JP2012124599A - 電力増幅器用バイアス回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電力増幅器の出力側整合伝送線路のバイアス回路接続点に接続された第1ボンディングワイヤと、第1ボンディングワイヤの終端に接続された第2ボンディングワイヤと、第1ボンディングワイヤの終端に接続されたオープンスタブ伝送線路と、第2ボンディングワイヤの終端に接続されたバイパスリザバーキャパシタとを備える電力増幅器用バイアス回路。
【選択図】図2
Description
比較例に係る電力増幅器用バイアス回路は、図1に示すように、電力増幅器(FET)10の入力側に配置されたゲートバイアス回路12aと、電力増幅器(FET)10の出力側に配置されたドレインバイアス回路14aとを備える。
実施の形態に係る電力増幅器用バイアス回路の模式的回路構成は、図2に示すように表される。
実施の形態に係る電力増幅器用バイアス回路を適用する電力増幅器の高周波半導体チップ24の模式的平面パターン構成の拡大図は、図12(a)に示すように表され、図12(a)のJ部分の拡大図は、図12(b)に示すように表される。また、実施の形態に係る電力増幅器用バイアス回路を適用する高周波半導体チップ24の構造例1〜4であって、図12(b)のI−I線に沿う模式的断面構造例1〜4は、それぞれ図13〜図16に示すように表される。
図12(b)のI−I線に沿う模式的断面構成として、実施の形態に係る電力増幅器用バイアス回路を適用する電力増幅器の高周波半導体チップ24のFETセルの構造例1は、図13に示すように、半絶縁性基板110と、半絶縁性基板110上に配置された窒化物系化合物半導体層112と、窒化物系化合物半導体層112上に配置されたアルミニウム窒化ガリウム層(AlxGa1-xN)(0.1≦x≦1)118と、アルミニウム窒化ガリウム層(AlxGa1-xN)(0.1≦x≦1)118上に配置されたソースフィンガー電極120、ゲートフィンガー電極124およびドレインフィンガー電極122とを備える。窒化物系化合物半導体層112とアルミニウム窒化ガリウム層(AlxGa1-xN)(0.1≦x≦1)118との界面には、2次元電子ガス(2DEG:Two Dimensional Electron Gas)層116が形成されている。図13に示す構造例1では、ヘテロ接合電界効果トランジスタ(HFET:Hetero-junction Field Effect Transistor)若しくは高電子移動度トランジスタ(HEMT:High Electron Mobility Transistor)が示されている。
図12(b)のI−I線に沿う模式的断面構成として、実施の形態に係る電力増幅器用バイアス回路を適用する電力増幅器の高周波半導体チップ24のFETセルの構造例2は、図14に示すように、半絶縁性基板110と、半絶縁性基板110上に配置された窒化物系化合物半導体層112と、窒化物系化合物半導体層112上に配置されたソース領域126およびドレイン領域128と、ソース領域126上に配置されたソースフィンガー電極120、窒化物系化合物半導体層112上に配置されたゲートフィンガー電極124およびドレイン領域128上に配置されたドレインフィンガー電極122とを備える。窒化物系化合物半導体層112とゲートフィンガー電極124との界面には、ショットキーコンタクト(Schottky Contact)が形成されている。図14に示す構造例2では、金属−半導体電界効果トランジスタ(MESFET:Metal Semiconductor Field Effect Transistor)が示されている。
図12(b)のI−I線に沿う模式的断面構成として、実施の形態に係る電力増幅器用バイアス回路を適用する高周波半導体チップ24のFETセルの構造例3は、図15に示すように、半絶縁性基板110と、半絶縁性基板110上に配置された窒化物系化合物半導体層112と、窒化物系化合物半導体層112上に配置されたアルミニウム窒化ガリウム層(AlxGa1-xN)(0.1≦x≦1)118と、アルミニウム窒化ガリウム層(AlxGa1-xN)(0.1≦x≦1)118上に配置されたソースフィンガー電極120およびドレインフィンガー電極122と、アルミニウム窒化ガリウム層(AlxGa1-xN)(0.1≦x≦1)118上のリセス部に配置されたゲートフィンガー電極124とを備える。窒化物系化合物半導体層112とアルミニウム窒化ガリウム層(AlxGa1-xN)(0.1≦x≦1)118との界面には、2DEG層116が形成されている。図15に示す構造例3では、HFET若しくはHEMTが示されている。
図12(b)のI−I線に沿う模式的断面構成として、実施の形態に係る電力増幅器用バイアス回路を適用する高周波半導体チップ24のFETセルの構造例4は、図16に示すように、半絶縁性基板110と、半絶縁性基板110上に配置された窒化物系化合物半導体層112と、窒化物系化合物半導体層112上に配置されたアルミニウム窒化ガリウム層(AlxGa1-xN)(0.1≦x≦1)118と、アルミニウム窒化ガリウム層(AlxGa1-xN)(0.1≦x≦1)118上に配置されたソースフィンガー電極120およびドレインフィンガー電極122と、アルミニウム窒化ガリウム層(AlxGa1-xN)(0.1≦x≦1)118上の2段リセス部に配置されたゲートフィンガー電極124とを備える。窒化物系化合物半導体層112とアルミニウム窒化ガリウム層(AlxGa1-xN)(0.1≦x≦1)118との界面には、2DEG層116が形成されている。図16に示す構造例4では、HFET若しくはHEMTが示されている。
実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。この新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
12、12a…ゲートバイアス回路
14、14a…ドレインバイアス回路
24…高周波半導体チップ
40、41、TN1、TN2…終端
110…半絶縁性基板
112…窒化物系化合物半導体層(GaNエピタキシャル成長層)
116…2次元電子ガス(2DEG)層
118…アルミニウム窒化ガリウム層(AlxGa1-xN)(0.1≦x≦1)
120…ソースフィンガー電極
122…ドレインフィンガー電極
124…ゲートフィンガー電極
126…ソース領域
128…ドレイン領域
G,G1,G2,…,G10…ゲート端子電極
S,S11,S12,…,S101,S102…ソース端子電極
D,D1,D2,…,D10…ドレイン端子電極
SC11,SC12,…,SC91,SC92,SC101,SC102…VIAホール
CBR…バイパスリザバーキャパシタ
Cid…理想的なキャパシタ
IPK…電流振幅
ΔV…リップル電圧
Δf…差分周波数
BW1、BW2…ボンディングワイヤ
Pi…RF入力端子
Po…RF出力端子
Zo…50Ω伝送線路
ZH…ハイインピーダンスλ/4長伝送線路
ZL…ローインピーダンスλ/4長オープンスタブ伝送線路
C11、C12…10/f(GHz)pFチップキャパシタ
C2、C22、C31、C32、C33…チップキャパシタ
C41、C42…フィードスルーキャパシタ
C51、C52…キャパシタ
L1…インダクタ
R1、R11、R12、R22…チップ抵抗
Vgs…ゲートバイアス電圧
Vds…ドレインバイアス電圧
N1、N2…バイアス回路接続点
Claims (12)
- 電力増幅器の出力側整合伝送線路のバイアス回路接続点に接続された第1ボンディングワイヤと、
前記第1ボンディングワイヤの終端に接続された第2ボンディングワイヤと、
前記第1ボンディングワイヤの終端に接続されたオープンスタブ伝送線路と、
第2ボンディングワイヤの終端とドレインバイアス電圧供給端子間とを接続するラインと接地電位間に接続されたバイパスリザバーキャパシタと
を備えることを特徴とする電力増幅器用バイアス回路。 - 電力増幅器の出力側整合伝送線路のバイアス回路接続点に接続された第1ボンディングワイヤと、
前記第1ボンディングワイヤの終端に接続された第2ボンディングワイヤと、
前記第1ボンディングワイヤの終端と接地電位間に接続された理想的なキャパシタと、
第2ボンディングワイヤの終端とドレインバイアス電圧供給端子間とを接続するラインと接地電位間に接続されたバイパスリザバーキャパシタと
を備えることを特徴とする電力増幅器用バイアス回路。 - 前記バイパスリザバーキャパシタの値をCBR、電流振幅の値をIPK、許容できるリップル電圧の値をΔV、差分周波数の値をΔfとすると、前記バイパスリザバーキャパシタは、CBR=IPK×(1/2πΔf)/△V以上の値を有することを特徴とする請求項1または2に記載の電力増幅器用バイアス回路。
- 前記第1ボンディングワイヤおよび前記第2ボンディングワイヤは、ともにλ/4長を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の電力増幅器用バイアス回路。
- 前記オープンスタブ伝送線路は、λ/4長を有することを特徴とする請求項1に記載の電力増幅器用バイアス回路。
- 前記バイパスリザバーキャパシタは、前記バイパスリザバーキャパシタの値以下の複数のキャパシタの並列接続で構成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の電力増幅器用バイアス回路。
- 前記バイパスリザバーキャパシタの値は1μF以上であり、前記バイパスリザバーキャパシタは、1μF以下の値を有する複数のキャパシタの並列接続で構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の電力増幅器用バイアス回路。
- 前記理想的なキャパシタの値は、1pFであることを特徴とする請求項2に記載の電力増幅器用バイアス回路。
- 三次相互変調歪IM3が−25dBc程度での出力電力を測定するときにもリップル電圧が0.1V以下であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の電力増幅器用バイアス回路。
- 前記バイパスリザバーキャパシタは、前記バイパスリザバーキャパシタの値以下の複数のキャパシタの並列接続で構成されていることで、実効的に直列抵抗が低減されたことを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の電力増幅器用バイアス回路。
- 前記電力増幅器を構成する高周波半導体チップは、
半絶縁性基板と、
前記半絶縁性基板の第1表面に配置され,それぞれ複数のフィンガーを有するゲートフィンガー電極、ソースフィンガー電極およびドレインフィンガー電極と、
前記半絶縁性基板の第1表面に配置され,前記ゲートフィンガー電極、前記ソースフィンガー電極および前記ドレインフィンガー電極ごとに複数のフィンガーをそれぞれ束ねて形成した複数のゲート端子電極、複数のソース端子電極およびドレイン端子電極と、
前記ソース端子電極の下部に配置されたVIAホールと、
前記半絶縁性基板の第1表面と反対側の第2表面に配置され、前記ソース端子電極に対して前記VIAホールを介して接続された接地電極と
を備えることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の電力増幅器用バイアス回路。 - 前記半絶縁性基板は、GaAs基板、SiC基板、GaN基板、SiC基板上にGaNエピタキシャル層を形成した基板、SiC基板上にGaN/AlGaNからなるヘテロ接合エピタキシャル層を形成した基板、サファイア基板、若しくはダイヤモンド基板のいずれかであることを特徴とする請求項9に記載の電力増幅器用バイアス回路。
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