JP2012171245A - インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents
インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012171245A JP2012171245A JP2011036348A JP2011036348A JP2012171245A JP 2012171245 A JP2012171245 A JP 2012171245A JP 2011036348 A JP2011036348 A JP 2011036348A JP 2011036348 A JP2011036348 A JP 2011036348A JP 2012171245 A JP2012171245 A JP 2012171245A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- wiring
- opening
- thickness
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14072—Electrical connections, e.g. details on electrodes, connecting the chip to the outside...
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/1408—Structure dealing with thermal variations, e.g. cooling device, thermal coefficients of materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/08—Embodiments of or processes related to ink-jet heads dealing with thermal variations, e.g. cooling
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【解決手段】圧電素子120が形成されている振動板112a上に、第一の開口部131aがある第一の絶縁膜131及び第二の開口部132aがある第二の絶縁膜132が順次積層されており、第一の開口部及び前記第二の開口部を介して、個別電極123から第一の配線が引き出され、第一の配線上に、第三の開口部133aが形成されている第三の絶縁膜133が形成されており、第三の開口部を介して、第一の配線140と駆動回路を電気的に接続する第二の配線150が引き出され、第三の絶縁膜は液室上の前記第一の配線を含む領域を除く領域に形成されておらず、第二の絶縁膜の、第三の絶縁膜が形成されていない領域の膜厚が5〜40nmで、かつ、前記第三の絶縁膜が形成されている領域の膜厚が100nm以上のインクジェットヘッド100。
【選択図】図1
Description
複数のノズルが形成されているノズル板と、前記ノズル板上に配置されている振動板と、前記振動板と前記ノズル板との間の空間が隔壁により隔てられている複数の液室と、前記振動板上の前記液室が形成される面とは反対側の面に共通電極、圧電体及び個別電極が順次積層されている圧電素子と、を有するインクジェットヘッドであって、
前記圧電素子が形成されている前記振動板上に、第一の開口部が形成されている第一の絶縁膜及び第二の開口部が形成されている第二の絶縁膜が順次積層されており、
前記第一の開口部及び前記第二の開口部を介して、前記個別電極から第一の配線が引き出されており、
前記第一の配線上に、第三の開口部が形成されている第三の絶縁膜が形成されており、
前記第三の開口部を介して、前記第一の配線と駆動回路を電気的に接続する第二の配線が引き出されており、
前記第三の絶縁膜は前記液室上の前記第一の配線を含む領域を除く領域に形成されておらず、
前記第二の絶縁膜の、前記第三の絶縁膜が形成されていない領域の膜厚が5〜40nmであり、かつ、前記第三の絶縁膜が形成されている領域の膜厚が100nm又はそれより厚い、インクジェットヘッドが提供される。
次に、本発明に係る3種類の絶縁膜について、詳細に説明する。
《液室基板》
液室基板112の材料としては、特に限定されないが、一般的には面方位(100)又は(111)のシリコン単結晶基板をフォトリソグラフィ法や異方性エッチングすることにより形成することができる。また、振動版112aは、Si、SiO2、Si3N4等をプラズマCVD法等により積層することができる。
振動板112aの形成方法としては、特に限定されないが、スパッタ法、ゾルゲル法等が挙げられる。
共通電極121の材料としては、特に限定されないが、導電性金属酸化物等が挙げられる。具体的には、化学式ABO3で記述され、A=Sr、Ba、Ca、La、 B=Ru、Co、Ni、を主成分とする複合酸化物があり、SrRuO3やCaRuO3、これらの固溶体である(Sr1−x Cax)O3のほか、LaNiO3やSrCoO3、さらにはこれらの固溶体である(La, Sr)(Ni1−y Coy)O3 (y=1でも良い)が挙げられる。それ以外の酸化物材料として、IrO2、RuO2も挙げられる。他にも、高い耐熱性と低い反応性を有するルテニウム(Ru)、ロジウム(Rh)、パラジウム(Pd)、オスミウム(Os)、イリジウム(Ir)、プラチナ(Pt)の白金族金属や、これら白金族金属を含む合金材料等を使用することができる。また、これらの金属層を作製した後に、前記導電性酸化物層を積層して使用しても良い。
圧電体122の材料としては、特に限定されないが、PZT等の複合金属酸化物を使用することができる。PZTとはジルコン酸鉛(PbZrO3)とチタン酸鉛(PbTiO3)の固溶体である。例えば、PbZrO3とPbTiO3の比率が53:47の割合で、化学式で示すとPb(Zr0.53、Ti0.47)O3、一般にはPZT(53/47)と示されるPZT等を使用することができる。
個別電極123の材料としては、特に限定されないが、共通電極と同様に導電性金属酸化物及び、導電性金属酸化物と金属の積層体を使用することができる。
配線140及び配線150の材料としては、特に限定されないが、Ag合金、Cu、Al、Au、Pt、Ir等が挙げられる。
図2に、本発明のインクジェット記録装置の一例を示す。なお、図2(a)及び(b)は、それぞれインクジェット記録装置の斜視図及びその機構部の側面図である。
酢酸鉛三水和物をメトキシエタノールに溶解させた後、脱水し、酢酸鉛三水和物のメトキシエタノール溶液を得た。一方、イソプロポキシドチタン、イソプロポキシドジルコニウムをメトキシエタノールに溶解させた後、アルコール交換反応及びエステル化反応を進行させた。次に、酢酸鉛三水和物のメトキシエタノール溶液を加え、0.5mol/LのPZT前駆体溶液を得た。このとき、熱処理中のいわゆる鉛抜けによる結晶性の低下を防ぐため、化学量論組成に対して、鉛を10モル%過剰にした。
(100)面を主面とするシリコンウェハ上に、振動板として膜厚が1μmの熱酸化膜を形成し、さらに、膜厚が50nmチタン膜、膜厚が200nmの白金膜、膜厚が100nmのSrRuO膜をスパッタにより成膜した。
ZrO膜(絶縁膜132)の膜厚を100nmとした以外は、実施例1と同様にインクジェットヘッドを作製した。絶縁膜133が形成されていない領域の、絶縁膜132の膜厚は、9nmであった。
Al2O3膜(絶縁膜131)の膜厚を20nmとした以外は、実施例1と同様にインクジェットヘッドを作製した。絶縁膜133が形成されていない領域の、絶縁膜132の膜厚は、25nmであった。
ZrO膜(絶縁膜132)の膜厚を300nmとした以外は、実施例1と同様にインクジェットヘッドを作製した。絶縁膜133が形成されていない領域の、絶縁膜132の膜厚は、35nmであった。
SiO2膜(絶縁膜132)を、プラズマCVDにより500nm成膜した以外は、実施例1と同様にインクジェットヘッドを作製した。絶縁膜133が形成されていない領域の、絶縁膜132の膜厚は、38nmであった。
ZrO膜(絶縁膜132)の膜厚を50nmとした以外は、実施例1と同様にインクジェットヘッドを作製した。絶縁膜133が形成されていない領域の、絶縁膜132の膜厚は、6nmであった。
Al2O3膜(絶縁膜131)の膜厚を10nmとした以外は、実施例1と同様にインクジェットヘッドを作製した。絶縁膜133が形成されていない領域の、絶縁膜132の膜 厚は、2nmであった。
実施例及び比較例で作製したインクジェットヘッドの電気特性を評価した。次に、80℃/85%の環境下にインクジェットヘッドを100時間放置した後に、電気特性を評価した。なお、電気特性は、FCE−1(東陽テクニカ社製)を用い、150kV/cmの電界強度での飽和分極Ps(μC/cm2)を測定した。
110 液室
111 ノズル基板
111a ノズル
112 液室基板
112a 振動板
112b 隔壁
120 圧電素子
121 共通電極
122 圧電体
123 個別電極
131、132、133 絶縁膜
131a、132a、133a 開口部
131b、132b、133b 開口部
140、150 配線
Claims (6)
- 複数のノズルが形成されているノズル板と、前記ノズル板上に配置されている振動板と、前記振動板と前記ノズル板との間の空間が隔壁により隔てられている複数の液室と、前記振動板上の前記液室が形成される面とは反対側の面に共通電極、圧電体及び個別電極が順次積層されている圧電素子と、を有するインクジェットヘッドであって、
前記圧電素子が形成されている前記振動板上に、第一の開口部が形成されている第一の絶縁膜及び第二の開口部が形成されている第二の絶縁膜が順次積層されており、
前記第一の開口部及び前記第二の開口部を介して、前記個別電極から第一の配線が引き出されており、
前記第一の配線上に、第三の開口部が形成されている第三の絶縁膜が形成されており、
前記第三の開口部を介して、前記第一の配線と駆動回路を電気的に接続する第二の配線が引き出されており、
前記第三の絶縁膜は前記液室上の前記第一の配線を含む領域を除く領域に形成されておらず、
前記第二の絶縁膜の、前記第三の絶縁膜が形成されていない領域の膜厚が5〜40nmであり、かつ、前記第三の絶縁膜が形成されている領域の膜厚が100nm又はそれより厚い、インクジェットヘッド。 - 前記第三の絶縁膜はエッチングによりパターン化されており、
前記第二の絶縁膜は、前記エッチングする際の前記第一の絶縁膜に対する保護層である、請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 前記第二の絶縁膜は、
ZrO、TiO、TaO及びSiOから成る群から選ばれる1種類又は2種類以上の材料を含み、ALD法により形成される、若しくは、
SiO又はSiNのいずれかの材料を含み、p−CVD法により形成される、請求項1又は2に記載のインクジェットヘッド。 - 前記第一の絶縁膜は、膜厚が20〜100nmである、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記該第一の絶縁膜は、ALD法により形成される、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを有するインクジェット記録装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011036348A JP5644581B2 (ja) | 2011-02-22 | 2011-02-22 | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
US13/396,830 US8602530B2 (en) | 2011-02-22 | 2012-02-15 | Ink-jet head and ink-jet recording apparatus |
CN201210070659.5A CN102649357B (zh) | 2011-02-22 | 2012-02-17 | 喷墨头及喷墨记录装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011036348A JP5644581B2 (ja) | 2011-02-22 | 2011-02-22 | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012171245A true JP2012171245A (ja) | 2012-09-10 |
JP5644581B2 JP5644581B2 (ja) | 2014-12-24 |
Family
ID=46652376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011036348A Expired - Fee Related JP5644581B2 (ja) | 2011-02-22 | 2011-02-22 | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8602530B2 (ja) |
JP (1) | JP5644581B2 (ja) |
CN (1) | CN102649357B (ja) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012036103A1 (en) * | 2010-09-15 | 2012-03-22 | Ricoh Company, Ltd. | Electromechanical transducing device and manufacturing method thereof, and liquid droplet discharging head and liquid droplet discharging apparatus |
JP5743076B2 (ja) * | 2011-04-06 | 2015-07-01 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2014177359A (ja) | 2013-03-13 | 2014-09-25 | Ricoh Co Ltd | 複合酸化物、薄膜容量素子、液滴吐出ヘッド、複合酸化物の製造方法 |
JP2014198461A (ja) | 2013-03-15 | 2014-10-23 | 株式会社リコー | アクチュエータ素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 |
US9238367B2 (en) * | 2013-03-15 | 2016-01-19 | Ricoh Company, Ltd. | Droplet discharging head and image forming apparatus |
JP2014188814A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 |
JP2015023053A (ja) | 2013-07-16 | 2015-02-02 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、画像形成装置、及び、電気機械変換素子の製造方法 |
JP6414744B2 (ja) | 2014-12-12 | 2018-10-31 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置 |
JP6551773B2 (ja) | 2015-02-16 | 2019-07-31 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置 |
JP2017013440A (ja) | 2015-07-03 | 2017-01-19 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
JP2017112281A (ja) | 2015-12-17 | 2017-06-22 | 株式会社リコー | 電気‐機械変換素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、電気‐機械変換膜の製造方法、及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP6686444B2 (ja) | 2016-01-07 | 2020-04-22 | 株式会社リコー | Pzt膜積層構造体、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及びpzt膜積層構造体の製造方法 |
JP6672812B2 (ja) * | 2016-01-14 | 2020-03-25 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP6790366B2 (ja) | 2016-01-29 | 2020-11-25 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 |
JP2017157773A (ja) | 2016-03-04 | 2017-09-07 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 |
US10160208B2 (en) | 2016-04-11 | 2018-12-25 | Ricoh Company, Ltd. | Electromechanical-transducing electronic component, liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus |
US9987843B2 (en) | 2016-05-19 | 2018-06-05 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus |
JP6627647B2 (ja) * | 2016-05-24 | 2020-01-08 | Tdk株式会社 | 積層膜、電子デバイス基板、電子デバイス及び積層膜の製造方法 |
US10894406B2 (en) * | 2016-09-26 | 2021-01-19 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Thin film stacks |
US10239312B2 (en) | 2017-03-17 | 2019-03-26 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus |
US10556431B2 (en) | 2017-06-23 | 2020-02-11 | Ricoh Company, Ltd. | Electromechanical transducer element, liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus |
JP2020131627A (ja) | 2019-02-22 | 2020-08-31 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、ヘッドモジュールおよび液体吐出装置 |
JP7243334B2 (ja) | 2019-03-16 | 2023-03-22 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、ヘッドモジュール、ヘッドユニット、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
JP2020155528A (ja) | 2019-03-19 | 2020-09-24 | 株式会社リコー | 電気機械変換部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 |
JP7205324B2 (ja) | 2019-03-19 | 2023-01-17 | 株式会社リコー | ヘッドモジュール、ヘッドユニット、液体を吐出するヘッド、液体を吐出する装置 |
JP7314672B2 (ja) | 2019-07-16 | 2023-07-26 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、ヘッドモジュール、ヘッドユニット、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10226071A (ja) * | 1996-12-09 | 1998-08-25 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
JP2005278265A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータ及びこれを備えた液体噴射装置並びに圧電アクチュエータの製造方法 |
JP2006217721A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ、及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
JP2006239966A (ja) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2007261216A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
JP2010042683A (ja) * | 2003-09-24 | 2010-02-25 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
JP2010069750A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法、インクジェット式記録装置 |
JP2010179622A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、および液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP2010247511A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-11-04 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びにアクチュエーター装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04371209A (ja) | 1991-06-19 | 1992-12-24 | Hitachi Ltd | 圧力差再生方式吸着塔の再生法 |
US5923231A (en) * | 1994-08-05 | 1999-07-13 | Kinseki Limited | Surface acoustic wave device with an electrode insulating film and method for fabricating the same |
US5918354A (en) * | 1996-04-02 | 1999-07-06 | Seiko Epson Corporation | Method of making a piezoelectric element |
WO1999004976A1 (fr) * | 1997-07-25 | 1999-02-04 | Seiko Epson Corporation | Tete d'ecriture et imprimante a jet d'encre |
JP4371209B2 (ja) | 2003-11-13 | 2009-11-25 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP5724168B2 (ja) | 2009-10-21 | 2015-05-27 | 株式会社リコー | 電気−機械変換素子とその製造方法、及び電気−機械変換素子を有する液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置 |
-
2011
- 2011-02-22 JP JP2011036348A patent/JP5644581B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-02-15 US US13/396,830 patent/US8602530B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-02-17 CN CN201210070659.5A patent/CN102649357B/zh active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10226071A (ja) * | 1996-12-09 | 1998-08-25 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
JP2010042683A (ja) * | 2003-09-24 | 2010-02-25 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
JP2005278265A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータ及びこれを備えた液体噴射装置並びに圧電アクチュエータの製造方法 |
JP2006217721A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ、及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
JP2006239966A (ja) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2007261216A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
JP2010069750A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法、インクジェット式記録装置 |
JP2010179622A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、および液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP2010247511A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-11-04 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びにアクチュエーター装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102649357A (zh) | 2012-08-29 |
US8602530B2 (en) | 2013-12-10 |
US20120212545A1 (en) | 2012-08-23 |
JP5644581B2 (ja) | 2014-12-24 |
CN102649357B (zh) | 2015-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5644581B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP5754178B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP5708098B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置および画像形成装置 | |
JP6260858B2 (ja) | 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 | |
JP6399386B2 (ja) | 電気機械変換部材の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置の製造方法 | |
JP2015199266A (ja) | 電気−機械変換素子、電気−機械変換素子の製造方法、インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP6079080B2 (ja) | 電気−機械変換素子の製造方法、電気−機械変換素子、該電気−機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置。 | |
JP2016046335A (ja) | 電気機械変換部材、液滴吐出装置、画像形成装置及び電気機械変換部材の形成方法 | |
JP2015159192A (ja) | 電気機械変換部材及びその製造方法、並びに、その電気機械変換部材を備える液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 | |
JP2014054802A (ja) | 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置 | |
JP2015220399A (ja) | 圧電素子、圧電素子の製造方法、インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP6531428B2 (ja) | 電気機械変換部材、電気機械変換部材の製造方法、液滴吐出ヘッド、および画像形成装置 | |
JP2014157850A (ja) | 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 | |
JP2015026676A (ja) | 電気−機械変換素子、電気−機械変換素子を配置した液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置 | |
JP6236924B2 (ja) | 電気機械変換膜、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、及びインクジェット記録装置 | |
JP5998537B2 (ja) | 電気−機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 | |
JP5909933B2 (ja) | 酸化物導電性薄膜の処理方法、電子デバイスの製造方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
JP6566323B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 | |
JP6131653B2 (ja) | 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、および画像記録装置 | |
JP2016157794A (ja) | 電気機械変換部材の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、および画像形成装置 | |
JP2014154864A (ja) | アクチュエータの製造方法、アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、および画像形成装置 | |
JP6198116B2 (ja) | 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 | |
JP2015164149A (ja) | 分極処理前基板、アクチュエータ基板、アクチュエータ基板の製造方法、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 | |
JP6287178B2 (ja) | 電気−機械変換素子及び液滴吐出ヘッド | |
JP5998531B2 (ja) | 電気−機械変換素子と液滴吐出ヘッドと液滴吐出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140916 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141007 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141020 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5644581 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |