JP2013145964A - 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1面及びその反対側の第2面を含むセラミックベース板(220)と、第1面に載置される圧電振動片(130)と、圧電振動片を覆うように天井面(113)から伸びた壁面(112)を有する金属性の金属カバー体(110)と、を有する圧電デバイス(200)において、セラミックベース板が、第1面の周囲に形成され第1面から突出した突起部(225)と、突起部の内側に形成され圧電振動片に電気的に接続する接続電極(121)と、第2面に形成された外部電極(224)と、接続電極から外部電極まで伸びる配線電極(222)と、を有し、金属カバー体の壁面の端部が突起部に接するように配置され、壁面の端部と突起部とが封止材によって封止されている。
【選択図】 図7
Description
<圧電デバイス100の構成>
図1は、圧電デバイス100の分解斜視図である。圧電デバイス100は、金属カバー体110と、セラミックベース板120と、圧電振動片130と、により構成されている。圧電振動片130には例えばATカットの水晶振動片が用いられる。ATカットの水晶振動片は、主面(YZ面)が結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜されている。以下の説明では、ATカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をY’軸及びZ’軸として用いる。すなわち、圧電デバイス100においては圧電デバイス100の長辺方向をX軸方向、圧電デバイス100の高さ方向をY’軸方向、X及びY’軸方向に垂直な方向をZ’軸方向として説明する。
図3は、圧電デバイス100の製造方法が示されたフローチャートである。以下に、図3のフローチャートを参照して圧電デバイス100の製造方法について説明する。
圧電デバイスのセラミックベース板には、環状溝の代わりに突起部が形成されることにより金属カバー体のずれが防止されても良い。以下に、セラミックベース板に突起部が形成された圧電デバイス200及び圧電デバイス300について説明する。また、以下の説明では、第1実施形態と同じ部分に関しては同じ符号を付してその説明を省略する。
図7は、圧電デバイス200の分解斜視図である。圧電デバイス200は、金属カバー体110と、圧電振動片130と、セラミックベース板220と、により構成されている。
圧電デバイス200は、図3に示されるフローチャートの方法により製造される。以下、図3を参照しながら圧電デバイス200の製造方法について説明する。
密封された凹部111に突起部225が配置されることにより、突起部225は金属カバー体110のずれを防ぐ。しかし、突起部は金属カバー体110の外側に形成されても良い。以下に、金属カバー体110の外側に突起部が形成されている圧電デバイス300について説明する。また以下の説明では、圧電デバイス200及び電デバイス300と同じ部分に関しては同じ符号を付してその説明を省略する。
110 … 金属カバー体
111 … 凹部
112 … 壁面
113 … 天井面
114 … フランジ
120、220、320 … セラミックベース板
121 … 接続電極
122、222 … 配線電極
123、229 … 貫通孔
124、224 … 外部電極
125 … 環状溝
130 … 圧電振動片
131 … 励振電極
132 … 引出電極
141 … 導電性接着剤
142 … 封止材
171 … ブレイクライン
223 … キャスタレーション
225、325 … 突起部
228 … 絶縁層
C120、C220 … セラミック生地
W120、W220 … セラミック母基板
Claims (10)
- 第1面及びその反対側の第2面を含むセラミックベース板と、前記第1面に載置される圧電振動片と、前記圧電振動片を覆うように天井面から伸びた壁面を有する金属性の金属カバー体と、を有する表面実装型の圧電デバイスであって、
前記セラミックベース板は、前記第1面の周囲に形成され前記第1面から突出した突起部と、前記突起部の内側に形成され前記圧電振動片に電気的に接続する接続電極と、前記第2面に形成された外部電極と、前記接続電極から前記外部電極まで伸びる配線電極とを有し、
前記金属カバー体の前記壁面の端部は、前記突起部に接するように配置され、
前記壁面の端部と前記突起部とが封止材によって封止されている圧電デバイス。 - 前記金属カバー体の端部は、前記壁面から外側に折れ曲がったフランジを有し、
前記フランジは前記突起部の内側に配置される請求項1に記載の圧電デバイス。 - 前記金属カバー体の端部は、前記壁面から外側に折れ曲がったフランジを有し、
前記フランジは前記突起部の外側に配置される請求項1に記載の圧電デバイス。 - 前記突起部は、前記配線電極を避けた位置に形成され、前記金属カバー体の端部に位置する前記配線電極の上には絶縁層が形成される請求項1から請求項3のいずれかに記載の圧電デバイス。
- 第1面及びその反対側の第2面を含むセラミックベース板と、前記第1面に載置される圧電振動片と、前記圧電振動片を覆うように天井面から伸びた壁面を有する金属性の金属カバー体と、を有する表面実装型の圧電デバイスであって、
前記セラミックベース板は、前記第1面の周囲に前記第1面から凹むように形成された所定幅の環状溝と、前記環状溝の環状内に形成され前記圧電振動片と電気的に接続する接続電極と、前記第2面に形成された外部電極と、前記接続電極から前記外部電極まで伸びる配線電極とを有し、
前記金属カバー体の前記壁面の端部は、前記環状溝に配置され、
前記壁面の端部と前記環状溝とが封止材によって封止されている圧電デバイス。 - 前記金属カバー体の端部は、前記壁面から外側に折れ曲がったフランジを有し、
前記フランジの幅は前記環状溝の所定幅よりも短く形成される請求項5に記載の圧電デバイス。 - 天井面から伸びた壁面を有する金属性の金属カバー体を有する表面実装型の圧電デバイスの製造方法であって、
第1面及びその反対側の第2面を含むシート状のセラミック生地に、個々のセラミックベース板の領域を特定するブレイクラインと、当該領域の角部に前記第1面から前記第2面に貫通する貫通孔と、前記ブレイクラインの内側で前記第1面に前記第1面から突出した突起部とを形成した後に焼成して、シート状のセラミック母基板を形成する工程と、
金属ペーストを塗布し且つ焼成して、前記突起部の内側に前記圧電振動片に電気的に接続する接続電極、前記第2面に外部電極、及び前記接続電極から外部電極に伸びる配線電極を形成する工程と、
圧電振動片を前記接続電極に載置する工程と、
前記セラミック母基板に封止材を塗布する工程と、
前記金属カバー体を前記突起部に沿って配置し、前記金属カバー体と前記突起部とを前記封止材で封止する工程と、
を備える圧電デバイスの製造方法。 - 前記セラミック母基板を形成する工程は、金型を前記セラミック生地に押すことで、前記ブレイクライン、前記貫通孔、及び前記突起部を形成する請求項7に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 天井面から伸びた壁面を有する金属性の金属カバー体を有する表面実装型の圧電デバイスの製造方法であって、
第1面及びその反対側の第2面を含むシート状のセラミック生地に、個々のセラミックベース板の領域を特定するブレイクラインと、当該領域の角部に前記第1面から前記第2面に貫通する貫通孔と、前記ブレイクラインの内側で前記第1面に前記第1面から凹むように形成された所定幅の環状溝と、を形成した後に焼成して、シート状のセラミック母基板を形成する工程と、
金属ペーストを塗布し且つ焼成して、前記環状溝の内側に前記圧電振動片に電気的に接続する接続電極、前記第2面に外部電極、及び前記接続電極から外部電極に伸びる配線電極を形成する工程と、
圧電振動片を前記接続電極に載置する工程と、
前記セラミック母基板に封止材を塗布する工程と、
前記金属カバー体の端部が前記環状溝に入るように配置し、前記金属カバー体の端部と前記環状溝と封止材で封止する工程と、
を備える圧電デバイスの製造方法。 - 前記セラミック母基板を形成する工程は、金型を前記セラミック生地に押すことで、前記ブレイクライン、前記貫通孔、及び前記環状溝を形成する請求項9に記載の圧電デバイスの製造方法。
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