JP2012155911A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料10表面に一次荷電粒子線の焦点を結ばせる対物レンズ7と一次荷電粒子線をチルトさせる傾斜角制御用偏向器53の中間に、視野補正用アライナー54を設置し、傾斜角制御用偏向器53のチルト角、レンズ条件、対物レンズ7と試料10までの距離からもとまる補正量にて、一次荷電粒子線のチルト時に発生する視野ずれを、対物レンズ7の焦点補正に連動して補正する。
【選択図】図5
Description
走査コイル9上段の同位置には、チルト(傾斜)角制御用偏向器53が配置され、チルト像および立体像観察時には、一次電子線4を傾斜させ、対物レンズ7の振り戻し作用を用いて、試料10に一次電子線4をチルトさせて照射する。符号34は傾斜角制御用偏向器制御電源である。
Claims (10)
- 荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線を収束する複数のレンズと、前記一次荷電粒子線を試料上で走査する走査コイルと、前記一次荷電粒子を収束して前記試料に照射する対物レンズと、前記対物レンズよりも上段に配置され、前記一次荷電粒子線をチルトさせる偏向器とを有し、前記対物レンズの振り戻を用いてチルトさせた前記一次荷電粒子線を前記試料に照射することにより、前記試料のチルト像、もしくは左右視差角像を取得する荷電粒子線装置において、
前記対物レンズと前記偏向器の間にアライナーが更に備えられ、
前記アライナーは、前記偏向器のチルト角、前記複数のレンズ条件、前記対物レンズと前記試料までの距離を用いて、前記一次荷電粒子線のチルト時に発生する前記試料の視野ずれを補正するビームチルト視野補正機能を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、
前記試料の表面傾斜に対応して、前記一次荷電粒子線が前記試料上を1ライン走査中に前記対物レンズの焦点とチルトした前記一次荷電粒子線による視野ずれを同時、連続的に補正する傾斜焦点補正機能を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2記載の荷電粒子線装置において、
前記対物レンズの焦点補正とチルトした前記一次荷電粒子線による視野ずれ補正と同時に走査幅を変更し、前記試料表面傾斜を行わない場合と同等の領域を走査する傾斜倍率補正機能を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3記載の荷電粒子線装置において、
更に、画像表示装置を備え、
前記画像表示装置は、ビームチルト視野補正、傾斜焦点補正、傾斜倍率補正の3つの内の少なくとも一つを実行可能とする入力手段を含むGUI画面を表示するものであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源と、試料ステージと、前記荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線を収束して光軸上にクロスオーバを形成する複数のレンズと、前記一次荷電粒子を収束して前記試料ステージに載置される試料に照射する対物レンズと、前記対物レンズと前記クロスオーバとの間に配置され、前記一次荷電粒子線をチルトさせる偏向器とを有する荷電粒子線装置において、
前記対物レンズと前記偏向器の間に視野補正用アライナーが更に備えられ、
前記視野補正用アライナーは、前記偏向器により前記一次荷電粒子線をチルトすることにより前記クロスオーバとは異なる位置に形成される仮想的なクロスオーバの前記光軸からの位置ずれが前記光軸と一致するように前記一次荷電粒子線のチルト角度を補正するものであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5記載の荷電粒子線装置において、
前記一致は、±200μm以内の範囲を許容することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5記載の荷電粒子線装置において、
前記チルト角度の補正角度は、前記偏向器によりチルトされる前記一次荷電粒子線のチルト角度と、前記偏向器と前記視野補正用アライナーとの間の距離と、前記視野補正用アライナーと前記対物レンズとの間の距離と、前記複数のレンズにより形成される前記一次荷電粒子線のクロスオーバと前記対物レンズとの間の距離とを用いて決定されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5記載の荷電粒子線装置において、
前記一次荷電粒子線は、前記偏向器により前記光軸を対称軸として左右にチルトして2本の一次荷電粒子線とされ、前記試料の左右のステレオペア画像取得用として用いられるものであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源と、試料ステージと、前記ステージを傾斜させる傾斜機構と、前記荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線を収束して光軸上にクロスオーバを形成する複数のレンズと、前記一次荷電粒子線を前記試料ステージに載置される試料上で走査する走査コイルと、前記一次荷電粒子を収束して前記試料に照射する対物レンズと、前記対物レンズと前記クロスオーバとの間に配置され、前記一次荷電粒子線をチルトさせる偏向器と、これらを制御する制御CPUと、前記制御CPUに接続された画像表示装置とを有する荷電粒子線装置において、
前記対物レンズと前記偏向器の間に視野補正用アライナーが更に備えられ、
前記傾斜機構を用いて傾斜させた前記試料ステージに載置される前記試料の表面に前記一次荷電粒子線を照射してチルト像を観察する際に、
前記制御CPUは、
前記走査コイルが、傾いた前記試料ステージの傾斜方向に前記一次荷電粒子線を走査するように、かつ、
前記対物レンズが、走査される前記一次荷電粒子線が前記試料の表面において焦点を結ぶように、かつ、
前記視野補正用アライナーが、前記偏向器により前記一次荷電粒子線をチルトすること及び前記対物レンズにより前記一次荷電粒子線の焦点位置を変更することにより前記クロスオーバとは異なる位置に形成される仮想的なクロスオーバの前記光軸からの位置ずれを前記光軸と一致させ前記一次荷電粒子線のチルト角度を補正するように制御するものであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項9記載の荷電粒子線装置において、
前記制御CPUは、更に、
前記傾斜前と等しい走査範囲にて走査を行うように前記走査コイルを制御するものであることを特徴とする荷電粒子線装置。
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