JP2013148906A - マイクロミラーアレイの校正 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る方法は、a)マイクロミラーアレイ内の中立状態にある各マイクロミラー素子について測定された数多くの基準傾斜角を定義し、b)各基準傾斜角に対応する各マイクロミラー素子の静電容量値を決定し、c)各マイクロミラー素子の複数の基準傾斜角の間で静電容量測定値を補間することにより、各マイクロミラー素子の静電容量値−傾斜角特性を決定し、d)各マイクロミラー素子に掃引電圧を印加すると同時に、電圧掃引時の各マイクロミラー素子の静電容量値を測定し、e)測定された静電容量値を用いて、電圧−傾斜角特性を決定し、前記ステップe)は、測定された静電容量値を決定された静電容量値に適合させ、電圧掃引時に印加された電圧を、適合した静電容量値に対する傾斜角に関連付けるものである。
【選択図】図5
Description
a)マイクロミラーアレイ内の中立状態にある各マイクロミラー素子について測定された数多くの基準傾斜角を定義するステップと、
b)各基準傾斜角に対応する各マイクロミラー素子の静電容量値を決定するステップと、
c)マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子の複数の基準傾斜角の間で静電容量測定値を補間することにより、各マイクロミラー素子の静電容量値−傾斜角特性を決定するステップと、
d)マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子に掃引電圧を印加すると同時に、電圧掃引時の各マイクロミラー素子の静電容量値を測定するステップと、
e)測定された静電容量値を用いて、電圧−傾斜角特性を利用するステップとを有し、
前記ステップe)は、測定された静電容量値を決定された静電容量値に適合させ、印加電圧を、適合した静電容量値に対する傾斜角に関連付けることを特徴とするものである。
a)マイクロミラーアレイ内の中立状態にある各マイクロミラー素子について測定された数多くの基準傾斜角を利用するステップと、
b)各基準傾斜角に対応する各マイクロミラー素子の静電容量値を決定するステップと、
c)マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子の複数の基準傾斜角の間で静電容量測定値を補間することにより、各マイクロミラー素子の静電容量値−傾斜角特性を決定するステップと、
d)マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子に掃引電圧を印加すると同時に、電圧掃引時の各マイクロミラー素子の静電容量値を測定するステップと、
e)測定された静電容量値を用いて、マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子の電圧−傾斜角特性を利用するステップとを有し、
前記ステップe)は、各マイクロミラー素子に関し、測定された静電容量値を決定された静電容量値に適合させ、電圧掃引時に印加された電圧を適合した静電容量値に対する傾斜角に関連付けることを特徴とするものである。
基準傾斜角に対応する静電容量値を測定する静電容量測定モジュールと、
複数の基準傾斜角の間で静電容量測定値を補間して、マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子の静電容量値−傾斜角特性を決定する補間モジュールと、
マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子に掃引電圧を印加する作動モジュールと、
静電容量測定モジュールは、掃引電圧により形成された静電容量値を同時に測定し、
各マイクロミラー素子の電圧−傾斜角特性を記憶するメモリとを備え、
静電容量測定モジュールは、各マイクロミラー素子に関し、測定された静電容量値を決定された静電容量値に適合させ、電圧掃引時に印加された電圧を適合した静電容量値に対する傾斜角に関連付けることを特徴とするものである。
Claims (9)
- 複数のマイクロミラー素子を有するマイクロミラーアレイの電圧−傾斜角特性を決定する方法であって、
a)マイクロミラーアレイ内の中立状態にある各マイクロミラー素子について測定された数多くの基準傾斜角を定義するステップと、
b)各基準傾斜角に対応する各マイクロミラー素子の静電容量値を決定するステップと、
c)マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子の複数の基準傾斜角の間で静電容量測定値を補間することにより、各マイクロミラー素子の静電容量値−傾斜角特性を決定するステップと、
d)マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子に掃引電圧を印加すると同時に、電圧掃引時の各マイクロミラー素子の静電容量値を測定するステップと、
e)測定された静電容量値を用いて、電圧−傾斜角特性を決定するステップとを有し、
前記ステップe)は、測定された静電容量値を決定された静電容量値に適合させ、電圧掃引時に印加された電圧を、適合した静電容量値に対する傾斜角に関連付けることを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ステップb)〜e)は、マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子に対して同時に行われることを特徴とする方法。 - 請求項1または2に記載の方法であって、
マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子の電圧−傾斜角特性をマイクロミラーアレイに関連付けてメモリ内に記憶するステップをさらに有することを特徴とする方法。 - 請求項3に記載の方法であって、
各マイクロミラー素子の静電容量値−傾斜角特性をマイクロミラーアレイに関連付けてメモリ内に記憶するステップをさらに有することを特徴とする方法。 - 請求項4に記載の方法であって、
各マイクロミラー素子の少なくとも記録された電圧−傾斜角特性を用いて、マイクロミラーアレイの出力値を調整するステップをさらに有することを特徴とする方法。 - 複数のマイクロミラー素子を有するマイクロミラーアレイを補間する方法であって、
a)マイクロミラーアレイ内の中立状態にある各マイクロミラー素子について測定された数多くの基準傾斜角を利用するステップと、
b)各基準傾斜角に対応する各マイクロミラー素子の静電容量値を決定するステップと、
c)マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子の複数の基準傾斜角の間で静電容量測定値を補間することにより、各マイクロミラー素子の静電容量値−傾斜角特性を決定するステップと、
d)マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子に掃引電圧を印加すると同時に、電圧掃引時の各マイクロミラー素子の静電容量値を測定するステップと、
e)測定された静電容量値を用いて、マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子の電圧−傾斜角特性を利用するステップとを有し、
前記ステップe)は、各マイクロミラー素子に関し、測定された静電容量値を決定された静電容量値に適合させ、電圧掃引時に印加された電圧を適合した静電容量値に対する傾斜角に関連付けることを特徴とする方法。 - 複数のマイクロミラー素子を有するマイクロミラーアレイのための補間システムであって、マイクロミラーアレイは、中立状態において測定された所定数の基準傾斜角を有し、
この補間システムは、
基準傾斜角に対応する静電容量値を測定する静電容量測定モジュールと、
複数の基準傾斜角の間で静電容量測定値を補間して、マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子の静電容量値−傾斜角特性を決定する補間モジュールと、
マイクロミラーアレイ内の各マイクロミラー素子に掃引電圧を印加する作動モジュールと、
静電容量測定モジュールは、掃引電圧により形成された静電容量値を同時に測定し、
各マイクロミラー素子の電圧−傾斜角特性を記憶するメモリとを備え、
静電容量測定モジュールは、各マイクロミラー素子に関し、測定された静電容量値を決定された静電容量値に適合させ、電圧掃引時に印加された電圧を適合した静電容量値に対する傾斜角に関連付けることを特徴とする補間システム。 - 請求項7に記載の補間システムであって、
電圧掃引時の作動モジュールの動作を制御するコントローラをさらに有することを特徴とする補間システム。 - 請求項8に記載の補間システムであって、
コントローラは、記憶された電圧−傾斜角特性に基づいてマイクロミラー素子の動作を制御することを特徴とする補間システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP12152010.0A EP2618201B1 (en) | 2012-01-20 | 2012-01-20 | Calibration of micro-mirror arrays |
EP12152010.0 | 2012-01-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013148906A true JP2013148906A (ja) | 2013-08-01 |
Family
ID=45507603
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013008516A Pending JP2013148906A (ja) | 2012-01-20 | 2013-01-21 | マイクロミラーアレイの校正 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9201241B2 (ja) |
EP (1) | EP2618201B1 (ja) |
JP (1) | JP2013148906A (ja) |
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- 2012-01-20 EP EP12152010.0A patent/EP2618201B1/en active Active
-
2013
- 2013-01-21 US US13/746,149 patent/US9201241B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9201241B2 (en) | 2015-12-01 |
EP2618201B1 (en) | 2015-11-04 |
EP2618201A1 (en) | 2013-07-24 |
US20130187669A1 (en) | 2013-07-25 |
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