JP2012138619A5

JP2012138619A5 - 液浸露光装置、液浸露光方法、デバイス製造方法、及び液浸露光装置の製造方法

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Publication number: JP2012138619A5
Application number: JP2012078273A
Authority: JP
Filing date: 2012-03-29
Publication date: 2013-07-11
Anticipated expiration: 2024-06-02

Claims

投影光学系および液体を介して基板を露光する液浸露光装置において、
前記投影光学系からの光の光路の周りに配置され、前記投影光学系の下に液体の液浸領域を形成する液浸部材と、
第１開口部が形成された上面、及び前記第１開口部内に配置され、前記基板を保持する保持部を有し、前記保持部に保持された基板の表面を、前記投影光学系に対向可能であるとともに前記液浸領域の液体と接触可能である、テーブルアセンブリと、
前記テーブルアセンブリに取り外し可能に設けられた光透過性の第１部材、及び前記第１部材を介して光を検出する検出器を有する検出系と、を備え、
前記第１部材の上面と前記テーブルアセンブリの上面とが実質的に同一平面に配置され、
前記検出器は、前記投影光学系、前記液浸領域の液体、及び前記投影光学系の下に配置され、上面が前記液浸領域の液体に接触する前記第１部材を介して、前記光を検出する。
請求項１に記載の液浸露光装置において、
前記保持部に保持された基板の表面と前記テーブルアセンブリの上面とが実質的に同一平面に配置される。
請求項１または２に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルアセンブリの上面に、前記第１開口部とは異なる第２開口部が形成されており、
前記第１部材は、前記第１部材の上面と前記テーブルアセンブリの上面とが実質的に同一平面に配置されるように、前記第２開口部内に配置され、
前記検出器は、前記第２開口部に配置された前記第１部材を介して、前記光を検出する。
請求項３に記載の液浸露光装置において、
前記第１部材は、前記第２開口部にはめ込まれている。
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルアセンブリに設けられる基準マーク部材をさらに備え、
前記基準マーク部材の表面と前記テーブルアセンブリの上面とが実質的に同一平面に配置される。
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルアセンブリに第２部材が取り外し可能に設けられ、前記テーブルアセンブリの上面は前記第２部材の表面を含み、
前記第２部材の表面と前記第１部材の上面とが実質的に同一平面に配置される。
請求項６に記載の液浸露光装置において、
前記保持部に保持された基板の表面と前記第２部材の表面とが実質的に同一平面に配置される。
請求項７に記載の液浸露光装置において、
前記第２部材の表面に、前記第１開口部とは異なる第２開口部が形成されており、
前記第１部材は、前記第１部材の上面と前記第２部材の表面とが実質的に同一平面に配置されるように、前記第２開口部内に配置され、
前記検出器は、前記第２開口部に配置された前記第１部材を介して、前記光を検出する。
請求項８に記載の液浸露光装置において、
前記第１部材は、前記第２開口部にはめ込まれている。
投影光学系および液体を介して基板を露光する液浸露光方法において、
第１開口部が設けられた上面を有するテーブルアセンブリの前記第１開口部に配置される保持部に基板を保持することと、
前記テーブルアセンブリに取り外し可能に設けられるとともに上面が前記テーブル部材の上面と実質的に同一平面に配置される第１部材が、前記投影光学系からの光の光路の周りに配置される液浸部材により形成される液体の液浸領域の下に配置され、かつ前記第１部材の上面が前記液浸部材の液体に接触するように、前記テーブルアセンブリを前記投影光学系に対して相対移動することと、
前記投影光学系、前記液浸領域の液体、及び前記第１部材を介して光を検出器により検出することと、を含み、
前記保持部に保持された基板の表面は、前記テーブルアセンブリによって前記投影光学系に対向し、前記液浸領域の液体に接触する。
請求項１０に記載の液浸露光方法において、
前記保持部に保持された基板の表面と前記テーブルアセンブリの上面とが実質的に同一平面に配置される。
請求項１０または１１に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルアセンブリの上面に、前記第１開口部とは異なる第２開口部が形成されており、
前記第１部材は、前記第１部材の上面と前記テーブルアセンブリの上面とが実質的に同一平面に配置されるように、前記第２開口部内に配置され、
前記検出器は、前記第２開口部に配置された前記第１部材を介して、前記光を検出する。
請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルアセンブリに第２部材が取り外し可能に設けられ、前記テーブルアセンブリの上面は前記第２部材の表面を含み、
前記第２部材の表面と前記第１部材の上面とが実質的に同一平面に配置される。
請求項１３に記載の液浸露光方法において、
前記保持部に保持された基板の表面と前記第２部材の表面とが実質的に同一平面に配置される。
請求項１４に記載の液浸露光方法において、
前記第２部材の表面に、前記第１開口部とは異なる第２開口部が形成されており、
前記第１部材は、前記第１部材の上面と前記第２部材の表面とが実質的に同一平面に配置されるように、前記第２開口部内に配置され、
前記検出器は、前記第２開口部に配置された前記第１部材を介して、前記光を検出する。
請求項１〜９のいずれか一項に記載の液浸露光装置を用いるデバイス製造方法。
請求項１０〜１５のいずれか一項に記載の液浸露光方法を用いるデバイス製造方法。
請求項１０〜１５のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記液浸領域は、前記保持部に保持された基板と、前記テーブルアセンブリの上面との一方または双方により維持される。
請求項１０〜１５のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記液浸領域は、前記投影光学系の下に配置された基板の表面の一部によって維持される。
請求項１０〜１５、１８、１９のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
パターンが形成されたマスクをマスクステージで支持することをさらに含み、
前記テーブルアセンブリと前記マスクステージの移動により、前記パターンが前記基板に走査露光される。
請求項１〜９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記液浸領域は、前記保持部に保持された基板と、前記テーブルアセンブリの上面との一方または双方により維持される。
請求項１〜９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記液浸領域は、前記投影光学系の下に配置された基板の表面の一部によって維持される。
請求項１〜９、２１、２２のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記保持部は、前記基板のエッジと前記第１開口部のエッジとの間にギャップが生じるように、前記基板を保持する。
請求項１〜９、２１〜２３のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記検出系は、前記第１部材を含む複数の部材と、前記検出器を含む複数の検出器とを備え、
前記複数の部材のそれぞれの上面と前記テーブルアセンブリの上面とが実質的に同一平面に配置され、前記複数の部材のそれそれが前記テーブルアセンブリによって前記投影光学系の下に配置可能であり、
前記複数の検出器のそれぞれは、前記投影光学系の下に配置されてその上面が前記液浸領域の液体と接触し、前記複数の部材のいずれかを介して前記光を検出する。
請求項２４に記載の液浸露光装置において、
前記複数の部材は、それぞれ、前記テーブルアセンブリの互いに異なる角部に配置されている。
請求項１〜９、２１〜２５のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記検出系は、前記光の強度を測定する。
請求項１〜９、２１〜２６のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記検出器は、前記光による照明パターンの空間像を検出する。
請求項１〜９、２１〜２７のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
パターンが形成されたマスクを支持するマスクステージをさらに含み、
前記テーブルアセンブリと前記マスクステージの移動により、前記パターンが前記基板に走査露光される。
液浸露光装置の製造方法において、
前記液浸露光装置の投影光学系からの光の光路の周りに配置され、前記投影光学系の下に液体の液浸領域を形成する液浸部材を設けることと、
第１開口部が形成された上面、及び前記第１開口部内に配置され、前記基板を保持する保持部を有し、前記保持部に保持された基板の表面を、前記投影光学系に対向可能であるとともに前記液浸領域の液体と接触可能であるテーブルアセンブリを設けることと、
前記テーブルアセンブリに取り外し可能な光透過性の第１部材、及び前記第１部材を介して光を検出する検出器を有する検出系を設けることと、を含み、
前記第１部材の上面と前記テーブルアセンブリの上面とが実質的に同一平面に配置され、
前記第１部材は、前記テーブルアセンブリにより前記投影光学系の下に配置可能であり、
前記検出器は、前記投影光学系、前記液浸領域の液体、及び前記投影光学系の下に配置され、上面が前記液浸領域の液体に接触する前記第１部材を介して、前記光を検出する。