JP2013070079A - イメージセンサの無機物マイクロレンズの形成方法 - Google Patents
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Abstract
マイクロレンズにしたイメージセンサの無機物マイクロレンズの形成方法を提供する。
【解決手段】基板上に無機物薄膜を蒸着するステップと、前記無機物薄膜上に半球状のフ
ォトレジストパターンを形成するステップと、前記無機物薄膜に全面エッチバック工程を
行い半球状無機物薄膜のマイクロレンズを形成するステップとを有することを特徴とする
。
【選択図】図5
Description
ンズを無機物で形成するための方法に関する。
。イメージセンサの種類は大きく分けて撮像管と固体撮像素子とに分類される。撮像管は
テレビを中心として画像処理技術を駆使した計測、制御、認識等で広く常用されて応用技
術が発展した。市販の固体撮像素子、イメージセンサはMOS型とCCD型の2種類があ
る。
変換させる素子であって、ピクセル数だけMOSトランジスタを作り、これを利用して順
次出力を検出するスイッチング方式を採用している。CMOSイメージセンサは、従来イ
メージセンサとして広く使われているCCDイメージセンサに比べて駆動方式が容易であ
り、多様なスキャニング方式の具現が可能である。また、信号処理回路を単一チップに集
積できるため、製品の小型化が可能なだけでなく、互換性を有するCMOS技術を使用す
るので製造コストを低減でき、さらに電力消費をもまた大きく低減できるという長所があ
る。
入射する光を電子に変える役割をする素子がフォトダイオードであるが、通常イメージセ
ンサの単位ピクセルにはフォトダイオードだけでなく、単位ピクセル内部の信号処理のた
めの回路が複合的に構成されるため、フォトダイオードの面積が限られる。これを解決す
るために、単位ピクセルの上部にマイクロレンズを形成して、単位ピクセルに入射する光
の中からフォトダイオード領域以外の領域に入射する光をフォトダイオードに集光する。
このようにマイクロレンズを用いることによってイメージセンサの光収束度を向上させる
ことができる(例えば、特許文献1参照)。
面図である。
CMOSイメージセンサの通常の構造として、シリコン基板101上にフィールド酸化
膜102、フォトダイオード103、金属間絶縁膜104、金属配線105及び保護膜1
06が順に積層され、その上部に第1平坦化層107、カラーフィルタ108及び第2平
坦化層109が形成される。
次に、第2平坦化層109上にはマイクロレンズアレイが形成されるが、これを具体的
に説明すれば、まずフォトダイオード103に対応する領域に有機物フォトレジストパタ
ーン110が形成される。そして、熱工程を実施する。(図1参照)
w)され半球状のマイクロレンズ110Aが形成される。
ところが、マイクロレンズとして用いられる有機物フォトレジストは、物性自体が弱く
、マイクロレンズへの物理的な衝撃によるクラックAの発生のような損傷を受けやすい。
また化学薬品に晒されると溶け出し、汚染Bのような不良が発生することもあり、また、
有機物フォトレジストは相対的に粘性が強いため、パーティクルCが吸着される場合除去
されず、吸着された部分に光が入射できず画面上に黒点が生じる不良の原因となるといっ
た問題点があった。
点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、クラック及び汚染発生の抑制が容易
でパーティクルの除去が容易な無機物をマイクロレンズにしたイメージセンサの無機物マ
イクロレンズの形成方法を提供することにある。
ズの形成方法は、基板上に無機物薄膜を蒸着するステップと、前記無機物薄膜上に半球状
のフォトレジストパターンを形成するステップと、前記無機物薄膜に全面エッチバック工
程を行い半球状無機物薄膜のマイクロレンズを形成するステップとを有することを特徴と
する。
とする。
前記無機物薄膜を前記基板内の受光素子の大きさ及びフォーカスの距離によって500
0〜30000Åの厚さに蒸着することを特徴とする。
前記半球状フォトレジストパターンを所望のマイクロレンズサイズに形成して、前記全
面エッチバック工程時に前記半球状フォトレジストパターンサイズを維持した大きさに前
記無機物薄膜をエッチングすることを特徴とする。
また、前記半球状フォトレジストパターンを所望のマイクロレンズサイズより大きく形
成して、前記全面エッチバック工程時に前記無機物薄膜をオーバエッチングしマイクロレ
ンズが互いに分離するように、所望のマイクロレンズサイズに形成することを特徴とする
。
0〜200℃の低温で蒸着することを特徴とする。
前記全面エッチバック工程は、CHF3及びCF4を用い、前記CF4ガスよりCHF
3ガスの量を多く用いて実施することを特徴とする。
前記全面エッチバック工程は、前記フォトレジストパターンと前記無機物薄膜のエッチ
ング選択比が実質的に同じであることを特徴とする。
前記無機物薄膜上に半球状フォトレジストパターンを形成するステップは、前記無機物
薄膜上にフォトリソグラフィ工程でフォトレジストパターンを形成するステップと、前記
フォトレジストパターンをフロー(flow)させて半球状に形成するための熱工程を実
施するステップとを有することを特徴とする。
イクロレンズを形成するので、有機物フォトレジストの適用時に問題になった物理的衝撃
によるクラック発生、汚染による不良の発生、及びパーティクルの残存による黒点不良等
の問題を解決することができるという効果がある。また、これにより製造収率改善及び製
品の市場競争力を向上させる効果がある。
の最良の形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
を説明するための概略断面図である。
従来技術と同じように、CMOSイメージセンサ関連素子等従来の構造として、シリコ
ン基板201上にフィールド酸化膜202、フォトダイオード203、金属間絶縁膜20
4、金属配線205及び保護膜206が順に積層され、その上部に第1平坦化層207、
カラーフィルタ208及び第2平坦化層209が形成される。
に詳しく説明すると、まず第2平坦化層209の形成が完了した基板上に無機物酸化膜2
10を蒸着する。そして、無機物酸化膜210上のフォトダイオード203に対応する領
域に有機物フォトレジストパターン211を形成して、その後、熱工程を実施する。(図
3参照)
はなく、後続する無機物酸化膜210のエッチング工程時にエッチングマスクとして、用
いられる。
そして、無機物酸化膜210は下部フォトダイオード203の大きさと、マイクロレン
ズのフォーカス距離に依存して5000〜30000Å程度の厚さに形成する。この時、
蒸着時温度は下部にあるカラーフィルタ208の劣化を防止するための100〜200℃
の低温とする。
211Aをエッチングマスクとして、無機物酸化膜210を全面エッチバック工程を行う
。この時、全面エッチバック工程は、有機物フォトレジスト211と無機物酸化膜210
のエッチング選択比がほぼ1:1の条件下で、CHF3とCF4との割合を2:1にした
エッチングガスとして用いるが、このガス組成は使用装置及び物質特性に依存して可変す
るものであり、通常CF4ガスよりCHF3ガスの量を多くする。
の有機物フォトレジスト211Aの形状に沿って、無機物酸化膜210は同様の形状の半
球状無機物酸化膜210Aとしてパターン化される。これにより、半球状無機物酸化膜2
10Aのアレイが得られ、各々の半球状無機物酸化膜210Aがマイクロレンズとしての
役目を果たす。
として使用し形成(フォトリソグラフィにより形成される)すると、最終的な半球状無機
物酸化膜マイクロレンズ210Aの形状は、所望のマイクロレンズサイズを維持しなけれ
ばならないので、図5に示すように、隣接する半球状無機物酸化膜マイクロレンズ210
Aが完全に分離されない。
しかし、このような分離されない形状の半球状無機物酸化膜マイクロレンズ210Aで
もマイクロレンズとしての機能には問題がない。
形状より大きく半球状有機物フォトレジストパターン(エッチングマスク)211Aを形
成し、これをエッチングマスクとしてエッチングする時、無機物酸化膜をオーバエッチン
グし隣接する半球状無機物酸化膜マイクロレンズが完全に分離された形状にして、所望の
マイクロレンズのサイズに形成することができる。
、酸化窒化膜等を利用することができ、屈折率調節のためにその厚さ及び組成比等も多種
多様に調節することが可能である。さらに、本発明は、上述の実施例に限られるものでは
ない。本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である
。
202 フィールド酸化膜
203 フォトダイオード
204 金属間絶縁膜
205 金属配線
206 保護膜
207 第1平坦化層
208 カラーフィルタ
209 第2平坦化層
210 無機物酸化膜
210A 半球状無機物酸化膜
211 有機物フォトレジストパターン
211A 半球状有機物フォトレジストパターン
Claims (9)
- 基板上に無機物薄膜を蒸着するステップと、
前記無機物薄膜上に半球状のフォトレジストパターンを形成するステップと、
前記無機物薄膜に全面エッチバック工程を行い半球状無機物薄膜のマイクロレンズを形
成するステップとを有することを特徴とするイメージセンサの無機物マイクロレンズの形
成方法。 - 前記無機物薄膜は、酸化膜、窒化膜または酸化窒化膜のいずれか一つであることを特徴
とする請求項1に記載のイメージセンサの無機物マイクロレンズの形成方法。 - 前記半球状フォトレジストパターンを所望のマイクロレンズサイズに形成して、前記全
面エッチバック工程時に前記半球状フォトレジストパターンサイズを維持した大きさに前
記無機物薄膜をエッチングすることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサの無機
物マイクロレンズの形成方法。 - 前記半球状フォトレジストパターンを所望のマイクロレンズサイズより大きく形成して
、前記全面エッチバック工程時に前記無機物薄膜をオーバーエッチングしマイクロレンズ
が互いに分離するように、所望のマイクロレンズサイズに形成することを特徴とする請求
項1に記載のイメージセンサの無機物マイクロレンズの形成方法。 - 前記基板内に形成されたカラーフィルタの劣化を防止するために前記無機物薄膜を10
0〜200℃の低温で蒸着することを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサの無機
物マイクロレンズの形成方法。 - 前記無機物薄膜を前記基板内の受光素子の大きさ及びフォーカスの距離によって500
0〜30000Åの厚さに蒸着することを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサの
無機物マイクロレンズの形成方法。 - 前記無機物薄膜上に半球状フォトレジストパターンを形成するステップは、前記無機物
薄膜上にフォトリソグラフィ工程でフォトレジストパターンを形成するステップと、
前記フォトレジストパターンをフロー(flow)させて半球状に形成するための熱工
程を実施するステップとを有することを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサの無
機物マイクロレンズの形成方法。 - 前記全面エッチバック工程は、CHF3及びCF4を用い、前記CF4ガスよりCHF
3ガスの量を多く用いて実施することを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサの無
機物マイクロレンズの形成方法。 - 前記全面エッチバック工程は、前記フォトレジストパターンと前記無機物薄膜のエッチ
ング選択比が実質的に同じであることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサの無
機物マイクロレンズ形成方法。
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