JP2013187854A

JP2013187854A - Piezoelectric vibration piece, piezoelectric vibrator, oscillator, electronic apparatus, and atomic clock

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Publication number: JP2013187854A
Application number: JP2012053554A
Authority: JP
Inventors: Takashi Minegishi; 孝峯岸
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 2012-03-09
Filing date: 2012-03-09
Publication date: 2013-09-19

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric vibration piece which secures the rigidity of vibration arm parts and improves the impact resistance while keeping a CI value low, and to provide a piezoelectric vibrator, an oscillator, an electronic apparatus, and an atomic clock which use the piezoelectric vibration piece.SOLUTION: A piezoelectric vibration piece 4 includes: a pair of vibration arm parts 10, 11; a pair of grooves 18 which are formed on both surfaces of the vibration arm parts 10, 11 and extend along a longitudinal direction of the vibration arm parts 10, 11; and a base part 12 to which the longitudinal base end sides of the pair of vibration arm parts 10, 11 are connected. An expansion part 23, expanding to the opening 18b side of the groove 18 from the longitudinal tip side to the longitudinal base end side, is formed at a bottom part 18a of each groove 18.

Description

この発明は、圧電振動片、圧電振動子、この圧電振動子を用いた発振器、電子機器および電波時計に関するものである。 The present invention relates to a piezoelectric vibrating piece, a piezoelectric vibrator, an oscillator using the piezoelectric vibrator, an electronic device, and a radio timepiece.

携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として、水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが提供されているが、その１つとして、いわゆる音叉型の圧電振動片をパッケージに封入した圧電振動子が知られている。 In cellular phones and portable information terminal devices, piezoelectric vibrators using quartz or the like are used as time sources, timing sources of control signals, reference signal sources, and the like. Various types of piezoelectric vibrators of this type are provided, and one of them is a piezoelectric vibrator in which a so-called tuning fork type piezoelectric vibrating piece is enclosed in a package.

音叉型の圧電振動片は、幅方向に並んで配置された一対の振動腕部と、一対の振動腕部の長手方向の基端側を一体的に固定する基部とを有する、薄板状の水晶片である。この圧電振動片は、各振動腕部に形成された励振電極に電圧が印加されると、一対の振動腕部が接近および離間するように、幅方向に所定の共振周波数で振動する。 A tuning-fork type piezoelectric vibrating piece includes a pair of vibrating arm portions arranged side by side in the width direction and a thin plate-like crystal having a base portion that integrally fixes the base end sides in the longitudinal direction of the pair of vibrating arm portions. It is a piece. When a voltage is applied to the excitation electrode formed on each vibrating arm portion, the piezoelectric vibrating piece vibrates at a predetermined resonance frequency in the width direction so that the pair of vibrating arm portions approach and separate from each other.

近年、搭載される機器の小型化に伴って、圧電振動片のさらなる小型化が望まれている。圧電振動片のＣＩ値（ＣｒｙｓｔａｌＩｍｐｅｄａｎｃｅ）を低く抑えつつ、圧電振動片の小型化を図る方法としては、振動腕部の両主面に溝部を形成する方法が広く知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の圧電振動片は、基部と、前記基部から突出して形成されている複数の振動腕部と、を備え、各振動腕部の表面部及び裏面部に、溝部が形成されている。溝部により、振動腕部の長手方向に垂直な断面の形状は略Ｈ型となっている。 In recent years, with the downsizing of devices to be mounted, further downsizing of the piezoelectric vibrating piece is desired. As a method for reducing the size of the piezoelectric vibrating piece while keeping the CI value (Crystal Impedance) of the piezoelectric vibrating piece low, a method of forming grooves on both main surfaces of the vibrating arm is widely known (for example, patents). Reference 1).
The piezoelectric vibrating piece described in Patent Literature 1 includes a base portion and a plurality of vibrating arm portions formed to protrude from the base portion, and groove portions are formed on the front surface portion and the back surface portion of each vibrating arm portion. Yes. Due to the groove, the shape of the cross section perpendicular to the longitudinal direction of the vibrating arm is substantially H-shaped.

特開２００８−２９０３０号公報JP 2008-29030 A

しかし、圧電振動片に溝部を形成した場合、溝部を形成していない場合と比較して、振振動腕部の長手方向に垂直な断面の面積（以下「振動腕部の断面積」という。）が小さくなり、振動腕部の厚み方向に対する曲げ剛性およびねじり剛性（以下、単に「剛性」という。）が確保できず、外部衝撃等に対する耐衝撃性が低下するおそれがある。 However, when the groove portion is formed in the piezoelectric vibrating piece, the cross-sectional area perpendicular to the longitudinal direction of the vibration-vibrating arm portion (hereinafter referred to as “cross-sectional area of the vibrating arm portion”) is compared with the case where the groove portion is not formed. , The bending rigidity and torsional rigidity (hereinafter simply referred to as “rigidity”) in the thickness direction of the vibrating arm portion cannot be secured, and the impact resistance against external impacts and the like may be reduced.

また、圧電振動片がパッケージに封入されている場合には、基部がパッケージにマウントされて固定されている。このため、パッケージを介して圧電振動片に対して外部衝撃等が加わった場合には、振動腕部の基部との接続部分近傍に応力が集中する。したがって、特に、振動腕部の基部との接続部分近傍において、外部衝撃に対する耐衝撃性を確保できないおそれがある。 When the piezoelectric vibrating piece is sealed in the package, the base is mounted and fixed on the package. For this reason, when an external impact or the like is applied to the piezoelectric vibrating piece through the package, stress concentrates in the vicinity of the connection portion with the base portion of the vibrating arm portion. Therefore, particularly in the vicinity of the connection portion with the base portion of the vibrating arm portion, there is a possibility that the impact resistance against the external impact cannot be ensured.

そこで本発明は、ＣＩ値を低く抑えつつ、振動腕部の剛性を確保して耐衝撃性を向上できる圧電振動片と、この圧電振動片を用いた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計の提供を課題とする。 Accordingly, the present invention provides a piezoelectric vibrating piece that can improve the impact resistance by securing the rigidity of the vibrating arm while keeping the CI value low, and a piezoelectric vibrator, an oscillator, an electronic device, and a radio timepiece using the piezoelectric vibrating piece. The issue is to provide

上記の課題を解決するため、本発明の圧電振動片は、並んで配置された一対の振動腕部と、前記振動腕部の両主面に形成され、前記振動腕部の長手方向に沿って延びる一対の溝部と、前記一対の振動腕部の前記長手方向の基端側が接続された基部と、を備えた圧電振動片であって、前記振動腕部の両主面に形成された前記一対の溝部のうち、少なくとも一方の前記溝部の底部には、前記長手方向の先端側から前記長手方向の基端側に向かって、前記溝部の開口側に膨出する膨出部が形成されていることを特徴としている。 In order to solve the above-described problem, a piezoelectric vibrating piece according to the present invention is formed on a pair of vibrating arm portions arranged side by side and both main surfaces of the vibrating arm portion, along the longitudinal direction of the vibrating arm portion. A piezoelectric vibrating piece comprising a pair of extending groove portions and a base portion to which the base end sides in the longitudinal direction of the pair of vibrating arm portions are connected, wherein the pair is formed on both main surfaces of the vibrating arm portion. A bulging portion that bulges toward the opening side of the groove portion from the distal end side in the longitudinal direction toward the proximal end side in the longitudinal direction is formed at the bottom of at least one of the groove portions. It is characterized by that.

本発明によれば、溝部の底部に膨出部を形成することで、振動腕部の溝部形成領域の厚さを確保し、断面積を大きくできる。これにより、振動腕部に溝部を形成しつつ従来技術よりも振動腕部の剛性を高く確保できるので、ＣＩ値を低く抑えつつ振動腕部の耐衝撃性を向上できる。さらに、膨出部は、振動腕部の長手方向の先端側から基端側に向かって、溝部の開口側に膨出しているので、振動腕部の溝部形成領域の基端側における断面積を大きく確保できる。したがって、特に、振動腕部の基部との接続部分近傍において、外部衝撃に対する耐衝撃性を向上できる。 According to the present invention, by forming the bulging portion at the bottom of the groove portion, the thickness of the groove forming region of the vibrating arm portion can be ensured and the cross-sectional area can be increased. Accordingly, the rigidity of the vibrating arm portion can be ensured higher than that of the conventional technology while forming the groove portion in the vibrating arm portion, and thus the impact resistance of the vibrating arm portion can be improved while keeping the CI value low. Further, since the bulging portion bulges toward the opening side of the groove portion from the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portion to the proximal end side, the sectional area on the proximal end side of the groove forming region of the vibrating arm portion is reduced. Largely secured. Therefore, particularly in the vicinity of the connection portion with the base portion of the vibrating arm portion, it is possible to improve the impact resistance against external impact.

また、前記膨出部は、前記長手方向の前記先端側から前記基端側に向かって、前記溝部の開口側に漸次膨出するように形成されていることを特徴としている。 Further, the bulging portion is formed so as to gradually bulge toward the opening side of the groove portion from the distal end side in the longitudinal direction toward the proximal end side.

本発明によれば、膨出部は、振動腕部の長手方向の先端側から基端側に向かって、漸次溝部の開口側に膨出しているので、振動腕部の先端側から基端側における断面積を漸次大きくできる。これにより、振動腕部の剛性も振動腕部の先端側から基端側に向かって漸次高くなるので、圧電振動片に外部衝撃が加わったときに振動腕部の特定箇所に応力が集中するのを防止でき、振動腕部の耐衝撃性をさらに向上できる。また、膨出部は、振動腕部の基端側よりも先端側の高さが低くなるように形成されているので、振動腕部の先端側において、溝部の幅方向側面の面積を広く確保できる。したがって、圧電振動片のＣＩ値をより低く抑えることができる。 According to the present invention, since the bulging portion gradually bulges from the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portion toward the proximal end side toward the opening side of the groove portion, the proximal end side from the distal end side of the vibrating arm portion. The cross-sectional area at can be increased gradually. As a result, the rigidity of the vibrating arm portion gradually increases from the distal end side to the proximal end side of the vibrating arm portion, so that stress is concentrated on a specific portion of the vibrating arm portion when an external impact is applied to the piezoelectric vibrating piece. And the impact resistance of the vibrating arm can be further improved. In addition, since the bulging part is formed so that the height on the distal end side is lower than the proximal end side of the vibrating arm part, a wide area on the side surface in the width direction of the groove part is secured on the distal end side of the vibrating arm part. it can. Therefore, the CI value of the piezoelectric vibrating piece can be further reduced.

また、前記膨出部は、前記振動腕部の幅方向における中央部が開口側に膨出するように形成されていることを特徴としている。 Further, the bulging portion is characterized in that a central portion in the width direction of the vibrating arm portion is bulged toward the opening side.

本発明によれば、膨出部は、振動腕部の長手方向の先端側から基端側に向かって溝部の開口側に膨出するとともに、振動腕部の幅方向における中央部が溝部の開口側に向かってリブ状に膨出しているので、振動腕部の長手方向の全体にわたって、溝部形成領域の断面積を大きく確保できる。したがって、振動腕部の基端側の剛性を高く確保できるとともに、長手方向の全体にわたって剛性を確保できるので、外部衝撃に対する耐衝撃性をさらに向上できる。また、溝部の幅方向における中央部のみが、振動腕部の長手方向の先端側から基端側に向かって溝部の開口側に膨出することで、振動腕部の長手方向の全域にわたって、溝部の幅方向側面の面積を広く確保できる。したがって、圧電振動片のＣＩ値をさらに低く抑えることができるので、駆動効率に優れた圧電振動片を形成できる。 According to the present invention, the bulging portion bulges toward the opening side of the groove portion from the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portion toward the proximal end side, and the central portion in the width direction of the vibrating arm portion is the opening of the groove portion. Since the rib bulges toward the side, a large cross-sectional area of the groove forming region can be secured over the entire length of the vibrating arm portion. Accordingly, the rigidity on the base end side of the vibrating arm portion can be ensured high, and the rigidity can be ensured over the entire lengthwise direction, so that the impact resistance against external impact can be further improved. Further, only the central portion in the width direction of the groove portion bulges from the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portion toward the proximal end side toward the opening side of the groove portion, so that the groove portion extends over the entire longitudinal direction of the vibrating arm portion. The area of the side surface in the width direction can be secured widely. Therefore, since the CI value of the piezoelectric vibrating piece can be further reduced, a piezoelectric vibrating piece having excellent driving efficiency can be formed.

また、本発明の圧電振動子は、上述した圧電振動片を備えたことを特徴としている。
本発明によれば、ＣＩ値を低く抑えつつ、振動腕部の剛性を確保して耐衝撃性を向上できる圧電振動片を備えているので、駆動効率および耐衝撃性に優れた圧電振動子を提供できる。 The piezoelectric vibrator of the present invention is characterized by including the above-described piezoelectric vibrating piece.
According to the present invention, the piezoelectric vibrator having excellent driving efficiency and impact resistance is provided because the piezoelectric vibrating piece capable of improving the impact resistance by securing the rigidity of the vibrating arm portion while keeping the CI value low is provided. Can be provided.

また、本発明の発振器は、上述した圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする。
本発明の電子機器は、上述した圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする。
本発明の電波時計は、上述した圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする。 The oscillator according to the present invention is characterized in that the above-described piezoelectric vibrator is electrically connected to an integrated circuit as an oscillator.
The electronic apparatus according to the present invention is characterized in that the above-described piezoelectric vibrator is electrically connected to a time measuring unit.
The radio-controlled timepiece of the present invention is characterized in that the above-described piezoelectric vibrator is electrically connected to a filter unit.

本発明の発振器、電子機器および電波時計によれば、駆動効率および耐衝撃性に優れた圧電振動子を備えているので、高効率で耐衝撃性に優れた高性能な発振器、電子機器および電波時計を提供できる。 According to the oscillator, electronic device, and radio timepiece of the present invention, since the piezoelectric vibrator having excellent driving efficiency and shock resistance is provided, the high-performance oscillator, electronic device, and radio wave having high efficiency and excellent shock resistance are provided. Can provide a clock.

圧電振動片の平面図である。It is a top view of a piezoelectric vibrating piece. 図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the AA line of FIG. 図１のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the BB line of FIG. 図１のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the CC line of FIG. 実施形態の変形例における溝部の先端側の断面図である。It is sectional drawing of the front end side of the groove part in the modification of embodiment. 実施形態の変形例における溝部の基端側の断面図である。It is sectional drawing of the base end side of the groove part in the modification of embodiment. 圧電振動子の外観斜視図である。It is an external perspective view of a piezoelectric vibrator. 圧電振動子の内部構成図であって、リッド基板を取り外した状態の平面図である。It is an internal block diagram of a piezoelectric vibrator, and is a plan view in a state where a lid substrate is removed. 図８のＤ−Ｄ線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the DD line of FIG. 図７に示す圧電振動子の分解斜視図である。FIG. 8 is an exploded perspective view of the piezoelectric vibrator shown in FIG. 7. 発振器の一実施形態を示す構成図である。It is a block diagram which shows one Embodiment of an oscillator. 電子機器の一実施形態を示す構成図である。It is a lineblock diagram showing one embodiment of electronic equipment. 電波時計の一実施形態を示す構成図である。It is a block diagram which shows one Embodiment of a radio timepiece.

（実施形態の圧電振動片）
以下に、本発明の実施形態に係る圧電振動片について図面を参照して説明する。
図１は、圧電振動片４の平面図である。
図２は、図１のＡ−Ａ線における断面図である。
図１に示すように、本実施形態の圧電振動片４は、圧電振動片４は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された音叉型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。この圧電振動片４は、平行に配置された一対の振動腕部１０，１１と、前記一対の振動腕部１０，１１の基端側を一体的に固定する基部１２と、一対の振動腕部１０，１１の両主面上に形成された溝部１８とを備えている。 (Piezoelectric Vibrating Piece of Embodiment)
Hereinafter, a piezoelectric vibrating piece according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view of the piezoelectric vibrating piece 4.
2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
As shown in FIG. 1, the piezoelectric vibrating piece 4 of the present embodiment is a tuning fork type vibrating piece formed of a piezoelectric material such as quartz, lithium tantalate, or lithium niobate. It vibrates when a voltage is applied. The piezoelectric vibrating reed 4 includes a pair of vibrating arm portions 10 and 11 arranged in parallel, a base portion 12 that integrally fixes the base end sides of the pair of vibrating arm portions 10 and 11, and a pair of vibrating arm portions. And a groove portion 18 formed on both main surfaces 10 and 11.

（溝部）
以下に、本実施形態の溝部１８について説明をする。
溝部１８は、振動腕部１０，１１の長手方向に沿って、振動腕部１０，１１の基端側から略中間付近まで形成されている。図２に示すように、振動腕部１０，１１の長手方向と直交する溝部１８の断面形状は、略Ｈ字形状に形成されている。 (Groove)
Below, the groove part 18 of this embodiment is demonstrated.
The groove 18 is formed along the longitudinal direction of the vibrating arms 10 and 11 from the base end side of the vibrating arms 10 and 11 to approximately the middle. As shown in FIG. 2, the cross-sectional shape of the groove portion 18 orthogonal to the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 is formed in a substantially H shape.

図３は、図１のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。なお、図３では、溝部１８の底部１８ａを、溝部１８の最も深い位置における振動腕部１０，１１の両主面に平行な面と定義し、二点鎖線で図示している。
図３に示すように、振動腕部１０，１１の両主面に形成された溝部１８の底部１８ａには、膨出部２３が形成されている。 3 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. In FIG. 3, the bottom portion 18 a of the groove portion 18 is defined as a surface parallel to both main surfaces of the vibrating arm portions 10 and 11 at the deepest position of the groove portion 18, and is indicated by a two-dot chain line.
As shown in FIG. 3, a bulging portion 23 is formed on the bottom portion 18 a of the groove portion 18 formed on both main surfaces of the vibrating arm portions 10 and 11.

膨出部２３は、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側（図３における右側）から前記長手方向の基端側（図３における左側）に向かって、溝部１８の開口１８ｂ側に漸次膨出するように形成されている。これにより、膨出部２３の溝部１８の開口１８ｂ側の面は、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側から基端側に向かって、溝部１８の開口１８ｂ側に傾斜する傾斜面２３ａとなっている。このように溝部１８内に傾斜面２３ａを形成する場合には、レーザエッチング加工やＦＩＢ（ＦｏｃｕｓｅｄＩｏｎＢｅａｍ：集積イオンビーム）加工等の加工方法が好適である。 The bulging portion 23 is gradually formed on the opening 18b side of the groove portion 18 from the distal end side (right side in FIG. 3) of the vibrating arms 10 and 11 toward the proximal end side (left side in FIG. 3) in the longitudinal direction. It is formed to bulge. Thereby, the surface on the opening 18b side of the groove portion 18 of the bulging portion 23 is inclined surface 23a inclined toward the opening 18b side of the groove portion 18 from the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 toward the proximal end side. It has become. Thus, when forming the inclined surface 23a in the groove part 18, processing methods, such as a laser etching process and FIB (Focused Ion Beam: Integrated ion beam) process, are suitable.

膨出部２３の膨出高さに対応する溝部１８の深さは、要求されるＣＩ値および振動腕部１０，１１の剛性に基づいて決定される。具体的には、以下のように溝部１８の深さが決定される。
例えば、従来技術の圧電振動片と同等以上のＣＩ値を確保したい場合において、本実施形態の基端側における溝部１８の深さをｈ１とし、先端側における溝部１８の深さをｈ２とし、従来技術の圧電振動片の溝部の深さをｈ３としたとき、本実施形態における基端側の溝部１８の深さｈ１、先端側の溝部１８の深さｈ２、および従来技術の圧電振動片の溝部の深さｈ３は、
ｈ３≦（ｈ１＋ｈ２）／２・・・（１）
の関係を満たすように設定される。
（１）式を満たすことで、側面視で略台形状に形成された溝部１８の幅方向側面１８ｃの面積は、従来技術の圧電振動片における溝部の幅方向側面の面積と同等以上の大きさに確保される。したがって、従来技術の圧電振動片と同等以上のＣＩ値を確保できる。 The depth of the groove portion 18 corresponding to the bulging height of the bulging portion 23 is determined based on the required CI value and the rigidity of the vibrating arm portions 10 and 11. Specifically, the depth of the groove 18 is determined as follows.
For example, when it is desired to secure a CI value equal to or higher than that of the piezoelectric vibrating piece of the prior art, the depth of the groove portion 18 on the proximal end side in this embodiment is h1, and the depth of the groove portion 18 on the distal end side is h2. When the depth of the groove portion of the piezoelectric vibrating piece of the technology is h3, the depth h1 of the groove portion 18 on the base end side, the depth h2 of the groove portion 18 on the distal end side, and the groove portion of the piezoelectric vibrating piece of the prior art in this embodiment The depth h3 of
h3 ≦ (h1 + h2) / 2 (1)
Is set to satisfy the relationship.
By satisfying the expression (1), the area of the width direction side surface 18c of the groove portion 18 formed in a substantially trapezoidal shape in a side view is equal to or larger than the area of the width direction side surface of the groove portion in the piezoelectric vibrating piece of the related art. Secured. Therefore, a CI value equal to or higher than that of the conventional piezoelectric vibrating piece can be secured.

図４は、図１のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。
振動腕部１０，１１の長手方向の先端側から基端側に向かって、溝部１８の開口１８ｂ側に漸次膨出するように膨出部２３を形成することで（図３参照）、図４に示す溝部１８形成領域における基端側の振動腕部１０，１１の断面積Ｓ２は、図２に示す先端側の断面積Ｓ１よりも大きくなっている。すなわち、溝部１８形成領域における振動腕部１０，１１の断面積（以下、単に「振動腕部１０，１１の断面積」ということがある。）は、膨出部２３の膨出量に対応して、基端側の断面積Ｓ２が先端側の断面積Ｓ１よりも大きくなっている。これにより、振動腕部１０，１１の溝部１８形成領域における剛性は、先端側よりも基端側のほうが高く確保される。 FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
By forming the bulging portion 23 so as to gradually bulge toward the opening 18b side of the groove portion 18 from the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 (see FIG. 3), FIG. 2 is larger than the cross-sectional area S1 on the distal end side shown in FIG. That is, the cross-sectional area of the vibrating arm portions 10 and 11 in the groove 18 formation region (hereinafter, simply referred to as “the cross-sectional area of the vibrating arm portions 10 and 11”) corresponds to the bulging amount of the bulging portion 23. Thus, the sectional area S2 on the proximal end side is larger than the sectional area S1 on the distal end side. Thereby, the rigidity in the groove part 18 formation area of the vibrating arm parts 10 and 11 is ensured higher on the base end side than on the front end side.

また、膨出部２３は、先端側から基端側に向かって漸次膨出しているので、振動腕部１０，１１の断面積も、先端側から基端側に向かって漸次大きくなる。これにより、振動腕部１０，１１の剛性も振動腕部１０，１１の先端側から基端側に向かって漸次高くなるので、圧電振動片４に外部衝撃が加わったときに振動腕部１０，１１の特定箇所に応力が集中するのが防止される。
また、膨出部２３は、先端側から基端側に向かって漸次膨出しているので、振動腕部１０，１１の先端側において、溝部１８の幅方向側面１８ｃの面積が広く確保されている。したがって、圧電振動片４のＣＩ値をより低く抑えることができる。 Further, since the bulging portion 23 gradually bulges from the distal end side toward the proximal end side, the cross-sectional area of the vibrating arm portions 10 and 11 also gradually increases from the distal end side toward the proximal end side. Accordingly, the rigidity of the vibrating arm portions 10 and 11 is also gradually increased from the distal end side to the proximal end side of the vibrating arm portions 10 and 11, so that when the external impact is applied to the piezoelectric vibrating reed 4, It is possible to prevent stress from being concentrated on the 11 specific portions.
Further, since the bulging portion 23 gradually bulges from the distal end side toward the proximal end side, a wide area of the width side surface 18c of the groove portion 18 is secured on the distal end side of the vibrating arm portions 10 and 11. . Therefore, the CI value of the piezoelectric vibrating reed 4 can be further suppressed.

（各電極）
上述のように形成された圧電振動片４は、図１に示すように、一対の振動腕部１０，１１の外表面上に形成されて一対の振動腕部１０，１１を振動させる第一の励振電極１３および第二の励振電極１４からなる励振電極１５と、圧電振動片４をパッケージに実装するために基部１２に形成されたマウント電極１６，１７と、第一の励振電極１３および第二の励振電極１４とマウント電極１６，１７とを電気的接続する引き出し電極１９，２０と、を有している。 (Each electrode)
As shown in FIG. 1, the piezoelectric vibrating reed 4 formed as described above is formed on the outer surface of the pair of vibrating arm portions 10 and 11 to vibrate the pair of vibrating arm portions 10 and 11. The excitation electrode 15 including the excitation electrode 13 and the second excitation electrode 14, the mount electrodes 16 and 17 formed on the base 12 for mounting the piezoelectric vibrating reed 4 on the package, the first excitation electrode 13 and the second excitation electrode 13 Lead electrodes 19 and 20 for electrically connecting the excitation electrodes 14 and the mount electrodes 16 and 17 to each other.

励振電極１５および引き出し電極１９，２０は、後述するマウント電極１６，１７の下地層と同じ材料のクロムにより単層膜で形成されている。これにより、マウント電極１６，１７の下地層を成膜するのと同時に、励振電極１５および引き出し電極１９，２０を成膜することができる。ただし、この場合に限られず、例えば、ニッケルやアルミニウム、チタン等により励振電極１５および引き出し電極１９，２０を成膜しても構わない。 The excitation electrode 15 and the extraction electrodes 19 and 20 are formed of a single layer film of chromium made of the same material as that of the underlying layer of the mount electrodes 16 and 17 described later. Thereby, the excitation electrode 15 and the extraction electrodes 19 and 20 can be formed simultaneously with the formation of the underlying layers of the mount electrodes 16 and 17. However, the present invention is not limited to this. For example, the excitation electrode 15 and the extraction electrodes 19 and 20 may be formed of nickel, aluminum, titanium, or the like.

励振電極１５は、一対の振動腕部１０，１１を互いに接近又は離間する方向に所定の共振周波数で振動させる電極である。励振電極１５を構成する第一の励振電極１３および第二の励振電極１４は、一対の振動腕部１０，１１の外表面に、それぞれ電気的に切り離された状態でパターニングされて形成されている（図２参照）。また、第一の励振電極１３および第二の励振電極１４は、基部１２の両主面上において、それぞれ引き出し電極１９，２０を介して、後述するマウント電極１６，１７に電気的に接続されている。 The excitation electrode 15 is an electrode that vibrates the pair of vibrating arm portions 10 and 11 at a predetermined resonance frequency in a direction toward or away from each other. The first excitation electrode 13 and the second excitation electrode 14 constituting the excitation electrode 15 are formed by patterning on the outer surfaces of the pair of vibrating arm portions 10 and 11 while being electrically separated from each other. (See FIG. 2). Further, the first excitation electrode 13 and the second excitation electrode 14 are electrically connected to mount electrodes 16 and 17 to be described later via lead electrodes 19 and 20 on both main surfaces of the base portion 12, respectively. Yes.

マウント電極１６，１７は、クロムと金との積層膜であり、水晶と密着性の良いクロム膜を下地層として成膜した後に、表面に金の薄膜を仕上げ層として成膜することにより形成される。ただし、この場合に限られず、例えば、クロムとニクロムを下地層として成膜した後に、表面にさらに金の薄膜を仕上げ層として成膜しても構わない。 The mount electrodes 16 and 17 are laminated films of chromium and gold, and are formed by forming a chromium film having good adhesion with crystal as a base layer and then forming a gold thin film as a finishing layer on the surface. The However, the present invention is not limited to this. For example, after forming chromium and nichrome as a base layer, a gold thin film may be further formed as a finishing layer on the surface.

一対の振動腕部１０，１１の先端には、所定の周波数の範囲内で振動するように調整（周波数調整）を行うための重り金属膜２１が被膜されている。この重り金属膜２１は、周波数を粗く調整する際に使用される粗調膜２１ａと、微小に調整する際に使用される微調膜２１ｂとに分かれている。これら粗調膜２１ａおよび微調膜２１ｂを利用して周波数調整を行うことで、一対の振動腕部１０，１１の周波数をデバイスの公称周波数の範囲内に収めることができる。 A weight metal film 21 for adjusting (frequency adjustment) so as to vibrate within a predetermined frequency range is coated on the tip of the pair of vibrating arm portions 10 and 11. The weight metal film 21 is divided into a coarse adjustment film 21a used when the frequency is roughly adjusted and a fine adjustment film 21b used when the frequency is finely adjusted. By adjusting the frequency using the coarse adjustment film 21a and the fine adjustment film 21b, the frequency of the pair of vibrating arm portions 10 and 11 can be kept within the range of the nominal frequency of the device.

（実施形態の効果）
本実施形態によれば、図３に示すように、溝部１８の底部１８ａに膨出部２３を形成することで、振動腕部１０，１１の溝部１８形成領域の厚さを確保し、断面積を大きくできる。これにより、振動腕部１０，１１に溝部１８を形成しつつ、従来技術よりも振動腕部１０，１１の剛性を高く確保できるので、ＣＩ値を低く抑えつつ振動腕部１０，１１の耐衝撃性を向上できる。さらに、膨出部２３は、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側から基端側に向かって、溝部１８の開口１８ｂ側に膨出しているので、振動腕部１０，１１の溝部１８形成領域の基端側における断面積Ｓ２（図４参照）を大きく確保できる。したがって、特に、振動腕部１０，１１の基部１２との接続部分近傍において、外部衝撃に対する耐衝撃性を向上できる。 (Effect of embodiment)
According to the present embodiment, as shown in FIG. 3, by forming the bulging portion 23 at the bottom portion 18 a of the groove portion 18, the thickness of the groove portion 18 formation region of the vibrating arm portions 10 and 11 is ensured and the cross-sectional area is increased. Can be increased. As a result, the groove portions 18 are formed in the vibrating arm portions 10 and 11, and the rigidity of the vibrating arm portions 10 and 11 can be secured higher than that of the conventional technique. Therefore, the shock resistance of the vibrating arm portions 10 and 11 is suppressed while keeping the CI value low. Can be improved. Further, since the bulging portion 23 bulges toward the opening 18b side of the groove portion 18 from the longitudinal distal end side to the proximal end side of the vibrating arm portions 10 and 11, the groove portion 18 of the vibrating arm portions 10 and 11 is swelled. A large cross-sectional area S2 (see FIG. 4) on the base end side of the formation region can be secured. Therefore, particularly in the vicinity of the connection portion between the vibrating arms 10 and 11 and the base 12, it is possible to improve the impact resistance against external impact.

（実施形態の変形例）
次に、実施形態の変形例について説明する。
図５は、実施形態の変形例における溝部１８の先端側の断面図である。なお、図５の断面図は、図１におけるＡ−Ａ線に沿った断面の位置に相当している。
図６は、実施形態の変形例における溝部１８の基端側の断面図である。なお、図６の断面図は、図１におけるＣ−Ｃ線に沿った断面の位置に相当している。また、図５および図６では、励振電極１３，１４の図示を省略している。また、変形例の振動腕部１０，１１の長手方向に沿った膨出部２３の断面形状は、実施形態における図３と同一となる。したがって、以下では図３、図５および図６を適宜用いて変形例の膨出部２３について説明する。 (Modification of the embodiment)
Next, a modification of the embodiment will be described.
FIG. 5 is a cross-sectional view of the front end side of the groove 18 in a modification of the embodiment. The cross-sectional view of FIG. 5 corresponds to the position of the cross section along the line AA in FIG.
FIG. 6 is a cross-sectional view of the proximal end side of the groove 18 in a modification of the embodiment. Note that the cross-sectional view of FIG. 6 corresponds to the position of the cross-section along the line CC in FIG. 5 and 6, the excitation electrodes 13 and 14 are not shown. Moreover, the cross-sectional shape of the bulging part 23 along the longitudinal direction of the vibration arm parts 10 and 11 of a modification is the same as FIG. 3 in the embodiment. Therefore, the bulging part 23 of a modified example will be described below using FIGS. 3, 5, and 6 as appropriate.

実施形態の圧電振動片４は、膨出部２３が、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側から前記長手方向の基端側に向かって、溝部１８の開口１８ｂ側に漸次膨出するように形成されていた（図３参照）。
これに対して、実施形態の変形例の圧電振動片４は、図５に示すように、膨出部２３が、振動腕部１０，１１の幅方向における中央部において開口１８ｂ側に膨出するように形成されているとともに、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側から前記長手方向の基端側に向かって、溝部１８の開口１８ｂ側に漸次膨出するように形成されている点で、実施形態とは異なっている。なお、実施形態と同様の構成部分については説明を省略する。 In the piezoelectric vibrating reed 4 of the embodiment, the bulging portion 23 gradually bulges toward the opening 18 b side of the groove portion 18 from the longitudinal distal end side of the vibrating arm portions 10 and 11 toward the proximal end side in the longitudinal direction. (See FIG. 3).
On the other hand, in the piezoelectric vibrating reed 4 of the modified example of the embodiment, as shown in FIG. And is formed so as to gradually bulge from the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 toward the opening 18b side of the groove portion 18 toward the proximal end side in the longitudinal direction. This is different from the embodiment. In addition, description is abbreviate | omitted about the component similar to embodiment.

図５に示すように、実施形態の変形例の膨出部２３は、溝部１８内において、振動腕部１０，１１の幅方向における中央部が開口１８ｂ側に膨出するように形成されている。具体的には、溝部１８の膨出部２３は、振動腕部１０，１１の長手方向と直交する断面形状が、底部１８ａを底辺とし、溝部１８内の幅方向における中央部において開口１８ｂ側に突出する頂部２３ｂを頂点とする、略二等辺三角形状に形成されている。 As shown in FIG. 5, the bulging portion 23 according to the modification of the embodiment is formed so that the central portion in the width direction of the vibrating arm portions 10 and 11 bulges toward the opening 18 b in the groove portion 18. . Specifically, the bulging portion 23 of the groove portion 18 has a cross-sectional shape orthogonal to the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11, with the bottom portion 18 a as a base, and on the opening 18 b side in the center portion in the width direction in the groove portion 18. It is formed in a substantially isosceles triangle shape with the protruding top portion 23b as a vertex.

図３に示すように、膨出部２３の頂部２３ｂの高さは、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側（図３における右側）から前記長手方向の基端側（図３における左側）に向かって、溝部１８の開口１８ｂ側に漸次高くなるように形成されている。すなわち、変形例の膨出部２３は、実施形態と同様に、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側から前記長手方向の基端側に向かって、溝部１８の開口１８ｂ側に漸次膨出するように形成されている。なお、膨出部２３の頂部２３ｂの高さは、要求されるＣＩ値および振動腕部１０，１１の剛性に基づいて決定されるが、溝部１８の深さよりも頂部２３ｂの高さを低く形成することが、圧電振動片４の生産技術上好ましい。 As shown in FIG. 3, the height of the top 23 b of the bulging portion 23 is from the longitudinal tip side (right side in FIG. 3) of the vibrating arm portions 10, 11 to the base end side in the longitudinal direction (left side in FIG. 3). ) Toward the opening 18b side of the groove 18 so as to gradually increase. That is, the bulging portion 23 of the modified example gradually bulges toward the opening 18b side of the groove portion 18 from the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 toward the proximal end side in the longitudinal direction. It is formed to come out. The height of the top portion 23b of the bulging portion 23 is determined based on the required CI value and the rigidity of the vibrating arm portions 10 and 11, but the height of the top portion 23b is formed lower than the depth of the groove portion 18. It is preferable in terms of production technology of the piezoelectric vibrating reed 4.

また、溝部１８の幅方向における中央部のみが、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側から基端側に向かって溝部１８の開口１８ｂ側に膨出して形成されているので、溝部１８の幅方向側面１８ｃは、従来技術と同様に側面視で略矩形状に形成される。このように、本変形例では、振動腕部１０，１１の長手方向の全域にわたって、溝部１８の幅方向側面１８ｃの面積が広く確保されている。 Further, only the central portion in the width direction of the groove portion 18 is formed so as to bulge toward the opening 18b side of the groove portion 18 from the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 toward the proximal end side. The side surface 18c in the width direction is formed in a substantially rectangular shape in a side view as in the prior art. Thus, in this modification, the area of the width direction side surface 18c of the groove part 18 is ensured widely over the whole area of the vibrating arm parts 10 and 11 in the longitudinal direction.

図３に示すように、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側から基端側に向かって、溝部１８の開口１８ｂ側に漸次膨出するように膨出部２３を形成することで、図６に示す溝部１８形成領域における基端側の振動腕部１０，１１の断面積Ｓ２は、図５に示す先端側の断面積Ｓ１よりも大きくなっている。具体的には、溝部１８形成領域における振動腕部１０，１１の断面積は、膨出部２３の膨出量（すなわち頂部２３ｂの高さ）に対応して、基端側の断面積Ｓ２が先端側の断面積Ｓ１よりも大きくなっている。 As shown in FIG. 3, by forming the bulging portion 23 so as to gradually bulge toward the opening 18b side of the groove portion 18 from the longitudinal distal end side to the proximal end side of the vibrating arm portions 10 and 11, The cross-sectional area S2 of the vibrating arm portions 10 and 11 on the proximal end side in the groove 18 forming region shown in FIG. 6 is larger than the cross-sectional area S1 on the distal end side shown in FIG. Specifically, the cross-sectional area of the vibrating arms 10 and 11 in the region where the groove 18 is formed corresponds to the bulging amount of the bulging portion 23 (that is, the height of the top portion 23b), and the cross-sectional area S2 on the base end side is It is larger than the cross-sectional area S1 on the front end side.

（変形例の効果）
本変形例によれば、実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、振動腕部１０，１１の溝部１８形成領域における剛性を向上させ、特に基部１２との接続部分近傍において、外部衝撃に対する耐衝撃性を向上できる。また、頂部２３ｂが振動腕部１０，１１の剛性も振動腕部１０，１１の先端側から基端側に向かって漸次高くなるので、圧電振動片４に外部衝撃が加わったときに振動腕部１０，１１の特定箇所に応力が集中するのが防止される。
さらに、本変形例においては、膨出部２３は、振動腕部１０，１１の幅方向における中央部が溝部１８の開口１８ｂ側に向かってリブ状に膨出しているので、振動腕部１０，１１の長手方向の全体にわたって、溝部１８形成領域の断面積を大きく確保できる。したがって、振動腕部１０，１１の基端側の剛性を高く確保できるとともに、長手方向の全体にわたって剛性を確保できるので、外部衝撃に対する耐衝撃性をさらに向上できる。また、溝部１８の幅方向における中央部のみが、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側から基端側に向かって溝部１８の開口１８ｂ側に膨出することで、振動腕部１０，１１の長手方向の全域にわたって、溝部１８の幅方向側面１８ｃの面積を広く確保できる。したがって、圧電振動片４のＣＩ値をさらに低く抑えることができるので、駆動効率に優れた圧電振動片４を形成できる。 (Effect of modification)
According to this modification, the same effect as the embodiment can be obtained. In other words, the rigidity of the vibrating arm portions 10 and 11 in the region where the groove portion 18 is formed can be improved. Further, since the rigidity of the top arm 23b gradually increases from the distal end side to the proximal end side of the vibrating arm portions 10 and 11, the vibrating arm portion 10 and 11 when the external impact is applied to the piezoelectric vibrating piece 4. It is possible to prevent stress from being concentrated on specific locations 10 and 11.
Further, in the present modification, the bulging portion 23 has a central portion in the width direction of the vibrating arm portions 10 and 11 that bulges in a rib shape toward the opening 18b side of the groove portion 18. 11 can ensure a large cross-sectional area of the groove 18 formation region over the entire lengthwise direction. Accordingly, the rigidity on the base end side of the vibrating arm portions 10 and 11 can be ensured high, and the rigidity in the entire longitudinal direction can be secured, so that the impact resistance against external impact can be further improved. In addition, only the central portion in the width direction of the groove portion 18 bulges toward the opening 18b side of the groove portion 18 from the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 toward the proximal end side. 11, the area of the side surface 18c in the width direction of the groove 18 can be widened over the entire area in the longitudinal direction. Accordingly, since the CI value of the piezoelectric vibrating piece 4 can be further reduced, the piezoelectric vibrating piece 4 having excellent driving efficiency can be formed.

（圧電振動子）
次に、上述した製造方法により製造された圧電振動片４を備えたパッケージ９として、圧電振動子１について説明する。
図７は、圧電振動子１の外観斜視図である。
図８は、圧電振動子１の内部構成図であって、リッド基板３を取り外した状態の平面図である。
図９は、図８のＤ−Ｄ線に沿った断面図である。
図１０は、図７に示す圧電振動子１の分解斜視図である。
なお、図１０においては、図面を見易くするために後述する励振電極１３，１４、引き出し電極１９，２０、マウント電極１６，１７および重り金属膜２１の図示を省略している。
図７に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、ベース基板２およびリッド基板３が接合膜３５を介して陽極接合されたパッケージ９と、図９に示すように、パッケージ９のキャビティ３ａに収納された圧電振動片４とを備えた、いわゆる表面実装型の圧電振動子１である。 (Piezoelectric vibrator)
Next, the piezoelectric vibrator 1 will be described as a package 9 including the piezoelectric vibrating reed 4 manufactured by the manufacturing method described above.
FIG. 7 is an external perspective view of the piezoelectric vibrator 1.
FIG. 8 is an internal configuration diagram of the piezoelectric vibrator 1 and is a plan view in a state where the lid substrate 3 is removed.
FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG.
FIG. 10 is an exploded perspective view of the piezoelectric vibrator 1 shown in FIG.
In FIG. 10, the excitation electrodes 13 and 14, the extraction electrodes 19 and 20, the mount electrodes 16 and 17, and the weight metal film 21 which will be described later are omitted for easy understanding of the drawing.
As shown in FIG. 7, the piezoelectric vibrator 1 of this embodiment includes a package 9 in which a base substrate 2 and a lid substrate 3 are anodically bonded via a bonding film 35, and a cavity of the package 9 as shown in FIG. This is a so-called surface-mount type piezoelectric vibrator 1 including a piezoelectric vibrating piece 4 housed in 3a.

図９に示すように、ベース基板２およびリッド基板３は、ガラス材料、例えばソーダ石灰ガラスからなる陽極接合可能な基板であり、略板状に形成されている。リッド基板３におけるベース基板２との接合面側には、圧電振動片４を収容するキャビティ３ａが形成されている。 As shown in FIG. 9, the base substrate 2 and the lid substrate 3 are anodic bondable substrates made of a glass material, for example, soda-lime glass, and are formed in a substantially plate shape. A cavity 3 a for accommodating the piezoelectric vibrating reed 4 is formed on the side of the lid substrate 3 that is bonded to the base substrate 2.

リッド基板３におけるベース基板２との接合面側の全体に、陽極接合用の接合膜３５（接合材）が形成されている。接合膜３５は、キャビティ３ａの内面全体に加えて、キャビティ３ａの周囲の額縁領域に形成されている。本実施形態の接合膜３５は、アルミニウムにより形成されているが、クロムやシリコン等で接合膜３５を形成することも可能である。この接合膜３５とベース基板２とが陽極接合され、キャビティ３ａが真空封止されている。 A bonding film 35 (bonding material) for anodic bonding is formed on the entire bonding surface side of the lid substrate 3 with the base substrate 2. The bonding film 35 is formed in the frame area around the cavity 3a in addition to the entire inner surface of the cavity 3a. Although the bonding film 35 of the present embodiment is formed of aluminum, the bonding film 35 can be formed of chromium, silicon, or the like. The bonding film 35 and the base substrate 2 are anodically bonded, and the cavity 3a is vacuum-sealed.

圧電振動子１は、ベース基板２を厚さ方向に貫通し、キャビティ３ａの内側と圧電振動子１の外側とを導通する貫通電極３２，３３を備えている。そして、貫通電極３２，３３は、ベース基板２を貫通する貫通孔３０，３１内に配置され、圧電振動片４と外部とを電気的に接続する金属ピン７と、貫通孔３０，３１と金属ピン７との間に充填される筒体６と、により形成されている。なお、以下には貫通電極３２を例にして説明するが、貫通電極３３についても同様である。また、貫通電極３３、引き回し電極３７および外部電極３９の電気的接続についても、貫通電極３２、引き回し電極３６および外部電極３９と同様となっている。 The piezoelectric vibrator 1 includes through electrodes 32 and 33 that penetrate the base substrate 2 in the thickness direction and conduct the inside of the cavity 3 a and the outside of the piezoelectric vibrator 1. The through electrodes 32 and 33 are disposed in the through holes 30 and 31 that penetrate the base substrate 2, and the metal pins 7 that electrically connect the piezoelectric vibrating reed 4 and the outside, the through holes 30 and 31, and the metal And a cylindrical body 6 filled between the pins 7. In the following description, the through electrode 32 is described as an example, but the same applies to the through electrode 33. The electrical connection of the through electrode 33, the routing electrode 37 and the external electrode 39 is the same as that of the through electrode 32, the routing electrode 36 and the external electrode 39.

貫通孔３０は、ベース基板２の上面Ｕ側から下面Ｌ側にかけて、内形が次第に大きくなるように形成されており、貫通孔３０の中心軸Ｏを含む断面形状がテーパ状となるように形成されている。
金属ピン７は、銀やニッケル合金、アルミニウム等の金属材料により形成された導電性の棒状部材であり、鍛造やプレス加工により成型される。金属ピン７は、線膨張係数がベース基板２のガラス材料と近い金属、例えば、鉄を５８重量パーセント、ニッケルを４２重量パーセント含有する合金（４２アロイ）で形成することが望ましい。
筒体６は、ペースト状のガラスフリットが焼成されたものである。筒体６の中心には、金属ピン７が筒体６を貫通するように配されており、筒体６は、金属ピン７および貫通孔３０に対して強固に固着している。 The through hole 30 is formed so that the inner shape gradually increases from the upper surface U side to the lower surface L side of the base substrate 2, and the cross-sectional shape including the central axis O of the through hole 30 is tapered. Has been.
The metal pin 7 is a conductive rod-shaped member formed of a metal material such as silver, nickel alloy, or aluminum, and is molded by forging or pressing. The metal pin 7 is preferably formed of a metal having a linear expansion coefficient close to that of the glass material of the base substrate 2, for example, an alloy (42 alloy) containing 58 weight percent iron and 42 weight percent nickel.
The cylinder 6 is obtained by baking paste-like glass frit. At the center of the cylinder 6, a metal pin 7 is arranged so as to penetrate the cylinder 6, and the cylinder 6 is firmly fixed to the metal pin 7 and the through hole 30.

図１０に示すように、ベース基板２の上面Ｕ側には、一対の引き回し電極３６，３７がパターニングされている。また、これら一対の引き回し電極３６，３７上にそれぞれ金等からなるバンプＢが形成されており、前記バンプＢを利用して圧電振動片４の一対のマウント電極が実装されている。これにより、圧電振動片４の一方のマウント電極１７（図８参照）が、一方の引き回し電極３６を介して一方の貫通電極３２に導通し、他方のマウント電極１６（図８参照）が、他方の引き回し電極３７を介して他方の貫通電極３３に導通するようになっている。 As shown in FIG. 10, a pair of lead-out electrodes 36 and 37 are patterned on the upper surface U side of the base substrate 2. A bump B made of gold or the like is formed on each of the pair of lead-out electrodes 36 and 37, and the pair of mount electrodes of the piezoelectric vibrating reed 4 is mounted using the bump B. As a result, one mount electrode 17 (see FIG. 8) of the piezoelectric vibrating reed 4 is electrically connected to one through electrode 32 via one lead-out electrode 36, and the other mount electrode 16 (see FIG. 8) is connected to the other. The other through electrode 33 is electrically connected to the other through electrode 37.

ベース基板２の下面Ｌには、一対の外部電極３８，３９が形成されている。一対の外部電極３８，３９は、ベース基板２の長手方向の両端部に形成され、一対の貫通電極３２，３３に対してそれぞれ電気的に接続されている。 A pair of external electrodes 38 and 39 are formed on the lower surface L of the base substrate 2. The pair of external electrodes 38 and 39 are formed at both ends in the longitudinal direction of the base substrate 2, and are electrically connected to the pair of through electrodes 32 and 33, respectively.

このように構成された圧電振動子１を作動させる場合には、ベース基板２に形成された外部電極３８，３９に対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片４の第一の励振電極１３および第二の励振電極１４に電圧を印加できるので、一対の振動腕部１０，１１を接近・離間させる方向に所定の周波数で振動させることができる。そして、この一対の振動腕部１０，１１の振動を利用して、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として利用できる。 When the piezoelectric vibrator 1 configured in this way is operated, a predetermined drive voltage is applied to the external electrodes 38 and 39 formed on the base substrate 2. As a result, a voltage can be applied to the first excitation electrode 13 and the second excitation electrode 14 of the piezoelectric vibrating reed 4, so that the pair of vibrating arm portions 10 and 11 are vibrated at a predetermined frequency in the direction of approaching and separating. Can do. The vibration of the pair of vibrating arm portions 10 and 11 can be used as a time source, a timing source for control signals, a reference signal source, and the like.

（効果）
本発明によれば、ＣＩ値を低く抑えつつ、振動腕部１０，１１の剛性を確保して耐衝撃性を向上できる圧電振動片４を備えているので、駆動効率および耐衝撃性に優れた圧電振動子１を得ることができる。 (effect)
According to the present invention, the piezoelectric vibrating reed 4 is provided that can improve the shock resistance by securing the rigidity of the vibrating arm portions 10 and 11 while keeping the CI value low, and thus has excellent driving efficiency and shock resistance. The piezoelectric vibrator 1 can be obtained.

（発振器）
次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図１１を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器１１０は、図１１に示すように、圧電振動子１を、集積回路１１１に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器１１０は、コンデンサ等の電子素子部品１１２が実装された基板１１３を備えている。基板１１３には、発振器用の前記集積回路１１１が実装されており、この集積回路１１１の近傍に、圧電振動子１の圧電振動片が実装されている。これら電子素子部品１１２、集積回路１１１および圧電振動子１は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。 (Oscillator)
Next, an embodiment of an oscillator according to the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 11, the oscillator 110 according to the present embodiment is configured by configuring the piezoelectric vibrator 1 as an oscillator electrically connected to the integrated circuit 111. The oscillator 110 includes a substrate 113 on which an electronic element component 112 such as a capacitor is mounted. An integrated circuit 111 for an oscillator is mounted on the substrate 113, and a piezoelectric vibrating piece of the piezoelectric vibrator 1 is mounted in the vicinity of the integrated circuit 111. The electronic element component 112, the integrated circuit 111, and the piezoelectric vibrator 1 are electrically connected by a wiring pattern (not shown). Each component is molded with a resin (not shown).

このように構成された発振器１１０において、圧電振動子１に電圧を印加すると、圧電振動子１内の圧電振動片が振動する。この振動は、圧電振動片が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路１１１に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路１１１によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。これにより、圧電振動子１が発振子として機能する。
また、集積回路１１１の構成を、例えば、ＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加できる。 In the oscillator 110 configured as described above, when a voltage is applied to the piezoelectric vibrator 1, the piezoelectric vibrating piece in the piezoelectric vibrator 1 vibrates. This vibration is converted into an electric signal by the piezoelectric characteristics of the piezoelectric vibrating piece and input to the integrated circuit 111 as an electric signal. The input electrical signal is subjected to various processes by the integrated circuit 111 and output as a frequency signal. Thereby, the piezoelectric vibrator 1 functions as an oscillator.
In addition, by selectively setting the configuration of the integrated circuit 111, for example, an RTC (real-time clock) module or the like as required, the operation date and time of the device or external device in addition to a single-function oscillator for a clock, etc. Functions such as controlling time and providing time and calendar can be added.

本実施形態の発振器１１０によれば、駆動効率および耐衝撃性に優れた圧電振動子１を備えているので、高効率で耐衝撃性に優れた高性能な発振器１１０を提供できる。 According to the oscillator 110 of the present embodiment, since the piezoelectric vibrator 1 having excellent driving efficiency and impact resistance is provided, it is possible to provide a high-performance oscillator 110 having high efficiency and excellent impact resistance.

（電子機器）
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図１２を参照して説明する。なお電子機器として、前述した圧電振動子１を有する携帯情報機器１２０を例にして説明する。
始めに本実施形態の携帯情報機器１２０は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカおよびマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化および軽量化されている。 (Electronics)
Next, an embodiment of an electronic apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. Note that a portable information device 120 having the above-described piezoelectric vibrator 1 will be described as an example of the electronic device.
First, the portable information device 120 of this embodiment is represented by, for example, a mobile phone, and is a development and improvement of a wrist watch in the prior art. The appearance is similar to that of a wristwatch, and a liquid crystal display is arranged in a portion corresponding to a dial so that the current time and the like can be displayed on this screen. Further, when used as a communication device, it is possible to perform communication similar to that of a conventional mobile phone by using a speaker and a microphone that are removed from the wrist and incorporated in the inner portion of the band. However, it is much smaller and lighter than conventional mobile phones.

次に、本実施形態の携帯情報機器１２０の構成について説明する。この携帯情報機器１２０は、図１２に示すように、圧電振動子１と、電力を供給するための電源部１２１とを備えている。電源部１２１は、例えば、リチウム二次電池からなっている。この電源部１２１には、各種制御を行う制御部１２２と、時刻等のカウントを行う計時部１２３と、外部との通信を行う通信部１２４と、各種情報を表示する表示部１２５と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部１２６とが並列に接続されている。そして、電源部１２１によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。 Next, the configuration of the portable information device 120 of this embodiment will be described. As shown in FIG. 12, the portable information device 120 includes the piezoelectric vibrator 1 and a power supply unit 121 for supplying power. The power supply unit 121 is made of, for example, a lithium secondary battery. The power supply unit 121 includes a control unit 122 that performs various controls, a clock unit 123 that counts time, a communication unit 124 that communicates with the outside, a display unit 125 that displays various information, and the like. A voltage detection unit 126 that detects the voltage of the functional unit is connected in parallel. Power is supplied to each functional unit by the power supply unit 121.

制御部１２２は、各機能部を制御して音声データの送信や受信、現在時刻の計測、表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部１２２は、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、該ＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出して実行するＣＰＵと、該ＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭ等とを備えている。 The control unit 122 controls each function unit to control operation of the entire system such as transmission and reception of audio data, measurement and display of the current time, and the like. The control unit 122 includes a ROM in which a program is written in advance, a CPU that reads and executes the program written in the ROM, and a RAM that is used as a work area for the CPU.

計時部１２３は、発振回路やレジスタ回路、カウンタ回路、インターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子１とを備えている。圧電振動子１に電圧を印加すると圧電振動片が振動し、該振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部１２２と信号の送受信が行われ、表示部１２５に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。 The timer unit 123 includes an integrated circuit including an oscillation circuit, a register circuit, a counter circuit, an interface circuit, and the like, and the piezoelectric vibrator 1. When a voltage is applied to the piezoelectric vibrator 1, the piezoelectric vibrating piece vibrates, and the vibration is converted into an electric signal by the piezoelectric characteristics of the crystal, and is input to the oscillation circuit as an electric signal. The output of the oscillation circuit is binarized and counted by a register circuit and a counter circuit. Then, signals are transmitted to and received from the control unit 122 through the interface circuit, and the current time, current date, calendar information, and the like are displayed on the display unit 125.

通信部１２４は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部１２７、音声処理部１２８、切替部１２９、増幅部１３０、音声入出力部１３１、電話番号入力部１３２、着信音発生部１３３および呼制御メモリ部１３４を備えている。
無線部１２７は、音声データ等の各種データを、アンテナ１３５を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部１２８は、無線部１２７又は増幅部１３０から入力された音声信号を符号化および複号化する。増幅部１３０は、音声処理部１２８又は音声入出力部１３１から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部１３１は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。 The communication unit 124 has functions similar to those of a conventional mobile phone, and includes a radio unit 127, a voice processing unit 128, a switching unit 129, an amplification unit 130, a voice input / output unit 131, a telephone number input unit 132, a ring tone generation unit. 133 and a call control memory unit 134.
The radio unit 127 exchanges various data such as audio data with the base station via the antenna 135. The audio processing unit 128 encodes and decodes the audio signal input from the radio unit 127 or the amplification unit 130. The amplifying unit 130 amplifies the signal input from the audio processing unit 128 or the audio input / output unit 131 to a predetermined level. The voice input / output unit 131 includes a speaker, a microphone, and the like, and amplifies a ringtone and a received voice or collects a voice.

また、着信音発生部１３３は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部１２９は、着信時に限って、音声処理部１２８に接続されている増幅部１３０を着信音発生部１３３に切り替えることによって、着信音発生部１３３において生成された着信音が増幅部１３０を介して音声入出力部１３１に出力される。
なお、呼制御メモリ部１３４は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部１３２は、例えば、０から９の番号キーおよびその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。 In addition, the ring tone generator 133 generates a ring tone in response to a call from the base station. The switching unit 129 switches the amplifying unit 130 connected to the voice processing unit 128 to the ringing tone generating unit 133 only when an incoming call is received, so that the ringing tone generated by the ringing tone generating unit 133 passes through the amplifying unit 130. To the audio input / output unit 131.
Note that the call control memory unit 134 stores a program related to incoming / outgoing call control of communication. The telephone number input unit 132 includes, for example, number keys from 0 to 9 and other keys. By pressing these number keys and the like, a telephone number of a call destination is input.

電圧検出部１２６は、電源部１２１によって制御部１２２等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部１２２に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部１２４を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、例えば、３Ｖ程度となる。電圧検出部１２６から電圧降下の通知を受けた制御部１２２は、無線部１２７、音声処理部１２８、切替部１２９および着信音発生部１３３の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部１２７の動作停止は、必須となる。更に、表示部１２５に、通信部１２４が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。 The voltage detection unit 126 detects the voltage drop and notifies the control unit 122 when the voltage applied to each functional unit such as the control unit 122 by the power supply unit 121 falls below a predetermined value. . The predetermined voltage value at this time is a value set in advance as a minimum voltage necessary to stably operate the communication unit 124, and is, for example, about 3V. Upon receiving the voltage drop notification from the voltage detection unit 126, the control unit 122 prohibits the operations of the radio unit 127, the voice processing unit 128, the switching unit 129, and the ring tone generation unit 133. In particular, it is essential to stop the operation of the wireless unit 127 with high power consumption. Further, the display unit 125 displays that the communication unit 124 has become unusable due to insufficient battery power.

すなわち、電圧検出部１２６と制御部１２２とによって、通信部１２４の動作を禁止し、その旨を表示部１２５に表示できる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部１２５の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×（バツ）印を付けるようにしても良い。
なお、通信部１２４の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断できる電源遮断部１３６を備えることで、通信部１２４の機能をより確実に停止できる。 That is, the operation of the communication unit 124 can be prohibited by the voltage detection unit 126 and the control unit 122, and that effect can be displayed on the display unit 125. This display may be a text message, but as a more intuitive display, a x (X) mark may be attached to the telephone icon displayed at the top of the display surface of the display unit 125.
In addition, the function of the communication part 124 can be stopped more reliably by providing the power cutoff part 136 that can selectively cut off the power supply of the part related to the function of the communication part 124.

本実施形態の携帯情報機器１２０によれば、駆動効率および耐衝撃性に優れた圧電振動子１を備えているので、高効率で耐衝撃性に優れた高性能な携帯情報機器１２０を提供できる。 According to the portable information device 120 of this embodiment, since the piezoelectric vibrator 1 having excellent driving efficiency and impact resistance is provided, a high-performance portable information device 120 having high efficiency and excellent impact resistance can be provided. .

（電波時計）
次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図１３を参照して説明する。
本実施形態の電波時計１４０は、図１３に示すように、フィルタ部１４１に電気的に接続された圧電振動子１を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県（４０ｋＨｚ）と佐賀県（６０ｋＨｚ）とに、標準の電波を送信する送信所（送信局）があり、それぞれ標準電波を送信している。４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、前述した２つの送信所で日本国内を全て網羅している。 (Radio watch)
Next, an embodiment of a radio timepiece according to the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 13, the radio-controlled timepiece 140 according to the present embodiment includes the piezoelectric vibrator 1 electrically connected to the filter unit 141. The radio-controlled timepiece 140 receives a standard radio wave including timepiece information and is accurate. It is a clock with a function of automatically correcting and displaying the correct time.
In Japan, there are transmitting stations (transmitting stations) that transmit standard radio waves in Fukushima Prefecture (40 kHz) and Saga Prefecture (60 kHz), each transmitting standard radio waves. Long waves such as 40 kHz or 60 kHz have the property of propagating the surface of the earth and the property of propagating while reflecting the ionosphere and the surface of the earth. doing.

以下、電波時計１４０の機能的構成について詳細に説明する。
アンテナ１４２は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの搬送波にＡＭ変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ１４３によって増幅され、複数の圧電振動子１を有するフィルタ部１４１によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子１は、前記搬送周波数と同一の４０ｋＨｚおよび６０ｋＨｚの共振周波数を有する水晶振動子部１４８、１４９をそれぞれ備えている。 Hereinafter, the functional configuration of the radio timepiece 140 will be described in detail.
The antenna 142 receives a long standard wave of 40 kHz or 60 kHz. The long-wave standard radio wave is obtained by subjecting time information called a time code to AM modulation on a 40 kHz or 60 kHz carrier wave. The received long standard wave is amplified by the amplifier 143 and filtered and tuned by the filter unit 141 having the plurality of piezoelectric vibrators 1.
The piezoelectric vibrator 1 according to this embodiment includes crystal vibrator portions 148 and 149 having resonance frequencies of 40 kHz and 60 kHz that are the same as the carrier frequency.

更に、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路１４４により検波復調される。
続いて、波形整形回路１４５を介してタイムコードが取り出され、ＣＰＵ１４６でカウントされる。ＣＰＵ１４６では、現在の年や積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、ＲＴＣ１４７に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚであるから、水晶振動子部１４８、１４９は、前述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。 Further, the filtered signal having a predetermined frequency is detected and demodulated by the detection and rectification circuit 144.
Subsequently, the time code is taken out via the waveform shaping circuit 145 and counted by the CPU 146. The CPU 146 reads information such as the current year, accumulated date, day of the week, and time. The read information is reflected in the RTC 147, and accurate time information is displayed.
Since the carrier wave is 40 kHz or 60 kHz, the crystal vibrator portions 148 and 149 are preferably vibrators having the tuning fork type structure described above.

なお、前述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。例えば、ドイツでは７７．５ＫＨｚの標準電波が用いられている。従って、海外でも対応可能な電波時計１４０を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の圧電振動子１を必要とする。 In addition, although the above-mentioned description was shown in the example in Japan, the frequency of the long standard wave is different overseas. For example, in Germany, a standard radio wave of 77.5 KHz is used. Therefore, when the radio timepiece 140 that can be used overseas is incorporated in a portable device, the piezoelectric vibrator 1 having a frequency different from that in Japan is required.

本実施形態の電波時計１４０によれば、駆動効率および耐衝撃性に優れた圧電振動子１を備えているので、高効率で耐衝撃性に優れた高性能な電波時計１４０を提供できる。 According to the radio timepiece 140 of the present embodiment, since the piezoelectric vibrator 1 having excellent driving efficiency and impact resistance is provided, the high-performance radio timepiece 140 having high efficiency and excellent impact resistance can be provided.

なお、この発明の技術範囲は上記実施の形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。 The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

実施形態および実施形態の変形例では、表面実装型の圧電振動子１に本発明の圧電振動片４を採用しているが、これに限らず、例えばシリンダーパッケージタイプの圧電振動子に本発明の圧電振動片４を採用しても構わない。 In the embodiment and the modified example of the embodiment, the piezoelectric resonator element 4 of the present invention is employed in the surface-mount type piezoelectric vibrator 1. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention is applied to a cylinder package type piezoelectric vibrator. The piezoelectric vibrating piece 4 may be adopted.

実施形態および実施形態の変形例では、レーザエッチング加工やＦＩＢ加工等の加工方法により溝部１８を形成していたが、溝部１８の加工方法はこれらに限定されない。例えば、金属等によりマスクを形成した後、ドライエッチング等により溝部１８を形成することもできる。ただし、実施形態および実施形態の変形例のように、溝部１８内に傾斜した膨出部２３を形成する場合には、ＦＩＢ加工がより好適である。 In the embodiment and the modification of the embodiment, the groove portion 18 is formed by a processing method such as laser etching processing or FIB processing, but the processing method of the groove portion 18 is not limited thereto. For example, after forming a mask with a metal or the like, the groove 18 can be formed by dry etching or the like. However, FIB processing is more suitable when the inclined bulging portion 23 is formed in the groove portion 18 as in the embodiment and the modification of the embodiment.

実施形態および実施形態の変形例では、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側から基端側に向かって、溝部１８の開口１８ｂ側に漸次膨出するように膨出部２３が形成されていた。これに対して、例えば、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側から基端側に向かって、溝部１８の開口１８ｂ側に階段状に膨出するように膨出部２３が形成されていてもよい。ただし、漸次膨出するように膨出部２３を形成することで、振動腕部１０，１１に外部衝撃が加わったときの応力の集中を防止できる点で、本実施形態および実施形態の変形例に優位性がある。 In the embodiment and the modification of the embodiment, the bulging portion 23 is formed so as to gradually bulge toward the opening 18b side of the groove portion 18 from the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 toward the proximal end side. It was. On the other hand, for example, the bulging portion 23 is formed so as to bulge stepwise from the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 toward the opening 18b side of the groove portion 18. May be. However, by forming the bulging portion 23 so as to gradually bulge, stress concentration when an external impact is applied to the vibrating arm portions 10 and 11 can be prevented, and this embodiment and a modification of the embodiment. Has an advantage.

実施形態の変形例では、溝部１８の膨出部２３は、振動腕部１０，１１の長手方向と直交する断面形状が略三角形状に形成されていたが、膨出部２３の断面形状は実施形態の変形例に限定されない。例えば、振動腕部１０，１１の長手方向と直交する断面形状が略台形状に形成されていてもよい。 In the modification of the embodiment, the bulging portion 23 of the groove portion 18 is formed in a substantially triangular shape in cross-section perpendicular to the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11. It is not limited to the modification of a form. For example, the cross-sectional shape orthogonal to the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 may be formed in a substantially trapezoidal shape.

実施形態および実施形態の変形例では、溝部１８内において、振動腕部１０，１１の長手方向の先端側の端部から基端側の端部にわたって膨出部２３が形成されていた。これに対して、例えば、溝部１８内において、振動腕部１０，１１の長手方向の中央部近傍に膨出部２３の始点となる端部を設け、先端側から基端側の端部にわたって膨出部２３が形成されていてもよい。この場合においても、振動腕部１０，１１の長手方向の基端側の断面積を大きく確保できるので、振動腕部１０，１１と基部１２との接続部近傍の剛性を高く確保できる。ただし、振動腕部１０，１１における溝部１８形成領域の全域にわたって剛性を確保できる点で、実施形態および実施形態の変形例に優位性がある。 In the embodiment and the modification of the embodiment, the bulging portion 23 is formed in the groove portion 18 from the end portion on the distal end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 to the end portion on the proximal end side. On the other hand, for example, in the groove portion 18, an end portion that is a starting point of the bulging portion 23 is provided in the vicinity of the center portion in the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11, and the bulging portion extends from the distal end side to the proximal end portion. A protruding portion 23 may be formed. Even in this case, since the cross-sectional area of the base end side in the longitudinal direction of the vibrating arm portions 10 and 11 can be ensured, the rigidity in the vicinity of the connecting portion between the vibrating arm portions 10 and 11 and the base portion 12 can be ensured high. However, the embodiment and the modification of the embodiment are superior in that rigidity can be ensured over the entire region of the groove 18 in the vibrating arms 10 and 11.

実施形態および実施形態の変形例では、溝部１８を振動腕部１０，１１の両主面上に形成し、両方の溝部１８内に膨出部２３を形成していた。これに対して、例えば、振動腕部１０，１１の両主面上に形成された溝部１８のうち、一方の溝部１８内にのみ膨出部２３を形成してもよい。この場合においても、実施形態および実施形態の変形例と同様の効果が得られる。ただし、両方の溝部１８内に膨出部２３を形成することで、振動腕部１０，１１の厚さ方向における剛性をバランスよく確保できる点で、実施形態および実施形態の変形例に優位性がある。 In the embodiment and the modification of the embodiment, the groove portion 18 is formed on both main surfaces of the vibrating arm portions 10 and 11, and the bulging portion 23 is formed in both the groove portions 18. On the other hand, for example, the bulging portion 23 may be formed only in one groove portion 18 among the groove portions 18 formed on both main surfaces of the vibrating arm portions 10 and 11. Even in this case, the same effect as the embodiment and the modified example of the embodiment can be obtained. However, by forming the bulging part 23 in both the groove parts 18, the rigidity in the thickness direction of the vibrating arm parts 10 and 11 can be secured in a balanced manner, and the embodiment and the modified example of the embodiment are superior. is there.

１・・・圧電振動子４・・・圧電振動片１０，１１・・・振動腕部１２・・・基部１８・・・溝部１８ａ・・・底部１８ｂ・・・開口２３・・・膨出部１１０・・・発振器１２０・・・携帯情報機器（電子機器）１４０・・・電波時計 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Piezoelectric vibrator 4 ... Piezoelectric vibrating piece 10, 11 ... Vibrating arm part 12 ... Base part 18 ... Groove part 18a ... Bottom part 18b ... Opening 23 ... Swelling part DESCRIPTION OF SYMBOLS 110 ... Oscillator 120 ... Portable information device (electronic device) 140 ... Radio clock

Claims

並んで配置された一対の振動腕部と、
前記振動腕部の両主面に形成され、前記振動腕部の長手方向に沿って延びる一対の溝部と、
前記一対の振動腕部の前記長手方向の基端側が接続された基部と、
を備えた圧電振動片であって、
前記振動腕部の両主面に形成された前記一対の溝部のうち、少なくとも一方の前記溝部の底部には、前記長手方向の先端側から前記長手方向の基端側に向かって、前記溝部の開口側に膨出する膨出部が形成されていることを特徴とする圧電振動片。 A pair of vibrating arms arranged side by side;
A pair of groove portions formed on both main surfaces of the vibrating arm portion and extending along a longitudinal direction of the vibrating arm portion;
A base portion to which the base end sides in the longitudinal direction of the pair of vibrating arm portions are connected;
A piezoelectric vibrating piece with
Of the pair of groove portions formed on both main surfaces of the vibrating arm portion, at least one of the groove portions has a bottom portion of the groove portion from the distal end side in the longitudinal direction toward the proximal end side in the longitudinal direction. A piezoelectric vibrating piece characterized in that a bulging portion that bulges toward the opening is formed.

請求項１に記載の圧電振動片であって、
前記膨出部は、前記長手方向の前記先端側から前記基端側に向かって、前記溝部の開口側に漸次膨出するように形成されていることを特徴とする圧電振動片。 The piezoelectric vibrating piece according to claim 1,
The piezoelectric vibrating piece according to claim 1, wherein the bulging portion is formed so as to gradually bulge toward the opening side of the groove portion from the distal end side in the longitudinal direction toward the proximal end side.

請求項１または２に記載の圧電振動片であって、
前記膨出部は、前記振動腕部の幅方向における中央部が開口側に膨出するように形成されていることを特徴とする圧電振動片。 The piezoelectric vibrating piece according to claim 1 or 2,
The piezoelectric vibrating piece according to claim 1, wherein the bulging portion is formed such that a central portion in the width direction of the vibrating arm portion bulges toward the opening side.

請求項１に記載の圧電振動片を備えたことを特徴とする圧電振動子。 A piezoelectric vibrator comprising the piezoelectric vibrating piece according to claim 1.

請求項４に記載の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。 An oscillator, wherein the piezoelectric vibrator according to claim 4 is electrically connected to an integrated circuit as an oscillator.

請求項４に記載の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。 5. An electronic apparatus, wherein the piezoelectric vibrator according to claim 4 is electrically connected to a time measuring unit.

請求項４に記載の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。 A radio-controlled timepiece wherein the piezoelectric vibrator according to claim 4 is electrically connected to a filter portion.