JP4680862B2

JP4680862B2 - 光スイッチ

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Publication number: JP4680862B2
Application number: JP2006277985A
Authority: JP
Inventors: 城治山口; 成根本; 真吾内山; 剛山本
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 2006-10-11
Filing date: 2006-10-11
Publication date: 2011-05-11
Anticipated expiration: 2026-10-11
Also published as: JP2008096674A; WO2008044506A1; US20100020378A1; US8125701B2

Description

本発明は、光スイッチに関する。

光スイッチを実現するための技術の一つとして、マイクロミラーを用いたものが提案されている（例えば、非特許文献１参照。）。マイクロミラーを用いた従来の光スイッチを図８に示す。

図８に示す光スイッチは、入力ポート１ａと、出力ポート１ｂと、入力側マイクロミラーアレイ２ａと、出力側マイクロミラーアレイ２ｂとを備えている。入力ポート１ａと出力ポート１ｂは、それぞれ２次元的に配列された複数の光ファイバからなり、マイクロミラーアレイ２ａ，２ｂは、それぞれ２次元的に配列された複数のマイクロミラー装置３ａ，３ｂからなる。なお、図８における矢印は光ビームの進行方向を示している。

ある入力ポート１ａから出射した光信号は、この入力ポート１ａに対応する入力側マイクロミラーアレイ２ａのマイクロミラー装置３ａにより反射偏向される。後述するように、マイクロミラー装置３ａのミラーは２軸回りに回動可能に構成されており、マイクロミラー装置３ａの反射光を出力側マイクロミラーアレイ２ｂの任意のマイクロミラー装置３ｂに向けることができる。同様に、マイクロミラー装置３ｂのミラーも２軸回りに回動可能に構成されており、ミラーの傾斜角を適当に制御することにより、マイクロミラー装置３ｂの反射光を任意の出力ポート１ｂに向けることができる。したがって、入力側マイクロミラーアレイ２ａと出力側マイクロミラーアレイ２ｂのミラーの傾斜角を適当に制御することにより光路の切り替えを行い、２次元的に配列された任意の入力ポート１ａと出力ポート１ｂとの間を接続することができる。

このような光スイッチの構成要素として最も特徴的なものがマイクロミラーアレイ２ａ，２ｂを有するマイクロミラー装置３ａ，３ｂである。従来より、マイクローミラー装置は、図９，図１０に示すように、ミラーが形成されたミラー基板２００と、電極が形成された電極基板３００とが並行に配設された構造を有する（例えば、非特許文献１参照。）。

ミラー基板２００は、板状の枠部２１０と、枠部２１０の開口内に配設された可動枠２２０と、可動枠２２０の開口内に配設されたミラー２３０とを有する。枠部２１０、トーションバネ２１１ａ，２１１ｂ，２２１ａ，２２１ｂ、可動枠２２０およびミラー２３０は例えば単結晶シリコンで一体形成されている。ミラー２３０の表面には例えば３層のＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ層が形成されている。一対のトーションバネ２１１ａ，２１１ｂは、枠部２１０と可動枠２２０とを連結している。可動枠２２０は、一対のトーションバネ２１１ａ，２１１ｂを通る図９の可動枠回転軸Ｘを軸として回動することができる。同様に、一対のトーションバネ２２１ａ，２２１ｂは、可動枠２２０とを連結している。ミラー２３０は、一対のトーションバネ２２１ａ，２２１ｂを通る図９のミラー回動軸Ｙを軸として回動することができる。可動枠回動軸Ｘよミラー回動軸Ｙとは、互いに直交している。結果として、ミラー２３０は、直交する２軸で回動する。

電極基板３００は、板状の基部３１０と、段丘状の突出部３２０とを有する。基部３１０と突出部３２０は例えば単結晶シリコンからなる。突出部３２０は、基部３１０の上面に形成された角錐台の形状を有する第２テラス３２２と、第２テラス３２２の上面に形成された角錐台の形状を有する第１テラス３２１と、第１テラス３２１の上面に形成された柱状の形状を有するピボット３３０とから構成される。突出部３２０の四隅とこの四隅に続く基部３１０の上面には、４つの電極３４０ａ〜３４０ｄが形成されている。また、基部３１０の上面には、突出部３２０を挟むように併設された一対の凸部３６０ａ，３６０ｂが形成されている。さらに、基部３１０の上面には、配線３７０が形成されており、この配線３７０には、引き出し線３４１ａ〜３４１ｄを介して電極３４０ａ〜３４０ｄが接続されている。なお、基部３１０の表面には酸化シリコン等からなる絶縁層３１１が形成されており、この絶縁層３１１の上に電極３４０ａ〜３４０ｄ、引き出し線３４１ａ〜３４１ｄ、配線３７０が形成されている。

以上のようなミラー基板２００と電極基板３００とは、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとが対向配置されるように、枠部２１０の下面と凸部３６０ａ，３６０ｂの上面とを接合することにより、図１０に示すようなマイクロミラー装置を構成する。このようなマイクロミラー装置においては、ミラー２３０を接地し、電極３４０ａ〜３４０ｄに正の駆動電圧を与えて、しかも電極３４０ａ〜３４０ｄ間に非対称な電位差を生じさせることにより、ミラー２３０を静電引力で吸引し、ミラー２３０を任意の方向へ回動させることができる。

T.Yamamoto, et al., 「a three-dimensional MEMS optical switching module having 100 input and 100 output ports」, Photonics Technology Letters, IEEE, Volume 15, Issue:10, pp1360-1362

従来の光スイッチにおいては、ミラー２３０の傾斜角を制御する制御装置（図示せず）は、任意の１の入力ポート１ａから出射される光信号を任意の１の出力ポート１ｂから出射させる光路を形成するためのマイクロミラー装置３ａとマイクロミラー装置３ｂとの組み合わせ（以下、「接続パス」という）毎に、この接続パスを実現するために必要な回動角にミラー２３０を駆動させるための駆動電圧を、接続パス毎記憶したテーブルを設けていた。これにより、制御装置は、スイッチング毎にテーブルを参照して、各接続パスのミラー２３０の駆動電圧を決定していた。

しかしながら、パス接続のための最適な駆動電圧は、ミラーのドリフトや温度などの環境変化等により変化することがあるため、単にテーブルを参照してミラー２３０の駆動電圧を決定したのでは、ミラー２３０を最適な回動角に駆動させることができない場合がある。ミラー２３０を最適な回動角に駆動できないと、光信号の強度が低下して、通信品質が低下する恐れがある。

そこで、本願発明は上述したような課題を解決するためになされたものであり、ミラーを最適な回動角に駆動させることができる光スイッチを提供することを目的とする。

上述したような課題を解決するために、本発明に係る光スイッチは、入力光を入力する少なくとも１つの入力ポートと、出力光を出力する少なくとも１つの出力ポートと、駆動電圧を印加することにより、回動可能に支持されたミラーを所定の角度に傾斜させるミラー装置が複数配列されたミラーアレイと、１の入力ポートからの入力光を偏向させて１の出力ポートから出力させる回動角にミラーを傾斜させるときのミラー装置の駆動電圧を、入力ポートと出力ポートの組み合わせ毎に記録したテーブルと、このテーブルを参照して駆動電圧をミラー装置に供給することにより、所定の入力ポートに入力された入力光を選択的に任意の出力ポートから出力させる駆動手段と、出力光のパワーが最適値になるミラーの駆動電圧を検出する検出手段と、この検出手段により検出された駆動電圧に基づいて補正電圧を算出し、テーブルに記録された駆動電圧を補正する補正手段とを備え、補正手段は、ミラーアレイ内における、最適なミラー駆動電圧を検出した少なくとも２つのミラー装置と他のミラー装置との幾何学的な位置関係と、少なくとも２つのミラー装置の最適なミラー駆動電圧とに基づいて内挿または外挿により算出した補正電圧により、他のミラー装置の駆動電圧を補正することを特徴とする。

また、上記光スイッチにおいて、補正手段は、検出手段が駆動電圧を検出した時間と駆動手段がミラー装置に駆動電圧を供給するためにテーブルを参照した時間との差分である経過時間と、この経過時間の関数とに基づいて算出した補正電圧により、テーブルに記録された駆動電圧を補正するようにしてもよい。

本発明によれば、出力光のパワーが最適値になるミラーの駆動電圧を検出し、この駆動電圧に基づいてテーブルを補正することにより、ミラーのドリフトや温度などの環境変化等によりミラーの最適な回動角が変化した場合であっても、ミラーを最適な回動角に駆動させることができる。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、本実施の形態において、図８〜図１０を参照して背景技術の欄で説明した構成要素と同等の構成要素については同じ名称および符号を付し、適宜説明を省略する。

［光スイッチの構成］
本実施の形態に係る光スイッチは、入力ポート１ａと、出力ポート１ｂと、入力側マイクロミラー装置３ａと、出力側マイクロミラー装置３ｂと、出力光測定装置４と、制御装置５とを備える。

出力光測定装置４は、出力ポート１ｂから出射された出力光の強度を検出し、電気信号に変換する。このような出力光測定装置４の構成例としては、出力光の一部を切り出して、フォトダイオードなどの受光素子で出力光の強度を測定する構成が考えられる。

制御装置５は、マイクロミラー装置３ａ，３ｂに駆動電圧を供給して、ミラー２３０を所定の角度に傾斜させる。また、駆動電圧に微小な変動を与え、ミラー２３０を摂動させることにより、ミラー装置３ａ，３ｂの最適な駆動電圧を求める。このような制御装置５は、駆動部５１、検出部５２、補正部５３および記憶部５４を備えている。

駆動部５１は、記憶部５４に記憶されている後述するＬＵＴ（Look Up Table）５４ｂを参照して、各接続パスのマイクロミラー装置３ａ，３ｂの駆動電圧を取得し、これを対応するマイクロミラー装置３ａ，３ｂに供給することにより、ミラー２３０を所定の角度に傾斜させる。また、検出部５２の指示に基づいて、駆動電圧に微小な変動を与え、ミラー２３０を摂動させる。

検出部５２は、駆動部５１に指示を出してミラー２３０を摂動させ、このときの出力光測定装置４の測定結果からミラー装置３ａ，３ｂの最適な駆動電圧を検出する。この駆動電圧は、駆動部５１および補正部５３に入力される。ここで、図２を参照して、最適な駆動電圧の検出方法の一例を説明する。

図２に示すように、ミラー２３０を摂動させるためにミラー装置３ａ，３ｂに供給する駆動電圧の範囲（以下、摂動電圧範囲という）を予め設定し、この摂動電圧範囲を数点（図２の場合は４点）で構成される一連の駆動点で分割し、各駆動点の電圧を順次ミラー装置３ａ，３ｂに供給してミラー２３０を摂動させることにより、最適な駆動電圧を探索する。具体的には、まず、ミラー装置３ａに供給する駆動電圧を１つの駆動点に固定した状態で、ミラー装置３ｂに各駆動点の駆動電圧を供給してミラー２３０を摂動させる。これを、ミラー装置３ａの各駆動点について行うことにより、ミラー装置３ａ，３ｂの駆動点の全ての組み合わせでミラー装置３ａ，３ｂのミラー２３０を摂動させる。このように摂動させ、各駆動点の全ての組み合わせにおける出力光測定装置４の測定結果から出力光パワーが最適となるミラー装置３ａ、ミラー装置３ｂの駆動点の組み合わせを探索する。この駆動点の駆動電圧を最適な駆動電圧として検出する。

補正部５３は、検出部５２により検出された最適な駆動電圧に基づいて、後述するＬＵＴ５４ｂを補正する。

記憶部５４は、制御装置５による動作に関する各種情報を記憶しており、初期情報５４ａと、ＬＵＴ５４ｂとを少なくとも備えている。

初期情報５４ａは、補正部５３により補正されていない最初のＬＵＴ５４ｂやミラーアレイ２ａ，２ｂにおける各ミラー装置３ａ，３ｂの配置等に関する情報からなる。

ＬＵＴ５４ｂは、マイクロミラーアレイ２ａとマイクロミラーアレイ２ｂとの接続パス毎に、これらの接続パスを実現するために必要な回動角に対応するマイクロミラー装置３ａ，３ｂのミラー２３０を駆動させるための駆動電圧を記憶したテーブルからなる。このようなＬＵＴ５４ｂの一例を図３に示す。この図３に示すようにＬＵＴ５４ｂはマトリックスの構成を有し、行に符号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，…で示すマイクロミラー装置３ａのレコードが、列に符号α，β，γ，δ，ε，ζ，…で示すマイクロミラー装置３ｂのレコードが設けられている。行方向のレコードと列方向のレコードとの交点のフィールドは、対応するマイクロミラー装置３ａ，３ｂのミラー２３０の駆動電圧が格納されており、それぞれは接続パスとして識別番号１，２，３，…が付されている。例えば、接続パス２３は、ミラー装置Ｃとミラー装置γとの組み合わせからなる接続パスを意味しており、ＬＵＴ５４ｂの識別番号２３のフィールドには、その接続パスを実現するために必要な回動角にミラー装置Ｃおよびミラー装置γのミラー２３０を駆動させるための駆動電圧が格納されている。なお、図９，図１０に示すようなミラー装置の場合、１つのミラー装置に４つの電極３４０ａ〜３４０ｄが設けられているので、ＬＵＴ５４ｂには、１つの接続パスのフィールドに８つの駆動電圧が記憶される。

［光スイッチの動作］
次に、本実施の形態に係る光スイッチの動作について、図４を参照して説明する。まず、外部より任意の入力ポート１ａに入力される光信号を任意の出力ポート１ｂから出力させるいわゆるスイッチング動作を行うようにとの指示を受信すると（ステップＳ１）、駆動部５１は、その指示に対応する接続パスに含まれるマイクロミラー装置３ａ，３ｂの駆動電圧をＬＵＴ５４ｂを参照して取得する（ステップＳ２）。

駆動電圧を取得すると、駆動部５１は、その駆動電圧を対応するマイクロミラー装置３ａ，３ｂに供給して、ミラー２３０を傾斜させる（ステップＳ３）。すると、任意の入力ポート１ａに入力された光信号は、マイクロミラー装置３ａ，３ｂのミラー２３０により反射されて、任意の出力ポート１ｂから出力され、スイッチング動作が行われる。

上述したようなスイッチング動作が行われると、検出部５２は、駆動部５１にそのスイッチング動作の接続パスに含まれるマイクロミラー装置３ａ，３ｂのミラー２３０を摂動させる旨の指示を出す。すると、駆動部５１は、駆動電圧に周期的に変化する微小な電圧変化を与えて、そのミラー２３０を微小に摂動（振動）させる（ステップＳ４）。

摂動が行われると、検出部５２は、出力光測定装置４により測定された出力ポート１ｂに入射した摂動が行われた状態の出力光のパワーに基づいて、出力光のパワーが最適な値となる駆動電圧を検出する（ステップＳ５）。

最適な駆動電圧を検出すると、検出部５２は、駆動部５１を介してその駆動電圧を対応するマイクロミラー装置３ａ，３ｂに供給する（ステップＳ６）。これにより、上記接続パスに含まれるマイクロミラー装置３ａ，３ｂのミラー２３０は、出力ポート１ｂから出射される出力光のパワーが最適な値となる角度に制御される。ここで、最適な出力光のパワーとは、入力光との光学的損失が最小になる出力光のパワー、または、システムからの要求に基づく所望の出力光のパワーを意味する。このような出力光のパワーが得られるミラーの回動角を実現するときの駆動電圧を、最適な駆動電圧という。

このとき、補正部５３は、検出された駆動電圧に基づいて、ＬＵＴ５４ｂを補正する（ステップＳ７）。この補正動作について、以下に説明する。なお、以下においては、図３におけるミラー装置Ｃとミラー装置γとからなる接続パス２３を接続する場合を例に説明する。ここで、ＬＵＴ５４ｂの接続パス２３に対応するフィールドには、ミラー装置Ｃの駆動電圧としてＶ_C23、ミラー装置γの駆動電圧としてＶ_γ23が格納されているものとする。便宜上、Ｖ_C23およびＶ_γ23は、それぞれミラー装置Ｃおよびミラー装置γの電極３４０ａ〜３４０ｄに印加する各駆動電圧を総称するものとする。

例えば、検出部５２により、出力光のパワーが最適な値となる任意の接続パスの駆動電圧が、ＬＵＴ５４ｂに記憶されている上記任意の接続パスの駆動電圧と異なる場合、補正部５３は、ＬＵＴ５４ｂの駆動電圧を補正する。例えば、検出部５２によりミラー装置Ｃおよびミラー装置γの最適な駆動電圧がそれぞれＶ_C23’およびＶ_γ23’であると検出されると、補正部５３は、ＬＵＴ５４ｂの接続パス２３のフィールドに格納されている駆動電圧Ｖ_C23およびＶ_γ23をＶ_C23’およびＶ_γ23’に置き換える。これにより、ＬＵＴ５４ｂに記憶されたミラー２３０の駆動電圧は、最適な駆動電圧を検出するたびに更新されるため、ミラーのドリフトや温度などの環境変化などにより最適な駆動電圧が変化した場合であっても、その変化に追従することができるので、結果として、ミラーを最適な回動角に駆動させることができる。

なお、１つの接続パスの駆動電圧を補正した場合、他の接続パスの駆動電圧を補正するようにしてもよい。この方法としては、初期のＬＵＴ５４ｂに格納されている駆動電圧と検出部５２により検出された最適な駆動電圧との差分に基づいて補正する方法と、ミラーアレイ２ａ，２ｂ内におけるミラー装置３ａ，３ｂの位置に基づいて補正する方法とが挙げられる。それぞれについて以下に説明する。

まず、差分に基づいて補正する場合、補正部５３は、最適な駆動電圧を検出したミラー装置３ａ，３ｂが関連している駆動電圧、すなわち最適な駆動電圧が検出されたミラー装置が含まれる接続パスの駆動電圧に、上記差分を加算する。例えば、図３に示すＬＵＴ５４ｂの接続パス２３のフィールドに格納されているミラー装置Ｃの駆動電圧Ｖ_C23をＶ_C23’に置き換えたとき、補正部５３は、Ｖ_C23とＶ_C23’との差分ΔＶ_C23（ΔＶ_C23＝Ｖ_C23’−Ｖ_C23）を、ミラー装置Ｃのレコードの駆動電圧、すなわち、接続パス２１，２２，２４，２５，…のフィールドに格納されたミラー装置Ｃの駆動電圧に加算する。これにより、ミラードリフトなどミラー装置の電極３４０ａ〜３４０ｄに一定電圧が供給された場合においても、ミラーを最適な回動角に駆動させることができる。

また、位置に基づいて補正する場合、補正部５３は、最適な駆動電圧を検出したミラー装置３ａ，３ｂのミラーアレイ２ａ，２ｂ内の幾何学的位置に応じて内挿または外挿することにより、対応するミラー装置３ａ，３ｂの駆動電圧を補正する。ここで、内挿および外挿について、図５，図６を参照して説明する。図５，図６は、ミラーアレイ２ａ，２ｂ内におけるミラー装置３ａ，３ｂの直線距離または任意方向からの距離と駆動電圧とを表している。

例えば、図５に示すように、ミラーアレイ２ａ，２ｂ内において距離ｌ１と距離ｌ５にあるミラー装置の駆動電圧が検出された場合、この２つの駆動電圧の値を通る直線の傾きに基づいて、距離ｌ１と距離ｌ５の間に位置するミラー装置、すなわち距離ｌ２〜ｌ４にあるミラー装置の駆動電圧を内挿により算出する。

また、例えば、図６に示すように、ミラーアレイ２ａ，２ｂ内において距離ｌ１と距離ｌ２にあるミラー装置の駆動電圧が検出された場合、この２つの駆動電圧の値を通る直線の傾きに基づいて、距離ｌ１および距離ｌ２の外側に位置するミラー装置、すなわち距離ｌ３〜ｌ５にあるミラー装置の駆動電圧を外挿により算出する。

したがって、位置に基づいて補正する場合は、少なくとも２つのミラー装置の最適な駆動電圧が必要となる。上述したような方法によって駆動電圧を補正することにより、ミラー基板２００の熱膨張した場合においても、ミラーを最適な回動角に駆動させることができる。ミラー回動角と駆動電圧とは非線形的な関係にあるので、この非線形性を考慮し、内挿または外挿する場合に直線だけではなく多次関数のような曲線を用いて行うことも可能である。

なお、ＬＵＴ５４ｂが補正された（ステップＳ７）後、再びスイッチング指令を受信すると（ステップＳ１）、駆動部により補正されたＬＵＴ５４ｂが参照される（ステップＳ２）が、ステップＳ７でＬＵＴ５４ｂが補正されてからステップＳ２でＬＵＴ５４ｂが参照されるまでの時間は、スイッチング指令の発信間隔により大きく異なり、場合によっては１年以上の長期にわたることもある。補正電圧が環境変化の影響を補正していることに鑑みると、ＬＵＴ５４ｂの補正電圧の正確さは、時間の経過と共に低下することが想定される。そこで、時間の経過と共に補正電圧の効果を低下させる、すなわち補正電圧の値を低下させるようにしてもよい。この低下させる度合いは、初期のＬＵＴ５４ｂを補正する電圧を、最適電圧を検出してからの経過時間の関数として与えることによって設定するようにしてもよい。例えば、図７（ａ），（ｂ）に示すように、経過時間が指定された時間内の場合だけ補正を行うようにしてもよい。また、図７（ｃ）に示すように、指定された時定数で指数的に減少させるようにしてもよい。これにより、補正電圧の値をより最適な値とすることができる。

以上説明したように、本発明によれば、検出部５２によりミラー装置３ａ，３ｂの最適な駆動電圧を検出し、補正部５３によりその最適な駆動電圧に基づいてＬＵＴ５４ｂを補正することにより、ミラー２３０のドリフトや温度などの環境変化等によりミラー２３０の最適な回動角が変化した場合であっても、ミラー２３０を最適な回動角に駆動させることができる。

なお、初期情報５４ａに含まれる最初のＬＵＴ５４ｂは、従来、ミラー装置の幾何学的関係とミラー２３０の電圧−角度特性とに基づいて作成していたが、最適な駆動電圧またはこの値に近い値を得られない場合がある。そこで、ミラーアレイ２ａ，２ｂのうち一部のミラー装置３ａ，３ｂについては上記ステップＳ４，Ｓ５に示す方法により最適な駆動電圧を検出し、残りのミラー装置３ａ，３ｂについては、上述した差分や位置に基づいて最適な駆動電圧を推定するようにしてもよい。これにより、ＬＵＴ５４ｂの作成作業が簡略化されるとともに、従来よりも最適な駆動電圧またはこの値に近い値を得ることができる。

また、本実施の形態では、最初のＬＵＴ５４ｂと、更新されるＬＵＴ５４ｂとを記録するようにしたが、更新されるＬＵＴ５４ｂの替わりにミラー装置３ａ、３ｂ毎に検出部５２により検出された最適な駆動電圧と最初のＬＵＴ５４ｂの値との差分を記録するようにしてもよい。この場合、補正部５３は、接続パスに関連するミラー装置３ａ，３ｂの駆動電圧を最初のＬＵＴ５４ｂから検出し、この値に接続パスに関連するマイクロミラー装置３ａ，３ｂの上記差分を加算することにより各駆動電圧を補正する。この補正した値は、駆動部５１により対応するミラー装置３ａ，３ｂに供給される。このようにしても、ミラーのドリフトや温度などの環境変化などにより最適な駆動電圧が変化した場合であっても、その変化に追従することができるので、結果として、ミラーを最適な回動角に駆動させることができる。また、更新されるＬＵＴ５４ｂを有する場合と比較して、記録するデータ量を減少させることができるので、ハードウェア資源を節約することができる。

本発明は、光スイッチやこの光スイッチを有する通信システムに適用することができる。

（ａ）は本発明の光スイッチの構成を模式的に示す図、（ｂ）は制御装置の構成を模式的に示す図である。（ａ）はミラー装置３ａの摂動電圧の一例を示す図、（ｂ）はミラー装置３ｂの摂動電圧の一例を示す図である。ＬＵＴの一構成例を模式的に示す図である。本発明の光スイッチの動作を示すフローチャートである。内挿を説明するための図である。外挿を説明するための図である。（ａ）〜（ｃ）は補正電圧の補正方法を説明するための模式図である。光スイッチの構成を模式的に示す斜視図である。ミラー装置の構成を模式的に示す斜視図である。ミラー装置の構成を模式的に示す断面図である。

符号の説明

１ａ，１ｂ…入力ポート、２ａ，２ｂ…ミラーアレイ、３ａ，３ｂ…マイクロミラー装置、４…出力光測定装置、５…制御装置、５１…駆動部、５２…検出部、５３…補正部、５４…記憶部、５４ａ…初期情報、５４ｂ…ＬＵＴ。

Claims

入力光を入力する少なくとも１つの入力ポートと、
出力光を出力する少なくとも１つの出力ポートと、
駆動電圧を印加することにより、回動可能に支持されたミラーを所定の角度に傾斜させるミラー装置が複数配列されたミラーアレイと、
１の前記入力ポートからの入力光を偏向させて１の前記出力ポートから出力させる回動角に前記ミラーを傾斜させるときの前記ミラー装置の前記駆動電圧を、前記入力ポートと前記出力ポートの組み合わせ毎に記録したテーブルと、
このテーブルを参照して前記駆動電圧を前記ミラー装置に供給することにより、所定の前記入力ポートに入力された入力光を選択的に任意の前記出力ポートから出力させる駆動手段と、
前記出力光のパワーが最適値になる前記ミラーの前記駆動電圧を検出する検出手段と、
この検出手段により検出された駆動電圧に基づいて補正電圧を算出し、前記テーブルに記録された駆動電圧を補正する補正手段と
を備え、
前記補正手段は、前記ミラーアレイ内における、最適なミラー駆動電圧を検出した少なくとも２つのミラー装置と他のミラー装置との幾何学的な位置関係と、前記少なくとも２つのミラー装置の前記最適なミラー駆動電圧とに基づいて内挿または外挿により算出した前記補正電圧により、前記他のミラー装置の駆動電圧を補正する
ことを特徴とする光スイッチ。
前記補正手段は、前記検出手段が駆動電圧を検出した時間と前記駆動手段が前記ミラー装置に前記駆動電圧を供給するために前記テーブルを参照した時間との差分である経過時間と、この経過時間の関数とに基づいて算出した前記補正電圧により、前記テーブルに記録された駆動電圧を補正する
ことを特徴とする請求項１記載の光スイッチ。