JP2012069691A - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
半導体装置とその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012069691A JP2012069691A JP2010212558A JP2010212558A JP2012069691A JP 2012069691 A JP2012069691 A JP 2012069691A JP 2010212558 A JP2010212558 A JP 2010212558A JP 2010212558 A JP2010212558 A JP 2010212558A JP 2012069691 A JP2012069691 A JP 2012069691A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal layer
- semiconductor device
- electrode pad
- copper
- wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/05599—Material
- H01L2224/056—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/05638—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/05644—Gold [Au] as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45147—Copper (Cu) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/485—Material
- H01L2224/48505—Material at the bonding interface
- H01L2224/48799—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Copper (Cu)
- H01L2224/488—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Copper (Cu) with a principal constituent of the bonding area being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/48838—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Copper (Cu) with a principal constituent of the bonding area being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/48844—Gold (Au) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01006—Carbon [C]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01028—Nickel [Ni]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01029—Copper [Cu]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01079—Gold [Au]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【課題】銅のワイヤを用いたボンディングに関し、効率の良い製造が可能な半導体装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】基材2上に形成されている銅の電極パッド3と、前記電極パッド3を覆うように設けられている金の金属層4と、前記金属層4上にボンディングされている銅のワイヤ5とを有することを特徴としている。
【選択図】図1
【解決手段】基材2上に形成されている銅の電極パッド3と、前記電極パッド3を覆うように設けられている金の金属層4と、前記金属層4上にボンディングされている銅のワイヤ5とを有することを特徴としている。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、ワイヤボンディングにより接続をおこなう半導体装置とその製造方法に関する。
近年、各種の電子機器において、高機能、低コスト化が進められており、これに伴って半導体装置の電極と配線基板上の配線との接続を金に替わり、銅のワイヤを用いてワイヤボンディングによりおこなうようになってきている。
例えば、図3に示すように、従来の半導体装置101は、基板102上に設けられている銅配線103を覆うように、Niめっき層104、Pdめっき層105、Auめっき層106の順にめっき層を積層して形成している。そして、Auめっき層106上へと銅のワイヤ107をワイヤボンディングし、図示しないプリント配線基板上の配線との電気的な接続をおこなっている。
しかし、従来の半導体装置101では、銅配線103上に複数のめっき層を設けているため、複雑である上に、製造する際に時間がかかってしまうことから、製造効率があまり良くないと考えられる。
そこで本発明では、効率の良い製造が可能な半導体装置とその製造方法の提供を目的とする。
上記目的を達成するために、実施形態の半導体装置は、基材上に形成されている銅の電極パッドと、電極パッドを覆うように設けられている金の金属層と、金属層上にボンディングされている銅のワイヤとを有することを特徴としている。
また、実施形態の半導体装置の製造方法は、基材上に銅の電極パッドを設ける工程と、電極パッド上に金の金属層を設ける工程と、金属層上に銅のワイヤを用いてボンディングする工程とを有することを特徴としている。
以下、本発明の実施形態に係る効率の良い製造が可能な半導体装置とその製造方法を、図面を参照して詳細に説明する。
まず、本発明の実施形態に係る半導体装置について、図1、図2を参照して説明する。図1に示すように、本実施形態における半導体装置1は、不図示の電子回路が形成されている半導体基板2(以下、基材2とする)、基材2上に設けられている電極パッド3と、電極パッド3を覆うように金(Au)の金属層4が設けられている。そして、金属層4上へと銅(Cu)のワイヤ5をボンディングし、図示しないプリント配線基板上の配線と接続して形成されている。なお、本実施形態ではプリント配線基板上の配線と接続しているが、これに限られることはなく、例えば半導体素子と接続していてもよい。
電極パッド3は、基材2の電子回路と電気的に接続可能に設けられており、銅(Cu)により形成されている。また、電極パッド3は例えば電解めっきにより形成されており、5.5μmの厚みに形成されている。なお、電極パッド3の厚みはこれに限られることはなく、基材2と図示しないプリント配線基板上の配線との接続が可能であればどのような厚みであってもよい。また、本実施形態では電極パッドを電解めっきにより形成しているが、これに限られるものではなく、例えば無電解めっきやスパッタ等により形成してもよい。
そして、電極パッド3を覆っている金(Au)の金属層4は、例えば電解めっきにより形成されている。なお、本実施形態では電解めっきにより金属層4を設けているが、これに限られるものではなく、例えば無電解めっき、スパッタ、蒸着等でおこなってもよい。
また、金属層4の厚みは約0.5〜5μm、望ましくは約1〜2μmの厚さに形成されている。このような厚みにする理由としては、金属層4を形成している金(Au)が拡散し、電極パッド3を形成している銅(Cu)と合金層を形成してしまうことから、これ以上薄い金属層4にしてしまうと、金属層4が合金層となり、銅(Cu)のワイヤ5が接続し難くなるためである。
また、この他にも理由がある。電極パッド3の銅(Cu)と、金属層4の金(Au)、そしてワイヤ5の銅(Cu)が積層して一定時間経過すると、金(Au)と銅(Cu)の合金層が形成されるのだが、その際に第1、第2界面S1,S2近傍でカーケンダルボイドが発生してしまい、接続不良になる可能性が高くなり、信頼性が低下してしまうことが考えられる。そして、このカーケンダルボイドは金属層4の金(Au)が厚くなるほど合金を形成する量が増加するため、ボイドの発生が増加することが懸念される。
そのため、金(Au)が拡散し、銅(Cu)との合金層を形成しても、ワイヤ5を接続する際に、ワイヤ5と接続する第2界面S2が合金層とならない厚みであり、またボイドの発生が少なくなるような厚みである約0.5〜5μm、望ましくは約1〜2μmの厚さに形成している。
次に、本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法について図2を用いて説明する。まず、図2(a)に示すように、基材2上に電極パッド3を銅(Cu)の電解めっきにより5.5μmの厚さになるまで形成させる。
そして、図2(b)に示すように、電極パッド3を覆うように、金(Au)の金属層4を電解めっきにより約1〜2μmの厚さになるまで形成させる。なお、電解めっきを行う際に、電極パッド3を形成している銅(Cu)がめっき液内に溶出する可能性があるため、例えば置換めっき抑制剤等を用いて、銅(Cu)の溶出を防ぐようにすることで、より純度の高い金(Au)めっきを繰り返し行うことが可能となる。
次に、図2(c)に示すように、金(Au)の金属層4上に銅(Cu)のワイヤ5を用いてボンディングをおこなう。
以上、本実施形態によれば、基材2上に銅(Cu)の電極パッド3を設け、その上に金(Au)の金属層4を覆うように形成し、金属層4上に銅(Cu)のワイヤ5によりボンディングを行って半導体装置1が形成されている。このように、電極パッド3上に設ける金属層4を1層とすることで、製造工程が簡略化でき、製造時間を短縮することが出来るため、より効率の良い製造が可能となる。
更に、金(Au)の金属層4を約0.5〜5μm、望ましくは約1〜2μmの厚みに形成することにより、ワイヤ5と接続する第2界面S2が合金層とならず、またワイヤボンディング後に金(Au)の金属層4が銅(Cu)のワイヤ5および銅(Cu)の電極パッド3へと拡散し、金(Au)の金属層4がすべて合金層となってもボイドの発生が少なくなり、信頼性の高い半導体装置1を製造することが可能となる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他のさまざまな形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1,101…半導体装置
2…基材(半導体基板)
3…電極パッド
4…金属層
5,107…ワイヤ
102…基板
103…銅配線
104…Niめっき層
105…Pdめっき層
106…Auめっき層
S1…第1界面
S2…第2界面
2…基材(半導体基板)
3…電極パッド
4…金属層
5,107…ワイヤ
102…基板
103…銅配線
104…Niめっき層
105…Pdめっき層
106…Auめっき層
S1…第1界面
S2…第2界面
Claims (4)
- 基材上に形成されている銅の電極パッドと、
前記電極パッドを覆うように設けられている金の金属層と、
前記金属層上にボンディングされている銅のワイヤと、
を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記金属層は約0.5〜5μmであることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 基材上に銅の電極パッドを設ける工程と、
前記電極パッド上に金の金属層を設ける工程と、
前記金属層上に銅のワイヤを用いてボンディングする工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記金属層は約0.5〜5μmであることを特徴とする請求項3記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010212558A JP2012069691A (ja) | 2010-09-22 | 2010-09-22 | 半導体装置とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010212558A JP2012069691A (ja) | 2010-09-22 | 2010-09-22 | 半導体装置とその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012069691A true JP2012069691A (ja) | 2012-04-05 |
Family
ID=46166609
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010212558A Pending JP2012069691A (ja) | 2010-09-22 | 2010-09-22 | 半導体装置とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012069691A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2016185675A1 (ja) * | 2015-05-15 | 2018-02-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | インタポーザ |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6129139A (ja) * | 1984-07-20 | 1986-02-10 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JPS62145758A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-29 | ナシヨナル・セミコンダクタ−・コ−ポレ−シヨン | パラジウムを用いる銅製ボンデイングパツドの酸化防止法 |
JPS63249347A (ja) * | 1987-04-04 | 1988-10-17 | Minolta Camera Co Ltd | Icチツプ搭載型フレキシブル・プリント基板 |
JP2001168483A (ja) * | 1999-12-10 | 2001-06-22 | Kyocera Corp | 配線基板 |
JP2001267357A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-09-28 | Texas Instr Inc <Ti> | 銅メタライズされた集積回路のボンドパッドの構造及びその製造方法 |
JP2009059962A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 半導体パッケージ |
-
2010
- 2010-09-22 JP JP2010212558A patent/JP2012069691A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6129139A (ja) * | 1984-07-20 | 1986-02-10 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JPS62145758A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-29 | ナシヨナル・セミコンダクタ−・コ−ポレ−シヨン | パラジウムを用いる銅製ボンデイングパツドの酸化防止法 |
JPS63249347A (ja) * | 1987-04-04 | 1988-10-17 | Minolta Camera Co Ltd | Icチツプ搭載型フレキシブル・プリント基板 |
JP2001168483A (ja) * | 1999-12-10 | 2001-06-22 | Kyocera Corp | 配線基板 |
JP2001267357A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-09-28 | Texas Instr Inc <Ti> | 銅メタライズされた集積回路のボンドパッドの構造及びその製造方法 |
JP2009059962A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 半導体パッケージ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2016185675A1 (ja) * | 2015-05-15 | 2018-02-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | インタポーザ |
US10062820B2 (en) | 2015-05-15 | 2018-08-28 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Interposer |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4121542B1 (ja) | 電子装置の製造方法 | |
JP2011114226A (ja) | 配線回路構造体およびそれを用いた半導体装置の製造方法 | |
US20120186852A1 (en) | Structure of electrolessly palladium and gold plated films and process for making the same, assembled structure of palladium and gold plated films bonded with copper or copper-palladium wire and assembling process therefore | |
US20080054418A1 (en) | Chip carrier with signal collection tape and fabrication method thereof | |
JP2014056880A (ja) | モジュール部品及びその製造方法 | |
JP2010062517A (ja) | ニッケル−金メッキ方法及び印刷回路基板 | |
US9112063B2 (en) | Fabrication method of semiconductor package | |
TW201505492A (zh) | 印刷電路板及其製造方法 | |
JP4759041B2 (ja) | 電子部品内蔵型多層基板 | |
JP2008311593A (ja) | 電子装置 | |
JP2012069691A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JP2018204066A (ja) | 電極形成方法及び半導体素子電極構造 | |
JP2007220873A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2017069493A (ja) | 配線基板及び配線基板の製造方法 | |
JP2011193007A (ja) | 半導体チップおよびこれを用いた半導体装置 | |
JP2020047794A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2019062062A (ja) | 配線基板、電子装置、及び、配線基板の製造方法 | |
JP6110084B2 (ja) | プリント配線板およびその製造方法 | |
US20140331493A1 (en) | Method of fabricating a package substrate | |
JP2017108034A (ja) | 配線板及びその製造方法 | |
US20130233602A1 (en) | Surface treatment structure of circuit pattern | |
JP2015153822A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009295958A (ja) | 半導体装置 | |
JP2015109334A (ja) | 半導体装置 | |
JP2004186453A (ja) | 多層配線基板の製造方法及び多層配線基板、素子実装基板の製造方法及び素子実装基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130620 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140117 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140523 |