JP2012103576A

JP2012103576A - Cleaning method and device for manufacturing color filter

Info

Publication number: JP2012103576A
Application number: JP2010253537A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Takiguchi; 宏志瀧口
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2010-11-12
Filing date: 2010-11-12
Publication date: 2012-05-31

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cleaning method for favorably solving problems of contamination in a flow passage of an ink and clogging in a droplet discharge head of a droplet discharge device used for manufacturing a color filter.SOLUTION: The cleaning method includes steps of: substituting a cleaning liquid for an ink for a color filter in a flow passage of a droplet discharge device; discharging the substituted cleaning liquid into a dot array on an inspection object; acquiring an electronic image of the dot array formed on the inspection object; image processing the electronic image and acquiring a center position of each dot in terms of an X-coordinate and a Y-coordinate, wherein a direction approximately parallel to the dot array is defined as an X-axis direction and a direction orthogonal to the X-axis direction is defined as a Y-axis direction; determining a first reference line by a least square method based on the X-coordinate and the Y-coordinate of the center of each dot; and acquiring information relating to a displacement quantity of each dot in the Y-axis direction by acquiring a distance between the first reference line and the center of each dot.

Description

本発明は、洗浄方法およびカラーフィルター製造装置に関する。 The present invention relates to a cleaning method and a color filter manufacturing apparatus.

カラー表示を行う液晶表示装置（ＬＣＤ）等には、一般に、カラーフィルターが用いられている。
カラーフィルターは、従来、着色剤、感光性樹脂、官能性モノマー、重合開始剤等を含む材料（着色層形成用組成物）で構成された塗膜を基板上に形成し、その後、フォトマスクを介して光を照射する感光処理、現像処理等を行う、いわゆるフォトリソグラフィー法を用いて製造されてきた。このような方法では、通常、基板のほぼ全面に、各色に対応する塗膜を形成し、その一部のみを硬化させ、それ以外の大部分を除去するという操作を繰り返すことにより、各色が重なり合わないようにカラーフィルターを製造する。このため、カラーフィルターの製造の過程で形成される塗膜は、最終的に得られるカラーフィルターには、その一部のみが着色層として残存するのみで、その大部分が製造工程において除去されることとなる。このため、カラーフィルターの製造コストが上昇するばかりでなく、省資源の観点からも好ましくない。
一方、近年、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）を用いて、カラーフィルターの着色層を形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような方法では、着色層形成用の材料（着色層形成用組成物）の無駄を少なくすることができるため、環境への負荷を低減することができ、また、製造コストも抑制することができる。 A color filter is generally used for a liquid crystal display (LCD) or the like that performs color display.
A color filter has conventionally formed a coating film composed of a material (colored layer forming composition) containing a colorant, a photosensitive resin, a functional monomer, a polymerization initiator, etc. on a substrate, and then a photomask. It has been manufactured by using a so-called photolithography method in which a photosensitive process, a developing process, and the like are performed. In such a method, the colors are usually overlapped by repeating the operation of forming a coating film corresponding to each color on almost the entire surface of the substrate, curing only a part thereof, and removing most of the other part. Manufacture color filters so that they do not match. For this reason, only a part of the coating film formed in the process of manufacturing the color filter remains as a colored layer in the finally obtained color filter, and the most part is removed in the manufacturing process. It will be. For this reason, not only the manufacturing cost of a color filter rises but it is not preferable also from a viewpoint of resource saving.
On the other hand, in recent years, a method of forming a colored layer of a color filter using an ink jet head (droplet discharge head) has been proposed (see, for example, Patent Document 1). In such a method, waste of the material for forming the colored layer (colored layer forming composition) can be reduced, so that the burden on the environment can be reduced and the manufacturing cost can be suppressed. it can.

ところで、カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置（産業用）は、プリンターに適用されるもの（民生用）とは全く異なるものであり、例えば、大量生産を行ったり、大型のワーク（基板）への液滴吐出に用いたりするため、大量の液滴を長時間にわたって吐出することが求められる。また、形成される着色層（着色部）の基板への密着性を優れたものとするために、カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター用のインクは、一般に、樹脂材料（バインダー樹脂）を含んでおり、プリンターに適用されるもの（民生用）で用いるインクに比べて、粘度が高く、液滴吐出に伴う、液滴吐出装置（特に、ヘッド付近）への負荷が大きい。また、カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置（産業用）では、インク中に含まれる成分（例えば、樹脂材料等）がインクの流路に付着することにより、液滴吐出ヘッドへのインクの供給が不安定になったり、液滴吐出ヘッドの吐出口の目詰まりが発生し、その結果、液滴の吐出量が不安定になったり、液滴の飛行曲がりが発生する等の問題を生じやすい。このため、例えば、液滴吐出装置のカラーフィルター用の基板（ワーク）のない部分で液滴を吐出することによる行う方法（フラッシング）や、吸引手段を用いて液滴吐出ヘッド内に溜まっているインクを強制的に吸引する方法により、液滴吐出ヘッドやインクの流路に存在する凝集物、付着物等を取り除き、インク等による汚れ、目詰まりの解消を行う。しかしながら、このような方法のみでは、十分に凝集物、付着物を取り除くことができず、再び液滴の吐出を行うと、残存した凝集物、付着物がヘッドに流れ込み、比較的短期間で、液滴の吐出量が不安定になったり、吐出口が再び目詰まりする問題があった。このような場合、液滴吐出ヘッドや他の部材を頻繁に交換する必要があり、カラーフィルターの生産性を極端に落とすものとなっていた。また、凝集物、付着物等を確実に取り除くために、強力な洗浄液で長時間処理することも考えられるが、このような方法では、洗浄に要する時間が必要以上に長くなり、カラーフィルターの生産性を著しく低下させてしまうとともに、液滴吐出装置へのダメージも大きくなり、液滴吐出装置の寿命を短縮してしまう結果となる。 By the way, a droplet discharge device (for industrial use) used for manufacturing a color filter is completely different from that applied to a printer (for consumer use). For example, mass production or large work (substrate) is performed. Therefore, it is required to eject a large amount of droplets for a long time. In addition, in order to improve the adhesion of the colored layer (colored portion) to be formed to the substrate, the color filter ink used in the production of the color filter generally includes a resin material (binder resin). Therefore, the viscosity is higher than that of ink used in a printer (for consumer use), and the load on the droplet discharge device (particularly, near the head) accompanying the droplet discharge is large. In addition, in a droplet discharge device (industrial use) used for manufacturing a color filter, a component (for example, a resin material) contained in the ink adheres to the ink flow path, whereby the ink is supplied to the droplet discharge head. The supply becomes unstable and the discharge port of the droplet discharge head is clogged. As a result, the discharge amount of the droplet becomes unstable and the flying curve of the droplet occurs. Cheap. For this reason, for example, a method (flushing) performed by discharging droplets on a portion without a substrate (work) for a color filter of the droplet discharge apparatus or a droplet discharge head using a suction unit. By a method of forcibly sucking ink, aggregates and adhering substances existing in the droplet discharge head and the ink flow path are removed, and dirt and clogging due to ink and the like are eliminated. However, with only such a method, the aggregates and deposits cannot be sufficiently removed. When the droplets are discharged again, the remaining aggregates and deposits flow into the head, and in a relatively short period of time, There has been a problem that the discharge amount of the droplet becomes unstable and the discharge port becomes clogged again. In such a case, it is necessary to frequently replace the droplet discharge head and other members, and the productivity of the color filter is extremely reduced. In addition, in order to reliably remove aggregates and deposits, it may be possible to treat with a strong cleaning solution for a long time. However, this method increases the time required for cleaning and produces color filters. As well as significant damage to the droplet discharge device, resulting in a shortened life of the droplet discharge device.

特開２００２−３７２６１３号公報JP 2002-372613 A

本発明の目的は、カラーフィルターの製造に用いるカラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）のインクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消することができる洗浄方法を提供すること、また、長期間にわたって、好適にカラーフィルターの製造に用いることのできるカラーフィルター製造装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a cleaning method that can suitably eliminate stains in the ink flow path of a color filter manufacturing apparatus (droplet discharge apparatus) used for manufacturing a color filter and clogging of a droplet discharge head. Another object of the present invention is to provide a color filter manufacturing apparatus that can be suitably used for manufacturing color filters over a long period of time.

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の洗浄方法は、カラーフィルター用インクの吐出に用いられる液滴吐出装置の洗浄方法であって、
前記液滴吐出装置の流路内の前記カラーフィルター用インクを洗浄液で置換する洗浄液置換ステップと、
置換された前記洗浄液を被検査物上にドット列状に吐出する吐出ステップと、
前記被検査物上に形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得ステップと、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得ステップと、
前記各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定ステップと、
前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得ステップとを備えることを特徴とする。 Such an object is achieved by the present invention described below.
The cleaning method of the present invention is a method of cleaning a droplet discharge device used for discharging color filter ink,
A cleaning liquid replacement step of replacing the color filter ink in the flow path of the droplet discharge device with a cleaning liquid;
A discharge step of discharging the substituted cleaning liquid onto the object to be inspected in a dot row; and
An image acquisition step of acquiring an electronic image of a dot row formed on the inspection object;
By processing the electronic image, the X and Y coordinates of the center of each dot when the direction substantially parallel to the dot row is the X-axis direction and the direction orthogonal to the X-axis direction is the Y-axis direction A dot coordinate acquisition step for acquiring
A first reference line determination step for determining a first reference line by a least square method based on the X coordinate and Y coordinate of the center of each dot;
A Y-axis direction deviation amount obtaining step for obtaining information on a positional deviation amount of each dot in the Y-axis direction by obtaining a distance between the first reference straight line and the center of each dot. Features.

これにより、カラーフィルターの製造に用いるカラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）のインクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消することができる洗浄方法を提供することができる。また、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された洗浄液の液滴が被検査物に着弾して得られたドットの位置ずれ、特にドット列にほぼ直交する方向への位置ずれを、高価な装置や複雑な制御を必要とすることなく、簡単、迅速かつ正確に検出することができるため、液滴吐出装置による本来のカラーフィルターの製造以外の部分に要する時間、手間、費用を削減することができるので、本来のカラーフィルターの製造コストを低減することができる。 Accordingly, it is possible to provide a cleaning method that can suitably eliminate stains in the ink flow path of the color filter manufacturing apparatus (droplet discharge apparatus) used for manufacturing the color filter and clogging of the droplet discharge head. . In addition, the positional deviation of the dots obtained by the droplets of the cleaning liquid ejected from the nozzles of the liquid droplet ejection head landing on the object to be inspected, particularly the positional deviation in the direction substantially perpendicular to the dot rows, Since simple, quick and accurate detection is possible without requiring complicated control, the time, labor, and cost required for parts other than the production of the original color filter by the droplet discharge device can be reduced. Therefore, the manufacturing cost of the original color filter can be reduced.

本発明の洗浄方法では、二次元直交座標上に、前記各ドットの中心のＸ座標を前記二次元直交座標の一方の座標軸方向の座標値とし、他方の座標軸方向の座標値を等間隔とした点群を想定する点群想定ステップと、
前記点群に対して最小二乗法により第２の基準直線を決定する第２の基準直線決定ステップと、
前記点群の各点と前記第２の基準直線との間の、前記一方の座標軸方向の距離を求めることにより、前記Ｘ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＸ軸方向ずれ量取得ステップとをさらに備えることが好ましい。
これにより、ドット列にほぼ平行な方向へのドットの位置ずれをさらに検出することができるので、より正確にドットの位置ずれを分析することができ、より適切な洗浄を行うことができる。 In the cleaning method of the present invention, on the two-dimensional orthogonal coordinates, the X coordinate of the center of each dot is a coordinate value in one coordinate axis direction of the two-dimensional orthogonal coordinates, and the coordinate values in the other coordinate axis direction are equally spaced. A point cloud assumption step that assumes a point cloud;
A second reference line determination step for determining a second reference line for the point group by a least square method;
X-axis for obtaining information on the positional deviation amount of each dot in the X-axis direction by obtaining the distance in the one coordinate axis direction between each point of the point group and the second reference straight line It is preferable to further include a direction deviation amount acquisition step.
Thereby, since it is possible to further detect the positional deviation of the dots in the direction substantially parallel to the dot row, it is possible to analyze the positional deviation of the dots more accurately and perform more appropriate cleaning.

本発明の洗浄方法では、前記Ｘ軸方向ずれ量取得ステップで得られた、前記Ｘ軸方向への位置ずれ量が所定値を超える場合に、さらに、前記吐出ステップないし前記Ｘ軸方向ずれ量取得ステップを繰り返し行うことが好ましい。
これにより、必要十分な洗浄をより確実に行うことができ、製造されるカラーフィルターの信頼性、カラーフィルターの生産性等のさらなる向上を図ることができる。 In the cleaning method of the present invention, when the displacement amount in the X-axis direction obtained in the X-axis direction displacement amount acquisition step exceeds a predetermined value, the discharge step or the X-axis direction displacement amount acquisition is further performed. It is preferable to repeat the steps.
As a result, necessary and sufficient cleaning can be performed more reliably, and the reliability of the manufactured color filter, the productivity of the color filter, and the like can be further improved.

本発明の洗浄方法では、前記Ｙ軸方向ずれ量取得ステップで得られた、前記Ｙ軸方向への位置ずれ量が所定値を超える場合に、さらに、前記吐出ステップないし前記Ｙ軸方向ずれ量取得ステップを繰り返し行うことが好ましい。
これにより、必要十分な洗浄をより確実に行うことができ、製造されるカラーフィルターの信頼性、カラーフィルターの生産性等のさらなる向上を図ることができる。 In the cleaning method of the present invention, when the displacement amount in the Y-axis direction obtained in the Y-axis direction displacement amount acquisition step exceeds a predetermined value, the discharge step or the Y-axis direction displacement amount acquisition is further performed. It is preferable to repeat the steps.
As a result, necessary and sufficient cleaning can be performed more reliably, and the reliability of the manufactured color filter, the productivity of the color filter, and the like can be further improved.

本発明の洗浄方法では、前記洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有するものであることが好ましい。

In the cleaning method of the present invention, the cleaning liquid preferably contains a compound A represented by the following formula (1).

これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）へのダメージをより好適に防止しつつ、短時間で効率よく洗浄することができる。また、電子画像をより正確に取得することができ、ドットの位置ずれ量に関する情報をより正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。また、カラーフィルター用インクへの置換が容易であり、カラーフィルター用インクへの置換後にカラーフィルター用インクの流路内に洗浄液が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。 Thereby, it is possible to clean efficiently in a short time while more suitably preventing damage to the color filter manufacturing apparatus (droplet discharge apparatus). In addition, an electronic image can be acquired more accurately, and information regarding the amount of dot misregistration can be acquired as more accurate information, so that more appropriate cleaning can be performed. Moreover, the replacement with the color filter ink is easy, and it is possible to more reliably prevent the cleaning liquid from remaining in the flow path of the color filter ink after the replacement with the color filter ink. The productivity of the color filter can be made particularly excellent, and the reliability of the produced color filter can be made particularly excellent.

本発明の洗浄方法では、前記洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有するものであることが好ましい。

In the cleaning method of the present invention, the cleaning liquid preferably contains a compound B represented by the following formula (2).

本発明の洗浄方法では、前記洗浄液は、前記化合物Ｂに加え、前記カラーフィルター用インクを構成する溶媒成分をさらに含有するものであることが好ましい。
これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置）へのダメージをより好適に防止することができるとともに、カラーフィルター用インクへの置換が容易であり、カラーフィルター用インクへの置換後にカラーフィルター用インクの流路内に洗浄液が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。 In the cleaning method of the present invention, it is preferable that the cleaning liquid further contains a solvent component constituting the color filter ink in addition to the compound B.
As a result, damage to the color filter manufacturing apparatus (droplet discharge apparatus) can be prevented more suitably, and replacement with the color filter ink is easy, and after replacement with the color filter ink, Since it is possible to more reliably prevent the cleaning liquid from remaining in the ink flow path, the overall productivity of the color filter can be made particularly excellent, and the reliability of the manufactured color filter can be improved. Can be made particularly excellent.

本発明の洗浄方法では、前記画像取得ステップにおいては、前記被検査物とカメラとの相対位置を前記ドット列に沿って変えながら複数の電子画像を撮影し、
前記ドット座標取得ステップにおいては、前記複数の電子画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合することが好ましい。
これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列に対してドットの位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。 In the cleaning method of the present invention, in the image acquisition step, a plurality of electronic images are taken while changing the relative position of the inspection object and the camera along the dot row,
In the dot coordinate acquisition step, it is preferable that the coordinates of all the captured dots are integrated into one coordinate system by integrating the coordinate systems of the plurality of electronic images.
Thereby, even when an electronic image of a dot row is acquired using a camera with a limited shooting field, it is possible to easily and accurately detect a positional deviation of dots with respect to a long dot row.

本発明の洗浄方法では、前記画像取得ステップにおいては、前記複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドットが少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、
前記ドット座標取得ステップにおいては、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドットの座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、前記複数の電子画像の座標系を統合することが好ましい。
これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列に対してドットの位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。 In the cleaning method of the present invention, in the image acquisition step, when photographing the plurality of electronic images, photographing is performed so that at least one identical dot is included in two adjacent images,
In the dot coordinate acquisition step, the coordinate system of the plurality of electronic images is obtained by integrating the coordinate systems of both images so that the coordinates of the dots commonly included in two adjacent images are the same. It is preferable to integrate.
Thereby, even when an electronic image of a dot row is acquired using a camera with a limited shooting field, it is possible to easily and accurately detect a positional deviation of dots with respect to a long dot row.

本発明の洗浄方法では、前記ドット座標取得ステップにおいては、電子画像を撮影した光学系の収差に基づく歪を補正する処理を施すことが好ましい。
これにより、ドット列の電子画像に生じる収差（例えば糸巻き型歪曲収差、樽型歪曲収差等）に基づく歪が補正され、各ドットのより正確な座標が得られるので、ドットの位置ずれをより高精度に検出することができ、より適切な洗浄を行うことができる。 In the cleaning method of the present invention, it is preferable that the dot coordinate acquisition step performs a process of correcting distortion based on aberrations of an optical system that has taken an electronic image.
As a result, distortion based on aberrations (for example, pincushion distortion, barrel distortion, etc.) occurring in the electronic image of the dot row is corrected, and more accurate coordinates of each dot can be obtained. It can be detected with high accuracy, and more appropriate cleaning can be performed.

本発明のカラーフィルター製造装置は、カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター製造装置であって、
カラーフィルター用インクが流通するインク流路と、
前記カラーフィルター用インクの液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク流路に供給される洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記液滴吐出ヘッドから前記洗浄液を被検査物上に吐出することにより形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得手段と、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得手段と、
前記各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定手段と、
前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得手段とを備えることを特徴とする。 The color filter manufacturing apparatus of the present invention is a color filter manufacturing apparatus used for manufacturing a color filter,
An ink channel through which color filter ink flows;
A droplet discharge head for discharging droplets of the color filter ink;
A cleaning liquid storage tank for storing the cleaning liquid supplied to the ink flow path;
An image acquisition means for acquiring an electronic image of a dot row formed by discharging the cleaning liquid onto the inspection object from the droplet discharge head;
By processing the electronic image, the X and Y coordinates of the center of each dot when the direction substantially parallel to the dot row is the X-axis direction and the direction orthogonal to the X-axis direction is the Y-axis direction Dot coordinate acquisition means for acquiring
First reference line determining means for determining a first reference line by a least square method based on the X coordinate and Y coordinate of the center of each dot;
Y-axis direction deviation amount obtaining means for obtaining information on the positional deviation amount of each dot in the Y-axis direction by obtaining a distance between the first reference line and the center of each dot. Features.

これにより、インクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消しつつ、長期間にわたって、好適にカラーフィルターの製造に用いることのできるカラーフィルター製造装置を提供することができる。また、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された洗浄液の液滴が被検査物に着弾して得られたドットの位置ずれ、特にドット列にほぼ直交する方向への位置ずれを、高価な装置や複雑な制御を必要とすることなく、簡単、迅速かつ正確に検出することができるため、液滴吐出装置による本来のカラーフィルターの製造以外の部分に要する時間、手間、費用を削減することができるので、本来のカラーフィルターの製造コストを低減することができる。 Accordingly, it is possible to provide a color filter manufacturing apparatus that can be suitably used for manufacturing a color filter over a long period of time while suitably eliminating stains in the ink flow path and clogging of the droplet discharge head. In addition, the positional deviation of the dots obtained by the droplets of the cleaning liquid ejected from the nozzles of the liquid droplet ejection head landing on the object to be inspected, particularly the positional deviation in the direction substantially perpendicular to the dot rows, Since simple, quick and accurate detection is possible without requiring complicated control, the time, labor, and cost required for parts other than the production of the original color filter by the droplet discharge device can be reduced. Therefore, the manufacturing cost of the original color filter can be reduced.

本発明のカラーフィルター製造装置では、二次元直交座標上に、前記各ドットの中心のＸ座標を前記二次元直交座標の一方の座標軸方向の座標値とし、他方の座標軸方向の座標値を等間隔とした点群を想定する点群想定手段と、
前記点群に対して最小二乗法により第２の基準直線を決定する第２の基準直線決定手段と、
前記点群の各点と前記第２の基準直線との間の、前記一方の座標軸方向の距離を求めることにより、前記Ｘ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＸ軸方向ずれ量取得手段とをさらに備えることが好ましい。
これにより、ドット列にほぼ平行な方向へのドットの位置ずれをさらに検出することができるので、より正確にドットの位置ずれを分析することができ、より適切な洗浄を行いつつ、長期間にわたって安定的なカラーフィルターの製造を行うことができる。 In the color filter manufacturing apparatus of the present invention, on the two-dimensional orthogonal coordinate, the X coordinate of the center of each dot is set as the coordinate value in one coordinate axis direction of the two-dimensional orthogonal coordinate, and the coordinate value in the other coordinate axis direction is equally spaced. Point cloud assumption means for assuming the point cloud,
A second reference line determining means for determining a second reference line by a least square method for the point group;
X-axis for obtaining information on the positional deviation amount of each dot in the X-axis direction by obtaining the distance in the one coordinate axis direction between each point of the point group and the second reference straight line It is preferable to further include a direction deviation amount acquisition unit.
As a result, it is possible to further detect the positional deviation of the dots in a direction substantially parallel to the dot row, so that it is possible to analyze the positional deviation of the dots more accurately and perform more appropriate cleaning for a long period of time. A stable color filter can be manufactured.

本発明のカラーフィルター製造装置では、前記画像取得手段は、前記被検査物とカメラとの相対位置を前記ドット列に沿って変えながら複数の電子画像を撮影し、
前記ドット座標取得手段は、前記複数の電子画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合することが好ましい。
これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列に対してドットの位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。 In the color filter manufacturing apparatus of the present invention, the image acquisition means captures a plurality of electronic images while changing the relative position between the inspection object and the camera along the dot row,
The dot coordinate acquisition means preferably integrates the coordinates of all the captured dots into one coordinate system by integrating the coordinate systems of the plurality of electronic images.
Thereby, even when an electronic image of a dot row is acquired using a camera with a limited shooting field, it is possible to easily and accurately detect a positional deviation of dots with respect to a long dot row.

本発明のカラーフィルター製造装置では、前記画像取得手段は、前記複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドットが少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、
前記ドット座標取得手段は、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドットの座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、前記複数の電子画像の座標系を統合することが好ましい。
これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列に対してドットの位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。 In the color filter manufacturing apparatus of the present invention, when the image acquisition unit captures the plurality of electronic images, the image acquisition unit performs imaging so that at least one identical dot is included in two adjacent images,
The dot coordinate acquisition unit integrates the coordinate systems of the plurality of electronic images by integrating the coordinate systems of both images so that the coordinates of the dots commonly included in two adjacent images are the same. It is preferable to do.
Thereby, even when an electronic image of a dot row is acquired using a camera with a limited shooting field, it is possible to easily and accurately detect a positional deviation of dots with respect to a long dot row.

本発明のカラーフィルター製造装置では、前記ドット座標取得手段は、電子画像を撮影した光学系の収差に基づく歪を補正する処理を施すことが好ましい。
これにより、ドット列の電子画像に生じる収差（例えば糸巻き型歪曲収差、樽型歪曲収差等）に基づく歪が補正され、各ドットのより正確な座標が得られるので、ドットの位置ずれをより高精度に検出することができ、より適切な洗浄を行いつつ、長期間にわたって安定的なカラーフィルターの製造を行うことができる。 In the color filter manufacturing apparatus according to the aspect of the invention, it is preferable that the dot coordinate acquisition unit performs a process of correcting distortion based on the aberration of the optical system that captured the electronic image.
As a result, distortion based on aberrations (for example, pincushion distortion, barrel distortion, etc.) occurring in the electronic image of the dot row is corrected, and more accurate coordinates of each dot can be obtained. The color filter can be detected with high accuracy, and a stable color filter can be produced over a long period of time while performing more appropriate cleaning.

本発明のカラーフィルター製造装置を構成する液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows embodiment of the droplet discharge apparatus which comprises the color filter manufacturing apparatus of this invention. 図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出手段をステージ側から観察した図である。It is the figure which observed the droplet discharge means in the droplet discharge apparatus shown in FIG. 1 from the stage side. 図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドの底面（ノズル面）を示す図である。It is a figure which shows the bottom face (nozzle surface) of the droplet discharge head in the droplet discharge apparatus shown in FIG. 図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図である。2A and 2B are diagrams illustrating a droplet discharge head in the droplet discharge apparatus illustrated in FIG. 1, in which FIG. 本発明のカラーフィルター製造装置を構成するドットずれ検出装置の実施形態を示す平面図である。It is a top view which shows embodiment of the dot shift | offset | difference detection apparatus which comprises the color filter manufacturing apparatus of this invention. 図５のＡ−Ａ線に沿って見た断面図である。It is sectional drawing seen along the AA line of FIG. 図５に示すドットずれ検出装置のブロック図である。FIG. 6 is a block diagram of the dot deviation detection device shown in FIG. 5. 被検査物上に形成されたドット列を示す平面図である。It is a top view which shows the dot row formed on the to-be-inspected object. 本発明の洗浄方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the cleaning method of this invention. 画像取得ステップを説明するための図である。It is a figure for demonstrating an image acquisition step. 画像取得ステップを説明するための図である。It is a figure for demonstrating an image acquisition step. ドット列の各ドットの中心の座標を示す図である。It is a figure which shows the coordinate of the center of each dot of a dot row. 第１の基準直線を示す図である。It is a figure which shows the 1st reference straight line. Ｘ軸方向ずれ量を検出するための点群を示す図である。It is a figure which shows the point group for detecting the X-axis direction deviation | shift amount. 第２の基準直線を示す図である。It is a figure which shows a 2nd reference straight line.

以下、本発明の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
まず、本発明のカラーフィルター製造装置について説明する。
図１は、本発明のカラーフィルター製造装置を構成する液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図、図２は、図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出手段をステージ側から観察した図、図３は、図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドの底面（ノズル面）を示す図、図４は、図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図、図５は、本発明のカラーフィルター製造装置を構成するドットずれ検出装置の実施形態を示す平面図、図６は、図５のＡ−Ａ線に沿って見た断面図、図７は、図５に示すドットずれ検出装置のブロック図、図８は、被検査物上に形成されたドット列を示す平面図である。 DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
First, the color filter manufacturing apparatus of the present invention will be described.
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a droplet discharge device constituting a color filter manufacturing apparatus of the present invention, and FIG. 2 is a view of droplet discharge means in the droplet discharge device shown in FIG. 3 is a diagram showing a bottom surface (nozzle surface) of a droplet ejection head in the droplet ejection apparatus shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a diagram showing a droplet ejection head in the droplet ejection device shown in FIG. 5A is a cross-sectional perspective view, FIG. 5B is a cross-sectional view, FIG. 5 is a plan view showing an embodiment of a dot deviation detection device constituting the color filter manufacturing apparatus of the present invention, and FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line -A, FIG. 7 is a block diagram of the dot deviation detecting device shown in FIG. 5, and FIG. 8 is a plan view showing dot rows formed on the inspection object.

本実施形態のカラーフィルター製造装置は、液滴吐出装置１００とドットずれ検出装置２００とを備えるものである。
液滴吐出装置１００は、チューブ１１０等のカラーフィルター用インク２が流通するインク流路と、カラーフィルター用インク２の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド１１４と、インク流路に供給される洗浄液４を貯留する洗浄液貯留槽１３３とを備えるものである。 The color filter manufacturing apparatus of the present embodiment includes a droplet discharge device 100 and a dot deviation detection device 200.
The droplet discharge device 100 includes an ink flow channel through which the color filter ink 2 such as a tube 110 circulates, a droplet discharge head 114 that discharges droplets of the color filter ink 2, and a cleaning liquid supplied to the ink flow channel. And a cleaning liquid storage tank 133 for storing 4.

ドットずれ検出装置２００は、液滴吐出ヘッド１１４から洗浄液４を被検査物２２０上に吐出することにより形成されたドット列２２２の電子画像を取得する画像取得手段としてのカメラ２０３と、前記電子画像を画像処理することにより、ドット列２２２に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドット２２１の中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得手段（画像処理手段２２３および制御手段２１０）と、前記各ドット２２１の中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定手段（制御手段２１０）と、前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得手段（制御手段２１０）とを備えるものである。 The dot shift detection device 200 includes a camera 203 as an image acquisition unit that acquires an electronic image of a dot row 222 formed by discharging the cleaning liquid 4 from the droplet discharge head 114 onto the inspection object 220, and the electronic image. The X and Y coordinates of the center of each dot 221 are obtained when the direction substantially parallel to the dot row 222 is the X axis direction and the direction orthogonal to the X axis direction is the Y axis direction. Dot coordinate acquisition means (image processing means 223 and control means 210) to perform, and a first reference straight line determination that determines a first reference straight line by a least square method based on the X and Y coordinates of the center of each dot 221 By calculating the distance between the means (control means 210) and the first reference straight line and the center of each dot, the positional deviation amount of each dot in the Y-axis direction is obtained. Y-axis direction shift amount obtaining means for obtaining information is intended and a (control means 210).

まず、液滴吐出装置１００の構成およびカラーフィルターの製造時（カラーフィルター用インク付与時）における液滴吐出装置１００の作動について詳細に説明する。
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、カラーフィルター用インク２を保持するタンク１０１と、チューブ１１０と、チューブ１１０を介してタンク１０１からカラーフィルター用インク２が供給される吐出走査部１０２とを備える。吐出走査部１０２は、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１４をキャリッジ１０５に搭載してなる液滴吐出手段１０３と、液滴吐出手段１０３の位置を制御する第１位置制御装置１０４（移動手段）と、隔壁が形成された基板（以下、単に「基板」とも言う。）１１を保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御する第２位置制御装置１０８（移動手段）と、制御手段１１２とを備えている。タンク１０１と、液滴吐出手段１０３における複数の液滴吐出ヘッド１１４とは、チューブ１１０で連結されており、タンク１０１から複数の液滴吐出ヘッド１１４のそれぞれにカラーフィルター用インク２が圧縮空気によって供給される。 First, the configuration of the droplet discharge device 100 and the operation of the droplet discharge device 100 at the time of manufacturing the color filter (when applying the color filter ink) will be described in detail.
As shown in FIG. 1, a droplet discharge device 100 includes a tank 101 that holds color filter ink 2, a tube 110, and a discharge scanning unit that is supplied with color filter ink 2 from the tank 101 via the tube 110. 102. The ejection scanning unit 102 includes a droplet ejection unit 103 in which a plurality of droplet ejection heads (inkjet heads) 114 are mounted on a carriage 105, and a first position control device 104 (movement) that controls the position of the droplet ejection unit 103. Means), a stage 106 for holding a substrate (hereinafter also simply referred to as “substrate”) 11 on which a partition wall is formed, a second position control device 108 (moving means) for controlling the position of the stage 106, and control means. 112. The tank 101 and a plurality of droplet discharge heads 114 in the droplet discharge means 103 are connected by a tube 110, and the color filter ink 2 is compressed by compressed air from the tank 101 to each of the plurality of droplet discharge heads 114. Supplied.

第１位置制御装置１０４は、制御手段１１２からの信号に応じて、液滴吐出手段１０３をＸ軸方向、およびＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って移動させる。さらに、第１位置制御装置１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りで液滴吐出手段１０３を回転させる機能も有する。本実施形態では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。第２位置制御装置１０８は、制御手段１１２からの信号に応じて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させる。さらに、第２位置制御装置１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有する。
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、カラーフィルター用インク２を付与すべきセルを有する基板１１をその平面上に固定、または保持できるように構成されている。 The first position control device 104 moves the droplet discharge means 103 along the X-axis direction and the Z-axis direction orthogonal to the X-axis direction in response to a signal from the control means 112. Further, the first position control device 104 also has a function of rotating the droplet discharge means 103 around an axis parallel to the Z axis. In the present embodiment, the Z-axis direction is a direction parallel to the vertical direction (that is, the direction of gravitational acceleration). The second position controller 108 moves the stage 106 along the Y-axis direction orthogonal to both the X-axis direction and the Z-axis direction in response to a signal from the control unit 112. Further, the second position control device 108 also has a function of rotating the stage 106 around an axis parallel to the Z axis.
The stage 106 has a plane parallel to both the X-axis direction and the Y-axis direction. The stage 106 is configured so that the substrate 11 having cells to which the color filter ink 2 is to be applied can be fixed or held on the plane.

上述のように、液滴吐出手段１０３は、第１位置制御装置１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、第２位置制御装置１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対する液滴吐出ヘッド１１４の相対位置が変わる（ステージ１０６に保持された基板１１と、液滴吐出手段１０３とが相対的に移動する）。
制御手段１１２は、カラーフィルター用インク２を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。 As described above, the droplet discharge means 103 is moved in the X-axis direction by the first position control device 104. On the other hand, the stage 106 is moved in the Y-axis direction by the second position control device 108. That is, the first position controller 104 and the second position controller 108 change the relative position of the droplet discharge head 114 with respect to the stage 106 (the substrate 11 held on the stage 106 and the droplet discharge means 103 are relative to each other). To go to).
The control unit 112 is configured to receive ejection data representing a relative position where the color filter ink 2 is to be ejected from an external information processing apparatus.

図２に示すように、液滴吐出手段１０３は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数の液滴吐出ヘッド１１４と、これらの液滴吐出ヘッド１１４を保持するキャリッジ１０５とを有している。本実施形態では、液滴吐出手段１０３に保持される液滴吐出ヘッド１１４の数は８個である。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、後述する複数のノズル１１８が設けられた底面を有している。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４のこの底面の形状は、２つの長辺と２つの短辺とを有する多角形である。液滴吐出手段１０３に保持された液滴吐出ヘッド１１４の底面はステージ１０６側を向いており、さらに、液滴吐出ヘッド１１４の長辺方向と短辺方向とは、それぞれＸ軸方向とＹ軸方向とに平行である。 As shown in FIG. 2, the droplet discharge means 103 includes a plurality of droplet discharge heads 114 each having substantially the same structure, and a carriage 105 that holds these droplet discharge heads 114. In the present embodiment, the number of droplet discharge heads 114 held by the droplet discharge means 103 is eight. Each droplet discharge head 114 has a bottom surface provided with a plurality of nozzles 118 described later. The shape of the bottom surface of each droplet discharge head 114 is a polygon having two long sides and two short sides. The bottom surface of the droplet discharge head 114 held by the droplet discharge means 103 faces the stage 106 side, and the long side direction and the short side direction of the droplet discharge head 114 are respectively an X-axis direction and a Y-axis direction. Parallel to the direction.

図３に示すように、液滴吐出ヘッド１１４は、Ｘ軸方向に並んだ複数のノズル１１８を所定のノズルピッチＳで一列または二列以上（図示では一列）に配置したノズル列１１６を有している。ノズルピッチＳの具体的な値は、特に限定されないが、例えば、５０μｍ以上９０μｍ以下とすることができる。
本実施形態の液滴吐出手段１０３では、基板１１のＸ軸方向の寸法分の長さ全体をカバーするように液滴吐出ヘッド１１４を配置しているが、本発明における液滴吐出手段は、基板１１のＸ軸方向の寸法分の長さの一部をカバーするようにものでもよい。 As shown in FIG. 3, the droplet discharge head 114 has a nozzle row 116 in which a plurality of nozzles 118 arranged in the X-axis direction are arranged in one row or two rows (one row in the drawing) at a predetermined nozzle pitch S. ing. Although the specific value of the nozzle pitch S is not specifically limited, For example, it can be 50 micrometers or more and 90 micrometers or less.
In the droplet discharge means 103 of the present embodiment, the droplet discharge head 114 is disposed so as to cover the entire length of the substrate 11 in the X-axis direction. A part of the length of the substrate 11 corresponding to the dimension in the X-axis direction may be covered.

図４に示すように、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給されるカラーフィルター用インク２が常に充填される液たまり１２９が位置している。 As shown in FIG. 4, each droplet discharge head 114 is an inkjet head. More specifically, each droplet discharge head 114 includes a vibration plate 126 and a nozzle plate 128. Between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128, a liquid pool 129 in which the color filter ink 2 supplied from the tank 101 through the hole 131 is always filled is located.

また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９からカラーフィルター用インク２が供給される。 In addition, a plurality of partition walls 122 are located between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128. A portion surrounded by the diaphragm 126, the nozzle plate 128, and the pair of partition walls 122 is a cavity 120. Since the cavities 120 are provided corresponding to the nozzles 118, the number of the cavities 120 and the number of the nozzles 118 are the same. The color filter ink 2 is supplied from the liquid pool 129 to the cavity 120 through the supply port 130 positioned between the pair of partition walls 122.

また、ノズルプレート１２８のノズル１１８付近は、フッ化アルキル基を有するシリカ膜で表面付近が覆われている。これにより、ノズル１１８は、撥液性に優れたものとなり、インク２を特に好適にはじくことができる。特に、ノズルプレート１２８がこのようなシリカ膜を有することで、ノズル１１８付近での固形分の強固な付着を防ぐことができる。このため、確実に液滴吐出時の飛行曲がりの発生や、液滴量の変動、ノズル１１８の目詰まりを確実に防止することができ、極めて長期にわたって、カラーフィルター用インク２の液滴の吐出性を特に優れたものとすることができる。 Further, the vicinity of the nozzle 118 of the nozzle plate 128 is covered with a silica film having an alkyl fluoride group in the vicinity of the surface. As a result, the nozzle 118 has excellent liquid repellency and can repel the ink 2 particularly preferably. In particular, since the nozzle plate 128 has such a silica film, solid adhesion in the vicinity of the nozzle 118 can be prevented. For this reason, it is possible to reliably prevent the occurrence of flight bends during droplet ejection, fluctuations in the amount of droplets, and clogging of the nozzle 118, and the ejection of droplets of the color filter ink 2 over an extremely long period of time. The property can be made particularly excellent.

振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとを含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８からカラーフィルター用インク２が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向にカラーフィルター用インク２が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。 On the diaphragm 126, the vibrator 124 is positioned corresponding to each cavity 120. The vibrator 124 includes a piezoelectric element 124C and a pair of electrodes 124A and 124B that sandwich the piezoelectric element 124C. By applying a driving voltage between the pair of electrodes 124A and 124B, the color filter ink 2 is ejected from the corresponding nozzle 118. The shape of the nozzle 118 is adjusted so that the color filter ink 2 is ejected from the nozzle 118 in the Z-axis direction.

制御手段１１２（図１参照）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル１１８から吐出されるカラーフィルター用インク２の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル１１８毎に制御されてもよい。また、制御手段１１２は、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル１１８と、吐出動作を行わないノズル１１８とを設定することでもできる。 The control means 112 (see FIG. 1) may be configured to give a signal to each of the plurality of vibrators 124 independently of each other. That is, the volume of the color filter ink 2 ejected from the nozzle 118 may be controlled for each nozzle 118 in accordance with a signal from the control unit 112. The control unit 112 can also set the nozzle 118 that performs the ejection operation during the application scan and the nozzle 118 that does not perform the ejection operation.

本明細書では、１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４とを含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つの液滴吐出ヘッド１１４は、ノズル１１８の数と同じ数の吐出部１２７を有する。
なお、図示の構成では、液滴吐出装置１００は、カラーフィルター用インク２を保持するタンク１０１、チューブ１１０等を１色分しか有していないが、これらの部材を、カラーフィルターが有する複数色の着色部に対応する複数色分有するものであってもよい。また、カラーフィルターの製造においては、複数色のカラーフィルター用インク２に対応する複数の液滴吐出装置１００を用いてもよい。
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド１１４は、駆動素子として、ピエゾ素子の代わりに静電アクチュエータを用いるものでもよい。また、液滴吐出ヘッド１１４は、駆動素子として電気熱変換素子を用い、この電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用してカラーフィルター用インク２を吐出する構成であってもよい。 In this specification, a portion including one nozzle 118, a cavity 120 corresponding to the nozzle 118, and a vibrator 124 corresponding to the cavity 120 may be referred to as “ejection unit 127”. According to this notation, one droplet discharge head 114 has the same number of discharge units 127 as the number of nozzles 118.
In the configuration shown in the drawing, the droplet discharge device 100 has only one tank 101 for holding the color filter ink 2, a tube 110, and the like, but these members have a plurality of colors that the color filter has. It may have a plurality of colors corresponding to the colored portion. In the production of the color filter, a plurality of droplet discharge devices 100 corresponding to the color filter inks 2 of a plurality of colors may be used.
In the present invention, the droplet discharge head 114 may use an electrostatic actuator as a driving element instead of a piezoelectric element. The droplet discharge head 114 may be configured to use an electrothermal conversion element as a drive element and discharge the color filter ink 2 using thermal expansion of a material by the electrothermal conversion element.

また、液滴吐出装置１００は、図１に示すようなインク貯留槽１３２および洗浄液貯留槽１３３を有するものである。インク貯留槽１３２には、カラーフィルター用インク２が貯留され、洗浄液貯留槽１３３には、洗浄液４が貯留されている。液滴吐出時においては、搬送路１３４によって、タンク１０１へ、カラーフィルター用インク２が搬送され、カラーフィルターの製造に用いられる。また、洗浄時においては、搬送路１３４によって、タンク１０１へ洗浄液４が搬送されてカラーフィルター用インク２と置換されて貯留され、貯留された洗浄液４をカラーフィルター用インク２の流路に沿って流すことにより、タンク１０１、チューブ１１０、液滴吐出手段１０３等にあるカラーフィルター用インク２の流路の洗浄が行われる。このようにインク貯留槽１３２および洗浄液貯留槽１３３を有することにより、より簡便かつ確実にインクの流路を洗浄することができる。また、洗浄後に、効率よくカラーフィルター用インク２を流すことができ、素早く洗浄液４をカラーフィルター用インク２に置換できる。結果として、液滴吐出装置１００を効率よく作動させることができ、カラーフィルターの生産性を優れたものとすることができる。 Further, the droplet discharge device 100 has an ink storage tank 132 and a cleaning liquid storage tank 133 as shown in FIG. The ink storage tank 132 stores the color filter ink 2, and the cleaning liquid storage tank 133 stores the cleaning liquid 4. At the time of droplet discharge, the color filter ink 2 is transported to the tank 101 by the transport path 134 and used for manufacturing the color filter. Further, at the time of cleaning, the cleaning liquid 4 is transported to the tank 101 by the transport path 134 and is stored after being replaced with the color filter ink 2. The stored cleaning liquid 4 is stored along the flow path of the color filter ink 2. By flowing, the flow path of the color filter ink 2 in the tank 101, the tube 110, the droplet discharge means 103 and the like is cleaned. By having the ink storage tank 132 and the cleaning liquid storage tank 133 in this way, the ink flow path can be cleaned more easily and reliably. In addition, the color filter ink 2 can be efficiently flowed after cleaning, and the cleaning liquid 4 can be quickly replaced with the color filter ink 2. As a result, the droplet discharge device 100 can be operated efficiently, and the productivity of the color filter can be improved.

次に、カラーフィルター製造装置を構成するドットずれ検出装置について説明する。
図５に示すドットずれ検出装置２００は、液滴吐出装置１００の流路内のカラーフィルター用インク２を洗浄液４で置換した後に、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１４のノズル１１８から吐出された洗浄液４の液滴が被検査物２２０に着弾して得られたドット２２１の位置ずれを検出するものである。このドットずれ検出装置２００によれば、液滴吐出ヘッド１１４に、洗浄液４の液滴の飛行曲がり等の吐出異常が生じているのを発見することができ、これにより、カラーフィルターの製造時におけるカラーフィルター用インク２の液滴吐出に異常が生じるか否かを判断することができ、これにより、適切な洗浄処理を施すことができるため、結果として、カラーフィルター製造装置１００（液滴吐出装置１００）によって製造されるカラーフィルターの歩留まりの向上に寄与することができる。また、本発明では、カラーフィルター用インクそのものにより形成されたドットの位置ずれを検出するのではなく、洗浄液のドットの位置ずれを検出する。これにより、例えば、以下のような効果が得られる。すなわち、洗浄処理を施し、流路内の洗浄液をカラーフィルター用インクで置換した後に、カラーフィルター用インクの吐出不良（許容範囲を超えたドットの位置ずれ等）を生じた場合には、再度、洗浄液で置換し、洗浄処理を施さなければならず、カラーフィルター用インク、洗浄液の無駄が多くなるとともに、その間カラーフィルターそのものの生産を中止することによるカラーフィルターの生産性が低下するという問題があった。このような問題を防止するために、十分な時間と十分な量の洗浄液を用いて洗浄処理を施すことも考えられるが、このような場合、上記と同様に、必要以上の時間、洗浄液を消費することなり、省資源、生産性の観点から好ましくないばかりでなく、液滴吐出装置に対し、必要以上のダメージを与える結果となる。これに対し、本発明では、カラーフィルター用インクそのものにより形成されたドットの位置ずれを検出するのではなく、洗浄液のドットの位置ずれを検出するため、必要十分な洗浄処理を施すことができ、上記のような問題の発生を防止することができる。 Next, a dot shift detection device that constitutes a color filter manufacturing device will be described.
The dot deviation detection device 200 shown in FIG. 5 is discharged from the nozzle 118 of the droplet discharge head (inkjet head) 114 after replacing the color filter ink 2 in the flow path of the droplet discharge device 100 with the cleaning liquid 4. The positional deviation of the dots 221 obtained by the droplets of the cleaning liquid 4 landing on the inspection object 220 is detected. According to this dot deviation detection device 200, it is possible to discover that a discharge abnormality such as a flying bend of the droplet of the cleaning liquid 4 has occurred in the droplet discharge head 114, and thus, at the time of manufacturing a color filter. It can be determined whether or not there is an abnormality in the droplet ejection of the color filter ink 2, and thus an appropriate cleaning process can be performed. As a result, the color filter manufacturing apparatus 100 (droplet ejection apparatus) 100) can contribute to the improvement of the yield of the color filter manufactured. In the present invention, the positional deviation of the dots of the cleaning liquid is detected instead of detecting the positional deviation of the dots formed by the color filter ink itself. Thereby, for example, the following effects can be obtained. In other words, after performing the cleaning process and replacing the cleaning liquid in the flow path with the color filter ink, if a color filter ink ejection failure (dot misalignment exceeding the allowable range, etc.) occurs, There is a problem in that the color filter ink and the cleaning liquid are wasted and the color filter productivity is reduced by stopping the production of the color filter itself. It was. In order to prevent such a problem, it may be possible to perform a cleaning process using a sufficient amount of time and a sufficient amount of cleaning liquid. In such a case, as in the above case, the cleaning liquid is consumed more than necessary. This is not only undesirable from the viewpoint of resource saving and productivity, but also results in damaging the droplet discharge device more than necessary. On the other hand, in the present invention, instead of detecting the positional deviation of the dots formed by the color filter ink itself, in order to detect the positional deviation of the dots of the cleaning liquid, it is possible to perform a necessary and sufficient cleaning process, The occurrence of the above problems can be prevented.

図５に示すように、このドットずれ検出装置２００は、平板状またはシート状の被検査物２２０を保持する検査テーブル２０２と、検査テーブル２０２の上方に水平方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に設けられたカメラ２０３と、カメラ２０３を水平方向および上下方向に移動させる移動手段２０４とを備えている。
この場合、図５中の左右方向（図６の紙面に垂直な方向）をＸ軸方向、図５中の上下方向（図６中の左右方向）をＹ軸方向、図５の紙面に垂直な方向（図６中の上下方向）をＺ軸方向としている。 As shown in FIG. 5, the dot deviation detection device 200 includes an inspection table 202 that holds a flat or sheet-like inspection object 220 and a horizontal direction (X-axis direction and Y-axis direction) above the inspection table 202. The camera 203 is provided so as to be movable in the vertical direction (Z-axis direction), and moving means 204 for moving the camera 203 in the horizontal direction and the vertical direction.
In this case, the left-right direction in FIG. 5 (direction perpendicular to the paper surface in FIG. 6) is the X-axis direction, the up-down direction in FIG. 5 (left-right direction in FIG. 6) is the Y-axis direction, and perpendicular to the paper surface in FIG. The direction (vertical direction in FIG. 6) is the Z-axis direction.

被検査物２２０としては、例えば、ガラス基板、金属板、合成樹脂シート、紙等を用いることができるが、写真用印画紙（例えば、ピクトリコプロ・ホワイトフィルム（株式会社ピクトリコ製））を用いるのが好ましい。これにより、電子画像をより正確に取得することができ、ドットの位置ずれ量に関する情報をより正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。 As the inspection object 220, for example, a glass substrate, a metal plate, a synthetic resin sheet, paper, or the like can be used. Is preferred. Accordingly, an electronic image can be acquired more accurately, and information regarding the amount of dot misregistration can be acquired as a more accurate one, so that more appropriate cleaning can be performed.

検査テーブル２０２は、基台（図示せず）の上部に固定されるものであって、上面側に水平の保持面２０２ａを有し、この保持面２０２ａの上部に被検査物２２０が真空吸着等の保持手段によって保持されるようになっている。
カメラ２０３は、例えばＣＣＤあるいはＣＭＯＳセンサー等の固体撮像素子と、カメラレンズとを有している。このカメラ２０３は、被検査物２２０上の複数のドット２２１を含む領域の電子画像を撮像する。 The inspection table 202 is fixed to the upper part of a base (not shown), and has a horizontal holding surface 202a on the upper surface side, and the inspection object 220 is vacuum-adsorbed on the upper surface of the holding surface 202a. It is held by the holding means.
The camera 203 has, for example, a solid-state imaging device such as a CCD or CMOS sensor, and a camera lens. The camera 203 captures an electronic image of an area including a plurality of dots 221 on the inspection object 220.

移動手段２０４は、カメラ２０３を支持する支持板２０５と、支持板２０５を介してカメラ２０３をＺ軸方向に移動可能かつ所定の位置に位置決め可能に支持するＺ軸方向移動手段２０６と、Ｚ軸方向移動手段２０６および支持板２０５を介してカメラ２０３をＸ軸方向に移動可能かつ所定の位置に位置決め可能に支持するＸ軸方向移動手段２０７と、Ｘ軸方向移動手段２０７、Ｚ軸方向移動手段２０６および支持板２０５を介してカメラ２０３をＹ軸方向に移動可能かつ所定の位置に位置決め可能に支持するＹ軸方向移動手段２０８とを備えている。 The moving unit 204 includes a support plate 205 that supports the camera 203, a Z-axis direction moving unit 206 that supports the camera 203 via the support plate 205 so that the camera 203 can move in the Z-axis direction and can be positioned at a predetermined position, An X-axis direction moving unit 207 that supports the camera 203 so as to be movable in the X-axis direction and to be positioned at a predetermined position via the direction moving unit 206 and the support plate 205, an X-axis direction moving unit 207, and a Z-axis direction moving unit. Y-axis direction moving means 208 is provided for supporting the camera 203 so as to be movable in the Y-axis direction and to be positioned at a predetermined position via 206 and a support plate 205.

移動手段２０４のＸ軸方向移動手段２０７およびＹ軸方向移動手段２０８は、カメラ２０３が検査テーブル２０２のＸ軸方向の全長およびＹ軸方向の全長を移動し、検査テーブル２０２上に位置した被検査物２２０上の全てのドット２２１を捉えられるように、移動範囲が設定されている。
Ｘ軸方向移動手段２０７およびＹ軸方向移動手段２０８としては、例えばリニアモータ等を用いた構成が挙げられ、Ｚ軸方向移動手段２０６としては、例えば送りねじ機構を用いた構成が挙げられる。ただし、これに限定されることなく、同様の機能を有するものであれば他のいかなるものでも良い。 The X-axis direction moving means 207 and the Y-axis direction moving means 208 of the moving means 204 are inspected on the inspection table 202 as the camera 203 moves the entire length in the X-axis direction and the entire length in the Y-axis direction of the inspection table 202 The movement range is set so that all the dots 221 on the object 220 can be captured.
Examples of the X-axis direction moving unit 207 and the Y-axis direction moving unit 208 include a configuration using a linear motor, and the Z-axis direction moving unit 206 includes a configuration using a feed screw mechanism, for example. However, the present invention is not limited to this, and any other one having a similar function may be used.

図７に示すように、ドットずれ検出装置２００は、さらに、画像処理手段２２３と、出力手段としてのディスプレイ２２４および外部記憶装置２２５とを有している。
画像処理手段２２３は、カメラ２０３により撮像されたドット列２２２の電子画像を画像処理することにより、各ドット２２１の座標を取得したり、各ドット２２１の面積を測定したりする機能を有している。 As shown in FIG. 7, the dot shift detection device 200 further includes an image processing unit 223, a display 224 as an output unit, and an external storage device 225.
The image processing unit 223 has a function of acquiring the coordinates of each dot 221 and measuring the area of each dot 221 by performing image processing on an electronic image of the dot row 222 captured by the camera 203. Yes.

ディスプレイ２２４は、例えばＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）、液晶ディスプレイなどで構成されており、例えば操作画面、データ入力画面、カメラ２０３により撮像されたドット列２２２の画像、ドットずれ検出結果等を表示することができる。
外部記憶装置２２５は、例えばＦＤＤ（Floppy Disk Drive（「Floppy」は登録商標））などで構成されている。 The display 224 includes, for example, a CRT (Cathode-Ray Tube), a liquid crystal display, and the like, and displays, for example, an operation screen, a data input screen, an image of a dot row 222 captured by the camera 203, a dot shift detection result, and the like. be able to.
The external storage device 225 includes, for example, an FDD (Floppy Disk Drive (“Floppy” is a registered trademark)).

制御手段２１０は、移動手段２０４、画像処理手段２２３およびディスプレイ２２４をそれぞれ制御する。この制御手段２１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２１０１と、記憶部（記憶手段）２１０２とを有している。記憶部２１０２は、ＣＰＵ２１０１に読み取り可能な記憶媒体（記録媒体）を有しており、この記憶媒体は、磁気的、光学的記録媒体、もしくは半導体メモリ等で構成されている。 The control unit 210 controls the moving unit 204, the image processing unit 223, and the display 224, respectively. The control unit 210 includes a CPU (Central Processing Unit) 2101 and a storage unit (storage unit) 2102. The storage unit 2102 includes a storage medium (recording medium) that can be read by the CPU 2101, and the storage medium includes a magnetic or optical recording medium, a semiconductor memory, or the like.

図８に示すように、被検査物２２０上には、液滴吐出装置１００を用いて、洗浄液４の液滴が吐出され、液滴吐出ヘッド１１４の各ノズル１１８から吐出された各液滴が着弾してなるドット２２１が被検査物２２０上に並び、ドット列２２２を形成している。
なお、図８中に示される１１個のドット２２１は、ドット列２２２の一部であり、ドット列２２２は、さらに長く連なっている。 As shown in FIG. 8, droplets of the cleaning liquid 4 are ejected onto the object 220 to be inspected using the droplet ejection device 100, and each droplet ejected from each nozzle 118 of the droplet ejection head 114 is ejected. Landing dots 221 are arranged on the inspection object 220 to form a dot row 222.
The eleven dots 221 shown in FIG. 8 are a part of the dot row 222, and the dot row 222 continues for a longer time.

被検査物２２０上に洗浄液４の液滴を吐出する液滴吐出装置１００において、ノズル列１１６が傾斜しないような姿勢で液滴吐出ヘッド１１４が設置されており、全ノズル１１８から同時に洗浄液４の液滴を吐出してドット列２２２を形成した場合には、ドット列２２２におけるドット間隔の正規値は、ノズルピッチＳに等しくなる。
これに対し、ノズル列１１６を傾斜させた姿勢で液滴吐出ヘッド１１４が設置されており、液滴吐出ヘッド１１４を走査しつつ各ノズル１１８から時間差をおいて洗浄液４の液滴を吐出することによりドット列２２２を形成した場合には、ドット列２２２におけるドット間隔の正規値は、ノズル列１１６の傾斜角度をθとして、Ｓcosθとなる。
本実施形態では、ドット列２２２におけるドット間隔の正規値は、ノズルピッチＳに等しいものとする。 In the droplet discharge device 100 that discharges droplets of the cleaning liquid 4 onto the inspection object 220, the droplet discharge head 114 is installed in such a posture that the nozzle row 116 does not tilt. When the dot row 222 is formed by discharging droplets, the normal value of the dot interval in the dot row 222 is equal to the nozzle pitch S.
On the other hand, the droplet discharge heads 114 are installed with the nozzle row 116 inclined, and the droplets of the cleaning liquid 4 are discharged from each nozzle 118 with a time difference while scanning the droplet discharge heads 114. When the dot row 222 is formed by the above, the normal value of the dot interval in the dot row 222 is Scos θ, where θ is the inclination angle of the nozzle row 116.
In the present embodiment, the normal value of the dot interval in the dot row 222 is assumed to be equal to the nozzle pitch S.

図９は、本発明の洗浄方法を示すフローチャート、図１０は、画像取得ステップを説明するための図、図１１は、画像取得ステップを説明するための図、図１２は、ドット列の各ドットの中心の座標を示す図、図１３は、第１の基準直線を示す図、図１４は、Ｘ軸方向ずれ量を検出するための点群を示す図、図１５は、第２の基準直線を示す図である。
以下、上述した液滴吐出装置１００およびドットずれ検出装置２００を備えたカラーフィルター製造装置により実施される洗浄方法の各ステップを順次説明する。 9 is a flowchart showing the cleaning method of the present invention, FIG. 10 is a diagram for explaining the image acquisition step, FIG. 11 is a diagram for explaining the image acquisition step, and FIG. 12 is each dot of the dot row. FIG. 13 is a diagram showing a first reference line, FIG. 14 is a diagram showing a point group for detecting the amount of deviation in the X-axis direction, and FIG. 15 is a second reference line. FIG.
Hereinafter, each step of the cleaning method performed by the color filter manufacturing apparatus provided with the above-described droplet discharge device 100 and dot deviation detection device 200 will be described in order.

［１］洗浄液置換ステップ
まず、液滴吐出装置１００内のカラーフィルター用インク２の流路中のカラーフィルター用インク２を洗浄液４で置換する。
なお、この際、カラーフィルター用インク２から洗浄液４への置換は、直接行うものであってもよいが、例えば、一旦、カラーフィルター用インク２を他の液体（例えば、カラーフィルター用インク２を構成する溶媒、分散媒成分と同一の成分を含む液体）で置換し、その後、当該液体を洗浄液４で置換してもよい。これにより、流路内に残存するカラーフィルター用インク２が洗浄液４と接触することによるショックで、カラーフィルター用インクに溶解または分散していた固形分が析出する等の弊害をより確実に防止することができる。
また、加熱した洗浄液４を導入してもよいし、流路に洗浄液４を導入した後に洗浄液４を加熱してもよい。また、洗浄液４で置換された流路に超音波振動等の振動処理を施してもよい。これにより、流路に付着した汚れをより除去しやすくなる。
洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有するものであるのが好ましい。 [1] Cleaning Liquid Replacement Step First, the color filter ink 2 in the flow path of the color filter ink 2 in the droplet discharge device 100 is replaced with the cleaning liquid 4.
At this time, the replacement of the color filter ink 2 with the cleaning liquid 4 may be performed directly. For example, the color filter ink 2 is temporarily replaced with another liquid (for example, the color filter ink 2 The solvent may be replaced with a liquid containing the same components as the solvent and the dispersion medium component, and then the liquid may be replaced with the cleaning liquid 4. As a result, it is possible to more reliably prevent adverse effects such as precipitation of solids dissolved or dispersed in the color filter ink due to a shock caused by the color filter ink 2 remaining in the flow path coming into contact with the cleaning liquid 4. be able to.
Further, the heated cleaning liquid 4 may be introduced, or the cleaning liquid 4 may be heated after the cleaning liquid 4 is introduced into the flow path. Further, the flow path replaced with the cleaning liquid 4 may be subjected to vibration processing such as ultrasonic vibration. This makes it easier to remove the dirt attached to the flow path.
The cleaning liquid preferably contains the compound A represented by the following formula (1).

化合物Ａは、粘度がインクよりも低く表面張力がインクと同じ程度である異物の洗浄性が高い化合物である。これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置１００）へのダメージをより好適に防止しつつ、短時間で効率よく洗浄することができる。また、インクで用いる電圧などの条件を大きく変えることなく、インクジェットヘッドから吐出することが可能であるため、電子画像をより正確に取得することができ、ドット２２１の位置ずれ量に関する情報をよりインクに近い正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。また、カラーフィルター用インク２への置換が容易であり、カラーフィルター用インク２への置換後にカラーフィルター用インク２の流路内に洗浄液４が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。
また、洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有するものであってもよい。 Compound A is a compound that has a higher detergency of foreign matter having a viscosity lower than that of ink and a surface tension of the same level as ink. Thereby, it is possible to clean efficiently in a short time while more suitably preventing damage to the color filter manufacturing apparatus (droplet discharge apparatus 100). In addition, since it is possible to eject from the inkjet head without greatly changing the conditions such as the voltage used in the ink, an electronic image can be acquired more accurately, and more information on the positional deviation amount of the dots 221 can be obtained. Therefore, more appropriate cleaning can be performed. Further, the replacement with the color filter ink 2 is easy, and it is possible to more reliably prevent the cleaning liquid 4 from remaining in the flow path of the color filter ink 2 after the replacement with the color filter ink 2. The productivity of the color filter as a whole can be made particularly excellent, and the reliability of the produced color filter can be made particularly excellent.
Further, the cleaning liquid may contain a compound B represented by the following formula (2).

これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置１００）へのダメージをより好適に防止しつつ、短時間で効率よく洗浄することができる。また、電子画像をより正確に取得することができ、ドット２２１の位置ずれ量に関する情報をより正確なものとして取得することができるため、より適切な洗浄を行うことができる。また、カラーフィルター用インク２への置換が容易であり、カラーフィルター用インク２への置換後にカラーフィルター用インク２の流路内に洗浄液４が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。 Thereby, it is possible to clean efficiently in a short time while more suitably preventing damage to the color filter manufacturing apparatus (droplet discharge apparatus 100). In addition, since an electronic image can be acquired more accurately and information on the amount of positional deviation of the dots 221 can be acquired as more accurate information, more appropriate cleaning can be performed. Further, the replacement with the color filter ink 2 is easy, and it is possible to more reliably prevent the cleaning liquid 4 from remaining in the flow path of the color filter ink 2 after the replacement with the color filter ink 2. The productivity of the color filter as a whole can be made particularly excellent, and the reliability of the produced color filter can be made particularly excellent.

また、洗浄液４が化合物Ｂを含むものである場合、カラーフィルター用インクを構成する溶媒成分をさらに含有するのが好ましい。これにより、カラーフィルター製造装置（液滴吐出装置１００）へのダメージをより好適に防止することができるとともに、表面張力がカラーフィルター用インク２と近いことによりカラーフィルター用インク２への置換が容易であり、カラーフィルター用インク２への置換後にカラーフィルター用インク２の流路内に洗浄液が残存することをより確実に防止することができるため、全体としてのカラーフィルターの生産性を特に優れたものとすることができるとともに、製造されるカラーフィルターの信頼性を特に優れたものとすることができる。 Further, when the cleaning liquid 4 contains the compound B, it is preferable to further contain a solvent component constituting the color filter ink. As a result, damage to the color filter manufacturing apparatus (droplet discharge apparatus 100) can be prevented more suitably, and replacement with the color filter ink 2 is easy because the surface tension is close to that of the color filter ink 2. Since it is possible to more reliably prevent the cleaning liquid from remaining in the flow path of the color filter ink 2 after replacement with the color filter ink 2, the overall productivity of the color filter is particularly excellent. In addition, the reliability of the manufactured color filter can be made particularly excellent.

［２］吐出ステップ
次に、上述したカラーフィルター用インク２の基板１１に対する液滴吐出と同様にして、液滴吐出装置１００の液滴吐出ヘッド１１４から、置換された洗浄液４を、被検査物２２０に吐出し、ドット列２２２を形成する。 [2] Discharge Step Next, in the same manner as the droplet discharge onto the substrate 11 of the color filter ink 2 described above, the replacement cleaning liquid 4 is removed from the droplet discharge head 114 of the droplet discharge apparatus 100 using the inspection object. The ink is discharged to 220 to form a dot row 222.

［３］画像取得ステップ
画像取得ステップでは、ドットずれ検出装置２００が、被検査物２２０上に形成されたドット列２２２の電子画像を取得する。この際、カメラ２０３が画像取得手段として機能する。この画像取得ステップにおいては、ドット列２２２がＸ軸方向にほぼ平行となるような姿勢で、被検査物２２０を検査テーブル２０２上に保持する。そして、移動手段２０４のＸ軸方向移動手段２０７およびＹ軸方向移動手段２０８を駆動させて、カメラ２０３を被検査物２２０上のドット列２２２の上方に位置決めし、Ｚ軸方向移動手段２０６を駆動させてカメラ２０３を垂直方向に移動させ、カメラ２０３の焦点を被検査物２２０上のドット列２２２に合わせ、焦点が合った位置にカメラ２０３を固定する。 [3] Image Acquisition Step In the image acquisition step, the dot deviation detection device 200 acquires an electronic image of the dot row 222 formed on the inspection object 220. At this time, the camera 203 functions as an image acquisition unit. In this image acquisition step, the inspection object 220 is held on the inspection table 202 in such a posture that the dot row 222 is substantially parallel to the X-axis direction. Then, the X-axis direction moving means 207 and the Y-axis direction moving means 208 of the moving means 204 are driven to position the camera 203 above the dot row 222 on the inspection object 220 and drive the Z-axis direction moving means 206. Then, the camera 203 is moved in the vertical direction, the camera 203 is focused on the dot row 222 on the inspection object 220, and the camera 203 is fixed at the focused position.

図１０に示すように、本実施形態では、カメラ２０３の撮影写野２３０には、５個のドット２２１までしか入らない。そこで、ドット列２２２全体の電子画像を得るために、Ｘ軸方向移動手段２０７を作動してカメラ２０３をＸ軸方向に移動することにより、被検査物２２０とカメラ２０３との相対位置をドット列２２２に沿って変えながら複数回の撮影を行う。１回目（１枚目）の撮影では、図中の左から５個目までのドット２２１を撮影する。 As shown in FIG. 10, in this embodiment, only up to five dots 221 enter the shooting field 230 of the camera 203. Therefore, in order to obtain an electronic image of the entire dot array 222, the X-axis direction moving means 207 is operated to move the camera 203 in the X-axis direction, whereby the relative position between the inspection object 220 and the camera 203 is determined. Shooting a plurality of times while changing along 222. In the first (first) shooting, the fifth dot 221 from the left in the figure is shot.

次いで、カメラ２０３をドット列２２２に沿ってドット間隔の４倍、すなわち、ノズルピッチＳの４倍の距離だけＸ軸方向（図中右方向）に移動させて、２回目の撮影を行う。これにより、図１１に示すように、カメラ２０３の撮影写野２３０には、図中の左から５〜９個目の５個のドット２２１が入る。すなわち、図中ａで示す左から５個目のドット２２１は、１回目に撮影した画像と、２回目に撮影した画像との両方に含まれる。 Next, the camera 203 is moved along the dot row 222 by a distance of four times the dot interval, that is, four times the nozzle pitch S in the X-axis direction (right direction in the figure), and the second shooting is performed. As a result, as shown in FIG. 11, the fifth to ninth dots 221 from the left in the drawing enter the shooting field 230 of the camera 203. That is, the fifth dot 221 from the left indicated by a in the figure is included in both the first image and the second image.

同様にして、カメラ２０３をドット列２２２に沿って移動させながら、３回目以降の撮影を行い、ドット列２２２全体を撮影できるまで、撮影を繰り返す。この際、相隣接する二つの画像中に同一のドット２２１が一つ含まれるように撮影を行う。なお、本発明では、相隣接する二つの画像中に同一のドットが二つ以上含まれるように撮影を行ってもよい。
このようにしてカメラ２０３により撮像された複数枚の電子画像の画像データは、画像処理手段２２３が備える記憶部２２３１に取り込まれる。 Similarly, while the camera 203 is moved along the dot row 222, the third and subsequent shootings are performed, and the shooting is repeated until the entire dot row 222 can be shot. At this time, photographing is performed so that one identical dot 221 is included in two adjacent images. In the present invention, photographing may be performed so that two or more identical dots are included in two adjacent images.
Image data of a plurality of electronic images captured by the camera 203 in this way is taken into the storage unit 2231 included in the image processing unit 223.

［４］ドット座標取得ステップ
ドット座標取得ステップにおいては、画像処理手段２２３は、カメラ２０３により撮像された各電子画像を画像処理することにより、各ドット２２１の中心２２１１を求め、各ドット２２１の中心２２１１のＸ座標およびＹ座標を決定する。
次いで、カメラ２０３のレンズ等の光学系の収差（例えば糸巻き型歪曲収差、樽型歪曲収差等）に基づく歪を補正する処理を施す。この処理は、公知の方法により行うことができるが、例えば、カメラ２０３を用いて予め規則正しいパターンの被写体を撮影しておき、その撮影画像の歪を正しい座標に変換するための補正量を把握したデータ（データテーブルまたは演算式）を用意しておき、そのデータに照らし合わせて各ドット２２１の中心２２１１の座標を正しい座標に変換することにより、行えばよい。 [4] Dot Coordinate Acquisition Step In the dot coordinate acquisition step, the image processing means 223 obtains the center 2211 of each dot 221 by performing image processing on each electronic image captured by the camera 203, and the center of each dot 221. The X coordinate and Y coordinate of 2211 are determined.
Next, processing for correcting distortion based on aberrations of an optical system such as a lens of the camera 203 (for example, pincushion distortion, barrel distortion, etc.) is performed. This process can be performed by a known method. For example, a subject having a regular pattern is photographed in advance using the camera 203, and a correction amount for converting the distortion of the photographed image into a correct coordinate is grasped. Data (a data table or an arithmetic expression) is prepared, and the coordinates of the center 2211 of each dot 221 are converted into correct coordinates in light of the data.

このように、カメラ２０３の収差に基づく歪を補正する処理を施すことにより、ドット２２１の位置ずれをより高精度に検出することができる。その結果、より適切な洗浄を行いつつ、長期間にわたって安定的なカラーフィルターの製造を行うことができる。なお、カメラ２０３の収差に基づく歪が小さく、誤差が少ないときは、この補正処理を行わなくてもよい。 As described above, by performing the process of correcting the distortion based on the aberration of the camera 203, the positional deviation of the dots 221 can be detected with higher accuracy. As a result, it is possible to manufacture a stable color filter over a long period of time while performing more appropriate cleaning. Note that when the distortion based on the aberration of the camera 203 is small and the error is small, this correction processing may not be performed.

各画像について各ドット２２１の中心２２１１のＸ座標およびＹ座標を決定したら、複数の画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドット２２１の座標を一つの座標系に統合する。この座標系の統合は、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドット２２１の座標が同じになるような座標変換を施すことによって行うことができる。例えば、１枚目の撮影画像（図１０）と２枚目の撮影画像（図１１）の座標系を統合する場合には、両画像に共通に含まれる図中ａで示すドット２２１の中心２２１１の座標が同じになるように座標変換をすればよい。 When the X and Y coordinates of the center 2211 of each dot 221 are determined for each image, the coordinates of all the captured dots 221 are integrated into one coordinate system by integrating the coordinate systems of the plurality of images. The integration of the coordinate systems can be performed by performing coordinate conversion so that the coordinates of the dots 221 included in two adjacent images are the same. For example, when the coordinate system of the first photographed image (FIG. 10) and the second photographed image (FIG. 11) are integrated, the center 2211 of the dot 221 indicated by a in the figure that is included in both images in common. The coordinates may be converted so that the coordinates of are the same.

これにより、図１２に示すように、ドット列２２２の全ドット２２１の中心２２１１の座標を一つのＸＹ座標系に統合することができる。以下の説明では、このようにして統合された座標系における、図中で左からｉ番目にあるドット２２１の中心２２１１の座標を（ｘ_ｉ，ｙ_ｉ）と表す。
なお、ドットずれ検出装置２００では、画像処理手段２２３および制御手段２１０が、以上説明したドット座標取得ステップを実行するドット座標取得手段として機能する。 Thereby, as shown in FIG. 12, the coordinates of the center 2211 of all the dots 221 in the dot row 222 can be integrated into one XY coordinate system. In the following description, the coordinate of the center 2211 of the i-th dot 221 from the left in the drawing in the coordinate system thus integrated is represented as (x _i , y _i ).
In the dot deviation detection device 200, the image processing unit 223 and the control unit 210 function as a dot coordinate acquisition unit that executes the dot coordinate acquisition step described above.

上記のように、本実施形態では、画像取得ステップにおいて、画像取得手段が、被検査物とカメラ２０３との相対位置をドット列２２２に沿って変えながら複数の電子画像を撮影するとともに、ドット座標取得ステップにおいて、ドット座標取得手段が、複数の電子画像の座標系を統合して、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合する。これにより、撮影写野が限られるカメラ２０３を用いてドット列２２２の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列２２２に対してドット２２１の位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。 As described above, in the present embodiment, in the image acquisition step, the image acquisition unit captures a plurality of electronic images while changing the relative position between the object to be inspected and the camera 203 along the dot row 222, and the dot coordinates. In the acquisition step, the dot coordinate acquisition unit integrates the coordinate systems of a plurality of electronic images, and integrates the coordinates of all the captured dots into one coordinate system. Thus, even when an electronic image of the dot row 222 is acquired using the camera 203 with a limited shooting field, the positional deviation of the dot 221 can be detected easily and accurately with respect to the long dot row 222. it can.

また、上記のように、本実施形態では、画像取得ステップにおいて、画像取得手段が、複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドット２２１が少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、ドット座標取得ステップにおいて、ドット座標取得手段が、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドット２２１の座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、複数の電子画像の座標系を統合する。これにより、撮影写野が限られるカメラを用いてドット列２２２の電子画像を取得する場合であっても、長いドット列２２２に対してドット２２１の位置ずれを簡単かつ正確に検出することができる。 Further, as described above, in the present embodiment, when the image acquisition unit captures a plurality of electronic images, at least one identical dot 221 is included in two adjacent images in the image acquisition step. In the dot coordinate acquisition step, the dot coordinate acquisition unit integrates the coordinate systems of both images so that the coordinates of the dots 221 included in the two adjacent images are the same. Integrate the coordinate system of multiple electronic images. Thus, even when an electronic image of the dot row 222 is acquired using a camera with a limited shooting field, it is possible to easily and accurately detect the positional deviation of the dots 221 with respect to the long dot row 222. .

［５］第１の基準直線決定ステップ
各ドット２２１の中心のＸ座標およびＹ座標（ｘ_ｉ，ｙ_ｉ）が得られたら、これらの座標に基づいて、最小二乗法により第１の基準直線２２６を決定する。第１の基準直線２２６は、その方程式をＹ＝ＡＸ＋Ｂとしたとき、定数ＡおよびＢを図１３に示す数式によって算出することによって得られる。なお、式中、ｎはドット２２１の数である。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明した第１の基準直線決定ステップを実行する第１の基準直線決定手段として機能する。 [5] First Reference Line Determination Step Once the X and Y coordinates (x _i , y _i ) of the center of each dot 221 are obtained, the first reference line 226 is obtained by the least square method based on these coordinates. To decide. The first reference straight line 226 is obtained by calculating the constants A and B by the mathematical formula shown in FIG. 13 when the equation is Y = AX + B. In the formula, n is the number of dots 221.
In the dot deviation detection device 200, the control unit 210 functions as a first reference line determination unit that executes the first reference line determination step described above.

［６］Ｙ軸方向ずれ量取得ステップ
第１の基準直線２２６は、ドット列２２２の全ドット２２１の座標を総合して決定されたものであるので、全ドット２２１が位置ずれなく正確な位置に着弾したと仮定した場合に各ドット２２１を通る直線にほぼ一致し、よって、ドット列２２２の正規な位置を表す直線であると捉えることができる。
よって、第１の基準直線２２６と各ドット２２１の中心２２１１との距離が、各ドット２２１のＹ軸方向への位置ずれ量を表すものであると言うことができる。そこで、各ドット２２１の中心２２１１について、第１の基準直線２２６との距離を算出することにより、各ドット２２１のＹ軸方向への位置ずれ量を取得する。 [6] Y-axis direction deviation acquisition step Since the first reference straight line 226 is determined by combining the coordinates of all the dots 221 in the dot row 222, all the dots 221 are accurately positioned without any deviation. When it is assumed that it has landed, it almost coincides with a straight line passing through each dot 221, and thus can be regarded as a straight line representing a normal position of the dot row 222.
Therefore, it can be said that the distance between the first reference straight line 226 and the center 2211 of each dot 221 represents the positional deviation amount of each dot 221 in the Y-axis direction. Therefore, by calculating the distance between the center 2211 of each dot 221 and the first reference straight line 226, the amount of positional deviation of each dot 221 in the Y-axis direction is acquired.

図１３に示すように、本実施形態では、図中左から３個目のドット２２１のＹ軸方向の位置ずれ量がΔｙ_３であり、図中左から７個目のドット２２１のＹ軸方向の位置ずれ量がΔｙ_７であることを検出することができ、さらに、他のドット２２１については、Ｙ軸方向の位置ずれがほぼなく、Ｙ軸方向の位置がほぼ正確であることを検出することができる。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明したＹ軸方向ずれ量取得ステップを実行するＹ軸方向ずれ量取得手段として機能する。 As shown in FIG. 13, in this embodiment, a Y-axis direction positional deviation amount [Delta] y ₃ dots 221 of three from the left in the figure, the Y-axis direction of the dot 221 of 7 th from the left in the drawing it can be detected positional deviation amount is [Delta] y _7, further for other dots 221, approximately no positional deviation in the Y-axis direction, the position of the Y-axis direction is detected that is approximately correct be able to.
In the dot deviation detection device 200, the control unit 210 functions as a Y-axis direction deviation amount obtaining unit that executes the Y-axis direction deviation amount obtaining step described above.

［７］点群想定ステップ
次いで、各ドット２２１のＸ軸方向の位置ずれ量を求めるために、図１４に示すような二次元直交座標を想定する。この座標上に、各ドット２２１の中心２２１１のＸ座標（ｘ_ｉ）を縦軸の座標値とし、横軸の座標値が等間隔になるような複数の点２２７からなる点群２２８を想定する。すなわち、点２２７の数は、ドット２２１と同数である。各点２２７の横軸の座標値は、等間隔になっていればよいが、図１４に示す例では、１、２、３、・・・としている。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明した点群想定ステップを実行する点群想定手段として機能する。 [7] Point Cloud Assumption Step Next, in order to obtain the positional deviation amount of each dot 221 in the X-axis direction, a two-dimensional orthogonal coordinate as shown in FIG. 14 is assumed. On this coordinate, a point group 228 composed of a plurality of points 227 is assumed in which the X coordinate (x _i ) of the center 2211 of each dot 221 is the coordinate value of the vertical axis, and the coordinate values of the horizontal axis are equally spaced. . That is, the number of points 227 is the same as the number of dots 221. Although the coordinate value of the horizontal axis of each point 227 should just be equal intervals, in the example shown in FIG.
In the dot deviation detection device 200, the control unit 210 functions as a point group assumption unit that executes the point group assumption step described above.

［８］第２の基準直線決定ステップ
次いで、点群２２８の各点２２７の座標に基づいて、最小二乗法により、前記第１の基準直線決定ステップと同様の演算を行うことにより、図１５に示す第２の基準直線２２９を決定する。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明した第２の基準直線決定ステップを実行する第２の基準直線決定手段として機能する。 [8] Second Reference Line Determination Step Next, based on the coordinates of each point 227 in the point group 228, the same calculation as in the first reference line determination step is performed by the least square method to obtain FIG. A second reference straight line 229 is determined.
In the dot deviation detection device 200, the control unit 210 functions as a second reference line determination unit that executes the second reference line determination step described above.

［９］Ｘ軸方向ずれ量取得ステップ
図１５に示す二次元直交座標においては、点群２２８の各点２２７と第２の基準直線２２９との間の、縦軸方向の距離が各ドット２２１のＸ軸方向への位置ずれ量を表すものであると言うことができる。よって、各点２２７と第２の基準直線２２９との間の、縦軸方向の距離を求めることにより、Ｘ軸方向への各ドット２２１のＸ軸方向への位置ずれ量に関する情報を取得することができる。 [9] X-axis Direction Deviation Acquisition Step In the two-dimensional orthogonal coordinates shown in FIG. 15, the distance in the vertical axis direction between each point 227 of the point group 228 and the second reference straight line 229 is the dot 221. It can be said that this represents the amount of displacement in the X-axis direction. Therefore, by obtaining the distance in the vertical axis direction between each point 227 and the second reference straight line 229, information on the positional deviation amount of each dot 221 in the X axis direction in the X axis direction is acquired. Can do.

図１５に示すように、本実施形態では、図中左から３個目のドット２２１のＸ軸方向の位置ずれ量がΔｘ_３であり、図中左から７個目のドット２２１のＸ軸方向の位置ずれ量がΔｘ_７であることを検出することができ、さらに、他のドット２２１については、Ｘ軸方向の位置ずれがほぼなく、Ｘ軸方向の位置がほぼ正確であることを検出することができる。
なお、ドットずれ検出装置２００では、制御手段２１０が、以上説明したＸ軸方向ずれ量取得ステップを実行するＸ軸方向ずれ量取得手段として機能する。 As shown in FIG. 15, in the present embodiment, the X position shift amount of the axial direction [Delta] x ₃ dots 221 of three from the left in the figure, X axis direction of the dot 221 of 7 th from the left in the drawing it can be detected positional deviation amount is [Delta] x _7, further for other dots 221, approximately no positional deviation in the X-axis direction, the position of the X-axis direction is detected that is approximately correct be able to.
In the dot deviation detection apparatus 200, the control unit 210 functions as an X-axis direction deviation amount acquisition unit that executes the X-axis direction deviation amount acquisition step described above.

上記のように、本実施形態では、［１］〜［６］の各ステップに加え、［７］〜［９］の各ステップを有することにより、ドット列にほぼ平行な方向へのドットの位置ずれをさらに検出することができるので、より正確にドットの位置ずれを分析することができ、より適切な洗浄を行いつつ、長期間にわたって安定的なカラーフィルターの製造を行うことができる。 As described above, in the present embodiment, in addition to the steps [1] to [6], the steps [7] to [9] are provided so that the positions of dots in a direction substantially parallel to the dot row are obtained. Since the shift can be further detected, the dot position shift can be analyzed more accurately, and a stable color filter can be manufactured over a long period of time while performing more appropriate cleaning.

以上のようにして検出した、各ドット２２１についてのＹ軸方向の位置ずれ量およびＸ軸方向の位置ずれ量のデータは、記憶部２１０２に記憶されるとともに、外部記憶装置２２５に出力する。なお、測定データの出力手段は、外部記憶装置２２５に限定されず、ディスプレイ２２４に表示（出力）したり、プリンタに印刷して出力してもよい。また、ネットワークを接続して他のＰＣに送ることも効率的な出力方法となる。
また、制御手段２１０は、各ドット２２１について、Ｙ軸方向の位置ずれ量Δｙ_ｉおよびＸ軸方向の位置ずれ量ΔＸ_ｉに基づき、絶対的な位置ずれ量ＬをＬ＝√（Δｙ_ｉ ^２＋ΔＸ_ｉ ^２）なる演算を行うことによって算出するようにしてもよい。 The data of the positional deviation amount in the Y-axis direction and the positional deviation amount in the X-axis direction for each dot 221 detected as described above is stored in the storage unit 2102 and output to the external storage device 225. Note that the means for outputting measurement data is not limited to the external storage device 225, and may be displayed (output) on the display 224 or output by printing on a printer. In addition, connecting to a network and sending it to another PC is also an efficient output method.
Further, the control unit 210 sets the absolute positional deviation amount L for each dot 221 based on the positional deviation amount Δy _{i in} the Y-axis direction and the positional deviation amount ΔX _i in the X-axis direction as L = √ (Δy _i ² + ΔX). _The calculation may be performed by performing the calculation _i ² ).

オペレーターは、ドットずれ検出装置２００から出力されたＹ軸方向の位置ずれ量Δｙ_ｉやＸ軸方向の位置ずれ量ΔＸ_ｉ、あるいは、絶対的な位置ずれ量Ｌが許容範囲内にあるか否かを判定することにより、各ドット２２１の着弾位置の正確性を判断することができる。なお、この判断を制御手段２１０によって自動的に行うようにしてもよい。
そして、Ｙ軸方向の位置ずれ量Δｙ_ｉ、Ｘ軸方向の位置ずれ量ΔＸ_ｉ、絶対的な位置ずれ量Ｌが所定値（許容範囲）を超える場合、上記［１］〜［６］の各ステップを、さらには、［１］〜［９］の各ステップを、前記位置ずれ量が許容範囲内となるまで、繰り返し行ってもよい。これにより、必要十分な洗浄をより確実に行うことができ、製造されるカラーフィルターの信頼性、カラーフィルターの生産性等のさらなる向上を図ることができる。 The operator determines whether the positional deviation amount Δy _i in the Y-axis direction, the positional deviation amount ΔX _{i in} the X-axis direction, or the absolute positional deviation amount L output from the dot deviation detection device 200 is within an allowable range. , It is possible to determine the accuracy of the landing position of each dot 221. This determination may be made automatically by the control means 210.
When the positional deviation amount Δy _i in the Y-axis direction, the positional deviation amount ΔX _i in the X-axis direction, and the absolute positional deviation amount L exceed a predetermined value (allowable range), each of the above [1] to [6] The steps, [1] to [9], may be repeated until the amount of positional deviation falls within the allowable range. As a result, necessary and sufficient cleaning can be performed more reliably, and the reliability of the manufactured color filter, the productivity of the color filter, and the like can be further improved.

本発明では、上述したように、被検査物２２０として写真用印画紙を好適に用いることができ、例えば精密なパターンのマークが付されたガラスマスクのような高価な被検査物を用意する必要がないので、簡便に、低コストでドットずれ検出および好適な洗浄を行うことができる。また、被検査物２２０に向けて液滴吐出ヘッド１１４から洗浄液４の液滴を吐出する際にも正確な目標位置に着弾させる必要がないので、液滴吐出装置に複雑な制御が不要となり、簡単かつ迅速にドットずれ検出を行うことができる。このようなことから、液滴吐出装置を用いてカラーフィルターを製造する際、本来のカラーフィルターの製造以外の部分に要する時間、手間、費用を削減することができるので、その製造コストを低減させることもできる。 In the present invention, as described above, a photographic printing paper can be suitably used as the inspection object 220. For example, it is necessary to prepare an expensive inspection object such as a glass mask with a precise pattern mark. Therefore, dot deviation detection and suitable cleaning can be performed easily and at low cost. In addition, since it is not necessary to land the accurate target position even when the droplet of the cleaning liquid 4 is discharged from the droplet discharge head 114 toward the inspection object 220, complicated control is not required for the droplet discharge device, It is possible to detect dot deviation easily and quickly. For this reason, when manufacturing a color filter using a droplet discharge device, it is possible to reduce the time, labor, and cost required for parts other than the original color filter manufacturing, thereby reducing the manufacturing cost. You can also.

［１０］ドット面積取得ステップ
本発明では、前述した画像取得ステップで得た電子画像を画像処理することにより、各ドット２２１の面積に関する情報を取得するようにしてもよい。この場合には、各ドット２２１の面積を正規の面積と比較することにより、各ノズル１１８から吐出された洗浄液４の液滴の大きさ（液量）が設定した値になっているか否かを検出することができ、より適切な洗浄を行うことができる。なお、この場合、画像処理手段２２３は、各ドット２２１の面積自体を測定しなくてもよく、例えば各ドット２２１の周囲の境界線の長さ等を求めるようにしてもよい。
なお、ドットずれ検出装置２００では、画像処理手段２２３が、以上説明したドット面積取得ステップを実行するドット面積取得手段として機能する。 [10] Dot Area Acquisition Step In the present invention, information regarding the area of each dot 221 may be acquired by performing image processing on the electronic image obtained in the above-described image acquisition step. In this case, by comparing the area of each dot 221 with the normal area, it is determined whether or not the size (liquid amount) of the cleaning liquid 4 ejected from each nozzle 118 is a set value. Can be detected, and more appropriate cleaning can be performed. In this case, the image processing unit 223 does not need to measure the area of each dot 221 itself, and may obtain the length of the boundary line around each dot 221, for example.
In the dot deviation detection device 200, the image processing unit 223 functions as a dot area acquisition unit that executes the dot area acquisition step described above.

［１１］ドット有無情報取得ステップ
本発明では、前述した画像取得ステップで得た電子画像を画像処理することにより、各ドット２２１の有無に関する情報を取得するようにしてもよい。この場合、画像処理手段２２３は、正規の位置を中心としたある一定の領域内にドット２２１がない場合には、当該ドット２２１が抜けている（液滴不吐出によるドット２２１の欠損）と判定すればよい。これにより、ノズル１１８の目詰まり等によって洗浄液４の液滴の不吐出が生じた場合にも、これを検出することができ、この結果を受けて、より適切な洗浄を行うことができる。
なお、ドットずれ検出装置２００では、画像処理手段２２３が、以上説明したドット有無情報取得ステップを実行するドット有無情報取得手段として機能する。 [11] Dot Presence Information Acquisition Step In the present invention, information regarding the presence or absence of each dot 221 may be acquired by performing image processing on the electronic image obtained in the above-described image acquisition step. In this case, the image processing means 223 determines that the dot 221 is missing (a missing dot 221 due to non-ejection of a droplet) when there is no dot 221 in a certain area centered on the normal position. do it. As a result, even when a non-ejection of the droplet of the cleaning liquid 4 occurs due to clogging of the nozzle 118 or the like, this can be detected, and more appropriate cleaning can be performed based on this result.
In the dot deviation detection device 200, the image processing unit 223 functions as a dot presence / absence information acquisition unit that executes the dot presence / absence information acquisition step described above.

上記のような方法で液滴吐出装置１００の洗浄を行った後、流路内の洗浄液４は、カラーフィルター用インク２で置換され、カラーフィルターの製造に供される。
なお、洗浄液４からカラーフィルター用インク２への置換は、直接行うものであってもよいが、例えば、一旦、洗浄液４を他の液体（例えば、カラーフィルター用インク２を構成する溶媒、分散媒成分と同一の成分を含む液体）で置換し、その後、当該液体をカラーフィルター用インク２で置換してもよい。 After the droplet discharge device 100 is cleaned by the method as described above, the cleaning liquid 4 in the flow path is replaced with the color filter ink 2 and used for manufacturing the color filter.
The replacement of the cleaning liquid 4 with the color filter ink 2 may be performed directly. For example, the cleaning liquid 4 is temporarily replaced with another liquid (for example, a solvent or a dispersion medium constituting the color filter ink 2). And a liquid containing the same component as the component), and then the liquid may be replaced with the color filter ink 2.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。また、本発明のカラーフィルター製造装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。
例えば、画像取得手段としては、カメラに限らず、リニアセンサ（リニアイメージセンサ）を用いてもよく、ドット列をリニアセンサで走査することによって、ドット列の電子画像を取得するようにしてもよい。
また、本発明のカラーフィルター製造装置には、任意の構成物が付加されていてもよい。 As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described, this invention is not limited to this. Moreover, each part which comprises the color filter manufacturing apparatus of this invention can be substituted with the thing of the arbitrary structures which can exhibit the same function.
For example, the image acquisition means is not limited to a camera, and a linear sensor (linear image sensor) may be used, and an electronic image of a dot row may be acquired by scanning the dot row with a linear sensor. .
Moreover, arbitrary components may be added to the color filter manufacturing apparatus of the present invention.

また、上記［１］のステップ（洗浄液置換ステップ）の前に、［２］のステップ（吐出ステップ）と同様にして、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドからカラーフィルター用インクを被検査物に吐出しドット列を形成し、その後、カラーフィルター用インクによるドット列が形成された被検査物について、上記［３］〜［６］に対応する各ステップ、さらには、上記［７］〜［９］に対応する各ステップを行ってもよい。また、カラーフィルター用インクによるドット列が形成された被検査物について、上記［１０］、［１１］に対応するステップを行ってもよい。これにより、洗浄液の組成、洗浄液の流量、温度等の洗浄液による洗浄条件（例えば、洗浄液置換ステップでの洗浄条件）をより適切に決定することができる。 Further, before the step [1] (cleaning liquid replacement step), the color filter ink is applied to the object to be inspected from the droplet discharge head of the droplet discharge device in the same manner as the step (discharge step) of [2]. Steps corresponding to the above [3] to [6] and further to the above [7] to [9] for the inspected object in which the dot row is formed and then the dot row is formed with the color filter ink. Each step corresponding to the above may be performed. Further, the steps corresponding to the above [10] and [11] may be performed on the inspected object on which the dot row is formed by the color filter ink. Thereby, the cleaning conditions (for example, the cleaning conditions in the cleaning liquid replacement step) with the cleaning liquid such as the composition of the cleaning liquid, the flow rate of the cleaning liquid, and the temperature can be determined more appropriately.

前述した実施形態では、カラーフィルター製造装置が、液滴吐出装置とドットずれ検出装置とを備えるものであり、液滴吐出装置がインク流路と液滴吐出ヘッドと洗浄液貯留槽とを備え、ドットずれ検出装置が画像取得手段とドット座標取得手段と第１の基準直線決定手段とＹ軸方向ずれ量取得手段とを備えるものとして説明したが、本発明のカラーフィルター製造装置は、インク流路、液滴吐出ヘッド、洗浄液貯留槽、画像取得手段、ドット座標取得手段、第１の基準直線決定手段、および、Ｙ軸方向ずれ量取得手段を有するものであればよく、これらの構成が、上述したような液滴吐出装置・ドットずれ検出装置に設けられた構成でなくてもよい。 In the above-described embodiment, the color filter manufacturing apparatus includes a droplet discharge device and a dot deviation detection device, and the droplet discharge device includes an ink flow path, a droplet discharge head, and a cleaning liquid storage tank. Although the shift detection device has been described as including image acquisition means, dot coordinate acquisition means, first reference straight line determination means, and Y-axis direction shift amount acquisition means, the color filter manufacturing apparatus of the present invention includes an ink flow path, It is sufficient if it has a droplet discharge head, a cleaning liquid storage tank, an image acquisition unit, a dot coordinate acquisition unit, a first reference straight line determination unit, and a Y-axis direction deviation amount acquisition unit. Such a droplet discharge device / dot deviation detection device may not be provided.

１００…液滴吐出装置１０１…タンク１０２…吐出走査部１０３…液滴吐出手段１０４…第１位置制御装置１０５…キャリッジ１０６…ステージ１０８…第２位置制御装置１１０…チューブ１１２…制御手段１１４…液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１６…ノズル列１１８…ノズル１２０…キャビティ１２２…隔壁１２４…振動子１２４Ａ、１２４Ｂ…電極１２４Ｃ…ピエゾ素子１２６…振動板１２７…吐出部１２８…ノズルプレート１２９…液たまり１３０…供給口１３１…孔１３２…インク貯留槽１３３…洗浄液貯留槽１３４…搬送路２００…ドットずれ検出装置２０２…検査テーブル２０２ａ…保持面２０３…カメラ２３０…撮影写野２０４…移動手段２０５…支持板２０６…Ｚ軸方向移動手段２０７…Ｘ軸方向移動手段２０８…Ｙ軸方向移動手段２１０…制御手段２１０１…ＣＰＵ２１０２…記憶部２２０…被検査物２２１…ドット２２１１…中心２２２…ドット列２２３…画像処理手段２２３１…記憶部２２４…ディスプレイ２２５…外部記憶装置２２６…第１の基準直線２２７…点２２８…点群２２９…第２の基準直線２…カラーフィルター用インク４…洗浄液１１…基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Droplet discharge apparatus 101 ... Tank 102 ... Discharge scanning part 103 ... Droplet discharge means 104 ... 1st position control apparatus 105 ... Carriage 106 ... Stage 108 ... 2nd position control apparatus 110 ... Tube 112 ... Control means 114 ... Liquid Droplet discharge head (inkjet head) 116 ... Nozzle array 118 ... Nozzle 120 ... Cavity 122 ... Bulkhead 124 ... Vibrator 124A, 124B ... Electrode 124C ... Piezo element 126 ... Vibration plate 127 ... Discharge part 128 ... Nozzle plate 129 ... Liquid pool 130 DESCRIPTION OF SYMBOLS Supply port 131 ... Hole 132 ... Ink storage tank 133 ... Cleaning liquid storage tank 134 ... Conveyance path 200 ... Dot shift detection apparatus 202 ... Inspection table 202a ... Holding surface 203 ... Camera 230 ... Shooting field 204 ... Moving means 205 ... Support plate 20 ... Z-axis direction moving means 207 ... X-axis direction moving means 208 ... Y-axis direction moving means 210 ... Control means 2101 ... CPU 2102 ... Storage section 220 ... Inspection object 221 ... Dot 2211 ... Center 222 ... Dot row 223 ... Image processing Means 2231 ... Storage unit 224 ... Display 225 ... External storage device 226 ... First reference straight line 227 ... Point 228 ... Point group 229 ... Second reference straight line 2 ... Color filter ink 4 ... Cleaning liquid 11 ... Substrate

Claims

カラーフィルター用インクの吐出に用いられる液滴吐出装置の洗浄方法であって、
前記液滴吐出装置の流路内の前記カラーフィルター用インクを洗浄液で置換する洗浄液置換ステップと、
置換された前記洗浄液を被検査物上にドット列状に吐出する吐出ステップと、
前記被検査物上に形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得ステップと、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得ステップと、
前記各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定ステップと、
前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得ステップとを備えることを特徴とする洗浄方法。 A method of cleaning a droplet discharge device used for discharging color filter ink,
A cleaning liquid replacement step of replacing the color filter ink in the flow path of the droplet discharge device with a cleaning liquid;
A discharge step of discharging the substituted cleaning liquid onto the object to be inspected in a dot row; and
An image acquisition step of acquiring an electronic image of a dot row formed on the inspection object;
By processing the electronic image, the X and Y coordinates of the center of each dot when the direction substantially parallel to the dot row is the X-axis direction and the direction orthogonal to the X-axis direction is the Y-axis direction A dot coordinate acquisition step for acquiring
A first reference line determination step for determining a first reference line by a least square method based on the X coordinate and Y coordinate of the center of each dot;
A Y-axis direction deviation amount obtaining step for obtaining information on a positional deviation amount of each dot in the Y-axis direction by obtaining a distance between the first reference straight line and the center of each dot. A characteristic cleaning method.

二次元直交座標上に、前記各ドットの中心のＸ座標を前記二次元直交座標の一方の座標軸方向の座標値とし、他方の座標軸方向の座標値を等間隔とした点群を想定する点群想定ステップと、
前記点群に対して最小二乗法により第２の基準直線を決定する第２の基準直線決定ステップと、
前記点群の各点と前記第２の基準直線との間の、前記一方の座標軸方向の距離を求めることにより、前記Ｘ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＸ軸方向ずれ量取得ステップとをさらに備える請求項１に記載の洗浄方法。 A point group that assumes a point group on the two-dimensional orthogonal coordinates where the X coordinate of the center of each dot is a coordinate value in one coordinate axis direction of the two-dimensional orthogonal coordinate and the coordinate values in the other coordinate axis direction are equally spaced Assumed steps;
A second reference line determination step for determining a second reference line for the point group by a least square method;
X-axis for obtaining information on the positional deviation amount of each dot in the X-axis direction by obtaining the distance in the one coordinate axis direction between each point of the point group and the second reference straight line The cleaning method according to claim 1, further comprising a direction deviation amount acquisition step.

前記Ｘ軸方向ずれ量取得ステップで得られた、前記Ｘ軸方向への位置ずれ量が所定値を超える場合に、さらに、前記吐出ステップないし前記Ｘ軸方向ずれ量取得ステップを繰り返し行う請求項２に記載の洗浄方法。 3. The discharge step or the X-axis direction deviation amount acquisition step is further repeated when the positional deviation amount in the X-axis direction obtained in the X-axis direction deviation amount acquisition step exceeds a predetermined value. The cleaning method according to 1.

前記Ｙ軸方向ずれ量取得ステップで得られた、前記Ｙ軸方向への位置ずれ量が所定値を超える場合に、さらに、前記吐出ステップないし前記Ｙ軸方向ずれ量取得ステップを繰り返し行う請求項１ないし３のいずれかに記載の洗浄方法。 2. The discharge step or the Y-axis direction deviation amount acquiring step is repeatedly performed when the positional deviation amount in the Y-axis direction obtained in the Y-axis direction deviation amount acquiring step exceeds a predetermined value. 4. The cleaning method according to any one of 3 to 3.

前記洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有するものである請求項１ないし４のいずれかに記載の洗浄方法。

The cleaning method according to any one of claims 1 to 4, wherein the cleaning liquid contains a compound A represented by the following formula (1).

前記洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有するものである請求項１ないし５のいずれかに記載の洗浄方法。

The cleaning method according to any one of claims 1 to 5, wherein the cleaning liquid contains a compound B represented by the following formula (2).

前記洗浄液は、前記化合物Ｂに加え、前記カラーフィルター用インクを構成する溶媒成分をさらに含有するものである請求項６に記載の洗浄方法。 The cleaning method according to claim 6, wherein the cleaning liquid further contains a solvent component constituting the color filter ink in addition to the compound B.

前記画像取得ステップにおいては、前記被検査物とカメラとの相対位置を前記ドット列に沿って変えながら複数の電子画像を撮影し、
前記ドット座標取得ステップにおいては、前記複数の電子画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合する請求項１ないし７のいずれかに記載の洗浄方法。 In the image acquisition step, taking a plurality of electronic images while changing the relative position of the inspection object and the camera along the dot row,
The cleaning method according to any one of claims 1 to 7, wherein in the dot coordinate acquisition step, the coordinates of all the captured dots are integrated into one coordinate system by integrating the coordinate systems of the plurality of electronic images.

前記画像取得ステップにおいては、前記複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドットが少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、
前記ドット座標取得ステップにおいては、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドットの座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、前記複数の電子画像の座標系を統合する請求項８に記載の洗浄方法。 In the image acquisition step, when shooting the plurality of electronic images, shooting is performed so that at least one identical dot is included in two adjacent images,
In the dot coordinate acquisition step, the coordinate system of the plurality of electronic images is obtained by integrating the coordinate systems of both images so that the coordinates of the dots commonly included in two adjacent images are the same. The cleaning method according to claim 8 to be integrated.

前記ドット座標取得ステップにおいては、電子画像を撮影した光学系の収差に基づく歪を補正する処理を施す請求項１ないし９のいずれかに記載の洗浄方法。 The cleaning method according to claim 1, wherein in the dot coordinate acquisition step, a process for correcting distortion based on aberration of an optical system that has taken an electronic image is performed.

カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター製造装置であって、
カラーフィルター用インクが流通するインク流路と、
前記カラーフィルター用インクの液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク流路に供給される洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記液滴吐出ヘッドから前記洗浄液を被検査物上に吐出することにより形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得手段と、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列に略平行な方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としたときの各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標を取得するドット座標取得手段と、
前記各ドットの中心のＸ座標およびＹ座標に基づいて最小二乗法により第１の基準直線を決定する第１の基準直線決定手段と、
前記第１の基準直線と前記各ドットの中心との距離を求めることにより、前記Ｙ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＹ軸方向ずれ量取得手段とを備えることを特徴とするカラーフィルター製造装置。 A color filter manufacturing apparatus used for manufacturing a color filter,
An ink channel through which color filter ink flows;
A droplet discharge head for discharging droplets of the color filter ink;
A cleaning liquid storage tank for storing the cleaning liquid supplied to the ink flow path;
An image acquisition means for acquiring an electronic image of a dot row formed by discharging the cleaning liquid onto the inspection object from the droplet discharge head;
By processing the electronic image, the X and Y coordinates of the center of each dot when the direction substantially parallel to the dot row is the X-axis direction and the direction orthogonal to the X-axis direction is the Y-axis direction Dot coordinate acquisition means for acquiring
First reference line determining means for determining a first reference line by a least square method based on the X coordinate and Y coordinate of the center of each dot;
Y-axis direction deviation amount obtaining means for obtaining information on the positional deviation amount of each dot in the Y-axis direction by obtaining a distance between the first reference line and the center of each dot. Characteristic color filter manufacturing equipment.

二次元直交座標上に、前記各ドットの中心のＸ座標を前記二次元直交座標の一方の座標軸方向の座標値とし、他方の座標軸方向の座標値を等間隔とした点群を想定する点群想定手段と、
前記点群に対して最小二乗法により第２の基準直線を決定する第２の基準直線決定手段と、
前記点群の各点と前記第２の基準直線との間の、前記一方の座標軸方向の距離を求めることにより、前記Ｘ軸方向への前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得するＸ軸方向ずれ量取得手段とをさらに備える請求項１１に記載のカラーフィルター製造装置。 A point group that assumes a point group on the two-dimensional orthogonal coordinates where the X coordinate of the center of each dot is a coordinate value in one coordinate axis direction of the two-dimensional orthogonal coordinate and the coordinate values in the other coordinate axis direction are equally spaced Assumed means,
A second reference line determining means for determining a second reference line by a least square method for the point group;
X-axis for obtaining information on the positional deviation amount of each dot in the X-axis direction by obtaining the distance in the one coordinate axis direction between each point of the point group and the second reference straight line The color filter manufacturing apparatus according to claim 11, further comprising a direction deviation amount acquisition unit.

前記画像取得手段は、前記被検査物とカメラとの相対位置を前記ドット列に沿って変えながら複数の電子画像を撮影し、
前記ドット座標取得手段は、前記複数の電子画像の座標系を統合することにより、撮影した全ドットの座標を一つの座標系に統合する請求項１１または１２に記載のカラーフィルター製造装置。 The image acquisition means captures a plurality of electronic images while changing the relative position between the inspection object and the camera along the dot row,
The color filter manufacturing apparatus according to claim 11 or 12, wherein the dot coordinate acquisition unit integrates the coordinates of all captured dots into one coordinate system by integrating the coordinate systems of the plurality of electronic images.

前記画像取得手段は、前記複数の電子画像を撮影する際、相隣接する二つの画像中に同一のドットが少なくとも一つ含まれるように撮影を行い、
前記ドット座標取得手段は、相隣接する二つの画像中に共通に含まれるドットの座標が同じになるようにして両画像の座標系を統合することにより、前記複数の電子画像の座標系を統合する請求項１３に記載のカラーフィルター製造装置。 The image acquisition means, when shooting the plurality of electronic images, performs shooting so that at least one identical dot is included in two adjacent images,
The dot coordinate acquisition unit integrates the coordinate systems of the plurality of electronic images by integrating the coordinate systems of both images so that the coordinates of the dots commonly included in two adjacent images are the same. The color filter manufacturing apparatus according to claim 13.

前記ドット座標取得手段は、電子画像を撮影した光学系の収差に基づく歪を補正する処理を施す請求項１１ないし１４のいずれかに記載のカラーフィルター製造装置。 The color filter manufacturing apparatus according to claim 11, wherein the dot coordinate acquisition unit performs a process of correcting distortion based on aberration of an optical system that has captured an electronic image.