JP2012210051A5 - - Google Patents
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- 第１の辺、第２の辺、前記第１の辺と前記第２の辺との間をつなぐ第３の辺および第４の辺、を有する振動板と、
前記第１の辺から前記第１の辺に略直交する方向に設けられた支持部と、を備え、
前記第１の辺に沿った方向の前記支持部の長さと、前記第１の辺から突出する方向の前記支持部の長さとの比が略１：１〜略１：４であることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項１に記載の圧電アクチュエーターであって、
前記第１の辺および前記第２の辺は、前記第３の辺および前記第４の辺よりも長いことを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項１または２に記載の圧電アクチュエーターであって、
前記第１の辺の長さと前記第２の辺の長さは略等しく、
前記第３の辺の長さと前記第４の辺の長さは略等しいことを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターであって、前記比が略１：１であることを特徴とする圧電アクチュエーター。
- 請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターであって、前記比が略１：３〜略１：４の範囲内であることを特徴とする圧電アクチュエーター。
- 請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターであって、
前記振動板は、前記第１の辺の長さが略７．０ｍｍであり前記第３の辺の長さが略２．０ｍｍであることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項１〜６のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターであって、
前記振動板は、前記第１の辺の長さが略２１．０ｍｍであり前記第３の辺の長さが略５．６ｍｍであることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項１〜７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターであって、
前記振動板及び前記支持部は一体形成されていることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項８に記載の圧電アクチュエーターであって、
前記振動板及び前記支持部はＳＵＳ３０１又はＦｅ−４２Ｎｉ合金を含むことを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項１〜９のいずれか１項に記載の圧電アクチュエーターを備えたことを特徴とするロボットハンド。
- 請求項１０に記載のロボットハンドを備えたことを特徴とするロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011073558A JP5776269B2 (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011073558A JP5776269B2 (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015133338A Division JP6107894B2 (ja) | 2015-07-02 | 2015-07-02 | 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012210051A JP2012210051A (ja) | 2012-10-25 |
| JP2012210051A5 true JP2012210051A5 (ja) | 2014-04-03 |
| JP5776269B2 JP5776269B2 (ja) | 2015-09-09 |
Family
ID=47189359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011073558A Active JP5776269B2 (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5776269B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102177156B1 (ko) | 2014-03-10 | 2020-11-10 | 삼성전자주식회사 | 로봇 및 그를 구비한 기판 처리 장치 |
| EP3167341B1 (en) | 2014-07-10 | 2018-05-09 | Aktiebolaget Electrolux | Method for detecting a measurement error in a robotic cleaning device |
| TWI683959B (zh) | 2016-09-05 | 2020-02-01 | 研能科技股份有限公司 | 壓電致動器及其所適用之微型流體控制裝置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004043617A1 (ja) * | 2002-11-12 | 2004-05-27 | Seiko Epson Corporation | 圧電振動体、その製造方法、およびその圧電振動体を備えた機器 |
| JP2005237102A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータ、時計及び電子機器 |
| JP2006081237A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Seiko Epson Corp | 超音波モータの駆動回路およびアクチュエータ |
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| JP2009254198A (ja) * | 2008-04-10 | 2009-10-29 | Sharp Corp | 超音波モータおよび超音波振動子 |
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2011
- 2011-03-29 JP JP2011073558A patent/JP5776269B2/ja active Active