JP2013065829A - 流体ハンドリング構造、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造は、液浸流体を含むよう構成された空間の本流体ハンドリング構造の外部の領域に対する境界において、空間の半径方向外側に設けられたガス供給開口と、ガス供給開口の半径方向外側に設けられた流体リカバリ開口と、本流体ハンドリング構造の下面に沿って流体リカバリ開口から半径方向外向きに少なくとも0.5mm延在するダンパ表面と、を有する。
【選択図】図1
Description
本流体ハンドリング構造は、空間の外側に設けられ、下面と対向表面との間にガス流を供給するよう構成された少なくともひとつのガス供給開口と、ガス供給開口と本流体ハンドリング構造の下面の外側のエッジとの間に設けられたブロッキングダンパと、を有する。ブロッキングダンパは、ガス供給開口から本流体ハンドリング構造の外部の大気への半径方向のガス流を実質的に妨げるか、または外部の大気からガス供給開口への半径方向のガス流を実質的に妨げるか、またはそれらの両方を妨げることによって、ガス供給開口からのガスと外部の大気からのガスとの間の混合を実質的に防ぐよう構成される。
複数の開口は二次元アレイを形成してもよい。複数の開口はマイクロシーブのような外観を有してもよい。
1.
投影システムと基板を支持するよう構成された基板テーブルとを備えるリソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造であって、
本流体ハンドリング構造は前記投影システムと対向表面との間の空間に液浸液を閉じ込めるよう構成され、
本流体ハンドリング構造は前記空間の外部となる下面領域であって前記空間を囲む下面領域を有し、
本流体ハンドリング構造は、
前記空間の外側に設けられ、前記下面と前記対向表面との間にガス流を供給するよう構成されたガス供給開口と、
前記ガス供給開口と本流体ハンドリング構造の前記下面の外側のエッジとの間に設けられたブロッキングダンパと、を有し、
前記ブロッキングダンパは、前記ガス供給開口から本流体ハンドリング構造の外部の大気への半径方向のガス流を実質的に妨げるか、または前記外部の大気から前記ガス供給開口への半径方向のガス流を実質的に妨げるか、またはそれらの両方を妨げることによって、前記ガス供給開口からのガスと前記外部の大気からのガスとの間の混合を実質的に防ぐよう構成される、流体ハンドリング構造。
2.
前記ブロッキングダンパは、前記下面の、前記ガス供給開口の半径方向外側に設けられた流体リカバリ開口を含む、クローズ1に記載の流体ハンドリング構造。
3.
前記流体リカバリ開口に負圧が加えられ、それによって前記流体リカバリ開口の半径方向内側から流れてくるガスおよび半径方向外側から流れてくるガスを除去する、クローズ2に記載の流体ハンドリング構造。
4.
前記ブロッキングダンパは、前記外部の大気からの半径方向内向きのガス流を妨げるよう構成された外側ダンパを含む、クローズ1から3のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
5.
前記ガス除去開口は前記ブロッキングダンパの半径方向外側にある、クローズ4に記載の流体ハンドリング構造。
6.
前記ブロッキングダンパは、本流体ハンドリング構造と前記対向表面との間からの半径方向外向きのガス流を実質的に妨げるよう構成されたダンパを含む、クローズ1から5のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
7.
前記ガス除去開口は前記ダンパの半径方向内側にある、クローズ6に記載の流体ハンドリング構造。
8.
前記ガス供給開口を通じて供給されるガスは、易水溶性のガス、例えば二酸化炭素であり、前記液浸液は水性液体である、クローズ1から7のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
9.
リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造であって、
本流体ハンドリング構造は、液浸流体を含むよう構成された空間の本流体ハンドリング構造の外部の領域に対する境界において、
前記空間の半径方向外側に設けられたガス供給開口と、
前記ガス供給開口の半径方向外側に設けられた流体リカバリ開口と、を有し、
前記流体リカバリ開口と本流体ハンドリング構造の下面の半径方向外側のエッジとの距離は、前記ガス供給開口と前記流体リカバリ開口との距離以下である、流体ハンドリング構造。
10.
流体ハンドリング構造であって、液浸流体を含むよう構成された空間の本流体ハンドリング構造の外部の領域に対する境界において、
空間の半径方向外側に設けられたガス供給開口と、
ガス供給開口の半径方向外側に設けられた流体リカバリ開口と、
本流体ハンドリング構造の下面に沿って流体リカバリ開口から半径方向外向きに延在しガスリカバリ開口から本流体ハンドリング構造の下面の半径方向外側のエッジへのガス流を制限する外側ダンパ表面と、
本流体ハンドリング構造の下面に沿ってガス供給開口と流体リカバリ開口との間で半径方向に延在し流体リカバリ開口からガス供給開口へのガス流を制限する内側ダンパ表面と、を有し、内側ダンパ表面および外側ダンパ表面はガス流を実質的に同程度に制限する、流体ハンドリング構造。
11.
リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造であって、液浸流体を含むよう構成された空間の本流体ハンドリング構造の外部の領域に対する境界において、
空間の半径方向外側に設けられたガス供給開口と、
ガス供給開口の半径方向外側に設けられた流体リカバリ開口と、
本流体ハンドリング構造の下面に沿って流体リカバリ開口から半径方向外向きに少なくとも0.5mm延在するダンパ表面と、を有する、流体ハンドリング構造。
12.
流体リカバリ開口と本流体ハンドリング構造の下面の半径方向外側のエッジとの距離は最大で約3.0mmである、クローズ1から11のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
13.
ガス供給開口と流体リカバリ開口との距離は、約0.5mmから約3.0mmの範囲内にある、クローズ1からクローズ12のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
14.
下面の半径方向外側のエッジは、下面を本流体ハンドリング構造の側面に接続するチャンファと接続される、クローズ1からクローズ13のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
15.
ガス供給開口が二酸化炭素を含むガスを供給するよう構成される、クローズ1からクローズ14のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
16.
ガス供給開口はガスナイフの開口を含む、クローズ1からクローズ15のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
17.
ガス供給開口は空間を囲む連続的な開口を含む、クローズ1からクローズ16のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
18.
流体リカバリ開口はガス供給開口を囲む連続的な開口を含む、クローズ1からクローズ17のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
19.
ガス供給開口は平面視でコーナを有する形状を有する、クローズ1からクローズ18のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
20.
流体リカバリ開口は平面視でコーナを有する形状を有する、クローズ1からクローズ19のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
21.
空間からの半径方向外向きの液浸流体の通過に抵抗するメニスカス固定特徴部を空間の境界において備え、
ガス供給開口はメニスカス固定特徴部の半径方向外側にある、クローズ1からクローズ20のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
22.
メニスカス固定特徴部とガス供給開口との距離は、約0.5mmから約2.5mmの範囲内にある、クローズ21に記載の流体ハンドリング構造。
23.
メニスカス固定特徴部は線形アレイ状の複数の開口を含む、クローズ21またはクローズ22に記載の流体ハンドリング構造。
24.
流体ハンドリング構造であって、液浸流体を含むよう構成された空間の本流体ハンドリング構造の外部の領域に対する境界において、
空間の半径方向外側に設けられたガス供給開口と、
ガス供給開口の半径方向外側に設けられた流体リカバリ開口と、
本流体ハンドリング構造の下面に沿って流体リカバリ開口から半径方向外向きに延在するダンパ表面と、を有し、流体リカバリ開口と下面の半径方向外側のエッジとの距離は、本流体ハンドリング構造と液浸リソグラフィ装置の投影システムに対向する対向表面との距離の少なくとも5倍である、流体ハンドリング構造。
25.
流体リカバリ開口と下面の半径方向外側のエッジとの距離は、本流体ハンドリング構造と対向表面との距離の少なくとも5倍である、クローズ24に記載の流体ハンドリング構造。
26.
流体リカバリ開口と下面の半径方向外側のエッジとの距離は少なくとも、本流体ハンドリング構造と対向表面との距離の5倍と0.2mmとの和である、クローズ25に記載の流体ハンドリング構造。
27.
ガス供給開口と流体リカバリ開口との距離は、本流体ハンドリング構造と対向表面との距離の少なくとも5倍である、クローズ24から26のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
28.
ガス供給開口と流体リカバリ開口との距離は少なくとも、本流体ハンドリング構造と対向表面との距離の5倍と0.2mmとの和である、クローズ27に記載の流体ハンドリング構造。
29.
ガス供給開口が毎分約15リットルから毎分約90リットルの範囲のレートでガスを供給するよう構成される、クローズ24から28のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
30.
流体リカバリ開口が毎分約10リットルから毎分約60リットルの範囲のレートでガスを回収するよう構成される、クローズ24から29のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
31.
空間からの半径方向外向きの液浸流体の通過に抵抗するメニスカス固定特徴部を空間の境界において備え、
メニスカス固定特徴部は毎分約10リットルから毎分約60リットルの範囲のレートでガスを回収する、クローズ24から30のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
32.
ガス供給開口からメニスカス固定特徴部へのガスの速度が毎秒約2メートルから毎秒約5メートルの範囲となるよう構成される、クローズ31に記載の流体ハンドリング構造。
33.
ガス供給開口から流体リカバリ開口へのガスの速度が毎秒約2メートルから毎秒約5メートルの範囲となるよう構成される、クローズ24から32のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
34.
ガス供給開口は線形アレイ状の複数のガス供給開口を含む、クローズ1からクローズ33のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
35.
流体リカバリ開口は線形アレイ状の複数の流体リカバリ開口を含む、クローズ1からクローズ34のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
36.
投影システムと、
基板を支持するよう構成された基板テーブルと、
クローズ1から35のいずれかに記載の流体ハンドリング構造と、を備え、
前記流体ハンドリング構造は、前記投影システムと前記投影システムに対向する対向表面との間の空間に液浸液を閉じ込めるよう構成される、液浸リソグラフィ装置。
37.
デバイス製造方法であって、
流体ハンドリング構造によって投影システムと基板との間の空間に閉じ込められた液浸液を通じてパターン形成された放射ビームを投影することと、
液浸液のメニスカスに隣接する位置にガス供給開口を通じてガスを提供することと、
ガス供給開口の半径方向外側に設けられた流体リカバリ開口を通じてガスを回収することと、
本流体ハンドリング構造の下面に沿って流体リカバリ開口から半径方向外向きに少なくとも0.5mm延在するダンパ表面によって流体リカバリ開口から本流体ハンドリング構造の半径方向外側へのガスの動きを減衰させることと、を含む、デバイス製造方法。
38.
デバイス製造方法であって、
流体ハンドリング構造によって投影システムと基板との間の空間に閉じ込められた液浸液を通じてパターン形成された放射ビームを投影することと、
液浸液のメニスカスに隣接する位置にガス供給開口を通じてガスを提供することと、
ガス供給開口の半径方向外側に設けられた流体リカバリ開口を通じてガスを回収することと、
本流体ハンドリング構造の下面に沿って流体リカバリ開口から半径方向外向きに延在するダンパ表面によって流体リカバリ開口から本流体ハンドリング構造の半径方向外側へのガスの動きを減衰させることと、を含み、
流体リカバリ開口と下面の半径方向外側のエッジとの距離は、流体ハンドリング構造と投影システムに対向する対向表面との距離の少なくとも5倍である、デバイス製造方法。
Claims (15)
- 投影システムと基板を支持するよう構成された基板テーブルとを備えるリソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造であって、
本流体ハンドリング構造は前記投影システムと対向表面との間の空間に液浸液を閉じ込めるよう構成され、
本流体ハンドリング構造は前記空間の外部となる下面領域であって前記空間を囲む下面領域を有し、
本流体ハンドリング構造は、
前記空間の外側に設けられ、前記下面と前記対向表面との間にガス流を供給するよう構成されたガス供給開口と、
前記ガス供給開口と本流体ハンドリング構造の前記下面の外側のエッジとの間に設けられたブロッキングダンパと、を有し、
前記ブロッキングダンパは、前記ガス供給開口から本流体ハンドリング構造の外部の大気への半径方向のガス流を実質的に妨げるか、または前記外部の大気から前記ガス供給開口への半径方向のガス流を実質的に妨げるか、またはそれらの両方を妨げることによって、前記ガス供給開口からのガスと前記外部の大気からのガスとの間の混合を実質的に防ぐよう構成される、流体ハンドリング構造。 - 前記ブロッキングダンパは、前記下面の、前記ガス供給開口の半径方向外側に設けられた流体リカバリ開口を含む、請求項1に記載の流体ハンドリング構造。
- 前記流体リカバリ開口に負圧が加えられ、それによって前記流体リカバリ開口の半径方向内側から流れてくるガスおよび半径方向外側から流れてくるガスを除去する、請求項2に記載の流体ハンドリング構造。
- 前記ブロッキングダンパは、前記外部の大気からの半径方向内向きのガス流を妨げるよう構成された外側ダンパを含む、請求項1から3のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
- 前記ガス除去開口は前記ブロッキングダンパの半径方向外側にある、請求項4に記載の流体ハンドリング構造。
- 前記ブロッキングダンパは、本流体ハンドリング構造と前記対向表面との間からの半径方向外向きのガス流を実質的に妨げるよう構成されたダンパを含む、請求項1から5のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
- 前記ガス除去開口は前記ダンパの半径方向内側にある、請求項6に記載の流体ハンドリング構造。
- 前記ガス供給開口を通じて供給されるガスは、易水溶性のガス、例えば二酸化炭素であり、前記液浸液は水性液体である、請求項1から7のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
- 前記ガス供給開口はガスナイフの開口を含む、請求項1から8のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
- 前記ガス供給開口は前記空間を囲む連続的なひとつの開口を含むか、または前記流体リカバリ開口は前記ガス供給開口を囲む連続的なひとつの開口を含むか、またはその両方が成り立つ、請求項1から9のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
- 前記ガス供給開口または前記流体リカバリ開口もしくはその両方は、平面視でコーナを有する形状を有する、請求項1から10のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
- 前記空間の境界において、前記空間からの半径方向外向きの液浸流体の通過に抵抗するメニスカス固定特徴部を備え、
前記ガス供給開口は前記メニスカス固定特徴部の半径方向外側にある、請求項1から11のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。 - 前記ガス供給開口または前記流体リカバリ開口もしくはその両方は、線形アレイ状の複数の開口を含む、請求項1から12のいずれかに記載の流体ハンドリング構造。
- リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造であって、
本流体ハンドリング構造は、液浸流体を含むよう構成された空間の本流体ハンドリング構造の外部の領域に対する境界において、
前記空間の半径方向外側に設けられたガス供給開口と、
前記ガス供給開口の半径方向外側に設けられた流体リカバリ開口と、を有し、
前記流体リカバリ開口と本流体ハンドリング構造の下面の半径方向外側のエッジとの距離は、前記ガス供給開口と前記流体リカバリ開口との距離以下である、流体ハンドリング構造。 - 投影システムと、
基板を支持するよう構成された基板テーブルと、
請求項1から14のいずれかに記載の流体ハンドリング構造と、を備え、
前記流体ハンドリング構造は、前記投影システムと前記投影システムに対向する対向表面との間の空間に液浸液を閉じ込めるよう構成される、液浸リソグラフィ装置。
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