JP2012108126A - 回折装置 - Google Patents
回折装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012108126A JP2012108126A JP2011244597A JP2011244597A JP2012108126A JP 2012108126 A JP2012108126 A JP 2012108126A JP 2011244597 A JP2011244597 A JP 2011244597A JP 2011244597 A JP2011244597 A JP 2011244597A JP 2012108126 A JP2012108126 A JP 2012108126A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- crystal
- monochromated
- diffractive
- sample stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/06—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diffraction, refraction or reflection, e.g. monochromators
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K2201/00—Arrangements for handling radiation or particles
- G21K2201/06—Arrangements for handling radiation or particles using diffractive, refractive or reflecting elements
- G21K2201/062—Arrangements for handling radiation or particles using diffractive, refractive or reflecting elements the element being a crystal
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】
本発明の回折装置は、コンパクト粉末回折装置であり、1以上の検出装置(18)を持ち、これは、粉末サンプル(14)を配置するためのサンプル台(17)から300mm未満、例えば55mmに設けられる。小さい寸法であるにもかかわらず、本発明の装置は、前記サンプルへの適切に広がったX線入射ビームと、単色化結晶を用いたグレージング条件での放出による小さいスポットサイズとを達成する構成を用いることで、小さい寸法であるにもかかわらず高分解能が得られる。
【選択図】 図1
Description
微粉末からのX線回折の発見は一般にはDebye及びScherrerによる始められたとされ、最も簡単な構成はDebye−Scherrerカメラとされている。これは少量のサンプルをフィルムのシリンダ中心(又は位置検知型検出器)に置いて操作される。分解能は、入射ビームの注意深い位置合わせ(collimation)とサンプル直径と検出器半径との比を改善することで上げることができる。サンプル寸法は理想的には小さくあるべきである。というのはその半径が大きくなるにつれてパス長さが増加し、収集強度が失われるからである。同様に、強度は、位置合わせの程度によっても減少し得る。というのはより長いスリット分離が必要となるからである。
留意すべきは、これらの優れたピーク幅は、これらの小さな半径(サンプルから検出装置間距離)で達成される、ということである。というのはこの方法は焦点化に依存するものではないからである。たとえサンプルが少量でも、十分な粒子が測定され、特にロック条件で、信頼性のある強度を生成する。
Claims (16)
- 粉末サンプル測定のための回折装置であり、前記回折装置は:
前記粉末サンプルを保持するためのサンプル台;
X線ビームを放射するX線源;
単色化結晶であり、回折表面を持ち、前記回折表面が単色化X線ビームを前記回折表面へ5°未満のグレージング放出角度で前記サンプル台へ回折し、前記サンプル台で60μm未満のスポット幅を持つように設けられる、単色化結晶;
少なくとも1つの検出装置結晶であり、前記粉末サンプルからの回折されたX線強度を、複数の回折角度で同時に測定するための検出装置結晶;及び
前記測定されたX線からの回折パターンを計算するための処理手段を含む、回折装置。 - 請求項1に記載の回折装置であり、前記それぞれの検出装置結晶が、前記サンプル台から300mm以下に設けられる、回折装置。
- 請求項1又は2のいずれか一項に記載の回折装置であり、前記単色化結晶が、前記単色化X線ビームを0.005°から0.02°の広がり角で前記サンプル上に入射させるように設けられる、回折装置。
- 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の回折装置であり、さらに放物面鏡を含み、前記ミラーは、X線源からのX線ビームを単色化結晶へ方向付ける、回折装置。
- 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の回折装置であり、前記それぞれの検出装置結晶が平面上である、回折装置。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の回折装置であり、前記サンプル台が前記粉末サンプルの薄層を接着するための接着材料の配置表面を含む、回折装置。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の回折装置であり、複数の検出装置結晶を含み、前記検出装置結晶が前記単色化結晶からの前記単色化X線ビームの線に沿って前記サンプル台を通過する線の交互の側に設けられる、回折装置。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の回折装置であり、さらに、データ収集の間に前記サンプル台で前記サンプルを移動させる手段を含み;前記処理手段が、測定がなされている間はX線強度を処理し、十分なデータが収集された場合にはデータ収集を停止するように適合される、回折装置。
- 回折測定方法であり、前記方法は:
サンプル台に粉末サンプルを配置し;
X線源からX線ビームを単色化結晶へ放射し、前記単色化結晶は回折表面を持ち、前記回折表面が単色化X線ビームを前記回折表面へ5°未満のグレージング放出角度で前記サンプル台へ回折し、前記サンプル台で60μm未満のスポット幅を持つように設けられ;
前記粉末サンプルを通過して回折されるX線の強度を、少なくとも1つの検出装置結晶を用いて複数の回折角で同時に測定し;及び
前記測定されたX線から回折パターンを計算する、方法。 - 請求項9に記載の方法であり、前記検出装置結晶が前記サンプル台から300mm以下に配置される、方法。
- 請求項9又は10のいずれか一項に記載の方位であり、前記単色化結晶が、前記単色化X線ビームを0.005°から0.02°の広がり角で前記サンプル上に入射させるように設けられる、方法。
- 請求項9乃至11のいずれか一項に記載の方法であり、前記粉末サンプルが、10μm未満の厚さである、方法。
- 請求項9乃至12のいずれか一項に記載の方法であり、前記粉末サンプルを、前記サンプル台上の接着材料の表面に配置する、方法。
- 請求項9乃至13のいずれか一項に記載の方法であり、前記単色化結晶から前記サンプルへの単色化X線ビームの線に沿ってサンプルを通過する線の交互の側に設けられる複数の検出装置結晶を用いて強度を測定することを含む、方法。
- 請求項9乃至14のいずれか一項に記載の方法であり、さらに、データ収集の間に、前記サンプル台を移動させることを含む、方法。
- 請求項9乃至15のいずれか一項に記載の方法であり、さらに、データ収集の間に前記サンプル台で前記サンプルを移動させる手段を含み;前記処理手段が、測定がなされている間はX線強度を処理し、十分なデータが収集された場合にはデータ収集を停止することを含む、方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/949,539 | 2010-11-18 | ||
US12/949,539 US8488740B2 (en) | 2010-11-18 | 2010-11-18 | Diffractometer |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012108126A true JP2012108126A (ja) | 2012-06-07 |
JP2012108126A5 JP2012108126A5 (ja) | 2014-12-11 |
JP6009156B2 JP6009156B2 (ja) | 2016-10-19 |
Family
ID=44925381
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011244597A Active JP6009156B2 (ja) | 2010-11-18 | 2011-11-08 | 回折装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8488740B2 (ja) |
EP (1) | EP2455747B1 (ja) |
JP (1) | JP6009156B2 (ja) |
CN (1) | CN102565108B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105758880B (zh) * | 2016-04-11 | 2019-02-05 | 西北核技术研究所 | 基于闪光x光机的超快x射线衍射成像方法及*** |
SG11202002652TA (en) | 2017-12-15 | 2020-04-29 | Tankbots Inc | Methods for performing tasks in a tank containing hazardous substances |
SE545585C2 (en) * | 2018-10-19 | 2023-10-31 | Commw Scient Ind Res Org | An energy dispersive x-ray diffraction analyser having an improved reflection geometry |
CN109374660A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-02-22 | 北京科技大学 | 用于排笔光束的高通量粉末衍射的装置 |
MX2021004777A (es) | 2019-02-20 | 2021-06-08 | Tankbots Inc | Metodos para realizar tareas inherentemente de manera segura en un tanque que contiene sustancias peligrosas. |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58165045A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-09-30 | Hitachi Ltd | 結晶方位迅速測定装置 |
US4928294A (en) * | 1989-03-24 | 1990-05-22 | U.S. Government As Represented By The Director, National Security Agency | Method and apparatus for line-modified asymmetric crystal topography |
JPH06194498A (ja) * | 1992-08-31 | 1994-07-15 | Hitachi Ltd | マイクロx線回折装置 |
JPH11326599A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-11-26 | Rigaku Denki Kk | X線分析装置 |
JP2002505750A (ja) * | 1997-06-17 | 2002-02-19 | モレキュラー メトロロジー インク. | 角分散x線分光計 |
JP2002530671A (ja) * | 1998-11-25 | 2002-09-17 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 放物状のx線ミラーと水晶モノクロメータを含むx線分析装置 |
JP2006039498A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-02-09 | Ricoh Co Ltd | 静電荷現像用トナー評価方法及び静電荷現像用トナー |
JP2006313157A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-16 | F Hoffmann La Roche Ag | X線回折分析方法及び装置 |
JP2010223851A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Rigaku Corp | X線回折方法及びx線回折装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE322066B (ja) * | 1968-01-25 | 1970-03-23 | Incentive Res & Dev Ab | |
JPH02107952A (ja) | 1988-10-15 | 1990-04-19 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 粉末のx線回析測定方法 |
EP0553911A1 (en) * | 1992-01-27 | 1993-08-04 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Position-sensitive X-ray analysis |
DE29716107U1 (de) | 1997-09-08 | 1997-10-30 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 80539 München | Strahlführungssystem für Neutronen zur Grenzflächenuntersuchung |
DE60308645T2 (de) * | 2002-06-19 | 2007-10-18 | Xenocs | Optische anordnung und verfahren dazu |
JP4178399B2 (ja) * | 2003-09-25 | 2008-11-12 | 株式会社島津製作所 | X線ct装置 |
WO2007052688A1 (ja) | 2005-11-02 | 2007-05-10 | Rigaku Corporation | 微結晶粒の方位分布測定方法及びその装置 |
JP4278108B2 (ja) * | 2006-07-07 | 2009-06-10 | 株式会社リガク | 超小角x線散乱測定装置 |
JP2009109447A (ja) * | 2007-11-01 | 2009-05-21 | Rigaku Corp | X線検査装置およびx線検査方法 |
US8080791B2 (en) * | 2008-12-12 | 2011-12-20 | Fei Company | X-ray detector for electron microscope |
-
2010
- 2010-11-18 US US12/949,539 patent/US8488740B2/en active Active
-
2011
- 2011-11-03 EP EP11187695.9A patent/EP2455747B1/en active Active
- 2011-11-08 JP JP2011244597A patent/JP6009156B2/ja active Active
- 2011-11-18 CN CN201110368861.1A patent/CN102565108B/zh active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58165045A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-09-30 | Hitachi Ltd | 結晶方位迅速測定装置 |
US4928294A (en) * | 1989-03-24 | 1990-05-22 | U.S. Government As Represented By The Director, National Security Agency | Method and apparatus for line-modified asymmetric crystal topography |
JPH06194498A (ja) * | 1992-08-31 | 1994-07-15 | Hitachi Ltd | マイクロx線回折装置 |
JP2002505750A (ja) * | 1997-06-17 | 2002-02-19 | モレキュラー メトロロジー インク. | 角分散x線分光計 |
JPH11326599A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-11-26 | Rigaku Denki Kk | X線分析装置 |
JP2002530671A (ja) * | 1998-11-25 | 2002-09-17 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 放物状のx線ミラーと水晶モノクロメータを含むx線分析装置 |
JP2006039498A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-02-09 | Ricoh Co Ltd | 静電荷現像用トナー評価方法及び静電荷現像用トナー |
JP2006313157A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-16 | F Hoffmann La Roche Ag | X線回折分析方法及び装置 |
JP2010223851A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Rigaku Corp | X線回折方法及びx線回折装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6009156B2 (ja) | 2016-10-19 |
CN102565108A (zh) | 2012-07-11 |
EP2455747A1 (en) | 2012-05-23 |
US8488740B2 (en) | 2013-07-16 |
US20120128128A1 (en) | 2012-05-24 |
CN102565108B (zh) | 2016-02-24 |
EP2455747B1 (en) | 2016-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9823203B2 (en) | X-ray surface analysis and measurement apparatus | |
US8548123B2 (en) | Method and apparatus for using an area X-ray detector as a point detector in an X-ray diffractometer | |
US9594036B2 (en) | X-ray surface analysis and measurement apparatus | |
RU2449262C2 (ru) | Рентгенодифракционная установка и способ рентгеновской дифракции | |
US6697454B1 (en) | X-ray analytical techniques applied to combinatorial library screening | |
EP2233918B1 (en) | X-ray diffraction method and X-ray diffraction apparatus | |
JP4861283B2 (ja) | X線回折装置およびx線回折方法 | |
JP6009156B2 (ja) | 回折装置 | |
US10145808B2 (en) | Beam generation unit and X-ray small-angle scattering apparatus | |
US20060083350A1 (en) | Analysis device with variably illuminated strip detector | |
JP6564572B2 (ja) | X線装置 | |
JP5346916B2 (ja) | エネルギーフィルタ及び角度フィルタを行う回折アナライザシステムを備えた試料のx線解析装置 | |
JP4861284B2 (ja) | X線回折装置およびx線回折方法 | |
JPH04164239A (ja) | 粉末x線回折計 | |
JPH06160312A (ja) | X線評価装置 | |
JPH0980000A (ja) | X線評価装置 | |
JP2023138464A (ja) | 取り込み角が可変の平行平板型x線コリメータ、及び、x線分析装置 | |
JPH02107952A (ja) | 粉末のx線回析測定方法 | |
JPH02276952A (ja) | X線構造解析装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141027 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141027 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150811 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160816 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160914 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6009156 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |