JP2013032250A - 基板を加熱する機構を備えた製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高温に加熱したガスのビームを大型ガラス基板に吹き付けながら、当該基板を移動させる方式で、基板表面に付着させた薄膜を高速アニールできる。このとき、当該ビームを当該基板の表面と裏面から吹き付け、当該ビームの温度とガス流量を調整することにより、当該基板の反りを減少させることが可能である。
【選択図】図4
Description
102 ガス加熱器
103 ガス導入口
104 加熱されたガスのビーム(Heat Beam)
201 反ったガラス基板
301 基板
302,306 瞬間ガス加熱器
303,305 ガス導入口
304,307 加熱されたガスのビーム(Heat Beam:HB)
401 ガラス基板
402 塗布薄膜
403,410 加熱プレート
404,405,408,409 瞬間ガス加熱器
406 HB1
407 HB3
EX1,EX2,EX3,EX4 吸引口
PR1,PR2,PR3,PR4 環状ガス吹き出し溝
RG1,RG3 環状ガス吸引溝
RG5 環状ガス吹き出し溝
Claims (5)
- 基板の表面と裏面に当該基板を挟む位置に対向して置かれたガスを吹き付けて加熱する加熱機構を備えた製造装置。
- 前記基板がガラス基板または金属基板であることを特徴とする請求項1記載の製造装置。
- 前記基板に吹き付けるガスが窒素やアルゴン、ヘリューム、炭化水素、フッ化炭素を含む不活性ガスである、あるいは水素または水素を放出する還元ガス、酸素やイオウ、セレン、テルルなど6属の元素を含むガスである、あるいはFなど7属の元素を含むガスである、あるいは当該ガスの複数組み合わせたガスであることを特徴とする請求項1、2記載の製造装置。
- 前記ガスが水または空気を含むガスであることを特徴とする請求項1〜3記載の製造装置。
- 基板の表面と裏面に前記加熱機構が複数備えてあることを特徴とする請求項1〜4記載の製造装置。
Priority Applications (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150125656A (ko) * | 2013-03-01 | 2015-11-09 | 쌩-고벵 글래스 프랑스 | 코팅을 열처리하기 위한 방법 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07157322A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-06-20 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の熱処理装置 |
JPH07187694A (ja) * | 1993-10-25 | 1995-07-25 | Cattin Mach Sa | 板状または細長い片状平板ガラスの加熱または冷却装置 |
JPH07211686A (ja) * | 1994-01-14 | 1995-08-11 | Sony Corp | 基板乾燥方法と乾燥槽と洗浄装置 |
JPH11322354A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-11-24 | Tamglass Oy | ガラス板の加熱方法及びその装置 |
JPH11340187A (ja) * | 1998-05-28 | 1999-12-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 洗浄乾燥装置および洗浄乾燥方法 |
JP2011049333A (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-10 | Philtech Inc | 基板の両面加熱装置および加熱ガス吹き付け装置 |
JP2011070085A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Philtech Inc | 表面加熱装置 |
-
2011
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07187694A (ja) * | 1993-10-25 | 1995-07-25 | Cattin Mach Sa | 板状または細長い片状平板ガラスの加熱または冷却装置 |
JPH07157322A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-06-20 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の熱処理装置 |
JPH07211686A (ja) * | 1994-01-14 | 1995-08-11 | Sony Corp | 基板乾燥方法と乾燥槽と洗浄装置 |
JPH11322354A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-11-24 | Tamglass Oy | ガラス板の加熱方法及びその装置 |
JPH11340187A (ja) * | 1998-05-28 | 1999-12-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 洗浄乾燥装置および洗浄乾燥方法 |
JP2011049333A (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-10 | Philtech Inc | 基板の両面加熱装置および加熱ガス吹き付け装置 |
JP2011070085A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Philtech Inc | 表面加熱装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150125656A (ko) * | 2013-03-01 | 2015-11-09 | 쌩-고벵 글래스 프랑스 | 코팅을 열처리하기 위한 방법 |
JP2016518983A (ja) * | 2013-03-01 | 2016-06-30 | サン−ゴバン グラス フランス | 被膜の熱処理方法 |
KR102289587B1 (ko) * | 2013-03-01 | 2021-08-17 | 쌩-고벵 글래스 프랑스 | 코팅을 열처리하기 위한 방법 |
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