ、幅狭部２３を通過する基部１２の断面積が従来技術よりも大きくなる。   On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 3, the cross section of the base portion 12 that passes through the narrow portion 23 includes the cross section of the connection portion 21 and the mount portion 22 in addition to the cross section of the narrow portion 23. At least one of the cross-sections is included. That is, the cross-sectional area of the base 12 that passes through the narrow portion 23 is larger than that of the prior art by the area of the cross-sectional area S1 of the connecting portion 21 and the cross-sectional area S2 of the mount portion 22.

一般に、基部１２の断面積（振動腕部の長手方向に直交する断面積）が大きいほど、Ｘ軸周りおよびＺ軸周りの曲げ剛性（断面二次モーメント）およびＹ軸周りのねじれ剛性（断面二次極モーメント）を大きくできることが知られている。すなわち、上記構成によれば、基部１２の曲げ剛性およびねじり剛性を大きくすることができる。しかも、接続部２１の断面およびマウント部２２の断面は、幅狭部２３の断面Ｓ３の外側に追加されるので、基部１２の断面係数をより効果的に大きくすることができる。   In general, the larger the cross-sectional area of the base portion 12 (cross-sectional area perpendicular to the longitudinal direction of the vibrating arm portion), the bending rigidity (cross-sectional secondary moment) around the X-axis and Z-axis and the torsional rigidity (cross-section 2) around the Y-axis. It is known that the second pole moment) can be increased. That is, according to the above configuration, the bending rigidity and torsional rigidity of the base portion 12 can be increased. Moreover, since the cross section of the connection portion 21 and the cross section of the mount portion 22 are added outside the cross section S3 of the narrow portion 23, the cross section coefficient of the base portion 12 can be increased more effectively.

（圧電振動片の製造方法）
続いて、上述した圧電振動片４の製造方法について説明する。
まず、フォトリソグラフィ技術によって、不図示のウエハの両面に、図１に示す振動腕部１０，１１および基部１２を有する圧電振動片４の外形形状に対応した、例えば金属からなる第一保護膜を形成する。
次に、第一保護膜をマスクとして、ウエハの両面をそれぞれエッチング加工する。エッチング方法としては、例えばウエットエッチングが採用される。これにより、第一保護膜でマスクされていない領域を選択的に除去して、圧電振動片４の外形形状を形成することができる。なお、この状態で各圧電振動片４の基材は、不図示の連結部を介してウエハに連結された状態となっている。 (Method for manufacturing piezoelectric vibrating piece)
Then, the manufacturing method of the piezoelectric vibrating piece 4 mentioned above is demonstrated.
First, a first protective film made of metal, for example, corresponding to the outer shape of the piezoelectric vibrating reed 4 having the vibrating arms 10 and 11 and the base 12 shown in FIG. Form.
Next, both surfaces of the wafer are etched using the first protective film as a mask. As an etching method, for example, wet etching is employed. As a result, the region that is not masked by the first protective film can be selectively removed to form the outer shape of the piezoelectric vibrating reed 4. In this state, the base material of each piezoelectric vibrating piece 4 is in a state of being connected to the wafer via a connecting portion (not shown).

次に、公知の方法により、圧電振動片４の外表面上に電極膜をパターニングして、励振電極、引き出し電極、およびマウント電極等の各電極を形成する。
次に、圧電振動片４の基材とウエハとを連結していた連結部を切断し、各圧電振動片４の基材を個片化する。 Next, an electrode film is patterned on the outer surface of the piezoelectric vibrating reed 4 by a known method to form electrodes such as an excitation electrode, a lead electrode, and a mount electrode.
Next, the connection part which connected the base material of the piezoelectric vibrating piece 4 and the wafer is cut | disconnected, and the base material of each piezoelectric vibrating piece 4 is separated into pieces.

次に、フォトリソグラフィ技術によって、個片化された圧電振動片４の基材の＋Ｘ側面に切り欠き部２４を形成するため、切り欠き部２４の外形形状に対応した、例えば金属からなる第２保護膜を形成する。このとき、基部１２の＋Ｘ側面に、切り欠き部２４の形成領域が開口するように第２保護膜を形成する。
最後に、第２保護膜をマスクとして、基部１２の＋Ｘ側面の両面をそれぞれエッチング加工し、切り欠き部２４を形成する。エッチング加工方法としては、例えばドライエッチングが採用される。
以上により、基部１２に一対の切り欠き部２４が形成され、幅狭部２３を備えた圧電振動片４を形成できる。 Next, in order to form the notch 24 on the + X side surface of the base material of the singulated piezoelectric vibrating piece 4 by photolithography technology, a second made of, for example, metal corresponding to the outer shape of the notch 24 is formed. A protective film is formed. At this time, the second protective film is formed on the + X side surface of the base 12 so that the formation region of the notch 24 is opened.
Finally, using the second protective film as a mask, both surfaces of the + X side surface of the base portion 12 are etched to form the cutout portions 24. As an etching processing method, for example, dry etching is employed.
As described above, the pair of cutout portions 24 is formed in the base portion 12, and the piezoelectric vibrating reed 4 including the narrow portion 23 can be formed.

（効果）
本実施形態によれば、接続部側の壁面２１ａおよびマウント部側の壁面２２ａが、Ｚ方向から見て一部が重なるように形成されているので、幅狭部２３を通過する基部１２の断面を、幅狭部２３の断面のみならず、接続部２１の断面およびマウント部２２の断面によって構成することができる。すなわち、幅狭部２３の断面積を大きくすることなく、幅狭部２３を通過する基部１２の断面積を大きくすることができるので、基部の断面係数を大きくできる。したがって、幅狭部２３により振動漏れを抑制しつつ、基部１２の剛性を確保して耐衝撃性の低下を抑制できる圧電振動片４を形成できる。 (effect)
According to this embodiment, the wall surface 21a on the connection portion side and the wall surface 22a on the mount portion side are formed so as to partially overlap each other when viewed from the Z direction, so that the cross section of the base portion 12 passing through the narrow portion 23 Can be constituted not only by the cross section of the narrow portion 23 but also by the cross section of the connection portion 21 and the cross section of the mount portion 22. That is, since the cross-sectional area of the base 12 that passes through the narrow portion 23 can be increased without increasing the cross-sectional area of the narrow portion 23, the cross-sectional coefficient of the base portion can be increased. Therefore, it is possible to form the piezoelectric vibrating reed 4 that can suppress the vibration leakage by the narrow portion 23 and secure the rigidity of the base portion 12 and can suppress the decrease in impact resistance.

（実施形態の第一変形例）
次に、実施形態の第一変形例について説明する。
図４は、実施形態の第一変形例における圧電振動片４の側面図である。
図４に示すように、実施形態の第一変形例における圧電振動片４は、切り欠き部２４が、＋Ｘ側から見て、略クランク状に形成されている。なお、実施形態と同様の構成部分については説明を省略する。 (First modification of embodiment)
Next, a first modification of the embodiment will be described.
FIG. 4 is a side view of the piezoelectric vibrating piece 4 according to the first modification of the embodiment.
As illustrated in FIG. 4, the piezoelectric vibrating reed 4 according to the first modification of the embodiment has a notch portion 24 formed in a substantially crank shape when viewed from the + X side. In addition, description is abbreviate | omitted about the component similar to embodiment.

図４に示すように、切り欠き部２４の＋Ｙ側に配置された接続部側の壁面２１ａは、−Ｚ側が−Ｙ側に突出した段差形状２１ｄを有しており、略クランク状に形成されている。また、切り欠き部２４の−Ｙ側に配置されたマウント部側の壁面２２ａは、＋Ｚ側が＋Ｙ側に突出した段差形状２２ｄを有しており、略クランク状に形成されている。   As shown in FIG. 4, the wall surface 21 a on the connection portion side arranged on the + Y side of the notch 24 has a stepped shape 21 d with the −Z side protruding to the −Y side, and is formed in a substantially crank shape. ing. Further, the wall surface 22a on the mount portion side disposed on the −Y side of the notch portion 24 has a step shape 22d with the + Z side protruding to the + Y side, and is formed in a substantially crank shape.

接続部側の壁面２１ａおよびマウント部側の壁面２２ａは、Ｚ方向から見てその一部が互いに重なるように形成されている。具体的には、接続部側の壁面２１ａの段差形状２１ｄと、マウント部側の壁面２２ａの段差形状２２ｄとが、Ｚ方向から見て互いに重なるように形成されている。したがって、実施形態と同様に、幅狭部２３の断面積を大きくすることなく、基部１２の断面係数を大きくすることができる。   The wall surface 21a on the connection portion side and the wall surface 22a on the mount portion side are formed so that parts thereof overlap each other when viewed from the Z direction. Specifically, the step shape 21d of the wall surface 21a on the connection portion side and the step shape 22d of the wall surface 22a on the mount portion side are formed so as to overlap each other when viewed from the Z direction. Therefore, similarly to the embodiment, the section modulus of the base portion 12 can be increased without increasing the sectional area of the narrow portion 23.

（実施形態の第二変形例）
次に、実施形態の第二変形例について説明する。
図５は、実施形態の第二変形例における圧電振動片４の側面図である。
第二変形例における圧電振動片４は、切り欠き部２４が、＋Ｘ側から見て、略Ｖ字形状に形成されている。なお、実施形態と同様の構成部分については説明を省略する。 (Second modification of the embodiment)
Next, a second modification of the embodiment will be described.
FIG. 5 is a side view of the piezoelectric vibrating piece 4 in the second modification of the embodiment.
In the piezoelectric vibrating piece 4 in the second modified example, the notch 24 is formed in a substantially V shape when viewed from the + X side. In addition, description is abbreviate | omitted about the component similar to embodiment.

図５に示すように、切り欠き部２４の＋Ｙ側に配置された接続部側の壁面２１ａおよび切り欠き部２４の−Ｙ側に配置されたマウント部側の壁面２２ａは、＋Ｘ側から見て、Ｚ方向の略中間付近における＋Ｙ側にそれぞれ頂部２１ｅ，２２ｅを有しており、略Ｖ字形状に形成されている。なお、切り欠き部２４の形状は、＋Ｘ側から見て略Ｖ字形状に限定されず、例えば、＋Ｘ側から見て略Ｗ字形状に形成されていてもよい。   As shown in FIG. 5, the wall surface 21a on the connection portion side disposed on the + Y side of the notch 24 and the wall surface 22a on the mount portion side disposed on the −Y side of the notch portion 24 are viewed from the + X side. , Have apexes 21e and 22e on the + Y side in the vicinity of the approximate middle in the Z direction, and are formed in a substantially V shape. Note that the shape of the notch 24 is not limited to a substantially V shape when viewed from the + X side, and may be formed in a substantially W shape when viewed from the + X side, for example.

接続部側の壁面２１ａおよびマウント部側の壁面２２ａは、Ｚ方向から見て一部が重なるように形成されている。具体的には、マウント部側の壁面２２ａの頂部２２ｅは、接続部側の壁面２１ａの＋Ｚ側縁部２１ｂおよび−Ｚ側縁部２１ｃよりも＋Ｙ側に配置されるように形成されている。したがって、実施形態と同様に、幅狭部２３の断面積を大きくすることなく、基部１２の断面係数を大きくすることができる。   The wall surface 21a on the connection portion side and the wall surface 22a on the mount portion side are formed so as to partially overlap each other when viewed from the Z direction. Specifically, the top portion 22e of the wall surface 22a on the mount portion side is formed so as to be disposed on the + Y side with respect to the + Z side edge portion 21b and the −Z side edge portion 21c of the wall surface 21a on the connection portion side. Therefore, similarly to the embodiment, the section modulus of the base portion 12 can be increased without increasing the sectional area of the narrow portion 23.

（実施形態の第三変形例）
次に、実施形態の第三変形例について説明する。
図６は、第三変形例における圧電振動片４の側面図である。
第三変形例の圧電振動片４は、切り欠き部２４の−Ｘ側の底部２４ａにリブ２５が形成されている。なお、実施形態と同様の構成部分については説明を省略する。 (Third Modification of Embodiment)
Next, a third modification of the embodiment will be described.
FIG. 6 is a side view of the piezoelectric vibrating piece 4 in the third modification.
In the piezoelectric vibrating reed 4 of the third modified example, a rib 25 is formed on the bottom portion 24 a on the −X side of the notch portion 24. In addition, description is abbreviate | omitted about the component similar to embodiment.

図６に示すように、切り欠き部２４の＋Ｙ側に配置された接続部側の壁面２１ａおよび切り欠き部２４の−Ｙ側に配置されたマウント部側の壁面２２ａは、傾斜面となっている。なお、本変形例における切り欠き部２４の深さは、実施形態における切り欠き部２４の深さと同一に形成されている。また、本変形例における接続部壁面２１ａとマウント部壁面２２ａとの離間距離（すなわち切り欠き部２４のＹ方向の幅）は、実施形態における接続部側の壁面２１ａとマウント部側の壁面２２ａとの離間距離と同一に形成されている。   As shown in FIG. 6, the wall surface 21 a on the connection portion side disposed on the + Y side of the cutout portion 24 and the wall surface 22 a on the mount portion side disposed on the −Y side of the cutout portion 24 are inclined surfaces. Yes. In addition, the depth of the notch part 24 in this modification is formed the same as the depth of the notch part 24 in the embodiment. In addition, the separation distance between the connection portion wall surface 21a and the mount portion wall surface 22a (that is, the width in the Y direction of the notch portion 24) in the present modification is the same as that between the connection portion side wall surface 21a and the mount portion side wall surface 22a. Are formed to be the same as the separation distance.

切り欠き部２４には、切り欠き部２４の底部２４ａ（すなわち幅狭部２３の＋Ｘ側面）から、＋Ｘ側に突出するリブ２５が形成されている。
リブ２５は、Ｙ方向に一定の幅を有しており、切り欠き部２４のＹ方向における略中間付近において、接続部側の壁面２１ａおよびマウント部側の壁面２２ａに対して略平行に延びて一本形成されている。リブ２５は、Ｘ方向の高さが、例えば切り欠き部２４の深さと略同等になるように形成されている。
なお、切り欠き部２４に形成されるリブ２５の本数は一本に限定されることはなく、複数本であってもよい。また、リブ２５の高さ、長さを適宜変更することも可能である。 The notch 24 is formed with a rib 25 protruding from the bottom 24a of the notch 24 (that is, the + X side surface of the narrow part 23) toward the + X side.
The rib 25 has a certain width in the Y direction, and extends substantially parallel to the wall surface 21a on the connection portion side and the wall surface 22a on the mount portion side in the vicinity of a substantially middle portion in the Y direction of the notch portion 24. One is formed. The rib 25 is formed so that the height in the X direction is substantially equal to the depth of the notch 24, for example.
In addition, the number of the ribs 25 formed in the notch 24 is not limited to one, and may be a plurality. It is also possible to change the height and length of the rib 25 as appropriate.

図７は、第三変形例における基部１２の断面図である。なお、図７は、図１のＡ−Ａ線に相当する位置における基部１２の断面図となっている。
図７に示すように、幅狭部２３を通過する基部１２の断面積には、幅狭部２３の断面積Ｓ３に加えて、接続部２１の断面積Ｓ１、マウント部２２の断面積Ｓ２およびリブ２５の断面積Ｓ４が含まれる。すなわち、接続部２１の断面積Ｓ１、マウント部２２の断面積Ｓ２およびリブ２５の断面積Ｓ４の面積分だけ、幅狭部２３を通過する基部１２の断面積を大きくすることができる。 FIG. 7 is a cross-sectional view of the base 12 in the third modification. 7 is a cross-sectional view of the base 12 at a position corresponding to the line AA in FIG.
As shown in FIG. 7, in addition to the cross-sectional area S3 of the narrow portion 23, the cross-sectional area of the base portion 12 passing through the narrow portion 23 includes the cross-sectional area S1 of the connecting portion 21, the cross-sectional area S2 of the mount portion 22, and The cross-sectional area S4 of the rib 25 is included. That is, the cross-sectional area of the base portion 12 passing through the narrow portion 23 can be increased by the area of the cross-sectional area S1 of the connecting portion 21, the cross-sectional area S2 of the mount portion 22, and the cross-sectional area S4 of the rib 25.

本変形例によれば、切り欠き部２４にリブ２５を形成しているので、幅狭部２３を大きくすることなく、基部１２の断面係数を大きくできる。したがって、振動漏れ防止特性を確保しつつ、基部１２の剛性を十分に確保して耐衝撃性の低下を抑制できる圧電振動片４を形成できる。また、リブ２５の幅や高さを調整することにより、基部１２の断面係数および耐衝撃性を自在に調整できる。   According to this modification, since the rib 25 is formed in the notch portion 24, the section modulus of the base portion 12 can be increased without increasing the narrow portion 23. Therefore, it is possible to form the piezoelectric vibrating reed 4 that can ensure the vibration leakage prevention characteristics and sufficiently ensure the rigidity of the base portion 12 to suppress the decrease in impact resistance. Further, by adjusting the width and height of the rib 25, the section modulus and impact resistance of the base 12 can be freely adjusted.

（実施形態の第四変形例）
次に、実施形態の第四変形例について説明する。
図８は、実施形態の第四変形例における圧電振動片４Ａの平面図である。
第四変形例では、いわゆるサイドアームタイプの音叉型の圧電振動片４Ａである。なお、実施形態と同様の構成部分については説明を省略する。 (Fourth modification of the embodiment)
Next, a fourth modification of the embodiment will be described.
FIG. 8 is a plan view of the piezoelectric vibrating piece 4A according to the fourth modification of the embodiment.
The fourth modification is a so-called side arm type tuning fork type piezoelectric vibrating piece 4A. In addition, description is abbreviate | omitted about the component similar to embodiment.

図８に示すように、本変形例の圧電振動片４Ａには、基部１２のうち、マウント部２２に一対のサイドアーム２７が一体的に形成されている。マウント部２２は、基部１２の−Ｙ側に配置されたマウント部本体２８と、マウント部本体２８の−Ｙ側において、Ｘ方向に沿って＋Ｘ側に延びる一対のサイドアーム２７と、を備えている。圧電振動片４Ａは、サイドアーム２７の先端部に形成された不図示のマウント電極を介して、例えばパッケージ等に実装される。   As shown in FIG. 8, in the piezoelectric vibrating piece 4 </ b> A of the present modification, a pair of side arms 27 are integrally formed with the mount portion 22 in the base portion 12. The mount portion 22 includes a mount portion main body 28 disposed on the −Y side of the base portion 12, and a pair of side arms 27 extending on the + Y side along the X direction on the −Y side of the mount portion main body 28. Yes. The piezoelectric vibrating piece 4 </ b> A is mounted on, for example, a package or the like via a mount electrode (not shown) formed at the distal end portion of the side arm 27.

本変形例によれば、マウント部２２にサイドアーム２７を備えているので、圧電振動片４ＡのＹ方向における長さを増大させることなく、振動腕部１０，１１からマウント電極が形成されたサイドアーム２７の先端部までの距離を長く確保できる。これにより、幅狭部２３を通過した振動腕部１０，１１からの漏れ振動をマウント部２２のサイドアーム２７で十分減衰させることができる。したがって、実施形態の効果に加えて、圧電振動片４ＡのＹ方向における長さを増大させることなくさらに振動漏れを抑制できる。なお、サイドアーム２７の形状はこれに限られるものではなく、さらに振動腕部１０、１１の先端側へ向けて延びる形状でもよい。また、マウント部２２の位置も適宜変更可能である。   According to this modification, since the mount portion 22 includes the side arm 27, the side on which the mount electrode is formed from the vibrating arm portions 10 and 11 without increasing the length of the piezoelectric vibrating piece 4A in the Y direction. A long distance to the tip of the arm 27 can be secured. Accordingly, the leakage vibration from the vibrating arm portions 10 and 11 that have passed through the narrow portion 23 can be sufficiently damped by the side arm 27 of the mount portion 22. Therefore, in addition to the effects of the embodiment, vibration leakage can be further suppressed without increasing the length of the piezoelectric vibrating piece 4A in the Y direction. The shape of the side arm 27 is not limited to this, and may be a shape that extends further toward the distal end side of the vibrating arm portions 10 and 11. Further, the position of the mount portion 22 can be changed as appropriate.

（圧電振動子）
次に、上述した実施形態の圧電振動片４を備えたパッケージ９として、圧電振動子１を説明する。
図９は、圧電振動子１の外観斜視図である。
図１０は、圧電振動子１の内部構成図であって、リッド基板３を取り外した状態の平面図である。
図１１は、図１０のＢ−Ｂ線における断面図である。
図１２は、図９に示す圧電振動子１の分解斜視図である。
なお、以下の説明では、ベース基板２のリッド基板３との接合面を第一面Ｕ（図１０参照）とし、ベース基板２の外側面を第二面Ｌ（図１１参照）として説明する。また、図１０および図１２では、圧電振動片４の主面に形成された各電極の図示を省略している。
図９に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、ベース基板２およびリッド基板３が接合膜３５を介して陽極接合されたパッケージ９と、図１１に示すように、パッケージ９のキャビティ３ａに収納された圧電振動片４と、を備えた表面実装型の圧電振動子１である。 (Piezoelectric vibrator)
Next, the piezoelectric vibrator 1 will be described as a package 9 including the piezoelectric vibrating reed 4 of the above-described embodiment.
FIG. 9 is an external perspective view of the piezoelectric vibrator 1.
FIG. 10 is an internal configuration diagram of the piezoelectric vibrator 1 and is a plan view showing a state in which the lid substrate 3 is removed.
11 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.
FIG. 12 is an exploded perspective view of the piezoelectric vibrator 1 shown in FIG.
In the following description, the bonding surface of the base substrate 2 to the lid substrate 3 is described as a first surface U (see FIG. 10), and the outer surface of the base substrate 2 is described as a second surface L (see FIG. 11). 10 and 12, illustration of each electrode formed on the main surface of the piezoelectric vibrating piece 4 is omitted.
As shown in FIG. 9, the piezoelectric vibrator 1 of this embodiment includes a package 9 in which a base substrate 2 and a lid substrate 3 are anodically bonded via a bonding film 35, and a cavity of the package 9 as shown in FIG. A surface-mounted piezoelectric vibrator 1 including a piezoelectric vibrating piece 4 housed in 3a.

ベース基板２およびリッド基板３は、ガラス材料、例えばソーダ石灰ガラスからなる陽極接合可能な基板であり、略板状に形成されている。リッド基板３におけるベース基板２との接合面側には、圧電振動片４を収容するキャビティ３ａが形成されている。   The base substrate 2 and the lid substrate 3 are anodic bondable substrates made of a glass material such as soda lime glass, and are formed in a substantially plate shape. A cavity 3 a for accommodating the piezoelectric vibrating reed 4 is formed on the side of the lid substrate 3 that is bonded to the base substrate 2.

リッド基板３におけるベース基板２との接合面側の全体に、陽極接合用の接合膜３５（接合材）が形成されている。接合膜３５は、キャビティ３ａの内面全体に加えて、キャビティ３ａの周囲の額縁領域に形成されている。本実施形態の接合膜３５は、アルミニウムにより形成されているが、クロムやシリコン等で接合膜３５を形成することも可能である。この接合膜３５とベース基板２とが陽極接合され、キャビティ３ａが真空封止されている。   A bonding film 35 (bonding material) for anodic bonding is formed on the entire bonding surface side of the lid substrate 3 with the base substrate 2. The bonding film 35 is formed in the frame area around the cavity 3a in addition to the entire inner surface of the cavity 3a. Although the bonding film 35 of the present embodiment is formed of aluminum, the bonding film 35 can be formed of chromium, silicon, or the like. The bonding film 35 and the base substrate 2 are anodically bonded, and the cavity 3a is vacuum-sealed.

圧電振動子１は、ベース基板２を厚さ方向（Ｚ方向）に貫通し、キャビティ３ａの内側と圧電振動子１の外側とを導通する貫通電極３２，３３を備えている。そして、貫通電極３２，３３は、ベース基板２を貫通する貫通孔３０，３１内に配置され、圧電振動片４と外部とを電気的に接続する金属ピン７と、貫通孔３０，３１と金属ピン７との間に充填される筒体６と、により形成されている。なお、以下には貫通電極３２を例にして説明するが、貫通電極３３についても同様である。また、貫通電極３３、引き回し電極３７および外部電極３９の電気的接続についても、貫通電極３２、引き回し電極３６および外部電極３８の電気的接続と同様となっている。   The piezoelectric vibrator 1 includes penetrating electrodes 32 and 33 that penetrate the base substrate 2 in the thickness direction (Z direction) and conduct the inside of the cavity 3 a and the outside of the piezoelectric vibrator 1. The through electrodes 32 and 33 are disposed in the through holes 30 and 31 that penetrate the base substrate 2, and the metal pins 7 that electrically connect the piezoelectric vibrating reed 4 and the outside, the through holes 30 and 31, and the metal And a cylindrical body 6 filled between the pins 7. In the following description, the through electrode 32 is described as an example, but the same applies to the through electrode 33. The electrical connection of the through electrode 33, the routing electrode 37 and the external electrode 39 is the same as the electrical connection of the through electrode 32, the routing electrode 36 and the external electrode 38.

貫通孔３０は、ベース基板２の第一面Ｕ側から第二面Ｌ側にかけて、内形が次第に大きくなるように形成されており、貫通孔３０の中心軸を含む断面形状が略テーパ状となるように形成されている。
金属ピン７は、銀やニッケル合金、アルミニウム等の金属材料により形成された導電性の棒状部材であり、鍛造やプレス加工により成型される。金属ピン７は、線膨張係数がベース基板２のガラス材料と近い金属、例えば、鉄を５８重量パーセント、ニッケルを４２重量パーセント含有する合金（４２アロイ）で形成することが望ましい。
筒体６は、ペースト状のガラスフリットが焼成されたものである。筒体６の中心には、金属ピン７が筒体６を貫通するように配されており、筒体６は、金属ピン７および貫通孔３０に対して強固に固着している。 The through hole 30 is formed so that the inner shape gradually increases from the first surface U side to the second surface L side of the base substrate 2, and the cross-sectional shape including the central axis of the through hole 30 is substantially tapered. It is formed to become.
The metal pin 7 is a conductive rod-shaped member formed of a metal material such as silver, nickel alloy, or aluminum, and is molded by forging or pressing. The metal pin 7 is preferably formed of a metal having a linear expansion coefficient close to that of the glass material of the base substrate 2, for example, an alloy (42 alloy) containing 58 weight percent iron and 42 weight percent nickel.
The cylinder 6 is obtained by baking paste-like glass frit. At the center of the cylinder 6, a metal pin 7 is arranged so as to penetrate the cylinder 6, and the cylinder 6 is firmly fixed to the metal pin 7 and the through hole 30.

図１２に示すように、ベース基板２の第一面Ｕ側には、一対の引き回し電極３６，３７がパターニングされている。また、これら一対の引き回し電極３６，３７上にそれぞれ金等からなるバンプＢが形成されており、バンプＢを利用して圧電振動片４の一対のマウント電極が実装されている。これにより、圧電振動片４の一方のマウント電極が、一方の引き回し電極３６を介して一方の貫通電極３２に導通し、他方のマウント電極が、他方の引き回し電極３７を介して他方の貫通電極３３に導通するようになっている。   As shown in FIG. 12, a pair of routing electrodes 36 and 37 are patterned on the first surface U side of the base substrate 2. Further, bumps B made of gold or the like are formed on the pair of lead-out electrodes 36 and 37, respectively, and a pair of mount electrodes of the piezoelectric vibrating reed 4 are mounted using the bumps B. Thereby, one mount electrode of the piezoelectric vibrating reed 4 is electrically connected to one through electrode 32 via one routing electrode 36, and the other mount electrode is connected to the other through electrode 33 via the other routing electrode 37. It is supposed to be conductive.

ベース基板２の第二面Ｌには、一対の外部電極３８，３９が形成されている。一対の外部電極３８，３９は、ベース基板２の長手方向（Ｙ方向）の両端部に形成され、一対の貫通電極３２，３３に対してそれぞれ電気的に接続されている。   A pair of external electrodes 38 and 39 is formed on the second surface L of the base substrate 2. The pair of external electrodes 38 and 39 are formed at both ends in the longitudinal direction (Y direction) of the base substrate 2, and are electrically connected to the pair of through electrodes 32 and 33, respectively.

このように構成された圧電振動子１を作動させる場合には、ベース基板２に形成された外部電極３８，３９に対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片４の励振電極に電圧を印加できるので、一対の振動腕部１０，１１を接近および離間させる方向（Ｘ方向）に所定の周波数で振動させることができる。そして、この一対の振動腕部１０，１１の振動を利用して、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として利用できる。   When the piezoelectric vibrator 1 configured in this way is operated, a predetermined drive voltage is applied to the external electrodes 38 and 39 formed on the base substrate 2. Thereby, since a voltage can be applied to the excitation electrode of the piezoelectric vibrating piece 4, the pair of vibrating arm portions 10 and 11 can be vibrated at a predetermined frequency in the direction in which the pair of vibrating arms 10 and 11 approach and separate (X direction). The vibration of the pair of vibrating arm portions 10 and 11 can be used as a time source, a timing source for control signals, a reference signal source, and the like.

（効果）
本実施形態によれば、幅狭部２３により振動漏れを抑制しつつ、基部１２の剛性を確保して耐衝撃性の低下を抑制できる圧電振動片４を備えているので、ＣＩ値の上昇を抑制でき、かつ耐衝撃性に優れた圧電振動子１を提供できる。 (effect)
According to the present embodiment, since the piezoelectric resonator element 4 is provided that can suppress the vibration leakage by the narrow portion 23 and secure the rigidity of the base portion 12 and suppress the decrease in impact resistance, the CI value can be increased. The piezoelectric vibrator 1 that can be suppressed and has excellent impact resistance can be provided.

（発振器）
次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図１３を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器１１０は、図１３に示すように、圧電振動子１を、集積回路１１１に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器１１０は、コンデンサ等の電子素子部品１１２が実装された基板１１３を備えている。基板１１３には、発振器用の前記集積回路１１１が実装されており、この集積回路１１１の近傍に、圧電振動子１の圧電振動片が実装されている。これら電子素子部品１１２、集積回路１１１および圧電振動子１は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。 (Oscillator)
Next, an embodiment of an oscillator according to the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 13, the oscillator 110 according to the present embodiment is configured by configuring the piezoelectric vibrator 1 as an oscillator electrically connected to the integrated circuit 111. The oscillator 110 includes a substrate 113 on which an electronic element component 112 such as a capacitor is mounted. An integrated circuit 111 for an oscillator is mounted on the substrate 113, and a piezoelectric vibrating piece of the piezoelectric vibrator 1 is mounted in the vicinity of the integrated circuit 111. The electronic element component 112, the integrated circuit 111, and the piezoelectric vibrator 1 are electrically connected by a wiring pattern (not shown). Each component is molded with a resin (not shown).

このように構成された発振器１１０において、圧電振動子１に電圧を印加すると、圧電振動子１内の圧電振動片が振動する。この振動は、圧電振動片が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路１１１に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路１１１によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。これにより、圧電振動子１が発振子として機能する。
また、集積回路１１１の構成を、例えば、ＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加できる。 In the oscillator 110 configured as described above, when a voltage is applied to the piezoelectric vibrator 1, the piezoelectric vibrating piece in the piezoelectric vibrator 1 vibrates. This vibration is converted into an electric signal by the piezoelectric characteristics of the piezoelectric vibrating piece and input to the integrated circuit 111 as an electric signal. The input electrical signal is subjected to various processes by the integrated circuit 111 and output as a frequency signal. Thereby, the piezoelectric vibrator 1 functions as an oscillator.
In addition, by selectively setting the configuration of the integrated circuit 111, for example, an RTC (real-time clock) module or the like as required, the operation date and time of the device or external device in addition to a single-function oscillator for a clock, etc. Functions such as controlling time and providing time and calendar can be added.

本実施形態の発振器１１０によれば、ＣＩ値の上昇を抑制でき、かつ耐衝撃性に優れた圧電振動子１を備えているので、高効率で耐衝撃性に優れた発振器１１０を提供できる。   According to the oscillator 110 of the present embodiment, since the increase of the CI value can be suppressed and the piezoelectric vibrator 1 having excellent impact resistance is provided, the oscillator 110 having high efficiency and excellent impact resistance can be provided.

（電子機器）
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図１４を参照して説明する。なお電子機器として、前述した圧電振動子１を有する携帯情報機器１２０を例にして説明する。
始めに本実施形態の携帯情報機器１２０は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカおよびマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化および軽量化されている。 (Electronics)
Next, an embodiment of an electronic apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. Note that a portable information device 120 having the above-described piezoelectric vibrator 1 will be described as an example of the electronic device.
First, the portable information device 120 of this embodiment is represented by, for example, a mobile phone, and is a development and improvement of a wrist watch in the prior art. The appearance is similar to that of a wristwatch, and a liquid crystal display is arranged in a portion corresponding to a dial so that the current time and the like can be displayed on this screen. Further, when used as a communication device, it is possible to perform communication similar to that of a conventional mobile phone by using a speaker and a microphone that are removed from the wrist and incorporated in the inner portion of the band. However, it is much smaller and lighter than conventional mobile phones.

次に、本実施形態の携帯情報機器１２０の構成について説明する。この携帯情報機器１２０は、図１４に示すように、圧電振動子１と、電力を供給するための電源部１２１とを備えている。電源部１２１は、例えば、リチウム二次電池からなっている。この電源部１２１には、各種制御を行う制御部１２２と、時刻等のカウントを行う計時部１２３と、外部との通信を行う通信部１２４と、各種情報を表示する表示部１２５と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部１２６とが並列に接続されている。そして、電源部１２１によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。   Next, the configuration of the portable information device 120 of this embodiment will be described. As shown in FIG. 14, the portable information device 120 includes the piezoelectric vibrator 1 and a power supply unit 121 for supplying power. The power supply unit 121 is made of, for example, a lithium secondary battery. The power supply unit 121 includes a control unit 122 that performs various controls, a clock unit 123 that counts time, a communication unit 124 that communicates with the outside, a display unit 125 that displays various information, and the like. A voltage detection unit 126 that detects the voltage of the functional unit is connected in parallel. Power is supplied to each functional unit by the power supply unit 121.

制御部１２２は、各機能部を制御して音声データの送信や受信、現在時刻の計測、表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部１２２は、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、該ＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出して実行するＣＰＵと、該ＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭ等とを備えている。   The control unit 122 controls each function unit to control operation of the entire system such as transmission and reception of audio data, measurement and display of the current time, and the like. The control unit 122 includes a ROM in which a program is written in advance, a CPU that reads and executes the program written in the ROM, and a RAM that is used as a work area for the CPU.

計時部１２３は、発振回路やレジスタ回路、カウンタ回路、インターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子１とを備えている。圧電振動子１に電圧を印加すると圧電振動片が振動し、該振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部１２２と信号の送受信が行われ、表示部１２５に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。   The timer unit 123 includes an integrated circuit including an oscillation circuit, a register circuit, a counter circuit, an interface circuit, and the like, and the piezoelectric vibrator 1. When a voltage is applied to the piezoelectric vibrator 1, the piezoelectric vibrating piece vibrates, and the vibration is converted into an electric signal by the piezoelectric characteristics of the crystal, and is input to the oscillation circuit as an electric signal. The output of the oscillation circuit is binarized and counted by a register circuit and a counter circuit. Then, signals are transmitted to and received from the control unit 122 through the interface circuit, and the current time, current date, calendar information, and the like are displayed on the display unit 125.

通信部１２４は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部１２７、音声処理部１２８、切替部１２９、増幅部１３０、音声入出力部１３１、電話番号入力部１３２、着信音発生部１３３および呼制御メモリ部１３４を備えている。
無線部１２７は、音声データ等の各種データを、アンテナ１３５を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部１２８は、無線部１２７又は増幅部１３０から入力された音声信号を符号化および複号化する。増幅部１３０は、音声処理部１２８又は音声入出力部１３１から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部１３１は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。 The communication unit 124 has functions similar to those of a conventional mobile phone, and includes a radio unit 127, a voice processing unit 128, a switching unit 129, an amplification unit 130, a voice input / output unit 131, a telephone number input unit 132, a ring tone generation unit. 133 and a call control memory unit 134.
The radio unit 127 exchanges various data such as audio data with the base station via the antenna 135. The audio processing unit 128 encodes and decodes the audio signal input from the radio unit 127 or the amplification unit 130. The amplifying unit 130 amplifies the signal input from the audio processing unit 128 or the audio input / output unit 131 to a predetermined level. The voice input / output unit 131 includes a speaker, a microphone, and the like, and amplifies a ringtone and a received voice or collects a voice.

また、着信音発生部１３３は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部１２９は、着信時に限って、音声処理部１２８に接続されている増幅部１３０を着信音発生部１３３に切り替えることによって、着信音発生部１３３において生成された着信音が増幅部１３０を介して音声入出力部１３１に出力される。
なお、呼制御メモリ部１３４は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部１３２は、例えば、０から９の番号キーおよびその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。 In addition, the ring tone generator 133 generates a ring tone in response to a call from the base station. The switching unit 129 switches the amplifying unit 130 connected to the voice processing unit 128 to the ringing tone generating unit 133 only when an incoming call is received, so that the ringing tone generated by the ringing tone generating unit 133 passes through the amplifying unit 130. To the audio input / output unit 131.
Note that the call control memory unit 134 stores a program related to incoming / outgoing call control of communication. The telephone number input unit 132 includes, for example, number keys from 0 to 9 and other keys. By pressing these number keys and the like, a telephone number of a call destination is input.

電圧検出部１２６は、電源部１２１によって制御部１２２等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部１２２に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部１２４を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、例えば、３Ｖ程度となる。電圧検出部１２６から電圧降下の通知を受けた制御部１２２は、無線部１２７、音声処理部１２８、切替部１２９および着信音発生部１３３の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部１２７の動作停止は、必須となる。更に、表示部１２５に、通信部１２４が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。   The voltage detection unit 126 detects the voltage drop and notifies the control unit 122 when the voltage applied to each functional unit such as the control unit 122 by the power supply unit 121 falls below a predetermined value. . The predetermined voltage value at this time is a value set in advance as a minimum voltage necessary to stably operate the communication unit 124, and is, for example, about 3V. Upon receiving the voltage drop notification from the voltage detection unit 126, the control unit 122 prohibits the operations of the radio unit 127, the voice processing unit 128, the switching unit 129, and the ring tone generation unit 133. In particular, it is essential to stop the operation of the wireless unit 127 with high power consumption. Further, the display unit 125 displays that the communication unit 124 has become unusable due to insufficient battery power.

すなわち、電圧検出部１２６と制御部１２２とによって、通信部１２４の動作を禁止し、その旨を表示部１２５に表示できる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部１２５の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×（バツ）印を付けるようにしても良い。
なお、通信部１２４の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断できる電源遮断部１３６を備えることで、通信部１２４の機能をより確実に停止できる。 That is, the operation of the communication unit 124 can be prohibited by the voltage detection unit 126 and the control unit 122, and that effect can be displayed on the display unit 125. This display may be a text message, but as a more intuitive display, a x (X) mark may be attached to the telephone icon displayed at the top of the display surface of the display unit 125.
In addition, the function of the communication part 124 can be stopped more reliably by providing the power cutoff part 136 that can selectively cut off the power supply of the part related to the function of the communication part 124.

本実施形態の携帯情報機器１２０によれば、ＣＩ値の上昇を抑制でき、かつ耐衝撃性に優れた圧電振動子１を備えているので、高効率で耐衝撃性に優れた携帯情報機器１２０を提供できる。   According to the portable information device 120 of this embodiment, since the piezoelectric vibrator 1 that can suppress an increase in CI value and has excellent impact resistance is provided, the portable information device 120 that is highly efficient and excellent in impact resistance. Can provide.

（電波時計）
次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図１５を参照して説明する。
本実施形態の電波時計１４０は、図１５に示すように、フィルタ部１４１に電気的に接続された圧電振動子１を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県（４０ｋＨｚ）と佐賀県（６０ｋＨｚ）とに、標準の電波を送信する送信所（送信局）があり、それぞれ標準電波を送信している。４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、前述した２つの送信所で日本国内を全て網羅している。 (Radio watch)
Next, an embodiment of a radio timepiece according to the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 15, the radio-controlled timepiece 140 of the present embodiment includes the piezoelectric vibrator 1 that is electrically connected to the filter unit 141. The radio-controlled timepiece 140 receives a standard radio wave including timepiece information and is accurate. It is a clock with a function of automatically correcting and displaying the correct time.
In Japan, there are transmitting stations (transmitting stations) that transmit standard radio waves in Fukushima Prefecture (40 kHz) and Saga Prefecture (60 kHz), each transmitting standard radio waves. Long waves such as 40 kHz or 60 kHz have both the property of propagating the ground surface and the property of propagating while reflecting the ionosphere and the ground surface, so the propagation range is wide, and the above two transmitting stations cover all of Japan. doing.

以下、電波時計１４０の機能的構成について詳細に説明する。
アンテナ１４２は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの搬送波にＡＭ変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ１４３によって増幅され、複数の圧電振動子１を有するフィルタ部１４１によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子１は、前記搬送周波数と同一の４０ｋＨｚおよび６０ｋＨｚの共振周波数を有する水晶振動子部１４８、１４９をそれぞれ備えている。 Hereinafter, the functional configuration of the radio timepiece 140 will be described in detail.
The antenna 142 receives a long standard wave of 40 kHz or 60 kHz. The long-wave standard radio wave is obtained by subjecting time information called a time code to AM modulation on a 40 kHz or 60 kHz carrier wave. The received long standard wave is amplified by the amplifier 143 and filtered and tuned by the filter unit 141 having the plurality of piezoelectric vibrators 1.
The piezoelectric vibrator 1 according to this embodiment includes crystal vibrator portions 148 and 149 having resonance frequencies of 40 kHz and 60 kHz that are the same as the carrier frequency.

更に、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路１４４により検波復調される。
続いて、波形整形回路１４５を介してタイムコードが取り出され、ＣＰＵ１４６でカウントされる。ＣＰＵ１４６では、現在の年や積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、ＲＴＣ１４７に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚであるから、水晶振動子部１４８、１４９は、前述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。 Further, the filtered signal having a predetermined frequency is detected and demodulated by the detection and rectification circuit 144.
Subsequently, the time code is taken out via the waveform shaping circuit 145 and counted by the CPU 146. The CPU 146 reads information such as the current year, accumulated date, day of the week, and time. The read information is reflected in the RTC 147, and accurate time information is displayed.
Since the carrier wave is 40 kHz or 60 kHz, the crystal vibrator portions 148 and 149 are preferably vibrators having the tuning fork type structure described above.

なお、前述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。例えば、ドイツでは７７．５ＫＨｚの標準電波が用いられている。従って、海外でも対応可能な電波時計１４０を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の圧電振動子１を必要とする。   In addition, although the above-mentioned description was shown in the example in Japan, the frequency of the long standard wave is different overseas. For example, in Germany, a standard radio wave of 77.5 KHz is used. Therefore, when the radio timepiece 140 that can be used overseas is incorporated in a portable device, the piezoelectric vibrator 1 having a frequency different from that in Japan is required.

本実施形態の電波時計１４０によれば、ＣＩ値の上昇を抑制でき、かつ耐衝撃性に優れた圧電振動子１を備えているので、高効率で耐衝撃性に優れた電波時計１４０を提供できる。   According to the radio timepiece 140 of the present embodiment, since the piezoelectric vibrator 1 that can suppress an increase in CI value and has excellent impact resistance is provided, the radio timepiece 140 that is highly efficient and excellent in impact resistance is provided. it can.

なお、この発明の技術範囲は上記実施の形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。   The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

実施形態では、表面実装型の圧電振動子１に本発明の圧電振動片４を採用しているが、これに限らず、例えばシリンダーパッケージタイプの圧電振動子に本発明の圧電振動片４を採用しても構わない。また、セラミックパッケージを採用してもよい。   In the embodiment, the piezoelectric vibrating piece 4 of the present invention is used for the surface-mount type piezoelectric vibrator 1. However, the present invention is not limited to this, and for example, the piezoelectric vibrating piece 4 of the present invention is used for a cylinder package type piezoelectric vibrator. It doesn't matter. A ceramic package may be adopted.

また、実施形態および実施形態の各変形例では、基部１２に一対の切り欠き部２４が形成されていたが、基部１２に複数対の切り欠き部２４が形成されていてもよい。このとき、切り欠き部２４は、＋Ｘ側から見てＹ方向に並んで形成される。切り欠き部２４を複数対形成することにより、幅狭部２３の形成範囲がＹ方向に長くなるため、基部１２の剛性が低下するが、より良好に振動漏れを抑制できる。このように、切り欠き部２４の個数を変更することで、幅狭部２３の形成範囲を変更でき、基部１２の剛性と振動漏れ防止特性とのバランスを調整できる。   In the embodiment and each modification of the embodiment, the pair of notches 24 are formed in the base 12, but a plurality of pairs of notches 24 may be formed in the base 12. At this time, the notches 24 are formed side by side in the Y direction when viewed from the + X side. By forming a plurality of pairs of cutout portions 24, the formation range of the narrow portion 23 becomes longer in the Y direction, so that the rigidity of the base portion 12 is reduced, but vibration leakage can be suppressed more favorably. Thus, by changing the number of the notches 24, the formation range of the narrow portion 23 can be changed, and the balance between the rigidity of the base 12 and the vibration leakage prevention characteristics can be adjusted.

切り欠き部２４の形状は、実施形態および実施形態の各変形例の形状に限定されることはない。
実施形態の切り欠き部２４は、＋Ｘ側から見て、接続部側の壁面２１ａおよびマウント部側の壁面２２ａが略平行に形成されていた。これに対して、接続部側の壁面２１ａおよびマウント部側の壁面２２ａは、例えば、＋Ｚ側から−Ｚ側に向かって漸次接近するように形成されていてもよい。 The shape of the notch 24 is not limited to the shape of the embodiment and each modification of the embodiment.
In the cutout portion 24 of the embodiment, the wall surface 21a on the connection portion side and the wall surface 22a on the mount portion side are formed substantially in parallel when viewed from the + X side. On the other hand, the wall surface 21a on the connection portion side and the wall surface 22a on the mount portion side may be formed so as to gradually approach from the + Z side to the −Z side, for example.

実施形態では、切り欠き部２４は、ドライエッチングにより形成されていたが、例えばレーザトリミングや機械加工等により形成されていてもよい。   In the embodiment, the cutout portion 24 is formed by dry etching, but may be formed by, for example, laser trimming or machining.

実施形態では、ウエハと圧電振動片４の基材とを切断し、圧電振動片４の基材を個片化した後に切り欠き部２４を形成していた。これに対して、例えば、ウエハと圧電振動片４の基材とが連結した状態で、圧電振動片４の基材を個片化する前に切り欠き部２４を形成してもよい。この場合、切り欠き部２４の傾斜に対応する角度でレーザを照射してレーザトリミングを行うことにより、圧電振動片４の基材を個片化することなく切り欠き部２４を形成できる。したがって、作業効率よく切り欠き部２４を形成できる。   In the embodiment, the wafer and the base material of the piezoelectric vibrating piece 4 are cut, and the cutout portion 24 is formed after the piezoelectric vibrating piece 4 is separated into individual pieces. On the other hand, for example, the cutout portion 24 may be formed in a state where the wafer and the base material of the piezoelectric vibrating piece 4 are connected before the piezoelectric vibrating piece 4 is separated into individual pieces. In this case, by performing laser trimming by irradiating a laser at an angle corresponding to the inclination of the notch 24, the notch 24 can be formed without dividing the base material of the piezoelectric vibrating reed 4. Therefore, the cutout portion 24 can be formed with high work efficiency.

１・・・圧電振動子 ４，４Ａ・・・圧電振動片 １０，１１・・・振動腕部 １２・・・基部 ２１・・・接続部 ２１ａ・・・接続部壁面 ２２・・・マウント部 ２２ａ・・・マウント部壁面 ２３・・・幅狭部 ２４・・・切り欠き部 ２５・・・リブ １１０・・・発振器 １２０・・・携帯情報機器（電子機器） １４０・・・電波時計 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Piezoelectric vibrator 4, 4A ... Piezoelectric vibration piece 10, 11 ... Vibrating arm part 12 ... Base part 21 ... Connection part 21a ... Connection part wall surface 22 ... Mount part 22a ... Mount wall surface 23 ... Narrow part 24 ... Notch 25 ... Rib 110 ... Oscillator 120 ... Portable information device (electronic device) 140 ... Radio watch

Claims (8)

所定方向に並んで配置された一対の振動腕部と、
前記一対の振動腕部の長手方向における基端側を一体的に固定する基部と、
を備えた圧電振動片であって、
前記基部は、
前記振動腕部の前記基端側が固定された接続部と、
前記基部をマウントするためのマウント部と、
前記接続部と前記マウント部との間に位置し、前記基部側面の外側から内側に切り欠かれた切り欠き部によって形成される幅狭部と、を備えており、
前記切り欠き部を前記基部の厚さ方向から見た場合に、前記接続部側の壁面の少なくとも一部と、前記マウント部側の壁面の少なくとも一部とが重なるように前記切り欠き部が形成されていることを特徴とする圧電振動片。 A pair of vibrating arms arranged side by side in a predetermined direction;
A base portion that integrally fixes a base end side in the longitudinal direction of the pair of vibrating arm portions; and
A piezoelectric vibrating piece with
The base is
A connecting portion to which the base end side of the vibrating arm portion is fixed;
A mounting portion for mounting the base portion;
A narrow portion formed by a notch portion that is located between the connection portion and the mount portion and is notched inward from the outside of the base side surface;
When the cutout portion is viewed from the thickness direction of the base portion, the cutout portion is formed so that at least a part of the wall surface on the connection portion side overlaps at least a part of the wall surface on the mount portion side. A piezoelectric vibrating piece characterized by being made. 請求項１に記載の圧電振動片であって、
前記接続部側の壁面および前記マウント部側の壁面は、前記厚さ方向に対して傾斜する傾斜面であり、両壁面が略平行に形成されていることを特徴とする圧電振動片。 The piezoelectric vibrating piece according to claim 1,
The wall surface on the connection portion side and the wall surface on the mount portion side are inclined surfaces that are inclined with respect to the thickness direction, and both wall surfaces are formed substantially in parallel. 請求項１に記載の圧電振動片であって、
前記接続部側の壁面および前記マウント部側の壁面は、段差形状を有しており、両壁面が略平行に形成されていることを特徴とする圧電振動片。 The piezoelectric vibrating piece according to claim 1,
The wall surface on the connection portion side and the wall surface on the mount portion side have a step shape, and both wall surfaces are formed substantially parallel to each other. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電振動片であって、
前記切り欠き部には、前記幅狭部から外側に突出するリブが形成されていることを特徴とする圧電振動片。 The piezoelectric vibrating piece according to any one of claims 1 to 3,
The piezoelectric vibrating piece according to claim 1, wherein a rib protruding outward from the narrow portion is formed in the notch portion. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電振動片を有することを特徴とする圧電振動子。   A piezoelectric vibrator comprising the piezoelectric vibrating piece according to claim 1. 請求項５に記載の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。   An oscillator, wherein the piezoelectric vibrator according to claim 5 is electrically connected to an integrated circuit as an oscillator. 請求項５に記載の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。   6. An electronic apparatus, wherein the piezoelectric vibrator according to claim 5 is electrically connected to a timer unit. 請求項５に記載の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。   6. A radio timepiece wherein the piezoelectric vibrator according to claim 5 is electrically connected to a filter portion.
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