JP2012182164A - 積層型圧電素子およびこれを備えた圧電アクチュエータ、噴射装置、燃料噴射システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 積層型圧電素子1は、圧電体層2と正極および負極を有する内部電極3とが複数積層され、内部電極3の端面の一部が側面に達してなる積層体4と、内部電極3と電気的に接続されるように積層体4の側面に被着された一対のメタライズ層5と、少なくとも一対のメタライズ層5の存在しない部位で正極および負極の両方の内部電極3の端面を覆うように積層体4の側面に被着されたセラミックコート層6とを含み、セラミックコート層6には複数のボイドがある。
【選択図】 図1
Description
の側方に位置していることを特徴とするものである。
形成されている。
る。なお、図1において、メタライズ層5の幅はこのメタライズ層5が形成された面の幅よりも狭く形成されているが、これらの幅は同一であってもよく、例えば、積層体4の形状を六角柱や八角柱とした場合に、同一の幅に形成するのがよい。
、特に圧電体層2を構成する圧電体と同種の圧電体、例えばPbZrO3−PbTiO3(PZT:チタン酸ジルコン酸鉛)を用いるのが好ましい。セラミックコート層6を圧電体(好ましくは圧電体層2を形成する圧電体と同種の圧電体)で形成することによって、内部電極3からの漏れ電界(電極に挟まれていない領域に生じる電界)によりセラミックコート層6が圧電効果を示し、積層体4の伸縮に追従して変形することが可能となり、よりセラミックコート層6の粒界欠陥を抑制することができる。
積層体4の側面における正極および負極の両方の内部電極3の端面が達している部位のみならず、正極または負極の片方の内部電極3の端面が達している部位まで被着されてもよく、さらにメタライズ層5の設けられた部位まで被着されてもよいことを意味する。具体的には、図1では正極および負極の両方の内部電極3の端面が達している側面にセラミックコート層6が設けられているが、メタライズ層5の設けられた側面であってメタライズ層5によって覆われていない正極または負極の片方の内部電極3の端面が達している部位にもセラミックコート層6が設けられてもよく、メタライズ層5を覆うようにセラミックコート層6が設けられてもよい。
がボイド7でトラップされるようになる。したがって、マイグレーションを抑制し、長期間安定して積層型圧電素子1を駆動させることができる。
る圧電体層2を分極することによって、積層型圧電素子1の全体を分極することができる。
成する。
ックコート層を形成する。このとき、メタライズ層5の形成面には、セラミックコート層用インクは塗布しないか、若しくは、エッジのみ塗布とする。なお、セラミックコート層
用インクに含まれるセラミック粉末は、圧電セラミックの仮焼粉末であることが好ましく、さらには、圧電体層2と同一の組成のセラミック粉末であることが好ましい。
00℃程度の温度で焼き付け処理を行なう。これにより、メタライズ層5が形成され、積層型圧電素子1が完成する。
流電界を印加し、積層体4を構成する圧電体層2を分極することによって、積層型圧電素子1全体が分極する。この積層型圧電素子1は、リード部材8を介してメタライズ層5と外部の電源とを接続して、圧電体層2に駆動電圧を印加することにより、各圧電体層2を逆圧電効果によって大きく変位させることができる。
脱しない範囲内で種々の変更を行なうことは何ら差し支えない。例えば、積層型圧電素子1におけるメタライズ層5は、上記の例では積層体4の対向する2つの側面に1つずつ形成したが、2つのメタライズ層5を積層体4の隣り合う側面に形成してもよいし、積層体4の同一の側面に形成してもよい。また、積層体4の積層方向に直交する方向における断面の形状は、上記の実施の形態の例である四角形状以外に、六角形状や八角形状等の多角形状、円形状、あるいは直線と円弧とを組み合わせた形状であっても構わない。
主成分とする圧電セラミックスの仮焼粉末、バインダー及び可塑剤を混合したセラミックスラリーを作製し、ドクターブレード法で厚み150μmの圧電体層となるセラミックグリ
ーンシートを作製した。
た。
枚を中心にして、その上下の層に、内部電極となる導電性ペーストが印刷されていない圧電セラミックグリーンシート合計15枚を積層した。
後、1000℃で200分間焼成した。積層体は直方体状であり、その大きさは、端面が縦5m
m、横5mmであり、高さが40mmであった。焼成後に、積層体を平面加工した後、積層体をアセトン洗浄し、乾燥させた。その後、積層体を750℃で120分間熱処理した。
厚みが10μmとなるようにスクリーン印刷にて内部電極の両極が露出している積層体側面に印刷し、2層目にバインダー量をチタン酸ジルコン酸鉛100質量部に対して外添で50質
量部添加したセラミックコート層インクを、内部電極層の両極が露出している積層体側面に1層目の上に印刷した。その後、1000℃で焼成し、積層体の側面側に偏って分布する複数のボイドを有するセラミックコート層を形成した。
メタライズ層を形成した。そして、このメタライズ層上に外部電極を形成し、半田を用い
てリード部材と接続固定した。
チュエータにおいて、積層方向に変位量が得られた。
る高温連続駆動試験を行なった。
例の圧電アクチュエータの破壊源を確認したところ、セラミックコート層に粒界欠陥が生じ、この欠陥の進展部分よりマイグレーションを引き起こし、スパークして停止した。
2・・・圧電体層
3・・・内部電極
4・・・積層体
5・・・メタライズ層
6・・・セラミックコート層
7・・・ボイド
8・・・リード部材
11・・・圧電アクチュエータ
13・・・ケース
15・・・ケース本体
17・・・蓋部材
19・・・噴射装置
21・・・噴射孔
23・・・収納容器(容器)
25・・・ニードルバルブ
27・・・流体通路
29・・・シリンダ
31・・・ピストン
33・・・皿バネ
35・・・燃料噴射システム
37・・・コモンレール
39・・・圧力ポンプ
41・・・噴射制御ユニット
43・・・燃料タンク
Claims (8)
- 圧電体層と正極および負極を有する内部電極とが複数積層され、該内部電極の端面の一部が側面に達してなる積層体と、前記内部電極と電気的に接続されるように前記積層体の側面に被着された一対のメタライズ層と、少なくとも該一対のメタライズ層の存在しない部位で前記正極および前記負極の両方の前記内部電極の端面を覆うように前記積層体の側面に被着されたセラミックコート層とを含み、該セラミックコート層には複数のボイドがあることを特徴とする積層型圧電素子。
- 前記複数のボイドは前記側面の側に偏って分布していることを特徴とする請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記複数のボイドは前記圧電体層の側方に位置していることを特徴とする請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記複数のボイドは前記セラミックコート層の厚み方向に沿って互いに連通しないように分散していることを特徴とする請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記セラミックコート層は圧電体からなることを特徴とする請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 請求項1に記載の積層型圧電素子と、該積層型圧電素子を内部に収容するケースとを備えていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 噴射孔を有する容器と、請求項1に記載の積層型圧電素子とを備え、前記容器内に蓄えられた流体が前記積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から吐出されることを特徴とする噴射装置。
- 高圧燃料を蓄えるコモンレールと、該コモンレールに蓄えられた前記高圧燃料を噴射する請求項7に記載の噴射装置と、前記コモンレールに前記高圧燃料を供給する圧力ポンプと、前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御ユニットとを備えたことを特徴とする燃料噴射システム。
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