JP2013099828A - 研磨装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨テーブル1上の研磨パッド2に基板を押圧して基板の被研磨面を研磨する研磨装置において、研磨パッド2に向けて気体を噴射する少なくとも1つの気体噴射ノズル24を有し、研磨パッド2に気体を吹き付けて研磨パッド2の温度を調整するパッド温度調整機構22と、研磨パッド2に向けて液体又は気体と液体の混合流体を噴射する少なくとも1つのノズルを有し、研磨パッド2に液体又は混合流体を吹き付けて研磨パッド上の異物を除去するアトマイザ30とを備え、パッド温度調整機構22とアトマイザ30とは一体のユニットとして形成されている。
【選択図】図4
Description
また、研磨レートについても、研磨パッドの温度への依存性が確認されており、CMPプロセスによって最適な研磨レートをもたらす温度領域があり、研磨中に最適な研磨レートを長く得るためには最適な研磨パッドの温度を維持する必要がある。
そこで、本発明者らは、先に、特願2011−158080号(2011年7月19日出願)において、基板の研磨中に、気体噴射ノズルから研磨パッドに向けて気体を噴射することにより、研磨パッドの表面(研磨面)を冷却するようにした研磨装置を提案した。
また、本発明によれば、研磨パッドに気体を吹き付けて研磨パッドの温度を調整するパッド温度調整機構と研磨パッドに液体又は混合流体を吹き付けて研磨パッド上の異物を除去するアトマイザとを一体のユニットとして構成することにより、部品点数の削減を図ることができ、かつユニットの表面積を飛躍的に減らすことができ、汚れの付着を減らすことができる。なお、パッド温度調整機構とアトマイザは、個別に使用することもできるし、同時に使用することもできる。
本発明の好ましい態様によれば、前記アトマイザは、前記ノズルに液体又は混合流体を供給する流体供給路を備えることを特徴とする。
本発明によれば、少なくとも1つの気体噴射ノズルの気体噴射方向を研磨パッドの回転方向側に傾けることにより、研磨パッドを高い冷却能力で冷却することができる。この理由は、傾けることにより被吹き付け面積を垂直の場合に比べて大きく確保できるためである。また、垂直に吹き付ける場合には跳ね返りによるスラリー飛散も懸念されるが、傾けることでスラリー飛散を抑えることができる。さらに、気体噴射方向を研磨パッドの回転方向側に傾けることにより、気体噴射によるスラリーの流れへの影響を低減することができる。
本発明によれば、気体噴射ノズルの気体噴射方向と研磨パッドの表面とのなす角を、例えば、30°〜50°に設定することにより、研磨パッドを高い冷却能力で冷却することができる。この理由は、被吹き付け面積が確保でき、かつ風量も効果的に作用させることができる角度範囲だからである。30°よりも小さいと、被吹き付け面積は大きくなるが、風量が低下して冷却効果が低減する。
本発明によれば、少なくとも1つの気体噴射ノズルの気体噴射方向を前記回転接線方向に対して研磨パッドの回転中心側に傾けることにより、研磨パッドを高い冷却能力で冷却することができる。この理由は、研磨パッド上の基板研磨領域はドーナツ状(円環状)であり、このドーナツ状領域に沿って気体を噴射できるように、回転接線方向よりも研磨パッドの回転中心側にノズルを傾けることで、基板研磨領域を効率良く冷却するためである。
本発明によれば、気体噴射ノズルの気体噴射方向の前記回転接線方向に対する角度を、例えば、15°〜35°に設定することにより、研磨パッドを高い冷却能力で冷却することができる。この理由は、基板研磨領域において被吹き付け面積の確保が可能となることと、35°以上だとスラリー滴下位置に乱れを生じさせるためである。
本発明によれば、前記アトマイザのノズルにおける液体又は混合流体の噴射方向を前記研磨パッドの表面に対して略垂直とすることにより、液体又は混合流体が研磨パッドの表面に当たるときの衝撃力を高めることができ、高い洗浄力を発揮することができる。
本発明によれば、梁状部材にパッド温度調整機構とアトマイザの両者が設けられているため、ユニット全体として表面積を減らすことができ、汚れの付着量を減らすことができる。細長状の部材である梁状部材内を左右に2分し、一方にパッド温度調整機構用の流体供給路と気体噴射ノズルとを設け、他方にアトマイザ用の流体供給路とノズルとを設けることにより、温度調整機構とアトマイザとを一体のユニットとして構成することができ、きわめて簡素な構造となり、ユニット全体の表面積を減らすことができる。
前記梁状部材は、研磨テーブルの外周側で固定用アームに支持され、固定用アームは研磨テーブルの外側まで延びて装置フレーム等に固定される。したがって、梁状部材を片持ち梁のように構成して研磨パッド上を研磨パッドの外周部から中心部まで延ばすことができる。
本発明によれば、気体噴射ノズルの上方を覆うように気体噴射ノズルカバーを設けたため、気体噴射ノズルから噴射された気体を拡散させずに研磨パッドに向かって流すことができ、効率よく研磨パッドを冷却することができる。
本発明によれば、気体噴射ノズル用カバーを気体噴射ノズルの気体噴射方向に合わせて研磨パッドに次第に近づくように下方に傾斜して設けることにより、気体噴射ノズルから噴射された気体を拡散させずに研磨パッドに向かって流すことができ、効率よく研磨パッドを冷却することができる。
本発明によれば、気体方向調整板により気体噴射ノズルから噴射された気体の流れの方向を制御することができるため、気体を研磨パッドに沿って流すことができ、効率よく研磨パッドを冷却することができる。
本発明によれば、気体方向調整板により、気体噴射ノズルから噴射された気体を研磨テーブルの中心側に向かって流すことができる。
本発明によれば、平板状の気体方向調整板の前記回転接線方向に対する角度を、例えば、15°〜45°に設定することにより、研磨パッドを高い冷却能力で冷却することができる。この理由は、被吹き付け面積が確保でき効率よく冷却することができるためである。45°よりも大きいと、気体方向調整板に衝突する気体の量が増え、減圧・減速され冷却能力が低減するとともに、気体方向調整板に衝突し反射した気体が研磨パッド上のスラリー膜厚やスラリー滴下位置に乱れを生じさせるためである。
本発明によれば、研磨パッドの表面(研磨面)と気体噴射ノズルの気体噴射方向とのなす角である気体進入角度に応じて、気体噴射ノズル用カバーの傾きを最適な傾きに調整することができる。
本発明によれば、前記気体方向調整板の向きを調整する機構によって、複数の気体方向調整板の向きを連動させて調整することができるし、また複数の気体方向調整板の向きを個別に調整することもできる。
本発明によれば、アトマイザにより研磨パッドを洗浄する際に、アトマイザから噴射される流体や研磨パッド上の異物が周囲に飛散することを防止できる。
本発明によれば、少なくとも1つの気体噴射ノズルから噴射される気体の流量を制御弁によって制御するとともに研磨パッドの温度を温度計により検出し、研磨パッドの制御目標温度である設定温度と前記温度計により検出された研磨パッドの検出温度とを比較して前記制御弁の弁開度を調整することにより、少なくとも1つの気体噴射ノズルから噴射される気体の流量を制御することができる。したがって、CMPプロセスに応じて研磨パッドの表面を最適な温度に制御することができる。
本発明によれば、気体方向調整板により、気体噴射ノズルから噴射された気体を研磨パッドに沿って流すことができ、効率よく研磨パッドを冷却することができる。そして、気体方向調整板により気体の流れ方向を制御することにより、研磨パッド上の研磨液の流れを制御することができる。
研磨液の状況(量、濃度、生成物など)によって研磨レートや被研磨面の平坦性が変わることがあるので、気体噴射ノズルから噴射された気体の流れを気体方向調整板により制御することにより研磨パッド上の研磨液の流れもコントロールされ、研磨性能をコントロールすることができる。
本発明によれば、気体方向調整板により気体噴射ノズルから噴射された気体の方向を調整することにより、研磨中に研磨パッド上の研磨液の乱れを緩和して研磨液の膜厚をほぼ均一にすることができる。したがって、基板の全面を均一に研磨することができる。また、気体方向調整板により気体噴射ノズルから噴射された気体の方向を調整することにより、研磨液を基板のエッジあるいは中央付近に多め(あるいは少なめ)に流すこともでき、研磨レートおよび面内均一性を制御することができる。
本発明によれば、研磨中にドレッサによるドレッシング工程が入ると、研磨液の流れが邪魔され、研磨液の膜厚が乱れた状態となりがちであるが、気体方向調整板により気体噴射ノズルから噴射された気体の方向を調整することにより、ドレッサの下流側で研磨液の流れを制御し、これにより研磨液の膜厚を制御することができる。したがって、ドレッシング工程で乱れた研磨液の膜厚をなだらかにすることができ、すなわち研磨液の膜厚をほぼ均一にすることができ、基板の全面を均一に研磨できる。
本発明によれば、研磨液供給ノズルから研磨パッドに供給された新しいスラリーが研磨に使用されずに研磨パッドから流れ落ちることがないように研磨パッド上に留めることができる。したがって、研磨性能の向上を図ることができるとともに研磨液の消費量を低減することができる。
本発明によれば、研磨テーブルの回転方向において基板を保持するトップリングの下流側にあり、研磨に使用済みの古い研磨液を速やかに排出することができる。したがって、古い研磨液が研磨面上に残って研磨レートや面内均一性に悪影響を与えることを防止できる。
本発明によれば、研磨中に研磨液の供給位置を変更することにより、研磨に最も有効な研磨パッド上の位置に必要な量の研磨液を供給することができる。
(1)研磨中に研磨パッドの表面を冷却することにより、2つの効果が期待される。
A.研磨レートが向上し、生産性が高くなると共に基板1枚当たりの研磨液(スラリー)などの消耗品コストを低減できる。
B.ディッシングやエロージョンを防止して段差特性の向上を図ることができる。
(2)研磨パッドに気体を吹き付ける位置を最適化することにより、より一層の研磨パッドの冷却効果が見込め、一層のディッシングとエロージョンの低減が見込める。
(3)研磨パッドに気体を吹き付けて研磨パッドの温度を調整するパッド温度調整機構と研磨パッドに液体又は混合流体を吹き付けて研磨パッド上の異物を除去するアトマイザとを一体のユニットとして構成することにより、3つの効果が期待される。
A.部品点数の削減を図ることができ、かつユニットの表面積を減らすことができ、汚れの付着を減らすことができる。
B.ユニットの組み付けが簡単になり、組み付けの再現性が向上する。ノズルの位置が変わってしまうと、プロセスに影響が出る可能性があるため、組み付けの再現性向上は重要である。
C.ユニットの取付けスペースが小さくなり、研磨テーブル上方の空間を有効利用することが可能になる。
(4)パッド温度調整機構に気体噴射ノズルに加えて気体の流れ方向を制御する気体方向調整板を設けたため、3つの効果が期待される。
A.研磨中に研磨パッド上の研磨液の乱れを緩和して研磨液の膜厚をほぼ均一にすることができる。
B.研磨液を基板のエッジあるいは中央付近に多め(あるいは少なめ)に流すこともでき、研磨レートおよび面内均一性を制御することができる。
C.研磨に使用済みの古いスラリーを速やかに研磨パッドから排出し、新しいスラリーが研磨パッドから流れ落ちないようにして研磨パッド上に留めることができるため、研磨性能の向上を図ることができるとともに研磨液の消費量を低減できる。
なお、上の流体供給路31に液体源から純水等の液体を供給し、下の流体供給路32に気体源から窒素(N2)ガス等の気体を供給し、液体と気体とを本体部21内に設けた混合空間で混合した後に、気液混合流体をノズル33から噴射するようにしてもよい。
なお、図5では図示していないが、アトマイザ30の上下の流体供給路31,32も本体部21の長手方向に延びている。上の流体供給路31は本体部21の基端まで延び、上の流体供給路31の開口端には純水供給口34aを備えた継手34が固定されている。
また、流体供給路23,31,32を一つの共通の流体供給路とし、一つの流体供給路に気体噴射ノズル24およびノズル33を設ける構造とし、適宜流体供給源(圧縮空気源、純水源等)と、各ノズル孔の開閉を切り替える構造としてもよい。
図3に示すように、気体噴射ノズル用カバー35は本体部21の一側部に取り付けられており、気体噴射ノズル用カバー35は本体部21の側方において前端部から後端部まで延びている。気体噴射ノズル用カバー35の下面には複数の三角形状の気体方向調整板36が設けられている(後述する)。図4に示すように、気体噴射ノズル用カバー35は、気体噴射ノズル24のやや上方において本体部21に固定されており、気体噴射ノズル24の気体噴射方向に沿って斜め下方に延びている。すなわち、気体噴射ノズル用カバー35は、気体噴射ノズル24のやや上方の固定部35aから斜め下方に延び、固定部35aから遠くなるほど研磨パッド2の研磨面2aに近づくようになっている。ただし、気体噴射ノズル用カバー35の先端35eと研磨パッド2の研磨面2aとの間には隙間G1があり、噴射されるエア(圧縮空気)の流路を確保している。
図11は、研磨液供給ノズル3から研磨パッド2上に滴下された研磨液(スラリー)の流れを説明するための図であり、図11(a)は斜視図、図11(b)は平面図、図11(c)は立面図である。
図11(a)に示すように、研磨液(スラリー)は研磨液供給ノズル3の先端から研磨パッド2の中心部に滴下される。この滴下位置はトップリング10の近傍である。図11(b)に示すように、研磨パッド2上に滴下された研磨液(スラリー)は、研磨テーブル1の回転による遠心力によって研磨パッド2の外周側に向かって均一に広がる。そして、図11(c)に示すように、ほぼ均一な膜厚で研磨パッド2の研磨面2aの全面に広がり、トップリング10の下方に流れ込む。その結果、研磨液(スラリー)はトップリング10に保持された基板Wの被研磨面の全面に均一に行き亘る。
図12(a)に示すように、研磨液(スラリー)は研磨液供給ノズル3の先端から研磨パッド2の中心部に滴下される。この滴下位置はトップリング10の近傍である。図12(b)および12(c)に示すように、研磨パッド2上に滴下された研磨液は、研磨テーブル1の回転による遠心力によって研磨パッド2の外周側に向かって広がろうとするが、研磨中にドレッサ17によるドレッシング工程が入ると、研磨液(スラリー)の流れが邪魔され、スラリー膜厚が乱れた状態でトップリング10の下方へ流入する。その結果、研磨液(スラリー)の量は基板Wの被研磨面の領域によって過不足が生じ、研磨状態が不安定となる。
図13は、パッド温度調整機構22における気体噴射ノズル24と気体方向調整板36とにより研磨液(スラリー)の流れを制御する方法を説明するための模式図であり、図13(a)は平面図、図13(b)は立面図、図13(c)は側面図である。
図13(a)に示すように研磨パッド2上に滴下された研磨液は、研磨テーブル1の回転による遠心力によって研磨パッド2の外周側に向かって広がろうとするが、研磨中にドレッサ17によるドレッシング工程が入ると、研磨液(スラリー)の流れが邪魔され、スラリー膜厚が乱れた状態となる。そのため、図13(a)および図13(b)に示すように、研磨テーブル1の回転方向においてドレッサ17の下流側で気体噴射ノズル24から噴射されるエア(圧縮空気)の流れの方向を気体方向調整板36により制御する。
図14は、複数の気体方向調整板36をそれぞれ異なった方向に向けるようにした場合を示す図であり、図14(a)は気体方向調整板36の方向とスラリー膜厚との関係を示す模式図であり、図14(b)は研磨パッド2上の研磨液(スラリー)とトップリング10により保持された基板Wとの関係を示す模式図である。
図15(a)に示す例においては、三角形状の気体方向調整板36の一辺はシャフト37に固定されており、シャフト37の上端はサーボモータ又はロータリアクチュエータ38に連結されている。この構成により、サーボモータ又はロータリアクチュエータ38を作動させると、気体方向調整板36がシャフト37を中心として揺動し、気体方向調整板36の気体案内角度(θ3)を変えることができる。図15(a)に示す例においては、複数の気体方向調整板36は、個別にサーボモータ又はロータリアクチュエータ38により制御されるようになっている。なお、サーボモータ又はロータリアクチュエータに代えて、各シャフト37を手動で回転させた後に、ネジ止め固定してもよい。
例えば、気体噴射ノズル24が固定で気体の吐出方向が変えられない時あるいは供給される気体が一定流量のとき、気体噴射ノズル用カバー35が動くことで、研磨パッド2の表面2aに向く気体の量を変化させ、冷却の強さを変えられる。また、気体噴射ノズル用カバー35が開くことで、気体噴射ノズル用カバー35の気体を案内する機能を失わせ、気体噴射ノズル用カバー35によって気体が研磨パッド2の表面2aに向かって流れることがないようにし、気体方向調整板36でスラリー膜厚に変化をつけたままトップリング10に向かってスラリーを流すことができる。
なお、気体噴射ノズル用カバー35の内側の気体方向調整板36の構成は、図3乃至図6に示したとおりである。
図17は、研磨液供給ノズル3から研磨パッド2上に滴下された研磨液(スラリー)がトップリング10の下方に流れ込んだ後に研磨パッド2から排出される状態を示す模式的平面図である。この場合、研磨パッド2上に滴下された新鮮なスラリーをトップリング10に保持された基板の被研磨面にできるだけ多く供給し、研磨に使用済みの古いスラリーを速やかに排出することが好ましい。これは、新鮮なスラリーが研磨に使用されずに排出されてしまうとスラリーの消費量が増加し、また古いスラリーが残っていると研磨レートや面内均一性に悪影響を与えるからである。
図19は、気体噴射ノズル24と気体方向調整板36とによりスラリーの流れを制御する方法を説明するための模式的平面図である。図19に示すように、前記回転接線方向に対する気体方向調整板36の角度である気体案内角度(θ3)を調整することにより、気体噴射ノズル24から噴射されるエア(圧縮空気)の流れの方向を研磨テーブル1の内側に向け、研磨パッド2の外周側に向かって流れるスラリーを研磨パッド2の中心側に向かって流れるように制御することによりスラリーが研磨パッド2上に残るようにする。これにより、領域Aから排出されるスラリーをなくすか又はできるだけ少なくすることができる。
先ず、研磨パッド2の制御目標温度である第1設定温度を温度コントローラ47に設定する。次に、気体噴射ノズル24へ圧縮空気を供給する供給圧力を確認する。この供給圧力が規定圧力以下の時には警告を発して、以降の基板に対する処理を中止し、供給圧力が規定圧力以上の時のみに、基板受渡し位置に位置するトップリング10により基板Wをプッシャ等から受け取って吸着保持する。そして、トップリング10により吸着保持した基板Wを基板受渡し位置から研磨テーブル1の直上方の研磨位置まで水平移動させる。
2 研磨パッド
2a 研磨面
3 研磨液供給ノズル
10 トップリング
11,13 シャフト
12 支持アーム
15 ドレッシング装置
16 ドレッサアーム
17 ドレッサ
18 ドレッサヘッド
19 シャフト
20 パッド調整装置
21 パッド調整装置本体部
22 パッド温度調整機構
23 流体供給路
24 気体噴射ノズル
25 継手
25a 圧縮空気供給口
30 アトマイザ
31,32 流体供給路
33 ノズル
33h ノズル孔
34 継手
34a 純水供給口
35 気体噴射ノズル用カバー
36 気体方向調整板
37 シャフト
38 サーボモータ又はロータリアクチュエータ
40 飛散防止カバー
42 シャフト
44 サーボモータ又はロータリアクチュエータ
46 圧力制御弁
47 温度コントローラ
48 放射温度計
51 ピニオン
52 ラック
53 シリンダ又はリニアモータ又はリニアアクチュエータ
61 アーム
62 連結ピン
63 リンク
Claims (20)
- 研磨テーブル上の研磨パッドに研磨対象の基板を押圧して基板の被研磨面を研磨する研磨装置において、
研磨パッドに向けて気体を噴射する少なくとも1つの気体噴射ノズルを有し、研磨パッドに気体を吹き付けて研磨パッドの温度を調整するパッド温度調整機構と、
研磨パッドに向けて液体又は気体と液体の混合流体を噴射する少なくとも1つのノズルを有し、研磨パッドに液体又は混合流体を吹き付けて研磨パッド上の異物を除去するアトマイザとを備え、
前記パッド温度調整機構と前記アトマイザとは一体のユニットとして形成されていることを特徴とする研磨装置。 - 前記パッド温度調整機構は、前記気体噴射ノズルに気体を供給する流体供給路を備えることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記アトマイザは、前記ノズルに液体又は混合流体を供給する流体供給路を備えることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記少なくとも1つの気体噴射ノズルの気体噴射方向は、前記研磨パッドの表面に対して垂直ではなく、前記研磨パッドの回転方向側に傾いていることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記少なくとも1つの気体噴射ノズルの直下の点を通り、研磨パッドの回転中心を中心とする同心円を描き、同心円上の前記直下の点における接線方向を研磨パッドの回転接線方向と定義すると、前記少なくとも1つの気体噴射ノズルの気体噴射方向は、前記回転接線方向に対して前記研磨パッドの回転中心側に傾いていることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記アトマイザのノズルにおける液体又は混合流体の噴射方向は前記研磨パッドの表面に対して略垂直であることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記パッド温度調整機構および前記アトマイザは、前記研磨パッドの上方を研磨パッドの外周部から中心部まで略半径方向に延びる梁状部材に設けられていることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記梁状部材には、前記気体噴射ノズルの気体噴射方向側に、気体噴射ノズルカバーを設けたことを特徴とする請求項7記載の研磨装置。
- 前記気体噴射ノズル用カバーは、前記梁状部材から離間するほど前記研磨パッドの表面に近づくように前記研磨パッドの表面に対して傾斜していることを特徴とする請求項8記載の研磨装置。
- 前記気体噴射ノズル用カバーの内側に、前記気体噴射ノズルから噴射された気体の流れの方向を制御する少なくとも1つの気体方向調整板を設け、該気体方向調整板は前記気体噴射ノズル用カバーから前記研磨パッドに向かって延びる板状体からなることを特徴とする請求項8又は9記載の研磨装置。
- 前記少なくとも1つの気体方向調整板の直下の点を通り、研磨パッドの回転中心を中心とする同心円を描き、同心円上の前記直下の点における接線方向を研磨パッドの回転接線方向と定義すると、前記少なくとも1つの気体方向調整板は、前記回転接線方向に対して前記研磨パッドの回転中心側に傾いていることを特徴とする請求項10記載の研磨装置。
- 前記気体噴射ノズル用カバーの向きを調整する機構及び/又は前記気体方向調整板の向きを調整する機構を備えたことを特徴とする請求項8乃至11のいずれか1項に記載の研磨装置。
- 前記梁状部材には、前記気体噴射ノズルカバーを設けた側と反対側に、アトマイザ用飛散防止カバーを設けたことを特徴とする請求項8記載の研磨装置。
- 前記少なくとも1つの気体噴射ノズルから噴射される気体の流量を制御する制御弁と、
前記研磨パッドの温度を検出する温度計と、
前記研磨パッドの制御目標温度である設定温度と前記温度計により検出された研磨パッドの検出温度とを比較して前記制御弁の弁開度を調整することにより、前記少なくとも1つの気体噴射ノズルから噴射される気体の流量を制御するコントローラとを備えたことを特徴とする請求項1記載の研磨装置。 - 研磨テーブル上の研磨パッドに研磨液を供給しながら研磨対象の基板を研磨パッドに押圧して基板の被研磨面を研磨する研磨方法において、
少なくとも1つの気体噴射ノズルから研磨パッドに向けて気体を噴射し、
前記気体噴射ノズルの近傍に設けた気体方向調整板により、前記気体噴射ノズルから噴射された気体の方向を調整して気体を研磨パッドに吹きつけることを特徴とする研磨方法。 - 前記気体方向調整板により前記気体噴射ノズルから噴射された気体の方向を調整することにより、前記研磨パッド上の研磨液の流れを制御することを特徴とする請求項15記載の研磨方法。
- 前記気体噴射ノズルおよび前記気体方向調整板を前記研磨テーブルの回転方向においてドレッサの下流側に配置し、研磨中にドレッシングを行っている前記ドレッサの下流側で前記研磨パッド上の研磨液の流れを制御することを特徴とする請求項16記載の研磨方法。
- 前記気体方向調整板により前記気体噴射ノズルから噴射された気体の方向を調整することにより、前記研磨パッドの外周側に向かって流れる研磨液を研磨パッドの中心側に向かって流れるように制御することを特徴とする請求項16記載の研磨方法。
- 前記気体方向調整板により前記気体噴射ノズルから噴射された気体の方向を調整することにより、研磨テーブルの回転方向において基板を保持するトップリングの下流側にあり、研磨に使用済みの古い研磨液を研磨パッドの外周側に向かって流れるように制御することを特徴とする請求項16記載の研磨方法。
- 前記研磨パッドに研磨液を供給する研磨液供給ノズルを揺動可能とし、研磨中に研磨液の供給位置を変更することを特徴とする請求項15乃至19のいずれか1項に記載の研磨方法。
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