JP2012093153A - 2軸検出用角速度センサ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の2軸検出用角速度センサ素子は、Y軸検出振動体27、31、47、51によりY軸方向の角速度を検出するとともに、Z軸検出振動体34、39、54、59によりZ軸方向の角速度を検出するようにしたため、Y軸周り及びZ軸周りの2軸方向の角速度を検出することが出来るという効果を有する。
【選択図】図1
Description
27、31、47、51 Y軸検出振動体
28 Y軸検出圧電電極
32 捩れ延出部
33、38、52、58 駆動振動体
33a 駆動圧電電極
34、39、54、59 Z軸検出振動体
36、40、56、60 重り部
37 又部
Claims (3)
- 固定部と、この固定部に一端が接続されるとともに上面に少なくとも1つのY軸検出圧電電極を設けたY軸検出振動体と、このY軸検出振動体の他端と一端を接続された捩れ延出部と、一端を前記捩れ延出部と接続されるとともに、捩れ延出部から垂直な方向に延出されかつ上面に少なくとも1つの駆動圧電電極を設けた駆動振動体と、一端を駆動振動体の他端に接続されるとともに駆動振動体の延出方向と垂直な方向に延出され、さらに上面に少なくとも1つのZ軸検出圧電電極を設けたZ軸検出振動体と、このZ軸検出振動体の他端と接続された重り部とを備え、前記Y軸検出振動体によりY軸方向の角速度を検出するとともに、Z軸検出振動体によりZ軸方向の角速度を検出するように構成した2軸検出用角速度センサ素子。
- Z軸検出振動体をL字形状とした請求項1記載の2軸検出用角速度センサ素子。
- 重り部に一対の又部を設けるとともに、この一対の又部の各々をZ軸検出振動体の両側に配設するようにした請求項1記載の2軸検出用角速度センサ素子。
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