JP2013166260A - 液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズルから吐出させる液体をヘッドに安定して供給でき、ノズルからの液滴の吐出を正しく制御することができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】循環型のヘッド１２において、液滴の吐出に伴う圧力変動を抑制するために、ヘッド内部の供給側の流路の流路抵抗をR_HEAD_IN、ヘッド内部の回収側の流路の流路抵抗をR_HEAD_OUT、供給チューブ４２の流路抵抗をR_CHANNEL_IN、回収チューブ４６の流路抵抗をR_CHANNEL_OUTとしたとき、R_HEAD_IN＞R_HEAD_OUTの場合は、R_CHANNEL_IN＞R_CHANNEL_OUTの関係を満たすように、供給チューブ４２と回収チューブ４６とがレイアウトされ、R_HEAD_IN＜R_HEAD_OUTの場合は、R_CHANNEL_IN＜R_CHANNEL_OUTの関係を満たすように、供給チューブ４２と回収チューブ４６とがレイアウトされる。
【選択図】 図１

Description

本発明は液滴吐出装置に係り、特にノズルから吐出させる液体をヘッドに循環して供給する方式の液滴吐出装置において、流路のレイアウトを最適化する技術に関する。

インクジェットヘッドは、ヘッド内部に気泡が混入したり、ヘッド内部のインクが増粘したりすると、吐出不良が生じるという問題がある。このようなヘッド内部への気泡の混入やヘッド内部のインクの増粘を防止する技術として、ヘッドにインクを循環させて供給する技術が知られている。

また、ヘッドにインクを循環させて供給する場合において、ヘッドからのインクの吐出を正しく制御するためには、ヘッドに対してインクを安定して供給することが求められる。ここで述べる「安定して」とは、インクの圧力変動を可能な限り抑えることを意味する。

インクの圧力変動を抑制する技術としては、従来から流路にダンパーを設置する方法が知られている（たとえば、特許文献１等）。

また、特許文献２には、供給側のタンク内のインクに生じる単位体積当たりのエネルギーと、回収側のタンク内のインクに生じる単位体積当たりのエネルギーとが、所定の関係を保持するように制御することにより、インクの圧力変動を抑える技術が提案されている。

特開2009-101516号公報 特開2007-313884号公報

ところで、インクの圧力変動を低減させるには、主に２つのアプローチが存在する。１つは、上記特許文献１のように、ダンパーを用いるというものである。そして、他の１つは、ヘッドに液体を供給するためのチューブの長さ（チューブ長）を短くする（若しくは、チューブの内径（チューブ径）を太くする）というものである。

特許文献１のように、ダンパーを用いる手法は有効であるが、ダンパーを設置するためのスペースが必要になる。したがって、ダンパーを格納できるスペースが装置内にない場合などには、チューブ長を短くする若しくはチューブ径を太くするという手法が重要になる。

チューブ長を短くする、若しくは、チューブ径を太くすることが、圧力変動の抑制に有効な理由は、次のとおりである。まず、液滴の吐出に伴い、ヘッド内及び周辺のチューブに流れる流量が変動する。チューブは、流体力学的には流路抵抗と流体の慣性（イナータンス）でモデル化でき、電気回路になぞらえると、電気抵抗とインダクタンスの２成分を持つ素子と同等である。この場合、流体力学での圧力は、電気回路でいうところの電圧に対応する。そして、液滴の吐出に伴う流速の変化が引き起こされると、流体の抵抗及び慣性が圧力変動として大きく寄与する。この流路抵抗の大きさＲは、チューブ長をＬ、チューブ径をＤとすると、Ｒ∝ＬＤ-4、慣性成分Ｍの大きさは、Ｍ∝ＬＤ-2の関係がある。したがって、流路抵抗Ｒ及び慣性成分Ｍを小さくするためには、チューブ長を短くする、若しくは、チューブ径を太くすることが有効になる。

さて、このように考えた場合、ラインヘッド型のインクジェット装置を考えると、インクの吐出が大きいため、インクの流路を過剰に長くする等、不適当に流路のレイアウトを選ぶと、ダンパーでは十分に解消できないほど圧力変動が大きくなる懸念がある。

また、流路のレイアウトを行う場合においても、すべての配管を短くすることは物理的に不可能である。

また、特許文献２では、供給側のタンク内のインクに生じる単位体積当たりのエネルギーと、回収側のタンク内のインクに生じる単位体積当たりのエネルギーとが、所定の関係を保持するように制御することで、圧力変動を抑制しているが、高速印字を行った場合には、吐出のサイクルが早すぎるため、十分に応答できないおそれがある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ノズルから吐出させる液体をヘッドに安定して供給でき、ノズルからの液滴の吐出を正しく制御することができる液滴吐出装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための手段は、次のとおりである。

第１の態様は、ノズルから吐出させる液体の供給口と回収口とを備え、液体が供給口から連続的に供給されるとともに、回収口から連続的に回収されるヘッドと、ヘッドに液体を供給する供給流路と、ヘッドから液体を回収する回収流路と、を備え、供給口からノズルに至るまでのヘッド内部の流路抵抗をR_HEAD_IN、ノズルから回収口に至るまでのヘッド内部の流路抵抗をR_HEAD_OUT、供給流路の流路抵抗をR_CHANNEL_IN、回収流路の流路抵抗をR_CHANNEL_OUTとしたとき、R_HEAD_IN＞R_HEAD_OUTの場合は、R_CHANNEL_IN＞R_CHANNEL_OUTの関係を満たすように、供給流路と回収流路とがレイアウトされ、R_HEAD_IN ＜ R_HEAD_OUTの場合は、R_CHANNEL_IN ＜ R_CHANNEL_OUTの関係を満たすように、供給流路と回収流路とがレイアウトされる態様である。

本態様によれば、ノズルから吐出させる液体が連続的に供給、回収されるヘッド（いわゆる循環型のヘッド）において、ヘッド内に形成される流路の流路抵抗に基づいて、供給流路及び回収流路がレイアウトされる。循環型のヘッドは、内部に複数の流路がある。このヘッド内部の流路は、供給側（ノズルの上流側）と回収側（ノズルの下流側）に、ある流路抵抗を持つように構成される。ヘッド内部の流路を流れる液体は、ノズルから液滴が吐出されると、流量が変動する。そして、この変動は、ヘッド内における供給側の流路の流路抵抗と回収側の流路の流路抵抗との比によって、供給流路と回収流路のどちらに伝播しやすいかが決まる。たとえば、ヘッド内部の供給側の流路抵抗（R_HEAD_IN）が、ヘッド内部の回収側の流路抵抗（R_HEAD_OUT）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＞ R_HEAD_OUTの場合）、流量の変動は回収流路側に伝播しやすい。逆に、ヘッド内部の回収側の流路抵抗（R_HEAD_OUT）が、ヘッド内部の供給側の流路抵抗（R_HEAD_IN）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＜ R_HEAD_OUTの場合）、流量の変動は供給流路側に伝播しやすい。したがって、ヘッド内部の供給側の流路抵抗（R_HEAD_IN）が、ヘッド内部の回収側の流路抵抗（R_HEAD_OUT）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＞ R_HEAD_OUTの場合）は、供給流路の流路抵抗（R_CHANNEL_IN）が回収流路の流路抵抗（R_CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように、供給流路と回収流路とをレイアウトする。逆に、ヘッド内部の回収側の流路抵抗（R_HEAD_OUT）が、ヘッド内部の供給側の流路抵抗（R_HEAD_IN）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＜ R_HEAD_OUTの場合）は、回収流路の流路抵抗（R_CHANNEL_OUT）が供給流路の流路抵抗（R_CHANNEL_IN）よりも大きくなるように、供給流路と回収流路とをレイアウトする。このように、本態様では、ヘッド内に形成される流路の流路抵抗に基づいて、供給流路及び回収流路がレイアウトされる。これにより、圧力変動の発生を効率的に抑えることができる。また、これにより、ノズルから吐出させる液体をヘッドに安定して供給することができ、ノズルからの液滴の吐出を正しく制御することができる。レイアウトは、たとえば、供給流路、回収流路を構成するチューブの径（チューブ径：流路径）、長さ（チューブ長：流路長）を調整したり、抵抗となる部材（たとえば、フィルタなど）を配置したりすることにより行われる。すなわち、レイアウトとは、流路を構成するチューブの長さ、径を調整して配置するだけではなく、フィルタ等の流路の抵抗となる部材を流路に配置することを含む概念である。

第２の態様は、上記第１の態様において、上記の流路抵抗の関係を満たすように、供給流路及び回収流路の流路径及び流路長が選択されて、供給流路と回収流路とがレイアウトされる態様である。

流路抵抗は、流路の流路径（流路の内径）と流路長（流路の長さ）と応じて変化する。そこで、本態様では、上記の流路抵抗の関係を満たすように、供給流路及び回収流路の流路径及び流路長が選択されて、供給流路と回収流路とがレイアウトされる。たとえば、ヘッド内部の供給側の流路抵抗（R_HEAD_IN）が、ヘッド内部の回収側の流路抵抗（R_HEAD_OUT）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＞ R_HEAD_OUTの場合）は、回収流路を構成するチューブの流路長（チューブ長）を供給流路を構成するチューブの流路長（チューブ長）よりも短くする。あるいは、回収流路を構成するチューブの流路径（チューブ径）を供給流路を構成するチューブの流路径（チューブ径）よりも太くする。逆に、ヘッド内部の回収側の流路抵抗（R_HEAD_OUT）が、ヘッド内部の供給側の流路抵抗（R_HEAD_IN）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＜ R_HEAD_OUTの場合）は、供給流路を構成するチューブの流路長を回収流路を構成するチューブの流路長よりも短くする。あるいは、供給流路を構成するチューブの流路径を回収流路を構成するチューブの流路径よりも太くする。これにより、簡単な構成で圧力変動の発生を効率よく抑えることができる。また、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗と回収側の流路の流路抵抗との比に基づいて、一定長さ以上の流路を持つことが許容されるので、レイアウトの自由度を向上させることができる。

第３の態様は、第１又は２の態様において、上記の流路抵抗の関係を満たすように、供給流路及び／又は回収流路に濾過手段及び／又は脱気手段が配置されて、供給流路と回収流路とがレイアウトされる態様である。

流路中に配置される濾過手段や脱気手段は、高い流路抵抗となる。したがって、たとえば、ヘッド内部の供給側の流路抵抗（R_HEAD_IN）が、ヘッド内部の回収側の流路抵抗（R_HEAD_OUT）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＞ R_HEAD_OUTの場合）は、供給流路に濾過手段や脱気手段を配置する。逆に、ヘッド内部の回収側の流路抵抗（R_HEAD_OUT）が、ヘッド内部の供給側の流路抵抗（R_HEAD_IN）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＜ R_HEAD_OUTの場合）は、回収流路に濾過手段や脱気手段を配置する。これにより、圧力変動を抑えつつ、適切に濾過手段や脱気手段を配置することができる。

第４の態様は、第１から３のいずれか１の態様において、供給流路が接続される供給タンクと、回収流路が接続される回収タンクと、を更に備え、供給タンクと回収タンクとの水頭圧差により、液体がヘッドに供給される態様である。

本態様によれば、供給タンクと回収タンクとの水頭圧差により、ヘッドに液体が連続的に供給、回収される。水頭差で供給することにより、脈動のない、より安定した液体の供給を行うことができる。

第５の態様は、第１から３のいずれか１の態様において、供給流路を介してヘッドに液体を送液する供給ポンプと、供給流路に配置される供給ダンパと、回収流路を介してヘッドから液体を送液する回収ポンプと、回収流路に配置される回収ダンパと、を更に備えた態様である。

本態様によれば、供給ポンプと回収ポンプとにより、ヘッドに液体が連続的に供給、回収される。ポンプを用いることにより、効率よく液体の供給を行うことができる。一方、ポンプを用いることにより、流路を流れる液体に脈動が発生するが、供給ダンパ及び回収ダンパを配置することにより、ポンプの脈動を効果的に取り除くことができる。なお、供給ダンパは、供給ポンプとヘッドとの間に配置され、回収ダンパは回収ポンプとヘッドとの間に配置される。また、この場合、供給ダンパからヘッドまでの間の流路抵抗が、供給流路の流路抵抗（R_CHANNEL_IN）となり、ヘッドから回収ダンパまでの間の流路抵抗が、回収流路の流路抵抗（R_CHANNEL_OUT）となる。

第６の態様は、ノズルから吐出させる液体の個別供給口と個別回収口とを備え、液体が個別供給口から連続的に供給されるとともに、個別回収口から連続的に回収されるヘッドモジュールを複数繋ぎ合わせて構成されるヘッドと、各ヘッドモジュールに個別に液体を供給する個別供給流路と、各個別供給流路に分岐して接続され、各個別供給流路に液体を供給する共通供給流路と、各ヘッドモジュールから液体を個別に回収する個別回収流路と、各個別回収流路に分岐して接続され、各個別回収流路から液体を回収する共通回収流路と、を備え、個別供給口からノズルに至るまでのヘッドモジュール内部の流路抵抗をR_MODULE_IN、ノズルから個別回収口に至るまでのヘッドモジュール内部の流路抵抗をR_MODULE_OUT、共通供給流路の流路抵抗をR_C-CHANNEL_IN、共通回収流路の流路抵抗をR_C-CHANNEL_OUTとしたとき、R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUTの場合は、R_C-CHANNEL_IN ＞ R_C-CHANNEL_OUTの関係を満たすように、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされ、R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUTの場合は、R_C-CHANNEL_IN ＜ R_C-CHANNEL_OUT の関係を満たすように、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされる態様である。

本態様によれば、複数のヘッドモジュールを繋ぎ合わせて構成される循環型のヘッドにおいて、ヘッドモジュール内に形成される流路の流路抵抗に基づいて、共通供給流路及び共通回収流路の各流路がレイアウトされる。ヘッドを構成する各ヘッドモジュールも内部に複数の流路がある。そして、ヘッドモジュール内部の供給側の流路抵抗（R_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内部の回収側の流路抵抗（R_MODULE_OUT）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUTの場合）、流量の変動は回収側の流路に伝播しやすい。逆に、ヘッドモジュール内部の回収側の流路抵抗（R_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内部の供給側の流路抵抗（R_MODULE_IN）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUTの場合）、流量の変動は供給側の流路に伝播しやすい。したがって、ヘッドモジュール内部の供給側の流路抵抗（R_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内部の回収側の流路抵抗（R_MODULE_OUT）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUTの場合）は、共通供給流路の流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）が共通回収流路の流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように、共通供給流路と共通回収流路とをレイアウトする。逆に、ヘッドモジュール内部の回収側の流路抵抗（R_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内部の供給側の流路抵抗（R_MODULE_IN）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUTの場合）は、共通回収流路の流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）が共通供給流路の流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように、共通供給流路と共通回収流路とをレイアウトする。このように、本態様では、ヘッドモジュール内に形成される流路の流路抵抗に基づいて、共通供給流路及び共通回収流路の各流路がレイアウトされる。これにより、圧力変動の発生を効率的に抑えることができる。また、これにより、ノズルから吐出させる液体をヘッドに安定して供給でき、ノズルからの液滴の吐出を正しく制御することができる。レイアウトは、たとえば、供給側、回収側の流路を構成するチューブの流路径、流路長を調整したり、抵抗となる部材（たとえば、フィルタなど）を配置したりすることにより行われる。

第７の態様は、上記第６の態様において、個別供給流路の流路抵抗をR_I-CHANNEL_IN、個別回収流路の流路抵抗をR_I-CHANNEL_OUTとしたとき、R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUTの場合は、R_I-CHANNEL_IN ＞ R_I-CHANNEL_OUT、かつ、R_C-CHANNEL_IN ＞ R_C-CHANNEL_OUTの関係を満たすように、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされ、R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUTの場合は、R_I-CHANNEL_IN ＜ R_I-CHANNEL_OUT 、かつ、R_C-CHANNEL_IN ＜ R_C-CHANNEL_OUT の関係を満たすように、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされる態様である。

本態様によれば、ヘッドモジュール内部の供給側の流路抵抗（R_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内部の回収側の流路抵抗（R_MODULE_OUT）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUTの場合）は、個別供給流路の流路抵抗（R_I-CHANNEL_IN）が個別回収流路の流路抵抗（R_I-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように、個別供給流路と個別回収流路とがレイアウトされ、かつ、共通供給流路の流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）が共通回収流路の流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように、共通供給流路と共通回収流路とをレイアウトされる。逆に、ヘッドモジュール内部の回収側の流路抵抗（R_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内部の供給側の流路抵抗（R_MODULE_IN）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUTの場合）は、個別回収流路の流路抵抗（R_I-CHANNEL_OUT）が個別供給流路の流路抵抗（R_I-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように、個別供給流路と個別回収流路とがレイアウトされ、かつ、共通回収流路の流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）が共通供給流路の流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように、共通供給流路と共通回収流路とがレイアウトされる。このように、本態様では、ヘッドモジュール内に形成される流路の流路抵抗に基づいて、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路の各流路がレイアウトされる。すなわち、個別のヘッドモジュールの圧力変動が無視できないような場合については、本態様のように、個別供給流路及び個別回収流路についても、ヘッドモジュール内に形成される流路の流路抵抗に基づいてレイアウトする。これにより、圧力変動の発生を効率的に抑えることができる。また、これにより、ノズルから吐出させる液体をヘッドに安定して供給でき、ノズルからの液滴の吐出を正しく制御することができる。

第８の態様は、上記第７の態様において、上記の流路抵抗の関係を満たすように、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路の流路径及び流路長が選択されて、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされる態様である。

流路抵抗は、流路の流路径と流路長とに応じて変化する。そこで、本態様では、上記の流路抵抗の関係を満たすように、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路の各流路の流路径及び流路長が選択されて、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされる。これにより、簡単な構成で圧力変動の発生を効率よく抑えることができる。また、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗と回収側の流路の流路抵抗との比に基づいて、一定長さ以上の流路を持つことが許容されるので、レイアウトの自由度を向上させることができる。

第９の態様は、上記第６から８のいずれか１の態様において、関係を満たすように、共通供給流路及び／又は共通回収流路に濾過手段及び／又は脱気手段が配置されて、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされる態様である。

流路中に配置される濾過手段や脱気手段は、高い流路抵抗となる。したがって、たとえば、ヘッドモジュール内部の供給側の流路抵抗（R_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内部の回収側の流路抵抗（R_MODULE_OUT）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUTの場合）は、共通供給流路に濾過手段や脱気手段を配置する。逆に、ヘッドモジュール内部の回収側の流路抵抗（R_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内部の供給側の流路抵抗（R_MODULE_IN）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUTの場合）は、共通回収流路に濾過手段や脱気手段を配置する。これにより、圧力変動を抑えつつ、適切に濾過手段や脱気手段を配置することができる。

第１０の態様は、上記第６から９のいずれか１の態様において、共通供給流路が接続される供給タンクと、共通回収流路が接続される回収タンクと、を更に備え、供給タンクと回収タンクとの水頭圧差により、液体がヘッドに供給される態様である。

本態様によれば、供給タンクと回収タンクとの水頭圧差により、ヘッド（ヘッドモジュール）に液体が連続的に供給、回収される。水頭差で供給することにより、脈動のない、より安定した液体の供給を行うことができる。

第１１の態様は、上記第６から９のいずれか１の態様において、共通供給流路を介してヘッドに液体を送液する供給ポンプと、共通供給流路に配置される供給ダンパと、共通回収流路を介してヘッドから液体を送液する回収ポンプと、共通回収流路に配置される回収ダンパと、を更に備えた態様である。

本態様によれば、供給ポンプと回収ポンプとにより、ヘッド（ヘッドモジュール）に液体が連続的に供給、回収される。ポンプを用いることにより、効率よく液体の供給を行うことができる。一方、ポンプを用いることにより、流路を流れる液体に脈動が発生するが、供給ダンパ及び回収ダンパを配置することにより、ポンプの脈動を効果的に取り除くことができる。なお、供給ダンパは、供給ポンプと各個別供給流路への分岐部との間に配置され、回収ダンパは回収ポンプと各個別回収流路へ分岐部との間に配置される。また、この場合、供給ダンパから分岐部までの間の流路抵抗が、供給流路の流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）となり、分岐部から回収ダンパまでの間の流路抵抗が、回収流路の流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）となる。

第１２の態様は、ノズルから吐出させる液体の供給口と回収口とを備え、液体が供給口から連続的に供給されるとともに、回収口から連続的に回収されるヘッドと、ヘッドに液体を供給する供給流路と、ヘッドから液体を回収する回収流路と、を備え、供給口からノズルに至るまでのヘッド内部のイナータンスをＭ_HEAD_IN、ノズルから回収口に至るまでのヘッド内部のイナータンスをＭ_HEAD_OUT、供給流路のイナータンスをＭ_CHANNEL_IN、回収流路のイナータンスをＭ_CHANNEL_OUTとしたとき、Ｍ_HEAD_IN ＞ Ｍ_HEAD_OUTの場合は、Ｍ_CHANNEL_IN ＞ Ｍ_CHANNEL_OUTの関係を満たすように、供給流路と回収流路とがレイアウトされ、Ｍ_HEAD_IN ＜ Ｍ_HEAD_OUTの場合は、Ｍ_CHANNEL_IN ＜ Ｍ_CHANNEL_OUTの関係を満たすように、供給流路と回収流路とがレイアウトされる態様である。

本態様によれば、いわゆる循環型のヘッドにおいて、ヘッド内に形成される流路のイナータンスに基づいて、供給流路及び回収流路がレイアウトされる。上記のように、ノズルからの液体の吐出に伴う圧力変動が、供給流路と回収流路のどちらに伝播しやすいかは、ヘッド内部の流路抵抗で決まるが、このことはヘッド内部のイナータンスについてもいえる。すなわち、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンスと回収側の流路のイナータンスとの比によって、圧力変動が供給流路と回収流路のどちらに伝播しやすいかが決まる。たとえば、ヘッド内部の供給側のイナータンス（Ｍ_HEAD_IN）が、ヘッド内部の回収側のイナータンス（Ｍ_HEAD_OUT）よりも大きい場合（Ｍ_HEAD_IN ＞ Ｍ_HEAD_OUTの場合）、流量の変動は回収流路側に伝播しやすい。逆に、ヘッド内部の回収側のイナータンス（Ｍ_HEAD_OUT）が、ヘッド内部の供給側のイナータンス（Ｍ_HEAD_IN）よりも大きい場合（Ｍ_HEAD_IN ＜ Ｍ_HEAD_OUTの場合）、流量の変動は供給流路側に伝播しやすい。したがって、ヘッド内部の供給側のイナータンス（Ｍ_HEAD_IN）が、ヘッド内部の回収側のイナータンス（Ｍ_HEAD_OUT）よりも大きい場合（Ｍ_HEAD_IN ＞ Ｍ_HEAD_OUTの場合）は、供給流路のイナータンス（Ｍ_CHANNEL_IN）が回収流路のイナータンス（Ｍ_CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように、供給流路と回収流路とをレイアウトする。逆に、ヘッド内部の回収側のイナータンス（Ｍ_HEAD_OUT）が、ヘッド内部の供給側のイナータンス（Ｍ_HEAD_IN）よりも大きい場合（Ｍ_HEAD_IN ＜ Ｍ_HEAD_OUTの場合）は、回収流路のイナータンス（Ｍ_CHANNEL_OUT）が供給流路のイナータンス（Ｍ_CHANNEL_IN）よりも大きくなるように、供給流路と回収流路とをレイアウトする。このように、本態様では、ヘッド内に形成される流路のイナータンスに基づいて、供給流路及び回収流路がレイアウトされる。これにより、圧力変動の発生を効率的に抑えることができる。また、これにより、ノズルから吐出させる液体をヘッドに安定して供給でき、ノズルからの液滴の吐出を正しく制御することができる。レイアウトは、たとえば、供給流路、回収流路を構成するチューブの径（チューブ径：流路径）、長さ（チューブ長：流路長）を調整したり、抵抗となる部材（たとえば、フィルタなど）を配置したりすることにより行われる。

第１３の態様は、上記第１２の態様において、上記イナータンスの関係を満たすように、供給流路及び回収流路の流路径及び流路長が選択されて、供給流路と回収流路とがレイアウトされる態様である。

流路抵抗と同様に、イナータンスは流路の流路径と流路長と応じて変化する。そこで、本態様では、上記イナータンスの関係を満たすように、供給流路及び回収流路の流路径及び流路長が選択されて、供給流路と回収流路とがレイアウトされる。たとえば、ヘッド内部の供給側のイナータンス（Ｍ_HEAD_IN）が、ヘッド内部の回収側のイナータンス（Ｍ_HEAD_OUT）よりも大きい場合（Ｍ_HEAD_IN ＞ Ｍ_HEAD_OUTの場合）は、回収流路を構成するチューブの流路長（チューブ長）を供給流路を構成するチューブの流路長（チューブ長）よりも短くする。あるいは、回収流路を構成するチューブの流路径（チューブ径）を供給流路の流路径（チューブ径）よりも太くする。逆に、ヘッド内部の回収側のイナータンス（Ｍ_HEAD_OUT）が、ヘッド内部の供給側のイナータンス（Ｍ_HEAD_IN）よりも大きい場合（Ｍ_HEAD_IN ＜ Ｍ_HEAD_OUTの場合）は、供給流路を構成するチューブの流路長を回収流路を構成するチューブの流路長よりも短くする。あるいは、供給流路を構成するチューブの流路径を回収流路を構成するチューブの流路径よりも太くする。これにより、簡単な構成で圧力変動の発生を効率よく抑えることができる。また、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンスと回収側の流路のイナータンスとの比に基づいて、一定長さ以上の流路を持つことが許容されるので、レイアウトの自由度を向上させることができる。

第１４の態様は、上記第１２又は１３の態様において、上記イナータンスの関係を満たすように、供給流路及び／又は回収流路に濾過手段及び／又は脱気手段が配置されて、供給流路と回収流路とがレイアウトされる態様である。

流路中に配置される濾過手段や脱気手段は、高い流路抵抗となる。したがって、たとえば、ヘッド内部の供給側のイナータンス（Ｍ_HEAD_IN）が、ヘッド内部の回収側のイナータンス（Ｍ_HEAD_OUT）よりも大きい場合（Ｍ_HEAD_IN ＞ Ｍ_HEAD_OUTの場合）は、供給流路に濾過手段や脱気手段を配置する。逆に、ヘッド内部の回収側のイナータンス（Ｍ_HEAD_OUT）が、ヘッド内部の供給側のイナータンス（Ｍ_HEAD_IN）よりも大きい場合（Ｍ_HEAD_IN ＜ Ｍ_HEAD_OUTの場合）は、回収流路に濾過手段や脱気手段を配置する。これにより、圧力変動を抑えつつ、適切に濾過手段や脱気手段を配置することができる。

第１５の態様は、上記第１２から１４のいずれか１の態様において、供給流路が接続される供給タンクと、回収流路が接続される回収タンクと、を更に備え、供給タンクと回収タンクとの水頭圧差により、液体がヘッドに供給される態様である。

本態様によれば、供給タンクと回収タンクとの水頭圧差により、ヘッドに液体が連続的に供給、回収される。水頭差で供給することにより、脈動のない、より安定した液体の供給を行うことができる。

第１６の態様は、上記第１２から１４のいずれか１の態様において、供給流路を介してヘッドに液体を送液する供給ポンプと、供給流路に配置される供給ダンパと、回収流路を介してヘッドから液体を送液する回収ポンプと、回収流路に配置される回収ダンパと、を更に備えた態様である。

本態様によれば、供給ポンプと回収ポンプとにより、ヘッドに液体が連続的に供給、回収される。ポンプを用いることにより、効率よく液体の供給を行うことができる。一方、ポンプを用いることにより、流路を流れる液体に脈動が発生するが、供給ダンパ及び回収ダンパを配置することにより、ポンプの脈動を効果的に取り除くことができる。なお、供給ダンパは、供給ポンプとヘッドとの間に配置され、回収ダンパは回収ポンプとヘッドとの間に配置される。また、この場合、供給ダンパからヘッドまでの間のイナータンスが、供給流路のイナータンス（Ｍ_CHANNEL_IN）となり、ヘッドから回収ダンパまでの間のイナータンスが、回収流路のイナータンス（Ｍ_CHANNEL_OUT）となる。

第１７の態様は、ノズルから吐出させる液体の個別供給口と個別回収口とを備え、液体が個別供給口から連続的に供給されるとともに、個別回収口から連続的に回収されるヘッドモジュールを複数繋ぎ合わせて構成されるヘッドと、各ヘッドモジュールに個別に液体を供給する個別供給流路と、各個別供給流路に分岐して接続され、各個別供給流路に液体を供給する共通供給流路と、各ヘッドモジュールから液体を個別に回収する個別回収流路と、各個別回収流路に分岐して接続され、各個別回収流路から液体を回収する共通回収流路と、を備え、個別供給口からノズルに至るまでのヘッドモジュール内部のイナータンスをＭ_MODULE_IN、ノズルから個別回収口に至るまでのヘッドモジュール内部のイナータンスをＭ_MODULE_OUT、共通供給流路のイナータンスをM_C-CHANNEL_IN、共通回収流路のイナータンスをM_C-CHANNEL_OUTとしたとき、Ｍ_MODULE_IN ＞ Ｍ_MODULE_OUTの場合は、M_C-CHANNEL_IN ＞ M_C-CHANNEL_OUTの関係を満たすように、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされ、Ｍ_MODULE_IN ＜ Ｍ_MODULE_OUTの場合は、M_C-CHANNEL_IN ＜ M_C-CHANNEL_OUT の関係を満たすように、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされる態様である。

本態様によれば、複数のヘッドモジュールを繋ぎ合わせて構成される循環型のヘッドにおいて、ヘッドモジュール内に形成される流路のイナータンスに基づいて、共通供給流路及び共通回収流路の各流路がレイアウトされる。ヘッドを構成する各ヘッドモジュールも内部に複数の流路がある。そして、ヘッドモジュール内部の供給側のイナータンス（Ｍ_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内部の回収側のイナータンス（Ｍ_MODULE_OUT）よりも大きい場合（Ｍ_MODULE_IN ＞ Ｍ_MODULE_OUTの場合）、流量の変動は回収側の流路に伝播しやすい。逆に、ヘッドモジュール内部の回収側のイナータンス（Ｍ_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内部の供給側のイナータンス（Ｍ_MODULE_IN）よりも大きい場合（Ｍ_MODULE_IN ＜ Ｍ_MODULE_OUTの場合）、流量の変動は供給側の流路に伝播しやすい。したがって、ヘッドモジュール内部の供給側のイナータンス（Ｍ_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内部の回収側のイナータンス（Ｍ_MODULE_OUT）よりも大きい場合（Ｍ_MODULE_IN ＞ Ｍ_MODULE_OUTの場合）は、共通供給流路のイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）が共通回収流路のイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように、共通供給流路と共通回収流路とをレイアウトする。逆に、ヘッドモジュール内部の回収側のイナータンス（Ｍ_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内部の供給側のイナータンス（Ｍ_MODULE_IN）よりも大きい場合（Ｍ_MODULE_IN ＜ Ｍ_MODULE_OUTの場合）は、共通回収流路のイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）が共通供給流路のイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように、共通供給流路と共通回収流路とをレイアウトする。このように、本態様では、ヘッドモジュール内に形成される流路のイナータンスに基づいて、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路の各流路がレイアウトされる。これにより、圧力変動の発生を効率的に抑えることができる。また、これにより、ノズルから吐出させる液体をヘッドに安定して供給でき、ノズルからの液滴の吐出を正しく制御することができる。レイアウトは、たとえば、供給側、回収側の流路を構成するチューブの流路径（チューブ径）、流路長（チューブ長）を調整したり、抵抗となる部材（たとえば、フィルタなど）を配置したりすることにより行われる。

第１８の態様は、上記第１７の態様において、個別供給流路のイナータンスをＭ_I-CHANNEL_IN、個別回収流路のイナータンスをＭ_I-CHANNEL_OUTとしたとき、Ｍ_MODULE_IN ＞ Ｍ_MODULE_OUTの場合は、Ｍ_I-CHANNEL_IN ＞ Ｍ_I-CHANNEL_OUT、かつ、M_C-CHANNEL_IN ＞ M_C-CHANNEL_OUTの関係を満たすように、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされ、Ｍ_MODULE_IN ＜ Ｍ_MODULE_OUTの場合は、Ｍ_I-CHANNEL_IN ＜ Ｍ_I-CHANNEL_OUT 、かつ、M_C-CHANNEL_IN ＜ M_C-CHANNEL_OUT の関係を満たすように、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされる態様である。

本態様によれば、ヘッドモジュール内部の供給側のイナータンス（Ｍ_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内部の回収側のイナータンス（Ｍ_MODULE_OUT）よりも大きい場合（Ｍ_MODULE_IN ＞ Ｍ_MODULE_OUTの場合）は、個別供給流路のイナータンス（Ｍ_I-CHANNEL_IN）が個別回収流路のイナータンス（Ｍ_I-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように、個別供給流路と個別回収流路とがレイアウトされ、かつ、共通供給流路のイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）が共通回収流路のイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように、共通供給流路と共通回収流路とがレイアウトされる。逆に、ヘッドモジュール内部の回収側のイナータンス（Ｍ_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内部の供給側のイナータンス（Ｍ_MODULE_IN）よりも大きい場合（Ｍ_MODULE_IN ＜ Ｍ_MODULE_OUTの場合）は、個別回収流路のイナータンス（Ｍ_I-CHANNEL_OUT）が個別供給流路のイナータンス（Ｍ_I-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように、個別供給流路と個別回収流路とがレイアウトされ、かつ、共通回収流路のイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）が共通供給流路のイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように、共通供給流路と共通回収流路とがレイアウトされる。このように、本態様では、ヘッドモジュール内に形成される流路のイナータンスに基づいて、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路の各流路がレイアウトされる。すなわち、個別のヘッドモジュールの圧力変動が無視できないような場合については、本態様のように、個別供給流路及び個別回収流路についても、ヘッドモジュール内に形成される流路のイナータンスに基づいてレイアウトする。これにより、圧力変動の発生を効率的に抑えることができる。また、これにより、ノズルから吐出させる液体をヘッドに安定して供給でき、ノズルからの液滴の吐出を正しく制御することができる。

第１９の態様は、上記第１８の態様において、上記イナータンスの関係を満たすように、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路の流路径及び流路長が選択されて、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされる態様である。

流路抵抗と同様に、イナータンスは、流路の流路径と流路長と応じて変化する。そこで、本態様では、上記のイナータンスの関係を満たすように、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路の各流路の流路径及び流路長が選択されて、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされる。これにより、簡単な構成で圧力変動の発生を効率よく抑えることができる。また、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンスと回収側の流路のイナータンスとの比に基づいて、一定長さ以上の流路を持つことが許容されるので、レイアウトの自由度を向上させることができる。

第２０の態様は、上記第１７から１９のいずれか１の態様において、上記イナータンスの関係を満たすように、共通供給流路及び／又は共通回収流路に濾過手段及び／又は脱気手段が配置されて、個別供給流路、個別回収流路、共通供給流路及び共通回収流路がレイアウトされる態様である。

流路中に配置される濾過手段や脱気手段は、高い流路抵抗となる。したがって、たとえば、ヘッドモジュール内部の供給側のイナータンス（Ｍ_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内部の回収側のイナータンス（Ｍ_MODULE_OUT）よりも大きい場合（Ｍ_MODULE_IN ＞ Ｍ_MODULE_OUTの場合）は、共通供給流路に濾過手段や脱気手段を配置する。逆に、ヘッドモジュール内部の回収側のイナータンス（Ｍ_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内部の供給側のイナータンス（Ｍ_MODULE_IN）よりも大きい場合（Ｍ_MODULE_IN ＜ Ｍ_MODULE_OUTの場合）は、共通回収流路に濾過手段や脱気手段を配置する。これにより、圧力変動を抑えつつ、適切に濾過手段や脱気手段を配置することができる。

第２１の態様は、上記第１７から２０のいずれか１の態様において、共通供給流路が接続される供給タンクと、共通回収流路が接続される回収タンクと、を更に備え、供給タンクと回収タンクとの水頭圧差により、液体がヘッドに供給される態様である。

本態様によれば、供給タンクと回収タンクとの水頭圧差により、ヘッド（ヘッドモジュール）に液体が連続的に供給、回収される。水頭差で供給することにより、脈動のない、より安定した液体の供給を行うことができる。

第２２の態様は、上記第１７から２０のいずれか１の態様において、共通供給流路を介してヘッドに液体を送液する供給ポンプと、共通供給流路に配置される供給ダンパと、共通回収流路を介してヘッドから液体を送液する回収ポンプと、共通回収流路に配置される回収ダンパと、を更に備えた態様である。

本態様によれば、供給ポンプと回収ポンプとにより、ヘッド（ヘッドモジュール）に液体が連続的に供給、回収される。ポンプを用いることにより、効率よく液体の供給を行うことができる。一方、ポンプを用いることにより、流路を流れる液体に脈動が発生するが、供給ダンパ及び回収ダンパを配置することにより、ポンプの脈動を効果的に取り除くことができる。なお、供給ダンパは、供給ポンプと各個別供給流路への分岐部との間に配置され、回収ダンパは回収ポンプと各個別回収流路へ分岐部との間に配置される。また、この場合、供給ダンパから分岐部までの間のイナータンスが、供給流路のイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）となり、分岐部から回収ダンパまでの間のイナータンスが、回収流路のイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）となる。

本発明によれば、ノズルから吐出させる液体をヘッドに安定して供給でき、ノズルからの液滴の吐出を正しく制御することができる。

液滴吐出装置の第１の実施の形態の概略構成図 ヘッドのノズル面の平面透視図 ヘッド内部の概略構造を示す縦断面図 第１の実施の形態の液滴吐出装置を電気回路に置き換えた図 液滴吐出装置の第２の実施の形態の概略構成図 液滴吐出装置の第３の実施の形態の概略構成図 第３の実施の形態の液滴吐出装置を電気回路に置き換えた図 液滴吐出装置の第４の実施の形態の概略構成図 ヘッド内部にバイパス流路を有する液滴吐出装置を電気回路に置き換えた図である

以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。

［第１の実施の形態］
図１は、液滴吐出装置の第１の実施の形態の概略構成図である。

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出装置１０は、主として、ヘッド１２と、ヘッド１２に液体を供給する液体供給回収ユニット１４とで構成される。

〈ヘッド〉
ヘッド１２は、いわゆる循環型のヘッドであり、液体の供給口１６と回収口１８とが備えられる。液体は、供給口１６から連続的に供給され、かつ、回収口１８から連続的に回収される。これにより、ヘッド内部に供給口１６から回収口１８に向かう液体の流れが形成され、ヘッド内部に気泡が混入したり、ヘッド内部の液体が増粘したりするのを防止することができる。

ヘッド１２は、矩形のブロック状に形成され、下面部分にノズル面２０が形成される。液滴を吐出するためのノズル２２は、このノズル面２０に形成される。

図２は、ヘッドのノズル面の平面透視図である。

同図に示すように、ノズル２２は、ヘッド１２の長手方向に沿って同一直線上に一定ピッチで多数形成される。ヘッド１２の内部には、各ノズル２２に対応して圧力室２４が同一直線上に一定ピッチで多数形成される。各ノズル２２は、それぞれ対応する圧力室２４に個別に連通される。

図３は、ヘッド内部の概略構造を示す縦断面図である。

同図に示すように、圧力室２４は、直方体状の空間としてヘッド１２の内部に形成される。圧力室２４の天井面は、振動板２６で構成され、上下方向に変形可能に形成される。ノズル２２は、この圧力室２４の底面部の中央に連通される。

振動板２６の上には圧電素子２８が配置される。圧電素子２８は、その上部に設けられる図示しない個別電極と、共通電極として作用する振動板２６との間に所定の駆動電圧を印加することにより駆動される。圧電素子２８を駆動することにより、振動板２６が上下に変形する。これにより、圧力室２４が膨張、収縮し、ノズル２２から液滴が吐出される。

ヘッド１２の内部には、圧力室２４の配列方向に沿って内部共通供給流路３０が形成される。内部共通供給流路３０は、一端が供給口１６に連通される。各圧力室２４は、個別に設けられる内部個別供給流路３２を介して内部共通供給流路３０に連通される。

また、ヘッド１２の内部には、圧力室２４の配列方向に沿って内部共通回収流路３４が形成される。内部共通回収流路３４は、一端が回収口１８に連通される。各圧力室２４は、個別に設けられる内部個別回収流路３６を介して内部共通回収流路３４に連通される。

供給口１６から液体を供給すると、液体は内部共通供給流路３０から内部個別供給流路３２を流れて、各圧力室２４に供給される。また、各圧力室２４に供給された液体は、内部個別回収流路３６から内部共通回収流路３４を流れて、回収口１８に到達する。したがって、供給口１６から液体を連続的に供給するとともに、回収口１８から液体を連続的に回収すると、ヘッド内に液体の流れを形成することができる。すなわち、液体を循環させて供給することができる。

〈液体供給回収ユニット〉
図１に示すように、液体供給回収ユニット１４は、主として、液体の供給タンク４０と、液体の供給チューブ４２と、液体の回収タンク４４と、液体の回収チューブ４６とで構成される。この液体供給回収ユニット１４は、供給タンク４０と回収タンク４４との水頭差により、ヘッド１２に液体を供給する。

供給タンク４０は、ヘッド１２に供給する液体を貯留する。

供給チューブ４２は、供給流路を構成し、供給タンク４０とヘッド１２とを接続して、供給タンク４０に貯留された液体をヘッド１２に送液する。供給チューブ４２は、一端が供給タンク４０に接続され、他端がヘッド１２の供給口１６に接続される。

回収タンク４４は、ヘッド１２から回収した液体を貯留する。

回収チューブ４６は、回収流路を構成し、回収タンク４４とヘッド１２とを接続して、ヘッド１２から回収タンク４４に液体を送液する。回収チューブ４６は、一端が回収タンク４４に接続され、他端がヘッド１２の回収口１８に接続される。

ここで、ノズル面に負圧を付与するため、供給タンク４０は、回収タンク４４よりも高い位置（重力方向上方位置）、若しくは、供給タンク４０は、ヘッド１２よりも低い位置（重力方向下方位置）に設置される。これにより、供給タンク４０と回収タンク４４との水頭差（Ｈ）を利用して、ノズル面に負圧を付与しつつ、ヘッド１２の供給口１６に液体を連続的に供給できるとともに、回収口１８から液体を連続的に回収することができる。

〈チューブレイアウト〉
チューブは、流体力学的には流路抵抗と流体の慣性（イナータンス）でモデル化することができ、電気回路になぞらえると、電気抵抗とインダクタンスの２成分を持つ素子と同等である。

図４は、本実施の形態の液滴吐出装置を電気回路に置き換えた図である。なお、同図では、簡略化のため、ヘッド内部の流路は抵抗だけで表記し、イナータンス成分は省略している。

本実施の形態のヘッド１２のように、循環型のヘッドは、内部に複数の流路が形成される（たとえば、上記の内部共通供給流路３０、内部個別供給流路３２、内部共通回収流路３４、内部個別回収流路３６等）。このヘッド内の流路は、供給側（ノズルの上流側）と回収側（ノズルの下流側）に、ある流路抵抗を持つように構成される。

そして、ヘッド内の流路を流れる液体は、ノズル２２から液滴が吐出されると、流量が変動する。この流量の変動は、ヘッド内における供給側の流路の流路抵抗（供給口１６からノズル２２に至るまでの流路の流路抵抗）と回収側の流路の流路抵抗（ノズル２２から回収口１８に至るまでの流路の流路抵抗）との比によって、供給チューブ４２と回収チューブ４６のどちらに伝播しやすいかが決まる。

ここで、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（供給口１６からノズル２２に至るまでの流路の流路抵抗）をR_HEAD_IN、ヘッド内に形成される回収側の流路の流路抵抗（ノズル２２から回収口１８に至るまでの流路の流路抵抗）をR_HEAD_OUTとする。

ヘッド内部の供給側の流路抵抗（R_HEAD_IN）が、ヘッド内部の回収側の流路抵抗（R_HEAD_OUT）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＞ R_HEAD_OUT）、流量の変動は回収チューブ４６側に伝播しやすい。

逆に、ヘッド内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_HEAD_OUT）が、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_HEAD_IN）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＜ R_HEAD_OUT）、流量の変動は供給チューブ４２側に伝播しやすい。

したがって、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_HEAD_IN）が、ヘッド内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_HEAD_OUT）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＞ R_HEAD_OUT）は、供給チューブ４２の流路抵抗（R_CHANNEL_IN）が、回収チューブ４６の流路抵抗（R_CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（R_CHANNEL_IN ＞ R_CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトする。

逆に、ヘッド内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_HEAD_OUT）が、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_HEAD_IN）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＜ R_HEAD_OUT）は、回収チューブ４６の流路抵抗（R_CHANNEL_OUT）が、供給チューブ４２の流路抵抗（R_CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（R_CHANNEL_IN ＜ R_CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトする。

このように、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗と回収側の流路の流路抵抗とに基づき、流量の変動が大きい流路側の流路抵抗が低くなるように、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトする。これにより、ノズル２２からの液滴の吐出に伴い生じる圧力の変動を効率的に抑えることができる。

なお、チューブは、チューブ長をＬ、チューブ径をＤ、流路抵抗をＲとすると、Ｒ∝ＬＤ-4の関係にある。したがって、供給チューブ４２と回収チューブ４６のチューブ長及びチューブ径を適宜選択することにより、上記関係を満たすようにレイアウトすることができる。

たとえば、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_HEAD_IN）が、ヘッド内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_HEAD_OUT）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＞ R_HEAD_OUT）、供給チューブ４２を回収チューブ４６よりも長く形成して、上記関係を満足させることができる。逆に、ヘッド内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_HEAD_OUT）が、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_HEAD_IN）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＜ R_HEAD_OUT）、回収チューブ４６を供給チューブ４２よりも長く形成して、上記関係を満足させることができる。

このように、使用するチューブのチューブ長及びチューブ径を適宜選択することにより、上記関係を満たすように、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトすることができる。そして、本態様によれば、上記関係を満たす限り、チューブ径、チューブ長の選択が可能になるので、レイアウトの自由度が向上する。

なお、流量の変動が小さい流路側に高抵抗を持つフィルター（濾過手段）や脱気ポンプ（脱気手段）などを配置して、上記関係を満足させることもできる。

たとえば、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_HEAD_IN）が、ヘッド内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_HEAD_OUT）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＞ R_HEAD_OUT）、供給チューブ側にフィルター（濾過手段）や脱気ポンプ（脱気手段）を配置して、上記関係を満足させることができる。逆に、ヘッド内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_HEAD_OUT）が、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_HEAD_IN）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＜ R_HEAD_OUT）、回収チューブ側にフィルター（濾過手段）や脱気ポンプ（脱気手段）を配置して、上記関係を満足させることができる。これにより、圧力変動を抑えつつ、適切に濾過手段や脱気手段等を配置することができる。

このように、本実施の形態の液滴吐出装置１０によれば、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗と回収側の流路の流路抵抗との比に基づいて、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトすることにより、圧力変動の発生を効果的に抑えることができる。これにより、ノズル２２から吐出させる液体をヘッド１２に安定して供給でき、ノズル２２からの液滴の吐出を正しく制御することができる。

特に、ヘッドは、ノズル数が増えるほど、同時に吐出する液滴量が多くなり、圧力変動が生じやすくなるので、いわゆるラインプリンタ等に搭載されるラインヘッドのように、ノズル数が多いヘッドほど本発明は有効に機能する。

なお、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_HEAD_IN）は、供給側の流路を構成する流路全体の流路抵抗であり、回収側の流路の流路抵抗（R_HEAD_OUT）は、回収側の流路構成する流路全体の流路抵抗である。

ただし、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗は、主に内部個別供給流路３２によって定まり、回収側の流路の流路抵抗は、主に内部個別回収流路３６によって決まるので、内部個別供給流路３２の流路抵抗を供給側の流路の流路抵抗（R_HEAD_IN）とし、内部個別回収流路３６の流路抵抗を回収側の流路の流路抵抗（R_HEAD_OUT）とすることができる（図４のR_HEAD_IN、及び、R_HEAD_OUTに対応）。

図４に示すように、同じ流路のものが並列で並んでおり、これを流路全体で見た場合は、電気回路で言うところの合成抵抗に対応する（1/R_in_total = 1/R_head_in1 + 1/R_head_in2 +…、1/R_out_total = 1/R_head_out1 + 1/R_head_out2 +…）。したがって、内部個別供給流路３２の流路抵抗と内部個別回収流路３６の流路抵抗との比（図４の（R_HEAD_INとR_HEAD_OUTの比）が、ヘッド内部の供給側の流路の流路抵抗、及び、回収側の流路の流路抵抗を決定する。

したがって、各ノズル間で流路抵抗のバラツキがない場合は、内部個別供給流路３２の流路抵抗と内部個別回収流路３６の流路抵抗との比（図４の（R_HEAD_INとR_HEAD_OUTの比）が、そのまま全体の供給側と回収側の流路抵抗の比を決める。

ノズル間で流路抵抗のバラツキがある場合は、並列化した流路の合成抵抗の計算によって、全体の流路抵抗を求めることができる。

〈イナータンスに基づくチューブレイアウト〉
以上は、流路抵抗に基づく供給チューブ４２と回収チューブ４６のレイアウト方法についてであるが、イナータンスについても同様に考えることができる。

循環型のヘッドにおいて、ヘッド内に形成される流路は、供給側（ノズルの上流側）と回収側（ノズルの下流側）に、あるイナータンスを持つように構成される。液滴の吐出に伴い、流量変動が生じるが、この流量変動は、流路抵抗の場合と同様に、ヘッド内における供給側の流路のイナータンス（供給口１６からノズル２２に至るまでの流路のイナータンス）と回収側の流路のイナータンス（ノズル２２から回収口１８に至るまでの流路のイナータンス）との比によって、供給チューブ４２と回収チューブ４６のどちらに伝播しやすいかが決まる。

ここで、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンス（供給口１６からノズル２２に至るまでの流路のイナータンス）をM_HEAD_IN、ヘッド内に形成される回収側の流路のイナータンス（ノズル２２から回収口１８に至るまでの流路のイナータンス）をM_HEAD_OUTとする。

ヘッド内部の供給側のイナータンス（M_HEAD_IN）が、ヘッド内部の回収側のイナータンス（M_HEAD_OUT）よりも大きい場合（M_HEAD_IN ＞ M_HEAD_OUT）、流量の変動は回収チューブ４６側に伝播しやすい。

逆に、ヘッド内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_HEAD_OUT）が、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_HEAD_IN）よりも大きい場合（M_HEAD_IN ＜ M_HEAD_OUT）、流量の変動は供給チューブ４２側に伝播しやすい。

したがって、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_HEAD_IN）が、ヘッド内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_HEAD_OUT）よりも大きい場合（M_HEAD_IN ＞ M_HEAD_OUT）は、供給チューブ４２のイナータンス（M_CHANNEL_IN）が、回収チューブ４６のイナータンス（M_CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（M_CHANNEL_IN ＞ M_CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトする。

逆に、ヘッド内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_HEAD_OUT）が、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_HEAD_IN）よりも大きい場合（M_HEAD_IN ＜ M_HEAD_OUT）は、回収チューブ４６のイナータンス（M_CHANNEL_OUT）が、供給チューブ４２のイナータンス（M_CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（R_CHANNEL_IN ＜ R_CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトする。

このように、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンスと回収側の流路のイナータンスとに基づき、流量の変動が大きい流路側のイナータンスが低くなるように、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトする。これにより、ノズル２２からの液滴の吐出に伴い生じる圧力の変動を効率的に抑えることができる。

なお、チューブは、チューブ長をＬ、チューブ径をＤ、イナータンスをＭとすると、Ｍ∝ＬＤ-2の関係にある。したがって、供給チューブ４２と回収チューブ４６のチューブ長及びチューブ径を適宜選択することにより、上記関係を満たすようにレイアウトすることができる。

たとえば、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_HEAD_IN）が、ヘッド内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_HEAD_OUT）よりも大きい場合（M_HEAD_IN ＞ M_HEAD_OUT）、供給チューブ４２を回収チューブ４６よりも長く形成して、上記関係を満足させることができる。逆に、ヘッド内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_HEAD_OUT）が、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_HEAD_IN）よりも大きい場合（M_HEAD_IN ＜ M_HEAD_OUT）、回収チューブ４６を供給チューブ４２よりも長く形成して、上記関係を満足させることができる。

なお、流路抵抗に基づく場合と同様に、流量の変動が小さい流路側に高抵抗を持つフィルター（濾過手段）や脱気ポンプ（脱気手段）などを配置して、上記関係を満足させることもできる。

たとえば、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_HEAD_IN）が、ヘッド内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_HEAD_OUT）よりも大きい場合（M_HEAD_IN ＞ M_HEAD_OUT）、供給チューブ側にフィルター（濾過手段）や脱気ポンプ（脱気手段）を配置して、上記関係を満足させることができる。逆に、ヘッド内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_HEAD_OUT）が、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_HEAD_IN）よりも大きい場合（M_HEAD_IN ＜ M_HEAD_OUT）、回収チューブ側にフィルター（濾過手段）や脱気ポンプ（脱気手段）を配置して、上記関係を満足させることができる。これにより、圧力変動を抑えつつ、適切に濾過手段や脱気手段等を配置することができる。

なお、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_HEAD_IN）は、供給側の流路を構成する流路全体のイナータンスであり、回収側の流路のイナータンス（M_HEAD_OUT）は、回収側の流路構成する流路全体のイナータンスである。

ただし、流路抵抗と同様に、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンスは、主に内部個別供給流路３２によって定まり、回収側の流路のイナータンスは、主に内部個別回収流路３６によって決まるので、内部個別供給流路３２のイナータンスを供給側の流路のイナータンス（M_HEAD_IN）とし、内部個別回収流路３６のイナータンスを回収側の流路のイナータンス（M_HEAD_OUT）とすることができる。

したがって、各ノズル間でイナータンスのバラツキがない場合は、内部個別供給流路３２のイナータンスと内部個別回収流路３６のイナータンスとの比（図４の（M_HEAD_INとM_HEAD_OUTの比）が、そのまま全体の供給側と回収側のイナータンスの比を決める。

ノズル間でイナータンスのバラツキがある場合は、並列化した流路の合成イナータンスの計算によって、全体のイナータンスを求めることができる。

［第２の実施の形態］
図５は、液滴吐出装置の第２の実施の形態の概略構成図である。

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出装置１０Ａは、ポンプを利用して、液体の供給、回収を行う。ヘッドの構成は、上述した第１の実施の形態の液滴吐出装置と同じなので、ここでは、ヘッド１２に対して液体の供給、回収を行う液体供給回収ユニット１４の構成についてのみ説明する。

〈液体供給回収ユニット〉
図５に示すように、液体供給回収ユニット１４は、液体の供給タンク４０と、液体の供給チューブ４２と、液体の回収タンク４４と、液体の回収チューブ４６と、供給チューブ４２を介して供給タンク４０内に形成される液体をヘッド１２に送液する供給ポンプ４８と、供給チューブ４２に設置される供給ダンパ５０と、回収チューブ４６を介してヘッド１２から回収タンク４４に液体を送液する回収ポンプ５２と、回収チューブ４６に設置される回収ダンパ５４とを備えて構成される。

供給タンク４０は、ヘッド１２に供給する液体を貯留する。

供給チューブ４２は、供給タンク４０とヘッド１２とを接続し、供給タンク４０に貯留された液体をヘッド１２に送液する。供給チューブ４２は、一端が供給タンク４０に接続され、他端がヘッド１２の供給口１６に接続される。

回収タンク４４は、ヘッド１２から回収した液体を貯留する。

回収チューブ４６は、回収タンク４４とヘッド１２とを接続し、ヘッド１２から回収タンク４４に液体を送液する。回収チューブ４６は、一端が回収タンク４４に接続され、他端がヘッド１２の回収口１８に接続される。

供給ポンプ４８は、供給チューブ４２の途中に設置される。供給ポンプ４８は、供給チューブ４２を介して供給タンク４０内に形成される液体をヘッド１２に送液する。供給ポンプ４８は、たとえば、チューブポンプで構成される。

供給ダンパ５０は、供給チューブ４２の途中に設置される。供給ダンパ５０は、主として、供給ポンプ４８の駆動に起因して発生する液体の圧力変動（脈動）を吸収する。したがって、供給ダンパ５０は、ヘッド１２と供給ポンプ４８との間に設置される。

回収ポンプ５２は、回収チューブ４６の途中に設置される。回収ポンプ５２は、回収チューブ４６を介してヘッド１２から回収タンク４４に液体を送液する。回収ポンプ５２は、たとえば、チューブポンプで構成される。

回収ダンパ５４は、回収チューブ４６の途中に設置される。回収ダンパ５４は、主として、回収ポンプ５２の駆動に起因して発生する液体の圧力変動（脈動）を吸収する。したがって、回収ダンパ５４は、ヘッド１２と回収ポンプ５２との間に設置される。

供給ポンプ４８を駆動するとともに、回収ポンプ５２を駆動すると、供給タンク４０からヘッド１２に連続的に液体が供給されるとともに、ヘッド１２から回収タンク４４に連続的に液体が回収される。この際、ノズル面に負圧が付与されるように、供給ポンプ１４８及び回収ポンプ１５２が駆動されて、ヘッド１１２ｈに液体が供給される。

〈チューブレイアウト〉
本実施の形態の液滴吐出装置１０Ａにおいてもヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗と回収側の流路の流路抵抗との比に基づいて、供給チューブ４２と回収チューブ４６とがレイアウトされる。

すなわち、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_HEAD_IN）が、ヘッド内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_HEAD_OUT）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＞ R_HEAD_OUT）は、供給チューブ４２の流路抵抗（R_CHANNEL_IN）が、回収チューブ４６の流路抵抗（R_CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（R_CHANNEL_IN ＞ R_CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトする。

逆に、ヘッド内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_HEAD_OUT）が、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_HEAD_IN）よりも大きい場合（R_HEAD_IN ＜ R_HEAD_OUT）は、回収チューブ４６の流路抵抗（R_CHANNEL_OUT）が、供給チューブ４２の流路抵抗（R_CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（R_CHANNEL_IN ＜ R_CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトする。

なお、本実施の形態の場合、供給チューブ４２に供給ダンパ５０を設置し、回収チューブ４６に回収ダンパ５４を設置している。この場合、供給チューブ４２は、ヘッド１２と供給ダンパ５０との間の領域が上記関係を満たすようにレイアウトし、回収チューブ４６は、ヘッド１２と回収ダンパ５４との間の領域が、上記関係を満たすようにレイアウトする。

このように、ポンプを用いて、ヘッド１２に液体を供給、回収する場合も、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗と回収側の流路の流路抵抗とに基づき、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトする。これにより、ノズル２２からの液滴の吐出に伴い生じる圧力の変動を効率的に抑えることができる。

なお、レイアウト方法については、上述した第１の実施の形態の場合と同様に、たとえば、供給チューブ４２と回収チューブ４６のチューブ長及びチューブ径を調整することにより行う。また、たとえば、流量の変動が小さい流路側に高抵抗を持つフィルター（濾過手段）や脱気ポンプ（脱気手段）などを配置することにより行う。

また、上記の例は、流路抵抗に基づいて、供給チューブ４２と回収チューブ４６をレイアウトする場合について説明したが、上記第１の実施の形態の場合と同様に、イナータンスに基づいて、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトすることもできる。

すなわち、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_HEAD_IN）が、ヘッド内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_HEAD_OUT）よりも大きい場合（M_HEAD_IN ＞ M_HEAD_OUT）は、供給チューブ４２のイナータンス（M_CHANNEL_IN）が、回収チューブ４６のイナータンス（M_CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（M_CHANNEL_IN ＞ M_CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトする。

逆に、ヘッド内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_HEAD_OUT）が、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_HEAD_IN）よりも大きい場合（M_HEAD_IN ＜ M_HEAD_OUT）は、回収チューブ４６のイナータンス（M_CHANNEL_OUT）が、供給チューブ４２のイナータンス（M_CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（M_CHANNEL_IN ＜ M_CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトする。

なお、本実施の形態では、供給チューブ４２と回収チューブ４６とに供給ダンパ５０と回収ダンパ５４とを設置しているが、これらのダンパは、必ずしも設置する必要はない。供給ダンパ５０と回収ダンパ５４とを設置しない場合、供給チューブ４２は、ヘッド１２と供給ポンプ４８との間の領域が上記関係を満たすようにレイアウトし、回収チューブ４６は、ヘッド１２と回収ポンプ５２との間の領域が、上記関係を満たすようにレイアウトする。

［第３の実施の形態］
図６は、液滴吐出装置の第３の実施の形態の概略構成図である。

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出装置１００は、ヘッド１１２ｈが、複数のヘッドモジュール１１２ｍを繋ぎ合わせて構成される。そして、各ヘッドモジュール１１２ｍに対して液体供給回収ユニット１１４から液体が個別に供給、回収される。

〈ヘッド〉
上記のように、本実施の形態のヘッド１１２ｈは、複数のヘッドモジュール１１２ｍを繋ぎ合わせて構成される。

各ヘッドモジュール１１２ｍの構造は、共通している。また、ヘッドモジュール１１２ｍの基本的な構造は、上述した第１の実施の形態のヘッド１２と同じである。すなわち、供給口１１６と回収口１１８とを備え、供給口１１６から連続的に液体が供給されるとともに、回収口１１８から連続的に液体が回収される（液体を循環させて供給することができる。）。供給口１１６から供給された液体は、ヘッド内部の供給側の流路（共通供給流路、個別供給流路等）を介して各圧力室に供給される。また、各圧力室に供給された液体は、ヘッド内部の回収側の流路（個別回収流路、共通回収流路等）を介して回収口１１８から回収される。各圧力室に設けられる圧電素子を駆動することにより、各圧力室に連通されたノズルから液滴として吐出される。

ノズルは、ヘッドモジュール１１２ｍのノズル面に形成され、同一直線上に一定ピッチで多数形成される。各ヘッドモジュール１１２ｍは、ノズル面に形成されたノズルの列（ノズル列）が同一線上に位置するように繋ぎ合わされる。これにより、長尺状のヘッド（ラインヘッド）を形成することができる。

〈液体供給回収ユニット〉
図６に示すように、液体供給回収ユニット１１４は、主として、液体の供給タンク１４０と、液体の個別供給チューブ１４２ｉと、液体の共通供給チューブ１４２ｃと、個別供給チューブ１４２ｉと共通供給チューブ１４２ｃとを繋ぐ供給マニホールド１４２ｍと、液体の回収タンク１４４と、液体の個別回収供給チューブ１４６ｉと、液体の共通回収チューブ１４６ｃと、個別回収供給チューブ１４６ｉと共通回収チューブ１４６ｃとを繋ぐ回収マニホールド１４６ｍとで構成される。この液体供給回収ユニット１１４は、供給タンク１４０と回収タンク１４４との水頭差により、ヘッド１１２ｈの各ヘッドモジュール１１２ｍに液体を供給する。

供給タンク１４０は、ヘッド１１２ｈに供給する液体を貯留する。

液体の供給側の流路を構成する個別供給チューブ１４２ｉは、ヘッドモジュール１１２ｍごとに設けられ、各ヘッドモジュール１１２ｍに個別に液体を送液する。個別供給チューブ１４２ｉは、一端が各ヘッドモジュール１１２ｍの供給口１１６に接続され、他端が供給マニホールド１４２ｍに接続される。

液体の供給側の流路を構成する共通供給チューブ１４２ｃは、１本で構成され、供給タンク１４０からの液体を送液する。共通供給チューブ１４２ｃは、一端が供給タンク１４０に接続され、他端が供給マニホールド１４２ｍに接続される。

供給マニホールド１４２ｍは、個別供給チューブ１４２ｉを結束して共通供給チューブ１４２ｃに接続する。供給マニホールド１４２ｍは、共通供給チューブ１４２ｃから各個別供給チューブ１４２ｉまでの流路抵抗が等しくなるように、個別供給チューブ１４２ｉを結束する。したがって、この供給マニホールド１４２ｍにおいて、共通供給チューブ１４２ｃの接続部から各個別供給チューブ１４２ｉへの分岐点までの流路は、共通供給チューブ１４２ｃの一部とみなすことができ、分岐点から各個別供給チューブ１４２ｉの接続部までの流路は、個別供給チューブ１４２ｉの一部とみなすことができる。１本の共通供給チューブ１４２ｃを介して供給タンク１４０から供給される液体は、この供給マニホールド１４２ｍによって各個別供給チューブ１４２ｉに分岐して供給される。

回収タンク１４４は、ヘッド１１２ｈの各ヘッドモジュール１１２ｍから回収した液体を貯留する。

液体の回収側の流路を構成する個別回収チューブ１４６ｉは、ヘッドモジュール１１２ｍごとに設けられ、各ヘッドモジュール１１２ｍから回収された液体を個別に送液する。個別回収チューブ１４６ｉは、一端が各ヘッドモジュール１１２ｍの回収口１１８に接続され、他端が回収マニホールド１４６ｍに接続される。

液体の回収側の流路を構成する共通回収チューブ１４６ｃは、１本で構成され、回収タンク１４４に液体を送液する。共通回収チューブ１４６ｃは、一端が回収タンク１４４に接続され、他端が回収マニホールド１４６ｍに接続される。

回収マニホールド１４６ｍは、個別回収チューブ１４６ｉを結束して共通回収チューブ１４６ｃに接続する。回収マニホールド１４６ｍは、共通回収チューブ１４６ｃから各個別回収チューブ１４６ｉまでの流路抵抗が等しくなるように、個別回収チューブ１４６ｉを結束する。したがって、この回収マニホールド１４６ｍにおいて、共通回収チューブ１４６ｃの接続部から各個別回収チューブ１４６ｉへの分岐点までの流路は、共通回収チューブ１４６ｃの一部とみなすことができ、分岐点から各個別回収チューブ１４６ｉの接続部までの流路は、個別回収チューブ１４６ｉの一部とみなすことができる。個別回収チューブ１４６ｉを介してヘッド１１２ｈの各ヘッドモジュール１１２ｍから回収された液体は、この回収マニホールド１４６ｍによって１つにまとめられ、１本の共通回収チューブ１４６ｃを介して回収タンク１４４に回収される。

ここで、ノズル面に負圧を付与するため、供給タンク４０は、回収タンク４４よりも高い位置（重力方向上方位置）、若しくは、供給タンク４０は、ヘッド１２よりも低い位置（重力方向下方位置）に設置される。これにより、供給タンク１４０と回収タンク１４４との水頭差（Ｈ）を利用して、ノズル面に負圧を付与しつつ、ヘッド１１２ｈを構成する各ヘッドモジュール１１２ｍの供給口１１６に液体を連続的に供給できるとともに、回収口１１８から液体を連続的に回収することができる。

〈チューブレイアウト〉
図７は、本実施の形態の液滴吐出装置を電気回路に置き換えた図である。なお、同図では、簡略化のため、ヘッドモジュール内部の流路は抵抗だけで表記し、イナータンス成分は省略している。

上記のように、本実施の形態の液滴吐出装置１００は、ヘッド１１２ｈが複数のヘッドモジュール１１２ｍを繋ぎ合わせて構成される。

この場合、ヘッドモジュール１１２ｍの内部に形成される供給側の流路の流路抵抗と回収側の流路の流路抵抗との比に基づいて、共通供給チューブ１４２ｃ、個別供給チューブ１４２ｉ、共通回収チューブ１４６ｃ、及び、個別回収チューブ１４６ｉがレイアウトされる。

すなわち、液滴の吐出に伴う流量の変動は、ヘッドモジュール１１２ｍの内部に形成される供給側の流路の流路抵抗（各ヘッドモジュール１１２ｍの供給口１１６から各ヘッドモジュール１１２ｍのノズルに至るまでの流路の流路抵抗）と回収側の流路の流路抵抗（各ヘッドモジュール１１２ｍのノズルから各ヘッドモジュール１１２ｍの回収口１１８に至るまでの流路の流路抵抗）との比によって、供給側と回収側のどちらのチューブに伝播しやすいかが決まる。

ここで、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗（各ヘッドモジュール１１２ｍの供給口１１６から各ヘッドモジュール１１２ｍのノズルに至るまでの流路の流路抵抗）をR_MODULE_IN、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路の流路抵抗（各ヘッドモジュール１１２ｍのノズルから各ヘッドモジュール１１２ｍの回収口１１８に至るまでの流路の流路抵抗）をR_MODULE_OUTとする。

ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路抵抗（R_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路抵抗（R_MODULE_OUT）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUT）、流量の変動は回収側のチューブに伝播しやすい。

逆に、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUT）、流量の変動は供給側のチューブに伝播しやすい。

そして、本実施の形態のヘッド１１２ｈのように、複数個のヘッドモジュール１１２ｍを繋ぎ合わせてヘッドが構成される場合、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃにとって、圧力変動は、各ヘッドモジュール１１２ｍからの変動が加算された状態になる。たとえば、５つのヘッドモジュールで構成される場合、５つのヘッドモジュールを同時に駆動すると、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃにの圧力変動は、単体のヘッドに比べて、おおよそ５倍になる。このため、共通供給チューブと共通回収チューブをヘッドモジュールの内部に形成される流路の流路抵抗の比に合わせて構成することが、圧力変動の低減のための重要なアプローチになる。

したがって、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUT）は、共通供給チューブ１４２ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）が、共通回収チューブ１４６ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（R_C-CHANNEL_IN ＞ R_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。加えて、個別供給チューブ１４２ｉの流路抵抗（R_I-CHANNEL_IN）が、個別回収チューブ１４６ｉの流路抵抗（R_I-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（R_I-CHANNEL_IN ＞ R_I-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉとをレイアウトする。

逆に、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUT）は、共通回収チューブ１４６ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）が、共通供給チューブ１４２ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（R_C-CHANNEL_IN ＜ R_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。加えて、個別回収チューブ１４６ｉの流路抵抗（R_I-CHANNEL_OUT）が、個別供給チューブ１４２ｉの流路抵抗（R_I-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（R_I-CHANNEL_IN ＜ R_I-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉとをレイアウトする。

このように、ヘッドモジュール１１２ｍの内部に形成される供給側の流路の流路抵抗と回収側の流路の流路抵抗とに基づき、流量の変動が大きい流路側の流路抵抗が低くなるように、共通供給チューブ１４２ｃ、個別供給チューブ１４２ｉ、共通供給チューブ１４２ｃ及び個別回収チューブ１４６ｉをレイアウトする。これにより、ノズルからの液滴の吐出に伴い生じる圧力の変動を効率的に抑えることができる。

特に、本実施の形態のヘッド１１２ｈのように、複数のヘッドモジュール１１２ｍを繋ぎ合わせた長尺状のヘッドの場合、同時に吐出する液滴量が多くなり、吐出に伴う圧力変動が生じやすくなるので、本発明が有効に作用する。

なお、本実施の形態では、各ヘッドモジュールの内部の流路抵抗に基づいて、共通供給チューブ１４２ｃ、個別供給チューブ１４２ｉ、共通供給チューブ１４２ｃ及び個別回収チューブ１４６ｉの各チューブをレイアウトしているが、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉは同じ条件でレイアウトし、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃについてのみ、ヘッドモジュールの内部の流路抵抗に基づいて、レイアウトする構成としてもよい。すなわち、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉは、基本的には同じ条件でレイアウトし、個別のヘッドモジュールでの圧力変動も無視できない場合についてのみ、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉについても、各ヘッドモジュールの内部の流路抵抗に基づいて、レイアウトする構成としてもよい。

したがって、この場合、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUT）は、共通供給チューブ１４２ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）が、共通回収チューブ１４６ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（R_C-CHANNEL_IN ＞ R_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。

逆に、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUT）は、共通回収チューブ１４６ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）が、共通供給チューブ１４２ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（R_C-CHANNEL_IN ＜ R_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。

なお、上記第１の実施の形態の液滴吐出装置と同様に、上記の流路抵抗の関係は、共通供給チューブ１４２ｃ、個別供給チューブ１４２ｉ、共通供給チューブ１４２ｃ及び個別回収チューブ１４６ｉの各チューブのチューブ長及びチューブ径を適宜選択することにより満足させることができる。

また、流量の変動が小さい流路側に高抵抗を持つフィルター（濾過手段）や脱気ポンプ（脱気手段）などを配置して、上記関係を満足させることもできる。たとえば、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）が、ヘッド内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUT）、共通供給チューブ１４２ｃにフィルター（濾過手段）や脱気ポンプ（脱気手段）を配置して、上記関係を満足させることができる。逆に、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）が、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUT）、共通回収チューブ１４６ｃにフィルター（濾過手段）や脱気ポンプ（脱気手段）を配置して、上記関係を満足させることができる。

また、上記の例は、流路抵抗に基づいて、供給側のチューブと回収側のチューブとをレイアウトする場合について説明したが、上記第１の実施の形態の場合と同様に、イナータンスに基づいて、供給側のチューブと回収側のチューブとをレイアウトすることもできる。

すなわち、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_MODULE_IN）が、ヘッド内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_MODULE_OUT）よりも大きい場合（M_MODULE_IN ＞ M_MODULE_OUT）は、共通供給チューブ１４２ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）が、共通回収チューブ１４６ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）よりも大きくなり、かつ、個別供給チューブ１４２ｉのイナータンス（M_I-CHANNEL_IN）が、個別回収チューブ１４６ｉのイナータンス（M_I-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（M_C-CHANNEL_IN ＞ M_C-CHANNEL_OUT、かつ、M_I-CHANNEL_IN ＞ M_I-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、個別供給チューブ１４２ｉ、共通供給チューブ１４２ｃ、個別回収チューブ１４６ｉ、共通回収チューブ１４６ｃの各チューブをレイアウトする。

逆に、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_MODULE_OUT）が、ヘッド内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_MODULE_IN）よりも大きい場合（M_MODULE_IN ＜ M_MODULE_OUT）は、共通回収チューブ１４６ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）が、共通供給チューブ１４２ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）よりも大きくなり、かつ、個別回収チューブ１４６ｉのイナータンス（M_I-CHANNEL_OUT）が、個別供給チューブ１４２ｉのイナータンス（M_I-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（M_C-CHANNEL_IN ＜ M_C-CHANNEL_OUT、かつ、M_I-CHANNEL_IN ＜ M_I-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、個別供給チューブ１４２ｉ、共通供給チューブ１４２ｃ、個別回収チューブ１４６ｉ、共通回収チューブ１４６ｃの各チューブをレイアウトする。

なお、流路抵抗に基づく場合と同様に、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉは同じ条件でレイアウトし、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃについてのみ、ヘッドモジュールの内部のイナータンスに基づいて、レイアウトする構成としてもよい。すなわち、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉは、基本的には同じ条件でレイアウトし、個別のヘッドモジュールでの圧力変動も無視できない場合についてのみ、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉについても、各ヘッドモジュールの内部のイナータンスに基づいて、レイアウトする構成としてもよい。

したがって、この場合、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_MODULE_OUT）よりも大きい場合（M_MODULE_IN ＞ M_MODULE_OUT）は、共通供給チューブ１４２ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）が、共通回収チューブ１４６ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（M_C-CHANNEL_IN ＞ M_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。

逆に、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_MODULE_IN）よりも大きい場合（M_MODULE_IN ＜ M_MODULE_OUT）は、共通回収チューブ１４６ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）が、共通供給チューブ１４２ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（M_C-CHANNEL_IN ＜ M_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。

このように、本実施の形態の液滴吐出装置１００によれば、ヘッド内に形成される供給側の流路の流路抵抗（又はイナータンス）と回収側の流路の流路抵抗（又はイナータンス）との比に基づいて、供給チューブ４２と回収チューブ４６とをレイアウトすることにより、圧力変動の発生を効果的に抑えることができる。これにより、ノズル２２から吐出させる液体をヘッド１２に安定して供給でき、ノズル２２からの液滴の吐出を正しく制御することができる。

なお、各ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）は、供給側の流路を構成する流路全体の抵抗であり、回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）は、回収側の流路構成する流路全体の抵抗である。

ただし、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗は、主にヘッドモジュール内の個別供給流路によって定まり、回収側の流路の流路抵抗は、主にヘッドモジュール内の個別回収流路によって決まるので、個別供給流路の流路抵抗を供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）とし、個別回収流路の流路抵抗を回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）とすることができる（図７のR_MODULE_IN、及び、R_MODULE_OUTに対応）。

図７に示すように、同じ流路のものが並列で並んでおり、これを流路全体で見た場合は、電気回路で言うところの合成抵抗に対応する（1/R_in_total = 1/R_head_in1 + 1/R_head_in2 +…、1/R_out_total = 1/R_head_out1 + 1/R_head_out2 +…）。したがって、ヘッドモジュール内の個別供給流路の流路抵抗とヘッドモジュール内の個別回収流路の流路抵抗との比（図７の（R_MODULE_INとR_MODULE_OUTの比）が、ヘッドモジュール内部の供給側の流路の流路抵抗、及び、回収側の流路の流路抵抗を決定する。

したがって、各ノズル間で流路抵抗のバラツキがない場合は、内部個別供給流路３２の流路抵抗と内部個別回収流路３６の流路抵抗との比（図４の（R_MODULE_INとR_MODULE_OUTの比）が、そのまま全体の供給側と回収側の流路抵抗の比を決める。

ノズル間で流路抵抗のバラツキがある場合は、並列化した流路の合成抵抗の計算によって、全体の流路抵抗を求めることができる。

ヘッドモジュール内の供給側の流路のイナータンスと回収側の流路のイナータンスについても同様である。

［第４の実施の形態］
図８は、液滴吐出装置の第４の実施の形態の概略構成図である。

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出装置１００Ａは、ポンプを利用して、液体の供給、回収を行う。ヘッドの構成は、上述した第３の実施の形態の液滴吐出装置と同じなので、ここでは、ヘッド１１２ｈ（ヘッドモジュール１１２ｍ）に対して液体の供給、回収を行う液体供給回収ユニット１１４の構成についてのみ説明する。

〈液体供給回収ユニット〉
図８に示すように、液体供給回収ユニット１１４は、主として、液体の供給タンク１４０と、液体の個別供給チューブ１４２ｉと、液体の共通供給チューブ１４２ｃと、個別供給チューブ１４２ｉと共通供給チューブ１４２ｃとを繋ぐ供給マニホールド１４２ｍと、液体の回収タンク１４４と、液体の個別回収チューブ１４６ｉと、液体の共通回収チューブ１４６ｃと、個別回収チューブ１４６ｉと共通回収チューブ１４６ｃとを繋ぐ回収マニホールド１４６ｍと、供給タンク１４０からヘッド１１２ｈに液体を送液する供給ポンプ１４８と、共通供給チューブ１４２ｃに設置される供給ダンパ１５０と、ヘッド１１２ｈから回収タンク１４４に液体を送液する回収ポンプ１５２と、共通回収チューブ１４６ｃに設置される回収ダンパ１５４とを備えて構成される。

供給タンク１４０は、ヘッド１１２ｈに供給する液体を貯留する。

個別供給チューブ１４２ｉは、ヘッドモジュール１１２ｍごとに設けられ、各ヘッドモジュール１１２ｍに個別に液体を送液する。個別供給チューブ１４２ｉは、一端が各ヘッドモジュール１１２ｍの供給口１１６に接続され、他端が供給マニホールド１４２ｍに接続される。

共通供給チューブ１４２ｃは、１本で構成され、供給タンク１４０からの液体を送液する。共通供給チューブ１４２ｃは、一端が供給タンク１４０に接続され、他端が供給マニホールド１４２ｍに接続される。

供給マニホールド１４２ｍは、個別供給チューブ１４２ｉを結束して共通供給チューブ１４２ｃに接続する。供給マニホールド１４２ｍは、共通供給チューブ１４２ｃから各個別供給チューブ１４２ｉまでの流路抵抗が等しくなるように、個別供給チューブ１４２ｉを結束する。１本の共通供給チューブ１４２ｃを介して供給タンク１４０から供給される液体は、この供給マニホールド１４２ｍによって各個別供給チューブ１４２ｉに分岐して供給される。

回収タンク１４４は、ヘッド１１２ｈの各ヘッドモジュール１１２ｍから回収した液体を貯留する。

個別回収チューブ１４６ｉは、ヘッドモジュール１１２ｍごとに設けられ、各ヘッドモジュール１１２ｍから回収された液体を個別に送液する。個別回収チューブ１４６ｉは、一端が各ヘッドモジュール１１２ｍの回収口１１８に接続され、他端が回収マニホールド１４６ｍに接続される。

共通回収チューブ１４６ｃは、１本で構成され、回収タンク１４４に液体を送液する。共通回収チューブ１４６ｃは、一端が回収タンク１４４に接続され、他端が回収マニホールド１４６ｍに接続される。

回収マニホールド１４６ｍは、個別回収チューブ１４６ｉを結束して共通回収チューブ１４６ｃに接続する。回収マニホールド１４６ｍは、共通回収チューブ１４６ｃから各個別回収チューブ１４６ｉまでの流路抵抗が等しくなるように、個別回収チューブ１４６ｉを結束する。個別回収チューブ１４６ｉを介してヘッド１１２ｈの各ヘッドモジュール１１２ｍから回収された液体は、この回収マニホールド１４６ｍによって１つにまとめられ、１本の共通回収チューブ１４６ｃを介して回収タンク１４４に回収される。

供給ポンプ１４８は、共通供給チューブ１４２ｃの途中に設置される。供給ポンプ１４８は、供給タンク１４０内に形成される液体をヘッド１１２ｈの各ヘッドモジュール１１２ｍに向けて送液する。供給ポンプ１４８は、たとえば、チューブポンプで構成される。

供給ダンパ１５０は、共通供給チューブ１４２ｃの途中に設置される。供給ダンパ１５０は、主として、供給ポンプ１４８の駆動に起因して発生する液体の圧力変動（脈動）を吸収する。したがって、供給ダンパ１５０は、ヘッド１１２ｈと供給ポンプ１４８との間に設置される。

回収ポンプ１５２は、共通回収チューブ１４６ｃの途中に設置される。回収ポンプ１５２は、共通回収チューブ１４６ｃを介してヘッド１１２ｈの各ヘッドモジュール１１２ｍから回収タンク１４４に向けて液体を送液する。回収ポンプ１５２は、たとえば、チューブポンプで構成される。

回収ダンパ１５４は、共通回収チューブ１４６ｃの途中に設置される。回収ダンパ１５４は、主として、回収ポンプ１５２の駆動に起因して発生する液体の圧力変動（脈動）を吸収する。したがって、回収ダンパ１５４は、ヘッド１１２ｈと回収ポンプ１５２との間に設置される。

供給ポンプ１４８を駆動するとともに、回収ポンプ１５２を駆動すると、供給タンク１４０からヘッド１１２ｈの各ヘッドモジュール１１２ｍに連続的に液体が供給されるとともに、ヘッド１１２ｈの各ヘッドモジュール１１２ｍから回収タンク１４４に連続的に液体が回収される。この際、ノズル面に負圧が付与されるように、供給ポンプ１４８及び回収ポンプ１５２が駆動されて、ヘッド１１２ｈに液体が供給される。

〈チューブレイアウト〉
本実施の形態の液滴吐出装置１００Ａにおいても、ヘッドモジュール１１２ｍの内部に形成される供給側の流路の流路抵抗と回収側の流路の流路抵抗との比に基づいて、個別供給チューブ１４２ｉ、共通供給チューブ１４２ｃ、個別回収チューブ１４６ｉ、及び、共通回収チューブ１４６ｃの各チューブがレイアウトされる。

すなわち、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUT）は、共通供給チューブ１４２ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）が、共通回収チューブ１４６ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（R_C-CHANNEL_IN ＞ R_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。加えて、個別供給チューブ１４２ｉの流路抵抗（R_I-CHANNEL_IN）が、個別回収チューブ１４６ｉの流路抵抗（R_I-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（R_I-CHANNEL_IN ＞ R_I-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉとをレイアウトする。

逆に、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUT）は、共通回収チューブ１４６ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）が、共通供給チューブ１４２ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（R_C-CHANNEL_IN ＜ R_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。加えて、個別回収チューブ１４６ｉの流路抵抗（R_I-CHANNEL_OUT）が、個別供給チューブ１４２ｉの流路抵抗（R_I-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（R_I-CHANNEL_IN ＜ R_I-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉとをレイアウトする。

また、上記第３の実施の形態と同様に、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉは同じ条件でレイアウトし、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃについてのみ、ヘッドモジュール内に形成される流路抵抗に基づいて、レイアウトする構成としてもよい。すなわち、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉは、基本的には同じ条件でレイアウトし、個別のヘッドモジュールでの圧力変動も無視できない場合についてのみ、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉについても、各ヘッドモジュールの内部の流路抵抗に基づいて、レイアウトする構成としてもよい。

したがって、この場合、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUT）は、共通供給チューブ１４２ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）が、共通回収チューブ１４６ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（R_C-CHANNEL_IN ＞ R_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。

逆に、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路の流路抵抗（R_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗（R_MODULE_IN）よりも大きい場合（R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUT）は、共通回収チューブ１４６ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_OUT）が、共通供給チューブ１４２ｃの流路抵抗（R_C-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（R_C-CHANNEL_IN ＜ R_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。

なお、本実施の形態の場合、共通供給チューブ１４２ｃに供給ダンパ１５０を設置し、共通回収チューブ１４６ｃに回収ダンパ１５４を設置している。この場合、共通供給チューブ１４２ｃは、供給マニホールド１４２ｍと供給ダンパ５０との間の領域が上記関係を満たすようにレイアウトし、共通回収チューブ１４６ｃは、回収マニホールド１４６ｍと回収ダンパ１５４との間の領域が、上記関係を満たすようにレイアウトする。

このように、ポンプを用いて、ヘッド１１２ｈを構成する各ヘッドモジュール１１２ｍに液体を供給、回収する場合も、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路の流路抵抗と回収側の流路の流路抵抗とに基づき、供給側、回収側のチューブをレイアウトする。これにより、ノズルからの液滴の吐出に伴い生じる圧力の変動を効率的に抑えることができる。

なお、レイアウト方法については、上述した第１の実施の形態の場合と同様に、たとえば、供給側、回収側の各チューブのチューブ長及びチューブ径を調整することにより行う。また、たとえば、流量の変動が小さい流路側に高抵抗を持つフィルター（濾過手段）や脱気ポンプ（脱気手段）などを配置することにより行う。

また、上記の例は、流路抵抗に基づいて、供給側、回収側の各チューブをレイアウトする場合について説明したが、上記第１の実施の形態の場合と同様に、イナータンスに基づいて、供給側、回収側の各チューブをレイアウトすることもできる。

すなわち、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_MODULE_OUT）よりも大きい場合（M_MODULE_IN ＞ M_MODULE_OUT）は、共通供給チューブ１４２ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）が、共通回収チューブ１４６ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（M_C-CHANNEL_IN ＞ M_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。加えて、個別供給チューブ１４２ｉのイナータンス（M_I-CHANNEL_IN）が、個別回収チューブ１４６ｉのイナータンス（M_I-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（M_I-CHANNEL_IN ＞ M_I-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉとをレイアウトする。

逆に、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_MODULE_IN）よりも大きい場合（M_MODULE_IN ＜ M_MODULE_OUT）は、共通回収チューブ１４６ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）が、共通供給チューブ１４２ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（M_C-CHANNEL_IN ＜ M_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。加えて、個別回収チューブ１４６ｉのイナータンス（M_I-CHANNEL_OUT）が、個別供給チューブ１４２ｉのイナータンス（M_I-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（M_I-CHANNEL_IN ＜ M_I-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉとをレイアウトする。

なお、流路抵抗に基づく場合と同様に、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉは同じ条件でレイアウトし、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃについてのみ、ヘッドモジュールの内部のイナータンスに基づいて、レイアウトする構成としてもよい。すなわち、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉは、基本的には同じ条件でレイアウトし、個別のヘッドモジュールでの圧力変動も無視できない場合についてのみ、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉについても、ヘッドモジュール内に形成される流路のイナータンスに基づいて、レイアウトする構成としてもよい。

したがって、この場合、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_MODULE_IN）が、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_MODULE_OUT）よりも大きい場合（M_MODULE_IN ＞ M_MODULE_OUT）は、共通供給チューブ１４２ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）が、共通回収チューブ１４６ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）よりも大きくなるように（M_C-CHANNEL_IN ＞ M_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。

逆に、ヘッドモジュール内に形成される回収側の流路のイナータンス（M_MODULE_OUT）が、ヘッドモジュール内に形成される供給側の流路のイナータンス（M_MODULE_IN）よりも大きい場合（M_MODULE_IN ＜ M_MODULE_OUT）は、共通回収チューブ１４６ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_OUT）が、共通供給チューブ１４２ｃのイナータンス（M_C-CHANNEL_IN）よりも大きくなるように（M_C-CHANNEL_IN ＜ M_C-CHANNEL_OUTの条件を満たすように）、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃをレイアウトする。

なお、本実施の形態では、共通供給チューブ１４２ｃと共通回収チューブ１４６ｃとに供給ダンパ１５０と回収ダンパ１５４とを設置しているが、これらのダンパは、必ずしも設置する必要はない。供給ダンパ１５０と回収ダンパ１５４とを設置しない場合、共通供給チューブ１４２ｃは、供給マニホールド１４２ｍと供給ポンプ１４８との間の領域が上記関係を満たすようにレイアウトし、共通回収チューブ１４６ｃは、回収マニホールド１４６ｍと回収ポンプ１５２との間の領域が、上記関係を満たすようにレイアウトする。

また、ダンパは、個別供給チューブ１４２ｉと個別回収チューブ１４６ｉに設けるようにしてもよい。これにより、より効果的に圧力変動を抑えることができる。

〈その他の実施の形態〉
ヘッドによっては、内部にバイパス流路を有する場合がある。

図９は、ヘッド内部にバイパス流路を有する液滴吐出装置を電気回路に置き換えた図である（第１の実施の形態の液滴吐出装置のヘッドにバイパス流路を設けたもの）。なお、同図では、簡略化のため、ヘッド内部の流路は抵抗だけで表記し、イナータンス成分は省略している。

ヘッド内部にバイパス流路を有する場合、バイパス流路の流路抵抗（R_BYPASS）が、供給チューブ流路抵抗（R_CHANNEL_IN）、又は、回収チューブの流路抵抗（R_CHANNEL_OUT）より小さいと、ヘッドからの変動成分は等分され、供給側と回収側とでほぼ同じ変動レベルとなる。

したがって、ヘッド内部にバイパス流路を有する場合、バイパス流路の流路抵抗（R_BYPASS）が、供給チューブ流路抵抗（R_CHANNEL_IN）、又は、回収チューブの流路抵抗（R_CHANNEL_OUT）よりも大きい場合に、上述したヘッド内部の流路抵抗（又はイナータンス）に基づいた、チューブのレイアウトが有効に機能する。

複数のヘッドモジュールを繋ぎ合わせてヘッドが構成される場合も同様であり、各ヘッドモジュールの内部にバイパス流路を有する場合、そのバイパス流路の流路抵抗が、供給側のチューブの流路抵抗、又は、回収側のチューブの流路抵抗よりも大きい場合に、ヘッドモジュール内部の流路抵抗（又はイナータンス）に基づいた、チューブのレイアウトが有効に機能する。

また、上記一連の実施の形態では、供給タンクから回収タンクに向けて一方向に流す構成としているが、回収タンクで回収した液体を供給タンクに戻す流路を形成し、循環させる構成とすることもできる。

また、ポンプで液体を送液する場合には、供給タンクと回収タンクとを共用する構成とすることもできる。

また、上記実施の形態では、ノズル面にノズルが一列で配置された構成のヘッドに本発明を適用した場合を例に説明したが、ヘッドの構造は、これに限定されるものではない。この他、たとえば、ノズル面にノズルがマトリクス状に配置された構成のヘッドにも同様に本発明は適用することができる。この種のヘッドは、ノズル数が多くなり、同時に吐出する液滴量が多くなるので、本発明が特に有効に作用する。

また、上記実施の形態では、いわゆるピエゾ方式のヘッドに本発明を適用した場合を例に説明したが、サーマル方式等の他の駆動方式のヘッドにも同様に本発明は適用することができる。

１０…液滴吐出装置、１０Ａ…液滴吐出装置、１２…ヘッド、１４…液体供給回収ユニット、１６…供給口、１８…回収口、２０…ノズル面、２２…ノズル、２４…圧力室、２６…振動板、２８…圧電素子、３０…内部共通供給流路、３２…内部個別供給流路、３４…内部共通回収流路、３６…内部個別回収流路、４０…供給タンク、４２…供給チューブ、４４…回収タンク、４６…回収チューブ、４８…供給ポンプ、５０…供給ダンパ、５２…回収ポンプ、５４…回収ダンパ、１００…液滴吐出装置、１００Ａ…液滴吐出装置、１１２ｈ…ヘッド、１１２ｍ…ヘッドモジュール、１１４…液体供給回収ユニット、１１６…供給口、１１８…回収口、１４０…供給タンク、１４２ｃ…共通供給チューブ、１４２ｉ…個別供給チューブ、１４２ｍ…供給マニホールド、１４４…回収タンク、１４６ｃ…共通回収チューブ、１４６ｉ…個別回収チューブ、１４６ｍ…回収マニホールド、１４８…供給ポンプ、１５０…供給ダンパ、１５２…回収ポンプ、１５４…回収ダンパ、R_HEAD_IN…ヘッド内部に形成される供給側の流路の流路抵抗、R_HEAD_OUT…ノズル内部に形成される回収側の流路の流路抵抗、R_CHANNEL_IN…供給流路の流路抵抗、R_CHANNEL_OUT…回収流路の流路抵抗、R_MODULE_IN…ヘッドモジュール内部に形成される供給側の流路の流路抵抗、R_MODULE_OUT…ヘッドモジュール内部に形成される回収側の流路の流路抵抗、R_C-CHANNEL_IN…共通供給流路の流路抵抗、R_C-CHANNEL_OUT…共通回収流路の流路抵抗、R_I-CHANNEL_IN…個別供給流路の流路抵抗、R_I-CHANNEL_OUT…個別回収流路の流路抵抗、M_HEAD_IN…ヘッド内部に形成される供給側の流路のイナータンス、M_HEAD_OUT…ノズル内部に形成される回収側の流路のイナータンス、M_CHANNEL_IN…供給流路のイナータンス、M_CHANNEL_OUT…回収流路のイナータンス、M_MODULE_IN…ヘッドモジュール内部に形成される供給側の流路のイナータンス、M_MODULE_OUT…ヘッドモジュール内部に形成される回収側の流路のイナータンス、M_C-CHANNEL_IN…共通供給流路のイナータンス、M_C-CHANNEL_OUT…共通回収流路のイナータンス、M_I-CHANNEL_IN…個別供給流路のイナータンス、M_I-CHANNEL_OUT…個別回収流路のイナータンス

Claims (22)

1. ノズルから吐出させる液体の供給口と回収口とを備え、前記液体が前記供給口から連続的に供給されるとともに、前記回収口から連続的に回収されるヘッドと、
   前記ヘッドに前記液体を供給する供給流路と、
   前記ヘッドから前記液体を回収する回収流路と、
   を備え、
   前記供給口から前記ノズルに至るまでの前記ヘッド内部の流路抵抗をR_HEAD_IN、前記ノズルから前記回収口に至るまでの前記ヘッド内部の流路抵抗をR_HEAD_OUT、前記供給流路の流路抵抗をR_CHANNEL_IN、前記回収流路の流路抵抗をR_CHANNEL_OUTとしたとき、
   R_HEAD_IN ＞ R_HEAD_OUTの場合は、R_CHANNEL_IN ＞ R_CHANNEL_OUTの関係を満たすように、前記供給流路と前記回収流路とがレイアウトされ、
   R_HEAD_IN ＜ R_HEAD_OUTの場合は、R_CHANNEL_IN ＜ R_CHANNEL_OUTの関係を満たすように、前記供給流路と前記回収流路とがレイアウトされる液滴吐出装置。
2. 前記関係を満たすように、前記供給流路及び前記回収流路の流路径及び流路長が選択されて、前記供給流路と前記回収流路とがレイアウトされる請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記関係を満たすように、前記供給流路及び／又は前記回収流路に濾過手段及び／又は脱気手段が配置されて、前記供給流路と前記回収流路とがレイアウトされる請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記供給流路が接続される供給タンクと、
   前記回収流路が接続される回収タンクと、
   を更に備え、前記供給タンクと前記回収タンクとの水頭圧差により、前記液体が前記ヘッドに供給される請求項１から３のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
5. 前記供給流路を介して前記ヘッドに前記液体を送液する供給ポンプと、
   前記供給流路に配置される供給ダンパと、
   前記回収流路を介して前記ヘッドから前記液体を送液する回収ポンプと、
   前記回収流路に配置される回収ダンパと、
   を更に備えた請求項１から３のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
6. ノズルから吐出させる液体の個別供給口と個別回収口とを備え、前記液体が前記個別供給口から連続的に供給されるとともに、前記個別回収口から連続的に回収されるヘッドモジュールを複数繋ぎ合わせて構成されるヘッドと、
   前記各ヘッドモジュールに個別に前記液体を供給する個別供給流路と、
   前記各個別供給流路に分岐して接続され、前記各個別供給流路に前記液体を供給する共通供給流路と、
   前記各ヘッドモジュールから前記液体を個別に回収する個別回収流路と、
   前記各個別回収流路に分岐して接続され、前記各個別回収流路から前記液体を回収する共通回収流路と、
   を備え、
   前記個別供給口から前記ノズルに至るまでの前記ヘッドモジュール内部の流路抵抗をR_MODULE_IN、前記ノズルから前記個別回収口に至るまでの前記ヘッドモジュール内部の流路抵抗をR_MODULE_OUT、前記共通供給流路の流路抵抗をR_C-CHANNEL_IN、前記共通回収流路の流路抵抗をR_C-CHANNEL_OUTとしたとき、
   R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUTの場合は、R_C-CHANNEL_IN ＞ R_C-CHANNEL_OUTの関係を満たすように、前記共通供給流路及び前記共通回収流路がレイアウトされ、
   R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUTの場合は、R_C-CHANNEL_IN ＜ R_C-CHANNEL_OUT の関係を満たすように、前記共通供給流路及び前記共通回収流路がレイアウトされる液滴吐出装置。
7. 前記個別供給流路の流路抵抗をR_I-CHANNEL_IN、前記個別回収流路の流路抵抗をR_I-CHANNEL_OUTとしたとき、
   R_MODULE_IN ＞ R_MODULE_OUTの場合は、R_I-CHANNEL_IN ＞ R_I-CHANNEL_OUT、かつ、R_C-CHANNEL_IN ＞ R_C-CHANNEL_OUTの関係を満たすように、前記個別供給流路、前記個別回収流路、前記共通供給流路及び前記共通回収流路がレイアウトされ、
   R_MODULE_IN ＜ R_MODULE_OUTの場合は、R_I-CHANNEL_IN ＜ R_I-CHANNEL_OUT 、かつ、R_C-CHANNEL_IN ＜ R_C-CHANNEL_OUT の関係を満たすように、前記個別供給流路、前記個別回収流路、前記共通供給流路及び前記共通回収流路がレイアウトされる請求項６に記載の液滴吐出装置。
8. 前記関係を満たすように、前記個別供給流路、前記個別回収流路、前記共通供給流路及び前記共通回収流路の流路径及び流路長が選択されて、前記個別供給流路、前記個別回収流路、前記共通供給流路及び前記共通回収流路がレイアウトされる請求項７に記載の液滴吐出装置。
9. 前記関係を満たすように、前記共通供給流路及び／又は前記共通回収流路に濾過手段及び／又は脱気手段が配置されて、前記個別供給流路、前記個別回収流路、前記共通供給流路及び前記共通回収流路がレイアウトされる請求項６から８のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
10. 前記共通供給流路が接続される供給タンクと、
    前記共通回収流路が接続される回収タンクと、
    を更に備え、前記供給タンクと前記回収タンクとの水頭圧差により、前記液体が前記ヘッドに供給される請求項６から９のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
11. 前記共通供給流路を介して前記ヘッドに前記液体を送液する供給ポンプと、
    前記共通供給流路に配置される供給ダンパと、
    前記共通回収流路を介して前記ヘッドから前記液体を送液する回収ポンプと、
    前記共通回収流路に配置される回収ダンパと、
    を更に備えた請求項６から９のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
12. ノズルから吐出させる液体の供給口と回収口とを備え、前記液体が前記供給口から連続的に供給されるとともに、前記回収口から連続的に回収されるヘッドと、
    前記ヘッドに前記液体を供給する供給流路と、
    前記ヘッドから前記液体を回収する回収流路と、
    を備え、
    前記供給口から前記ノズルに至るまでの前記ヘッド内部のイナータンスをＭ_HEAD_IN、前記ノズルから前記回収口に至るまでの前記ヘッド内部のイナータンスをＭ_HEAD_OUT、前記供給流路のイナータンスをＭ_CHANNEL_IN、前記回収流路のイナータンスをＭ_CHANNEL_OUTとしたとき、
    Ｍ_HEAD_IN ＞ Ｍ_HEAD_OUTの場合は、Ｍ_CHANNEL_IN ＞ Ｍ_CHANNEL_OUTの関係を満たすように、前記供給流路と前記回収流路とがレイアウトされ、
    Ｍ_HEAD_IN ＜ Ｍ_HEAD_OUTの場合は、Ｍ_CHANNEL_IN ＜ Ｍ_CHANNEL_OUTの関係を満たすように、前記供給流路と前記回収流路とがレイアウトされる液滴吐出装置。
13. 前記関係を満たすように、前記供給流路及び前記回収流路の流路径及び流路長が選択されて、前記供給流路と前記回収流路とがレイアウトされる請求項１２に記載の液滴吐出装置。
14. 前記関係を満たすように、前記供給流路及び／又は前記回収流路に濾過手段及び／又は脱気手段が配置されて、前記供給流路と前記回収流路とがレイアウトされる請求項１２又は１３に記載の液滴吐出装置。
15. 前記供給流路が接続される供給タンクと、
    前記回収流路が接続される回収タンクと、
    を更に備え、前記供給タンクと前記回収タンクとの水頭圧差により、前記液体が前記ヘッドに供給される請求項１２から１４のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
16. 前記供給流路を介して前記ヘッドに前記液体を送液する供給ポンプと、
    前記供給流路に配置される供給ダンパと、
    前記回収流路を介して前記ヘッドから前記液体を送液する回収ポンプと、
    前記回収流路に配置される回収ダンパと、
    を更に備えた請求項１２から１４のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
17. ノズルから吐出させる液体の個別供給口と個別回収口とを備え、前記液体が前記個別供給口から連続的に供給されるとともに、前記個別回収口から連続的に回収されるヘッドモジュールを複数繋ぎ合わせて構成されるヘッドと、
    前記各ヘッドモジュールに個別に前記液体を供給する個別供給流路と、
    前記各個別供給流路に分岐して接続され、前記各個別供給流路に前記液体を供給する共通供給流路と、
    前記各ヘッドモジュールから前記液体を個別に回収する個別回収流路と、
    前記各個別回収流路に分岐して接続され、前記各個別回収流路から前記液体を回収する共通回収流路と、
    を備え、
    前記個別供給口から前記ノズルに至るまでの前記ヘッドモジュール内部のイナータンスをＭ_MODULE_IN、前記ノズルから前記個別回収口に至るまでの前記ヘッドモジュール内部のイナータンスをＭ_MODULE_OUT、前記共通供給流路のイナータンスをM_C-CHANNEL_IN、前記共通回収流路のイナータンスをM_C-CHANNEL_OUTとしたとき、
    Ｍ_MODULE_IN ＞ Ｍ_MODULE_OUTの場合は、M_C-CHANNEL_IN ＞ M_C-CHANNEL_OUTの関係を満たすように、前記共通供給流路及び前記共通回収流路がレイアウトされ、
    Ｍ_MODULE_IN ＜ Ｍ_MODULE_OUTの場合は、M_C-CHANNEL_IN ＜ M_C-CHANNEL_OUT の関係を満たすように、前記共通供給流路及び前記共通回収流路がレイアウトされる液滴吐出装置。
18. 前記個別供給流路のイナータンスをＭ_I-CHANNEL_IN、前記個別回収流路のイナータンスをＭ_I-CHANNEL_OUTとしたとき、
    Ｍ_MODULE_IN ＞ Ｍ_MODULE_OUTの場合は、Ｍ_I-CHANNEL_IN ＞ Ｍ_I-CHANNEL_OUT、かつ、M_C-CHANNEL_IN ＞ M_C-CHANNEL_OUTの関係を満たすように、前記個別供給流路、前記個別回収流路、前記共通供給流路及び前記共通回収流路がレイアウトされ、
    Ｍ_MODULE_IN ＜ Ｍ_MODULE_OUTの場合は、Ｍ_I-CHANNEL_IN ＜ Ｍ_I-CHANNEL_OUT 、かつ、M_C-CHANNEL_IN ＜ M_C-CHANNEL_OUT の関係を満たすように、前記個別供給流路、前記個別回収流路、前記共通供給流路及び前記共通回収流路がレイアウトされる請求項１７に記載の液滴吐出装置。
19. 前記関係を満たすように、前記個別供給流路、前記個別回収流路、前記共通供給流路及び前記共通回収流路の流路径及び流路長が選択されて、前記個別供給流路、前記個別回収流路、前記共通供給流路及び前記共通回収流路がレイアウトされる請求項１８に記載の液滴吐出装置。
20. 前記関係を満たすように、前記共通供給流路及び／又は前記共通回収流路に濾過手段及び／又は脱気手段が配置されて、前記個別供給流路、前記個別回収流路、前記共通供給流路及び前記共通回収流路がレイアウトされる請求項１７から１９のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
21. 前記共通供給流路が接続される供給タンクと、
    前記共通回収流路が接続される回収タンクと、
    を更に備え、前記供給タンクと前記回収タンクとの水頭圧差により、前記液体が前記ヘッドに供給される請求項１７から２０のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
22. 前記共通供給流路を介して前記ヘッドに前記液体を送液する供給ポンプと、
    前記共通供給流路に配置される供給ダンパと、
    前記共通回収流路を介して前記ヘッドから前記液体を送液する回収ポンプと、
    前記共通回収流路に配置される回収ダンパと、
    を更に備えた請求項１７から２０のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。

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