JP2013079976A - 角速度センサ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部9に接続され他端が錘部10に接続された駆動アーム11からなる角速度センサにおいて、駆動アーム11の形状を固定部9と錘部10を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺11a,11bの折り返し構造としたものである。
【選択図】図2
Description
9 固定部
10 錘部
11 駆動アーム
11a,11b アーム辺
12 駆動電極
13 検出電極
Claims (3)
- 固定部と、この固定部に一端が支持された駆動アームと、この駆動アームの他端に支持された錘部と、前記駆動アームに設けられて前記固定部と前記錘部を結ぶ方向に前記錘部を振動させる駆動電極と、前記駆動アームに設けられてこの駆動アームに加わる角速度を検出する検出電極とを備え、前記駆動アームの形状を前記錘部の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造とするとともに、このアーム辺の折り返し部分における角部をフィレット形状としたことを特徴とする角速度センサ素子。
- 検出電極は、アーム辺の延伸方向の中心軸に対して偏芯した位置に配置したことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ素子。
- 検出電極をアーム辺の延出方向において前記アーム片の撓みの変曲点に対して対称形状としたことを特徴とする請求項2に記載の角速度センサ素子。
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Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JPH10141961A (ja) * | 1996-11-14 | 1998-05-29 | Murata Mfg Co Ltd | 振動子 |
JPH1183499A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-03-26 | Denso Corp | 角速度センサおよびその製造方法 |
JP2006275878A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Seiko Epson Corp | ジャイロ振動片、ジャイロセンサ、及びジャイロ振動片の製造方法 |
WO2007086337A1 (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 慣性力センサ |
JP2008096138A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Sony Corp | 角速度センサの製造方法および角速度センサ |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10141961A (ja) * | 1996-11-14 | 1998-05-29 | Murata Mfg Co Ltd | 振動子 |
JPH1183499A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-03-26 | Denso Corp | 角速度センサおよびその製造方法 |
JP2006275878A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Seiko Epson Corp | ジャイロ振動片、ジャイロセンサ、及びジャイロ振動片の製造方法 |
WO2007086337A1 (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 慣性力センサ |
JP2008096138A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Sony Corp | 角速度センサの製造方法および角速度センサ |
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