JP2013035720A - 窒化アルミニウム単結晶の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成長容器2内に内側ガス導入部2fを経て窒素ガスを導入するとともに成長容器2内のガスをガス排出部2eを経て排出させながら、成長容器2内に収容した窒化アルミニウムからなる原料を昇華させ、成長容器2内の種結晶10上に結晶12を成長させて窒化アルミニウム単結晶を得る結晶成長工程を含み、結晶成長工程において、成長容器2を収容する反応管3内に外側ガス導入部3bを経て、窒素ガス又は窒化アルミニウムの生成反応に対する不活性ガスからなる外側ガスを導入することにより、ガス排出部2eの外側に外側ガスを流す窒化アルミニウム単結晶の製造方法。
【選択図】図1
Description
図1に示す窒化アルミニウム単結晶の製造装置を用い、以下のようにして窒化アルミニウム単結晶を製造した。
原料ガスの流量に対する外側ガスの流量の比を表1に示す通りに変更したこと以外は実施例1と同様にして、窒化アルミニウム単結晶を成長させた。
外側ガスの種類を表1に示す通りに変更したこと以外は実施例1と同様にして窒化アルミニウム単結晶を成長させた。
原料ガスの流量に対する外側ガスの流量の比、及び外側ガスの種類を表1に示す通りに変更したこと以外は実施例1と同様にして窒化アルミニウム単結晶を成長させた。
原料部温度、中間部温度および成長部温度を表1に示す通りに変更したこと以外は実施例1と同様にして、窒化アルミニウム単結晶を成長させた。
反応管内に外側ガスを導入しなかったこと以外は実施例1と同様にして窒化アルミニウム単結晶を成長させた。
(1)結晶の品質
実施例1〜8及び比較例1で得られた窒化アルミニウム単結晶について、X線回折により(0002)面のロッキングカーブを測定し、そのピークの半値幅(FWHM)を求めた。結果を表1に示す。
(2)ガス排出路における閉塞の有無
実施例1〜8及び比較例1で窒化アルミニウム単結晶を成長させた後、使用した単結晶製造装置におけるガス排出路を観察した。結果を表1に示す。
2…成長容器
2e…ガス排出路(ガス排出部)
2f…内側ガス導入管(内側ガス導入部)
2h…内側ガス導入口
3…反応管
3b…外側ガス導入管(外側ガス導入部)
10…種結晶
12…結晶
Claims (4)
- 成長容器内に内側ガス導入部を経て窒素ガスを導入するとともに前記成長容器内のガスをガス排出部を経て排出させながら、前記成長容器内に収容した窒化アルミニウムからなる原料を昇華させ、前記成長容器内の種結晶上に結晶を成長させて窒化アルミニウム単結晶を得る結晶成長工程を含み、
前記結晶成長工程において、前記成長容器を収容する反応管内に外側ガス導入部を経て、窒素ガス又は窒化アルミニウムの生成反応に対する不活性ガスからなる外側ガスを導入することにより、前記ガス排出部の外側に前記外側ガスを流す窒化アルミニウム単結晶の製造方法。 - 前記成長容器内の原料ガスの流量に対する前記反応管内に導入される前記外側ガスの流量の比が0.50〜20である請求項1に記載の窒化アルミニウム単結晶の製造方法。
- 前記外側ガスが、前記窒化アルミニウムの生成反応に対する不活性ガスである、請求項1又は2に記載の窒化アルミニウム単結晶の製造方法。
- 成長容器内に内側ガス導入部を経て窒素ガスを導入するとともに前記成長容器内のガスをガス排出部を経て排出させながら、前記成長容器内に収容した窒化アルミニウムからなる原料を昇華させ、前記成長容器内の種結晶上に結晶を成長させて窒化アルミニウム単結晶を得る窒化アルミニウム単結晶の製造装置において、
前記成長容器を収容する反応管と、
前記成長容器の外側で且つ前記反応管内に窒素ガス又は窒化アルミニウムの生成反応に対する不活性ガスからなる外側ガスを導入する外側ガス導入部とを備える窒化アルミニウム単結晶の製造装置。
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2011
- 2011-08-09 JP JP2011174109A patent/JP2013035720A/ja active Pending
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