JP2012223783A - レーザ加工方法及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面11、12にそれぞれ薄膜31、32が形成されており、且つ、レーザ光透過可能な材料で構成されている、基板1に対して、薄膜31、32の近傍にレーザ光9を照射して貫通溝を形成する加工を行う、レーザ加工方法であって、レーザ光9の透過光92が薄膜32を照射しない角度となるように、レーザ光9を基板1に対して傾斜した状態で照射する。
【選択図】図4
Description
(b)基板に対してレーザ光を照射して貫通溝を形成する場合においては、基板の一方の表面にレーザ光を照射した後に基板を表裏反転させて基板の他方の表面にレーザ光を照射するのが、一般的である。
(a)前記レーザ光の傾斜角度を、前記レーザ光の入射光が前記薄膜を照射しない角度に、設定する。
(b)前記レーザ光の傾斜角度を、前記レーザ光の透過光が前記薄膜を照射しない角度に、設定する。
(c)前記レーザ光の傾斜角度を、前記レーザ光の入射光が前記薄膜を照射しない角度に、及び、前記レーザ光の透過光が前記薄膜を照射しない角度に、設定する。
(d)前記レーザ光の傾斜角度を、一定に維持する。
(e)前記レーザ光の傾斜角度を、経時的に変える。
(f)前記基板を構成する材料が、タンタル酸リチウムである。
(g)前記傾斜機構が、予め入力された加工情報に基づいて、前記レーザ光の入射光が前記基板に形成されている薄膜を照射しない角度になるように、及び/又は、前記レーザ光の透過光が前記基板に形成されている薄膜を照射しない角度になるように、前記基板のレーザ光に対する傾斜角度を設定する、制御部を、備えている。
(h)ガルバノミラー機構を備えており、前記制御部が、ガルバノミラーの作動と同期して前記基板のレーザ光に対する傾斜角度を設定するようになっている。
図1は、本実施形態に係るレーザ加工装置を示す側面略図である。このレーザ加工装置5は、レーザ発振器51と加工ステージ52とを備えている。レーザ発振器51は、レンズ519を通して鉛直下方に向けてレーザ光9を出力するように、構成されている。加工ステージ52は、加工対象である基板1をステージ本体521上に保持するように、構成されている。
本実施形態は、図9に示されるように、第1実施形態に比して、次の点のみが異なっている。
(i)一方の表面11のみにニッケル薄膜31が形成されている。
(ii)角度βのみを設定しており、角度βを、90度より小さく、且つ、レーザ光9の入射光91が薄膜31を照射しない、大きさに、設定している。
本実施形態は、図10に示されるように、第1実施形態に比して、次の点のみが異なっている。
(i)他方の表面12のみにニッケル薄膜32が形成されている。
(ii)角度αのみを設定しており、角度αを、90度より小さく、且つ、レーザ光9の透過光92が薄膜32を照射しない、大きさに、設定している。
本実施形態は、図11に示されるように、図1のレーザ加工装置5に比して、次の点のみが異なっている。
(i)ガルバノミラー機構を採用している。
(ii)制御部が、ガルバノミラー55の作動と同期して駆動機構522(特に傾斜機構)を制御するようになっている。
Claims (10)
- 両表面の内の少なくとも一方の表面の一部に薄膜が形成されており、且つ、レーザ光透過可能な材料で構成されている、基板に対して、前記薄膜の近傍にレーザ光を照射して加工を行う、レーザ加工方法であって、
前記レーザ光を前記基板に対して傾斜した状態で照射する、
ことを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記レーザ光の傾斜角度を、前記レーザ光の入射光が前記薄膜を照射しない角度に、設定する、
請求項1記載のレーザ加工方法。 - 前記レーザ光の傾斜角度を、前記レーザ光の透過光が前記薄膜を照射しない角度に、設定する、
請求項1記載のレーザ加工方法。 - 前記レーザ光の傾斜角度を、前記レーザ光の入射光が前記薄膜を照射しない角度に、及び、前記レーザ光の透過光が前記薄膜を照射しない角度に、設定する、
請求項1記載のレーザ加工方法。 - 前記レーザ光の傾斜角度を、一定に維持する、
請求項1〜4のいずれか一つに記載のレーザ加工方法。 - 前記レーザ光の傾斜角度を、経時的に変える、
請求項1〜4のいずれか一つに記載のレーザ加工方法。 - 前記基板を構成する材料が、タンタル酸リチウムである、請求項1〜6のいずれか一つに記載のレーザ加工方法。
- 基板に対してレーザ光を照射して加工を行う、レーザ加工装置において、
レーザ光を出力するレーザ発振器と、
前記基板を保持し、前記レーザ発振器に対する前記基板の位置を任意に設定する、加工ステージと、
を備えており、
前記加工ステージが、前記レーザ発振器から出力された前記レーザ光に対して前記基板を任意の角度に傾斜させる傾斜機構を、有している、
ことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記傾斜機構が、予め入力された加工情報に基づいて、前記レーザ光の入射光が前記基板に形成されている薄膜を照射しない角度になるように、及び/又は、前記レーザ光の透過光が前記基板に形成されている薄膜を照射しない角度になるように、前記基板のレーザ光に対する傾斜角度を設定する、制御部を、備えている、
請求項8記載のレーザ加工装置。 - ガルバノミラー機構を備えており、
前記制御部が、ガルバノミラーの作動と同期して前記基板のレーザ光に対する傾斜角度を設定するようになっている、
請求項9記載のレーザ加工装置。
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