JP2012164890A - 半導体用粘接着シート、それを用いた半導体ウエハ、半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体用粘接着シートは、25℃での貯蔵弾性率が50〜1000MPaである基材(b)と、熱可塑性樹脂と熱硬化性樹脂とを少なくとも含有し、厚さが40μm以下であり、基材(b)に積層された粘接着剤層(a)と、を備え、粘接着剤層(a)と基材(b)とのピールはく離強度が30〜200mN/cmである。
【選択図】図1
Description
本実施形態の半導体用粘接着シート(半導体用接着フィルム)は、(A)熱可塑性樹脂と、(B)熱硬化性樹脂とを少なくとも含有し、かつ厚さが40μm以下の粘接着剤層(a)と、25℃での貯蔵弾性率が50〜1000MPaの基材(b)からなる粘接着シートであって、粘接着剤層(a)と基材(b)とのピールはく離強度(Y)が30mN/cm〜200mN/cmであることを特徴とする。
<工程1>
(A)熱可塑性樹脂、(B)熱硬化性樹脂、必要に応じて他の成分を有機溶媒中で混合、混練してワニス(接着剤層塗工用のワニス)を調製した後、25℃での貯蔵弾性率が1GPa以上の保護フィルム上に前記ワニスの層を形成させ、加熱乾燥することで、保護フィルム付き粘接着剤層(a)を得ることができる。上記の混合、混練は、通常の攪拌機、らいかい機、三本ロール、ボールミル等の分散機を適宜、組み合わせて行うことができる。上記の加熱乾燥の条件は、使用した溶媒が充分に揮散する条件であれば特に制限はないが、通常50〜200℃で、0.1〜90分間加熱して行う。
保護フィルム付き粘接着剤層(a)の粘接着剤層(a)側に25℃での貯蔵弾性率が10〜1000MPaの基材(b)をラミネートすることで粘接着シートを得ることができる。上記のラミネート条件は、空隙なくラミネートできれば特に制限はないが、通常ロール温度30〜100℃、圧力0.1〜1MPaで行う。
保護フィルム、粘接着剤層(a)、基材(b)から構成される粘接着シートの粘接着剤層(a)及び基材(b)を基材(b)側から切断し、保護フィルムからはく離することによって円形に加工された粘接着シートを得ることができる。このように加工することによって、半導体ウエハにラミネートする際に粘接着シートを切断する必要がなくなるため、作業性に優れた粘接着シートを得ることができる。通常、上記粘接着シートは巻き芯にロール状に巻いて用いられる。
<工程1>
上記粘接着シートの基材(b)及び粘接着剤層(a)を保護フィルムからはく離し、基材(b)及び粘接着剤層(a)を半導体ウエハ及びウエハリングにラミネートする。保護フィルムは別の巻き芯にロール状に巻かれる。粘接着剤層(a)の半導体ウエハへのラミネート条件は、空隙なくラミネートできれば特に制限はないが、通常40〜80℃、圧力0.1〜1MPaで行う。また粘接着剤層(a)のウエハリングへのラミネート条件は、特に制限はないが、通常20〜40℃、圧力0.1〜1MPaで行う。また、このとき半導体ウエハの代わりにダイシング済みの半導体チップをラミネートすることもできる。
ウエハリングに固定された基材(b)及び粘接着剤層(a)付き半導体ウエハをダイシングすることによって個辺化された半導体ウエハを得る。ダイシング条件は、特に限定はしないが、通常半導体ウエハ側から、粘接着剤層(a)付き半導体ウエハと基材(b)の一部をダイシングする。
個辺化された半導体ウエハを基材(b)からピックアップして個辺化された粘接着剤層(a)付き半導体チップを得る。ピックアップ条件は、特に限定はしないが、通常基材(b)をエキスパンド(延伸)することで良好なピックアップ性が得られる。
粘接着剤層(a)付き半導体チップを半導体素子又は半導体搭載用支持部材に圧着する。圧着条件は、特に限定はしないが通常、温度40〜150℃、荷重0.01〜20kgf、加熱時間0.1〜5秒間で行われる。
基材(b)及び粘接着剤層(a)をウエハリングからはく離する。
本実施形態の粘接着シートを備える半導体装置について説明する。なお、近年は様々な構造の半導体装置が提案されており、本実施形態の粘接着シートの用途は、以下に説明する構造の半導体装置に限定されるものではない。
(PI−1)
撹拌機、温度計及び窒素置換装置(窒素流入管)を備えた500mLフラスコ内に、ジアミンである,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(商品名「BAPP」、分子量410、和歌山精化工業社製)を12.3g(0.03mol)、ポリオキシプロピレンジアミン(商品名「D−400」(分子量:433)、BASF社製)を26.0g(0.06mol)、及びアミノ変性シリコーンオイル(商品名「KF―8010」、分子量860、信越シリコーン社製)を8.6g(0.01mol)と、溶媒であるNMP(N−メチル−2−ピロリドン)250gを仕込み、撹拌してジアミンを溶媒に溶解させた。
撹拌機、温度計及び窒素置換装置(窒素流入管)を備えた500mLフラスコ内に、ジアミンである,BAPPを12.3g(0.03mol)、D−400を26.0g(0.06mol)と、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ビス(3−アミノプロピル)ジシロキサン(商品名「BY16−871EG」、東レ・ダウコーニング(株)製)2.485g(0.01mol)と、溶媒であるNMPを250gを仕込み、撹拌してジアミンを溶媒に溶解させた。
撹拌機、温度計及び窒素置換装置(窒素流入管)を備えた500mLフラスコ内に、ジアミンである,2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(商品名「BIS−AP−AF」(分子量:366、セントラル硝子社製)10.98g(0.03mol)、D−400を26.0g(0.06mol)と、アミノ変性シリコーンオイル(商品名「KF―8010」、分子量860、信越シリコーン社製)を8.6g(0.01mol)と、溶媒であるNMPを250gを仕込み、撹拌してジアミンを溶媒に溶解させた。
基材(b)として以下のものを準備した。
基材1:ポリエチレン系(POF−120A、ロンシール社製、表面凹凸(平均表面粗さRa):100nm、25℃での貯蔵弾性率:100MPa、フィルム厚:80μm、コロナ処理なし、表面自由エネルギー:25mN/m、軟化温度:100℃)。
基材2:ポリエチレン系(POF−120A、ロンシール社製、表面凹凸:300nm、25℃での貯蔵弾性率:100MPa、フィルム厚:80μm、コロナ処理なし、表面自由エネルギー:25mN/m、軟化温度:100℃)。
基材3:ポリエチレン系(POF−120A、ロンシール社製、25℃での貯蔵弾性率:100MPa、フィルム厚:80μm、コロナ処理あり、表面自由エネルギー:47mN/m、軟化温度:100℃)。
基材4:水添SBR含有ポリプロピレン系(軟質ダイナソフト、JSRトレーディング社製、25℃での貯蔵弾性率:200MPa、フィルム厚:80μm、コロナ処理なし、表面自由エネルギー:30mN/m、軟化温度:140℃)。
基材5:ポリエステル系(極性基入りダイナソフト(エチレン酢酸ビニル共重合体含有ポリプロピレン)、JSRトレーディング社製、25℃での貯蔵弾性率:200MPa、フィルム厚:80μm、コロナ処理なし、表面自由エネルギー:36mN/m、軟化温度:140℃)。
基材6:ポリエステル系(超ソフトPBT(ポリブチレンテレフタレート骨格含有ポリマ)、JSRトレーディング社製、25℃での貯蔵弾性率:600MPa、フィルム厚:80μm、コロナ処理なし、表面自由エネルギー:38mN/m、軟化温度:220℃)
基材7:ポリプロピレン系(パイレンフィルムOT P2111、東洋紡社製、25℃での貯蔵弾性率:2000MPa、フィルム厚:30μm、コロナ処理なし)。
上記の基材(b)の25℃での貯蔵弾性率は、基材(b)を5mm幅の短冊状に切断し、レオメトリックス社製粘弾性アナライザー「RSA−2」(商品名)を用いて、昇温速度5℃/min、周波数1Hz、測定温度−50〜100℃の条件で測定したものである。
上記の基材(b)の平均表面粗さ(Ra)は、小坂研究所社製表面粗さ測定器「SE−2300」(商品名)を用いて、レベリング機能を適用し、送り速さ0.5mm/sec、評価長さ1mmで測定したときの中心線平均粗さの値である。
上記の基材(b)の表面自由エネルギーは、基材(b)に対して水、グリセリン及びホルムアミドをプローブ液体としたときの接触角を接触角計(DropMaster 500、協和界面科学社製)を用いて、液適量1μL、測定温度25℃にて測定し、接触角計に搭載の解析ソフト(FAMAS、協和界面科学社製)を用いて酸−塩基法により求めた。
上記で得られたポリイミド樹脂(PI−1)〜(PI−3)を用いて、下記表1,2に示す組成比(単位:質量部)にて各成分を配合し、実施例1〜9及び比較例1〜6の粘接着剤組成物(粘接着剤層形成用ワニス)を得た。
1032H60:ジャパンエポキシレジン社製、トリス(ヒドロキシフェニル)メタン型エポキシ樹脂(5%重量減少温度:350℃、固形エポキシ、軟化点60℃)。なお1032H60は、上記化学式(I)で表わされる。
EXA―4710:DIC社製、ナフタレン型エポキシ樹脂(5%重量減少温度:400℃、固形エポキシ、軟化点95℃)。なおEXA―4710は、上記化学式(II)で表わされる。
HP―7200::DIC社製、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(5%重量減少温度:300℃、固形エポキシ、軟化点60℃)。
YDF−8170C:東都化成社製、ビスフェノールF型ビスグリシジルエーテル(5%重量減少温度:270℃、液状エポキシ)。
2PHZ−PW:四国化成社製、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(平均粒子径:約3μm)。
NMP:関東化学社製、N−メチル−2−ピロリドン。
以下に示す方法で、表1,2に示す構成を有する各実施例及び比較例の半導体用粘接着シートを作製した。まず、得られた粘接着剤組成物を、アプリケーター(YBA−5型、ヨシミツ精機社製)を用いて乾燥後に10μmとなるように、それぞれ剥離処理剤付きPETフィルム(A31、帝人デュポンフィルム製、50μm厚)上に塗布し、オーブン中にて80℃で20分間加熱し、続いて120℃で20分間加熱して粘接着剤層を形成した。得られたPETフィルム付き粘接着シートを所定の基材(b)に対して、粘接着剤層を基材(b)側にして所定の温度のロールで加圧(線圧4kgf/cm、送り速度0.5m/分)し、PETフィルムをはく離除去することにより、粘接着剤層(a)と基材(b)からなる粘接着シートを得た。
[粘接着剤層(a)と基材(b)とのピールはく離強度(Y)]
上記の方法で作製した粘接着剤層(a)と基材(b)からなる粘接着シートを幅1cm、長さ4cmの短冊状に切断し、シリコンウエハの裏面(厚さ400μm)に対して温度50℃で、粘接着剤層をシリコンウエハ側にしてロールで加圧(線圧4kgf/cm、送り速度0.5m/分)することによりサンプルを作製した。得られたサンプルの基材(b)を粘接着剤層(a)から一部はく離させ基材(b)部分を治具で固定して、粘接着剤層に対する90度引張強度を測定して得られた値の最大値をピールはく離強度(Y)とした。測定装置は株式会社東洋精機製作所社製ストログラフE−S(剥離速度50mm/min、25℃)を使用した。結果を表1,2に示す。なお、表中の「基材(b)/接着層(a)間密着性」は、ピールはく離強度(Y)と同義である。
前記方法で作製した粘接着剤層(a)と基材(b)からなる粘接着シートの基材(b)の反対側の粘接着剤層表面に対して、水、グリセリン及びホルムアミドをプローブ液体としたときの接触角を接触角計(DropMaster 500、協和界面科学社製)を用いて、液適量1μL、測定温度25℃にて測定し、接触角計に搭載の解析ソフト(FAMAS、協和界面科学社製)を用いて酸−塩基法により求めた。結果を表1,2に示す。なお、表中の「表面エネルギー」とは、表面自由エネルギーと同義である。
SUS304板(厚さ500μm)に対して、幅1cm、長さ4cmの短冊状に作製した上記粘接着シートを温度25℃で、接着剤層をSUS側にしてロールで加圧(線圧4kgf/cm、送り速度0.5m/分)することにより、粘接着シートの長さ2cm部分がSUSに固定されたサンプルを作製した。得られたサンプルのSUSに貼付されていない粘接着シート部分を治具で固定してSUSに対する90度引張強度を測定して得られた値の最大値を密着強度とした。測定装置は株式会社東洋精機製作所社製ストログラフE−S(剥離速度500mm/min、25℃)を使用した。結果を表1,2に示す。
上記「SUS密着性」の測定サンプルのSUSに貼付されていない粘接着シート部分を治具で固定してSUSから90℃ではく離し、粘接着剤層がSUSに残存しなかったものをA、粘接着剤層がSUSに残存したものをCとした。測定装置は株式会社東洋精機製作所社製ストログラフE−S(剥離速度1000mm/min、25℃)を使用した。結果を表1,2に示す。
前記方法で作製した粘接着剤層(a)と基材(b)からなる粘接着シートを、50℃に加熱された厚さ100μmの6インチシリコンウエハ、25℃のウエハリングに対して、ロール加圧(線圧4kgf/cm、送り速度0.5m/分)により貼付し、粘接着剤層(a)によってシリコンウエハ及びウエハリングが固定されたサンプルを作製した。次いで、ダイシング装置に固定して、100mm/secの速度で5mm×5mmにシリコンウエハをダイシングしてチップを形成した後、ピックアップ装置にてチップをピックアップし、ダイシング時のチップ飛び及びピックアップ性を評価した。結果を表1,2に示す。表中の「ダイシング時のチップ飛び」とは、ダイシング時にチップが飛んだ確率(%/100チップ)である。表中の「ピックアップ性」とは、ピックアップダイボンダ−により、ダイシング後のチップをピックアップしたときのピックアップできた確率(%/100チップ)である。
10μmの粘接着剤層を複数積層して50℃でロール加圧(線圧4kgf/cm、送り速度0.5m/分)することにより作製した厚さ100μmのサンプルの120℃での溶融粘度を、粘弾性測定装置ARES(レオメトリックス・サイエンティフィック・エフ・イー(株)製)を用いて測定した。なお、測定プレートは直径20mmの平行プレート、測定条件は昇温5℃/min、測定温度は−50℃〜200℃、周波数は1Hzとする。結果を表1,2に示す。
10μmの粘接着剤層を複数積層して50℃でロール加圧(線圧4kgf/cm、送り速度0.5m/分)することにより厚さ100μmのサンプルをテフロンシート上に作製し、150℃で1時間、次いで180℃で1時間オーブンで熱硬化した。得られたサンプルを5mm幅の短冊状に切断し、レオメトリックス社製粘弾性アナライザー「RSA−2」(商品名)を用いて、昇温速度5℃/min、周波数1Hz、測定温度−50〜200℃の条件で、サンプルの180℃での貯蔵弾性率を測定した。結果を表1,2に示す。
前記方法で作製した粘接着剤層(a)と基材(b)からなる粘接着シートをシリコンウエハの裏面に50℃でロール加圧して積層した。得られたサンプルを3mm×3mmの大きさに個片化した。個片化した粘接着剤層(a)付シリコンチップを基材(b)からピックアップし予めダイシングしたシリコンチップ(10mm×10mm×0.40mm)の鏡面側に積層し、100gfで加圧しながら120℃で1秒間圧着した。このようにして、シリコンチップ/接着剤層/シリコンチップからなり、これらがこの順に積層する積層体のサンプルを得た。
Claims (13)
- 25℃での貯蔵弾性率が50〜1000MPaである基材と、
熱可塑性樹脂と熱硬化性樹脂とを少なくとも含有し、厚さが40μm以下であり、前記基材に積層された粘接着剤層と、を備え、
前記粘接着剤層と前記基材とのピールはく離強度が30〜200mN/cmである、
半導体用粘接着シート。 - 前記基材の前記粘接着剤層と接する面の表面自由エネルギーが25〜45mN/mである、
請求項1に記載の半導体用粘接着シート。 - 前記基材が、エステル骨格を有するポリマーを少なくとも含有する、
請求項1又は2に記載の半導体用粘接着シート。 - 前記基材が、ポリブチレンテレフタレート骨格を有するポリマーを少なくとも含有する、
請求項3に記載の半導体用粘接着シート。 - 前記基材が、エチレン酢酸ビニル共重合体を少なくとも含有する、
請求項3に記載の半導体用粘接着シート。 - 前記粘接着剤層のSUSに対する密着強度が50〜400mN/cmである、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体用粘接着シート。 - 前記粘接着剤層の表面自由エネルギーが15〜30mN/mである、
請求項1〜6のいずれかに記載の半導体用粘接着シート。 - 前記熱可塑性樹脂がポリイミド樹脂である、
請求項1〜7のいずれか一項に記載の半導体用粘接着シート。 - 前記熱可塑性樹脂のガラス転移温度が80℃以下であり、
かつ前記粘接着剤層の120℃での溶融粘度が20000Pa・s以下である、
請求項1〜8のいずれか一項に記載の半導体用粘接着シート。 - 請求項1〜10のいずれか一項に記載の半導体用粘接着シートがシリコンウエハ上に積層された半導体ウエハ。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の半導体用粘接着シートを用いて接着された半導体素子と半導体搭載用支持部材、及び/又は、
前記半導体用粘接着シートを用いて互いに接着された複数の半導体素子、を備える、
半導体装置。 - 請求項1〜10のいずれか一項に記載の半導体用粘接着シートの粘接着剤層を半導体ウエハ及びウエハリングに対向させ、前記基材及び前記粘接着剤層を前記半導体ウエハ及び前記ウエハリングにラミネートする工程と、
前記基材及び前記粘接着剤層がラミネートされた半導体ウエハをダイシングして、個片化された半導体チップを得る工程と、
前記個片化された半導体チップを前記基材からピックアップして、前記粘接着剤層付き半導体チップを得る工程と、
前記粘接着剤層付き半導体チップを半導体素子又は半導体搭載用支持部材に圧着する工程と、
前記基材及び前記粘接着剤層を前記ウエハリングからはく離する工程と、を備える、
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5294366B1 (ja) * | 2012-10-18 | 2013-09-18 | 古河電気工業株式会社 | ダイシングテープ |
JP2015043372A (ja) * | 2013-08-26 | 2015-03-05 | 日立化成株式会社 | ウェハ加工用テープ |
CN107132731A (zh) * | 2016-02-26 | 2017-09-05 | 富士胶片株式会社 | 感光性转印材料及电路布线的制造方法 |
JP2019121619A (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 日東電工株式会社 | ダイシングダイボンドフィルム |
JP2019201053A (ja) * | 2018-05-14 | 2019-11-21 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019201054A (ja) * | 2018-05-14 | 2019-11-21 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019201052A (ja) * | 2018-05-14 | 2019-11-21 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JPWO2020013250A1 (ja) * | 2018-07-11 | 2021-08-05 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | 半導体装置の製造方法、熱硬化性樹脂組成物及びダイシング・ダイボンディング一体型フィルム |
JP7427530B2 (ja) | 2020-06-02 | 2024-02-05 | マクセル株式会社 | ダイシングテープ用の基材フィルムおよびダイシングテープ |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08319463A (ja) * | 1995-05-25 | 1996-12-03 | Sekisui Chem Co Ltd | アクリル系粘着シート |
JP2004228420A (ja) * | 2003-01-24 | 2004-08-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体ウェハー固定用粘着テープ |
JP2007103954A (ja) * | 2006-10-20 | 2007-04-19 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用接着フィルム、ダイシングフィルムおよび半導体装置 |
JP2008088411A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-04-17 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着シート |
WO2009011281A1 (ja) * | 2007-07-19 | 2009-01-22 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | ダイシング-ダイボンディングテープ及び半導体チップの製造方法 |
JP2009124096A (ja) * | 2007-10-23 | 2009-06-04 | Hitachi Chem Co Ltd | 粘接着シート |
JP2010074144A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-04-02 | Hitachi Chem Co Ltd | ダイシングテープ一体型接着シート及びそれを用いた半導体装置の製造方法 |
-
2011
- 2011-02-08 JP JP2011025404A patent/JP5803123B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08319463A (ja) * | 1995-05-25 | 1996-12-03 | Sekisui Chem Co Ltd | アクリル系粘着シート |
JP2004228420A (ja) * | 2003-01-24 | 2004-08-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体ウェハー固定用粘着テープ |
JP2008088411A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-04-17 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着シート |
JP2007103954A (ja) * | 2006-10-20 | 2007-04-19 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用接着フィルム、ダイシングフィルムおよび半導体装置 |
WO2009011281A1 (ja) * | 2007-07-19 | 2009-01-22 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | ダイシング-ダイボンディングテープ及び半導体チップの製造方法 |
JP2009124096A (ja) * | 2007-10-23 | 2009-06-04 | Hitachi Chem Co Ltd | 粘接着シート |
JP2010074144A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-04-02 | Hitachi Chem Co Ltd | ダイシングテープ一体型接着シート及びそれを用いた半導体装置の製造方法 |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014061629A1 (ja) * | 2012-10-18 | 2014-04-24 | 古河電気工業株式会社 | ダイシングテープ |
JP5294366B1 (ja) * | 2012-10-18 | 2013-09-18 | 古河電気工業株式会社 | ダイシングテープ |
JP2015043372A (ja) * | 2013-08-26 | 2015-03-05 | 日立化成株式会社 | ウェハ加工用テープ |
CN107132731B (zh) * | 2016-02-26 | 2021-10-15 | 富士胶片株式会社 | 感光性转印材料及电路布线的制造方法 |
CN107132731A (zh) * | 2016-02-26 | 2017-09-05 | 富士胶片株式会社 | 感光性转印材料及电路布线的制造方法 |
JP2019121619A (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 日東電工株式会社 | ダイシングダイボンドフィルム |
TWI817969B (zh) * | 2017-12-28 | 2023-10-11 | 日商日東電工股份有限公司 | 切晶黏晶膜 |
JP7280661B2 (ja) | 2017-12-28 | 2023-05-24 | 日東電工株式会社 | ダイシングダイボンドフィルム |
JP7139042B2 (ja) | 2018-05-14 | 2022-09-20 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP7139040B2 (ja) | 2018-05-14 | 2022-09-20 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP7139041B2 (ja) | 2018-05-14 | 2022-09-20 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019201052A (ja) * | 2018-05-14 | 2019-11-21 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019201054A (ja) * | 2018-05-14 | 2019-11-21 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019201053A (ja) * | 2018-05-14 | 2019-11-21 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JPWO2020013250A1 (ja) * | 2018-07-11 | 2021-08-05 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | 半導体装置の製造方法、熱硬化性樹脂組成物及びダイシング・ダイボンディング一体型フィルム |
US11634614B2 (en) | 2018-07-11 | 2023-04-25 | Resonac Corporation | Method for manufacturing semiconductor device, heat-curable resin composition, and dicing-die attach film |
JP7298613B2 (ja) | 2018-07-11 | 2023-06-27 | 株式会社レゾナック | 半導体装置の製造方法、熱硬化性樹脂組成物及びダイシング・ダイボンディング一体型フィルム |
JP7427530B2 (ja) | 2020-06-02 | 2024-02-05 | マクセル株式会社 | ダイシングテープ用の基材フィルムおよびダイシングテープ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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