JP2012243776A - 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 - Google Patents
基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012243776A JP2012243776A JP2011108653A JP2011108653A JP2012243776A JP 2012243776 A JP2012243776 A JP 2012243776A JP 2011108653 A JP2011108653 A JP 2011108653A JP 2011108653 A JP2011108653 A JP 2011108653A JP 2012243776 A JP2012243776 A JP 2012243776A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- processing
- line
- processing container
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 303
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims description 8
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 227
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 92
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 19
- 238000009931 pascalization Methods 0.000 claims description 11
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims 1
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N furosemide Chemical compound C1=C(Cl)C(S(=O)(=O)N)=CC(C(O)=O)=C1NCC1=CC=CO1 ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N oxygen difluoride Chemical compound FOF UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】処理容器1では基板W表面の乾燥防止用の液体に、超臨界状態または亜臨界状態である高圧状態の処理流体を接触させて、前記乾燥防止用の液体を除去する処理を行うにあたり、昇圧ポンプ2は供給ライン51を介して処理容器1に処理流体を供給して高圧状態の処理流体雰囲気とし、次いで、この昇圧ポンプ51よりも吐出流量の大きな循環ポンプ3にて、処理容器1内の流体を循環ライン53に循環させた後、処理容器1内の流体を排出ライン52から排出する。
【選択図】図1
Description
この処理容器に処理流体を供給する供給ラインに設けられ、前記処理容器内を高圧状態の処理流体雰囲気とするための昇圧ポンプと、
前記処理容器内の流体を循環させるための循環ラインと、
この循環ラインに設けられ、前記昇圧ポンプよりも吐出流量の大きな循環ポンプと、
前記処理容器内の圧力を減圧するための減圧弁が設けられ、当該処理容器内の流体を排出するための排出ラインと、
前記処理容器内を高圧状態の処理流体雰囲気とし、次いで、前記処理容器内の流体を循環ラインに循環させた後、前記排出ラインより処理容器内の流体を排出するように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする。
(a)前記循環ラインには開閉弁が設けられ、前記制御部は、前記処理容器内の流体を循環ラインに循環させた後、前記開閉弁を閉じ、次いで、前記供給ラインから処理流体を供給して当該処理容器内を高圧状態の処理流体雰囲気に維持しながら排出ラインより流体を抜き出し、その後、当該供給ラインからの処理流体の供給を止めて排出ラインより処理容器内の流体を排出するように制御信号を出力すること。
(b)前記循環ポンプは、遠心ポンプ、軸流ポンプまたはタービンポンプであること。
(c)前記循環ポンプは、回転軸周りに回転して流体を送り出す羽根車と、前記回転軸を回転させる回転駆動部とを備えること。
(d)前記循環ポンプは、前記回転駆動部に設けられ、前記回転軸を保持する玉軸受と、これら回転軸及び玉軸受を収容し、前記羽根車を収容するポンプケーシングに連通する軸受ケーシングと、を備え、この軸受ケーシングには、前記ポンプケーシングから軸受ケーシングに流れ込んだ流体の一部を抜き出すための抜き出しラインが接続されていること。
(e)前記供給ラインから分岐して前記循環ポンプに接続された分岐ラインを備え、前記分岐ラインから循環ポンプに処理流体を供給しながら、前記抜き出しラインより流体が抜き出されること。
(f)前記供給ラインから処理容器に処理流体を供給しながら、前記抜き出しラインより流体が抜き出されること。
(g)前記昇圧ポンプはシリンジポンプまたはダイヤフラムポンプであること。
(h)前記処理容器内から排出される流体を、前記乾燥防止用の液体の沸点以上の温度に加熱する加熱部を備えたこと。
(i)前記処理容器または循環ライン内の流体の密度を測定する密度計を備え、前記制御部は、前記流体の密度が、処理容器内の乾燥防止用の液体が処理流体で置換されたことを示す予め定めた密度となった後、前記排出ラインより処理容器内の流体を排出すること。
循環ポンプ3の吐出側の分岐ライン54に介設された533は、分岐ライン54内を流れる流体(処理流体とウエハWから除去された液体)の混合を促進するためのラインミキサである。
処理容器1内の圧力が大気圧まで下がったら、保持板16を移動させてウエハWを搬出し(ステップS108)、外部の搬送アームにウエハWを受け渡して処理を終える(エンド)。
また、ウエハW表面の乾燥防止用の液体についてもIPAに限られるものではなく、HFEや水であってもよい。
図1に示したウエハ処理装置に、昇圧ポンプ2より0.5L/分でCO2を供給しながら、循環ポンプ3を稼動させ、処理容器1内の流体を20L/分で循環ライン53に循環させた。この処理容器1内に20mLのIPAをパルス供給して循環ライン53を流れる流体の密度変化を計測した。処理容器1内の処理空間の容積は1000cm3であり、処理容器1の温度は58℃、圧力は15MPa(ゲージ圧)である。
1 処理容器
2 昇圧ポンプ
3 循環ポンプ
31 羽根車
32 回転軸
33 ポンプケーシング
34 軸受ケーシング
35 玉軸受
36 回転駆動部
4 処理流体供給部
51 供給ライン
52 排出ライン
521 減圧弁
53 循環ライン
54 分岐ライン
55 抜き出しライン
6 制御部
Claims (14)
- 基板表面の乾燥防止用の液体に、超臨界状態または亜臨界状態である高圧状態の処理流体を接触させて、前記乾燥防止用の液体を除去する処理が行われる処理容器と、
この処理容器に処理流体を供給する供給ラインに設けられ、前記処理容器内を高圧状態の処理流体雰囲気とするための昇圧ポンプと、
前記処理容器内の流体を循環させるための循環ラインと、
この循環ラインに設けられ、前記昇圧ポンプよりも吐出流量の大きな循環ポンプと、
前記処理容器内の圧力を減圧するための減圧弁が設けられ、当該処理容器内の流体を排出するための排出ラインと、
前記処理容器内を高圧状態の処理流体雰囲気とし、次いで、前記処理容器内の流体を循環ラインに循環させた後、前記排出ラインより処理容器内の流体を排出するように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記循環ラインには開閉弁が設けられ、
前記制御部は、前記処理容器内の流体を循環ラインに循環させた後、前記開閉弁を閉じ、次いで、前記供給ラインから処理流体を供給して当該処理容器内を高圧状態の処理流体雰囲気に維持しながら排出ラインより流体を抜き出し、その後、当該供給ラインからの処理流体の供給を止めて排出ラインより処理容器内の流体を排出するように制御信号を出力することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記循環ポンプは、遠心ポンプ、軸流ポンプまたはタービンポンプであることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記循環ポンプは、回転軸周りに回転して流体を送り出す羽根車と、前記回転軸を回転させる回転駆動部とを備えることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記循環ポンプは、前記回転駆動部に設けられ、前記回転軸を保持する玉軸受と、これら回転軸及び玉軸受を収容し、前記羽根車を収容するポンプケーシングに連通する軸受ケーシングと、を備え、
この軸受ケーシングには、前記ポンプケーシングから軸受ケーシングに流れ込んだ流体の一部を抜き出すための抜き出しラインが接続されていることを特徴とする請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記供給ラインから分岐して前記循環ポンプに接続された分岐ラインを備え、前記分岐ラインから循環ポンプに処理流体を供給しながら、前記抜き出しラインより流体が抜き出されることを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記供給ラインから処理容器に処理流体を供給しながら、前記抜き出しラインより流体が抜き出されることを特徴とする請求項5または6に記載の基板処理装置。
- 前記昇圧ポンプはシリンジポンプまたはダイヤフラムポンプであることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記処理容器内から排出される流体を、前記乾燥防止用の液体の沸点以上の温度に加熱する加熱部を備えたことを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記処理容器または循環ライン内の流体の密度を測定する密度計を備え、
前記制御部は、前記流体の密度が、処理容器内の乾燥防止用の液体が処理流体で置換されたことを示す予め定めた密度となった後、前記排出ラインより処理容器内の流体を排出することを特徴とする請求項1ないし9のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 処理容器内にて、基板表面の乾燥防止用の液体に、超臨界状態または亜臨界状態である高圧状態の処理流体を接触させて、前記乾燥防止用の液体を除去する基板処理方法であって、
昇圧ポンプが介設された供給ラインより処理容器に処理流体を供給して、前記処理容器内を高圧状態の処理流体雰囲気とする工程と、
次いで、前記昇圧ポンプよりも吐出流量の大きな循環ポンプが介設された循環ラインに前記処理容器内の流体を循環させる工程と、
次いで、前記処理容器に接続され、当該処理容器内の圧力を減圧するための減圧弁が設けられた排出ラインより当該処理容器内の流体を排出する工程と、を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 前記処理容器内の流体を循環ラインに循環させた後、この循環を停止する工程と、
次いで、前記供給ラインから処理流体を供給して当該処理容器内を高圧状態の処理流体雰囲気に維持しながら排出ラインより流体を抜き出す工程と、
その後、当該供給ラインからの処理流体の供給を止めて排出ラインより処理容器内の流体を排出する工程と、を含むことを特徴とする請求項11に記載の基板処理方法。 - 前記流体を排出する工程にて処理容器から排出される流体を、前記乾燥防止用の液体の沸点以上の温度に加熱する工程を含むことを特徴とする請求項11または12に記載の基板処理方法。
- 基板表面の乾燥防止用の液体に、超臨界状態または亜臨界状態である高圧状態の処理流体を接触させて、前記乾燥防止用の液体を除去する処理が行われる基板処理装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記プログラムは請求項11ないし13のいずれか一つに記載された基板処理方法を実行するためにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011108653A JP5703952B2 (ja) | 2011-05-13 | 2011-05-13 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
KR1020120032157A KR101596076B1 (ko) | 2011-05-13 | 2012-03-29 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011108653A JP5703952B2 (ja) | 2011-05-13 | 2011-05-13 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012243776A true JP2012243776A (ja) | 2012-12-10 |
JP5703952B2 JP5703952B2 (ja) | 2015-04-22 |
Family
ID=47465201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011108653A Active JP5703952B2 (ja) | 2011-05-13 | 2011-05-13 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5703952B2 (ja) |
KR (1) | KR101596076B1 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014237086A (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-18 | 昭和電工ガスプロダクツ株式会社 | 超臨界処理装置 |
JP2014237087A (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-18 | 昭和電工ガスプロダクツ株式会社 | 超臨界処理装置 |
JP2017157745A (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
JP2021061399A (ja) * | 2019-10-07 | 2021-04-15 | セメス カンパニー,リミテッド | 基板処理装置及び方法 |
WO2022163313A1 (ja) * | 2021-01-28 | 2022-08-04 | 株式会社Screenホールディングス | 置換終了時の判定方法、基板処理方法および基板処理装置 |
JP7519848B2 (ja) | 2020-09-04 | 2024-07-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、及び基板処理方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002336675A (ja) * | 2001-05-17 | 2002-11-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 高圧処理装置及び方法 |
JP2003117510A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-04-22 | Mitsubishi Materials Corp | 洗浄装置 |
JP2003347261A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-05 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄装置、および洗浄方法 |
JP2004158591A (ja) * | 2002-11-06 | 2004-06-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 超臨界乾燥方法及び装置 |
JP2005277230A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Hitachi Sci Syst Ltd | 微細構造乾燥処理方法及びその装置 |
JP2006140505A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Tokyo Electron Ltd | ポンプを冷却する方法及びシステム |
-
2011
- 2011-05-13 JP JP2011108653A patent/JP5703952B2/ja active Active
-
2012
- 2012-03-29 KR KR1020120032157A patent/KR101596076B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002336675A (ja) * | 2001-05-17 | 2002-11-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 高圧処理装置及び方法 |
JP2003117510A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-04-22 | Mitsubishi Materials Corp | 洗浄装置 |
JP2003347261A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-05 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄装置、および洗浄方法 |
JP2004158591A (ja) * | 2002-11-06 | 2004-06-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 超臨界乾燥方法及び装置 |
JP2005277230A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Hitachi Sci Syst Ltd | 微細構造乾燥処理方法及びその装置 |
JP2006140505A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Tokyo Electron Ltd | ポンプを冷却する方法及びシステム |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014237086A (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-18 | 昭和電工ガスプロダクツ株式会社 | 超臨界処理装置 |
JP2014237087A (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-18 | 昭和電工ガスプロダクツ株式会社 | 超臨界処理装置 |
JP2017157745A (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
US10619922B2 (en) | 2016-03-03 | 2020-04-14 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium |
JP2021061399A (ja) * | 2019-10-07 | 2021-04-15 | セメス カンパニー,リミテッド | 基板処理装置及び方法 |
JP7287930B2 (ja) | 2019-10-07 | 2023-06-06 | セメス カンパニー,リミテッド | 基板処理装置及び方法 |
US11942337B2 (en) | 2019-10-07 | 2024-03-26 | Semes Co., Ltd. | Apparatus and method for treating substrate |
JP7519848B2 (ja) | 2020-09-04 | 2024-07-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、及び基板処理方法 |
WO2022163313A1 (ja) * | 2021-01-28 | 2022-08-04 | 株式会社Screenホールディングス | 置換終了時の判定方法、基板処理方法および基板処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20120127203A (ko) | 2012-11-21 |
KR101596076B1 (ko) | 2016-02-19 |
JP5703952B2 (ja) | 2015-04-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5522124B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 | |
JP5703952B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 | |
US10199240B2 (en) | Substrate processing method, substrate processing apparatus, and storage medium | |
JP6755776B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び記録媒体 | |
KR101568469B1 (ko) | 기판 처리 방법, 기판 처리 장치 및 기억 매체 | |
JP2018082099A (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | |
JP2013179244A (ja) | 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 | |
TWI521582B (zh) | 基板處理裝置 | |
TWI588884B (zh) | 分離再生裝置及基板處理裝置 | |
JP6342343B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2012023102A (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | |
JP2014022520A (ja) | 基板処理装置、流体の供給方法及び記憶媒体 | |
JP2021086857A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
TW201714204A (zh) | 處理液供給裝置、基板處理系統及處理液供給方法 | |
KR102251259B1 (ko) | 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치 | |
JP6563351B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 | |
JP6441176B2 (ja) | 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 | |
TWI721284B (zh) | 藥液供給裝置、基板處理裝置、藥液供給方法以及基板處理方法 | |
JP5459185B2 (ja) | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 | |
JP2006247563A (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
JP2012124283A (ja) | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130610 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140314 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140408 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140609 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150127 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150209 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5703952 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |