JP2013062346A - Iii族窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施例1のIII 族窒化物半導体発光素子は、サファイア基板10を有し、サファイア基板10上にnコンタクト層11、ホールブロック層12、発光層13、pクラッド層14、pコンタクト層15が順に積層されている。ホールブロック層12は、厚さ100Åのn−AlGaNからなる。発光層13は、InGaNからなる井戸層130と、GaNからなる障壁層131とを1ペアとして、4ペア繰り返し積層したMQW構造である。井戸層130は、nコンタクト層11に近い側から順に井戸層130−1、130−2、130−3、130−4として、井戸層130−i(1≦i≦4)のIn組成比をxi(単位は%、以下も同様)とすれば、x1>x2>x3>x4となるよう井戸層130−1〜130−4は構成されている。
【選択図】図1
Description
11:nコンタクト層
12:ホールブロック層
13、23:発光層
14:pクラッド層
15:pコンタクト層
16:n電極
17:透明電極
18:p電極
130、230:井戸層
131、231:障壁層
Claims (7)
- nコンタクト層と、nコンタクト層上部に位置し、InGaNからなる井戸層とGaNまたはAlGaNからなる障壁層とが交互に複数回繰り返し積層されたMQW構造の発光層と、を有したIII 族窒化物半導体発光素子において、
nコンタクト層と発光層との間に、厚さ5〜100Åのn−AlGaNからなるホールブロック層を有し、
各前記井戸層のIn組成比は、前記nコンタクト層側から遠い井戸層ほどIn組成比が小さい、
ことを特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 前記ホールブロック層は、Al組成比が10〜30%であることを特徴とする請求項1に記載のIII 族窒化物半導体発光素子。
- 前記ホールブロック層は、厚さが5〜50Åであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のIII 族窒化物半導体発光素子。
- 前記発光層の前記井戸層と前記障壁層の繰り返し回数は、4〜20回であることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子。
- nコンタクト層と、nコンタクト層上に接して位置し、InGaNからなる井戸層とGaNまたはAlGaNからなる障壁層とが交互に複数回繰り返し積層されたMQW構造の発光層と、を有したIII 族窒化物半導体発光素子において、
各前記井戸層のIn組成比は、前記nコンタクト層に最も近い1番目の前記井戸層から、前記nコンタクト層に3〜10番目に近い前記井戸層までの各前記井戸層についてはIn組成比が一定の所定値であり、それ以降の各前記井戸層については、In組成比が前記所定値よりも小さく、かつ、前記nコンタクト層側から遠い井戸層ほどIn組成比が小さい、
ことを特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - In組成比が一定であるのは、前記nコンタクト層に3〜8番目に近い前記井戸層までであることを特徴とする請求項5に記載のIII 族窒化物半導体発光素子。
- 前記発光層の前記井戸層と前記障壁層の繰り返し回数は、4〜20回であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載のIII 族窒化物半導体発光素子。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104701431A (zh) * | 2014-11-27 | 2015-06-10 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 一种发光二极管的外延结构及其制作方法 |
JP2017135215A (ja) * | 2016-01-26 | 2017-08-03 | 豊田合成株式会社 | Iii族窒化物半導体発光素子とその製造方法 |
JP2017139265A (ja) * | 2016-02-01 | 2017-08-10 | 旭化成株式会社 | 紫外線発光素子及びそれを備えた装置 |
JP2021536118A (ja) * | 2018-06-25 | 2021-12-23 | インテマティックス・コーポレーションIntematix Corporation | フルスペクトル白色発光デバイス |
US11574896B2 (en) | 2019-07-09 | 2023-02-07 | Intematix Corporation | Full spectrum white light emitting devices |
US11887973B2 (en) | 2019-07-09 | 2024-01-30 | Intematix Corporation | Full spectrum white light emitting devices |
US11973318B2 (en) | 2020-10-13 | 2024-04-30 | Seiko Epson Corporation | Light emitting device and projector |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001028458A (ja) * | 1998-09-21 | 2001-01-30 | Nichia Chem Ind Ltd | 発光素子 |
JP2002176198A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-06-21 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 多波長発光素子 |
JP2004128443A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-04-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 発光素子及びそれを用いた照明装置 |
JP2006261392A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化ガリウム系化合物半導体発光ダイオードおよび照明装置 |
JP2007043151A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-15 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | 放射放出半導体チップ |
-
2011
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001028458A (ja) * | 1998-09-21 | 2001-01-30 | Nichia Chem Ind Ltd | 発光素子 |
JP2002176198A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-06-21 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 多波長発光素子 |
JP2004128443A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-04-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 発光素子及びそれを用いた照明装置 |
JP2006261392A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化ガリウム系化合物半導体発光ダイオードおよび照明装置 |
JP2007043151A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-15 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | 放射放出半導体チップ |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104701431A (zh) * | 2014-11-27 | 2015-06-10 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 一种发光二极管的外延结构及其制作方法 |
WO2016082471A1 (zh) * | 2014-11-27 | 2016-06-02 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 发光二极管及其制作方法 |
JP2017135215A (ja) * | 2016-01-26 | 2017-08-03 | 豊田合成株式会社 | Iii族窒化物半導体発光素子とその製造方法 |
JP2017139265A (ja) * | 2016-02-01 | 2017-08-10 | 旭化成株式会社 | 紫外線発光素子及びそれを備えた装置 |
JP2021536118A (ja) * | 2018-06-25 | 2021-12-23 | インテマティックス・コーポレーションIntematix Corporation | フルスペクトル白色発光デバイス |
US11480308B2 (en) | 2018-06-25 | 2022-10-25 | Intematix Corporation | Full spectrum white light emitting devices |
US11933461B2 (en) | 2018-06-25 | 2024-03-19 | Bridgelux, Inc. | Full spectrum white light emitting devices |
US11574896B2 (en) | 2019-07-09 | 2023-02-07 | Intematix Corporation | Full spectrum white light emitting devices |
US11887973B2 (en) | 2019-07-09 | 2024-01-30 | Intematix Corporation | Full spectrum white light emitting devices |
US11973318B2 (en) | 2020-10-13 | 2024-04-30 | Seiko Epson Corporation | Light emitting device and projector |
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