JP2012063219A - 圧力センサ、及び、その製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1ハウジングと第2ハウジングとが組み合わされて成る圧力センサであって、第2ハウジングは筒状を成し、その中空がメタルダイアフラムによって区切られており、第1ハウジングは柱状を成し、メタルダイアフラム側の端部に、センサ素子が設けられた第1の溝と、環状のシール部材が設けられた第2の溝とが形成され、第1の溝及びメタルダイアフラムによって構成された圧力検出室が圧力媒体によって満たされ、第2ハウジングのかしめられた部位によって、第1ハウジングがメタルダイアフラム側に押し付けられている。第2ハウジングにおける第1ハウジングの側面との対向部位に、第1ハウジングの側面と第2ハウジングの対向部位との間の隙間と外部とを連通する貫通孔が形成され、隙間が樹脂によって満たされている。
【選択図】図2
Description
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係る圧力センサの概略構成を示す正面図である。図2は、図1のII−II線に沿う断面図である。図3は、第3の溝を説明するための正面図である。以下においては、第1ハウジング10とメタルダイアフラム60とが並ぶ方向において、第1ハウジング10の中心を通る線を、中心線と示す。本実施形態では、第2ハウジング50の中心も、この中心線上に位置している。この中心線は、特許請求の範囲に記載の第第1ハウジング及び第2ハウジングそれぞれの中心軸と一致している。
17・・・第3の溝
20・・・センサ素子
30・・・ターミナル
50・・・第2ハウジング
56・・・貫通孔
57・・・樹脂
100・・・圧力センサ
Claims (10)
- センサ素子とターミナルとが固定された第1ハウジングと、メタルダイアフラムを有する第2ハウジングとが組み合わされて成る圧力センサであって、
前記第2ハウジングは筒状を成し、その中空が、前記メタルダイアフラムによって、前記第1ハウジングを収容する収容空間と、被検出対象である圧力流体を導入する導入空間とに区切られており、
前記第1ハウジングは柱状を成し、前記メタルダイアフラム側の端部に、前記センサ素子と前記ターミナルの一部とが設けられた第1の溝と、環状のシール部材が設けられた第2の溝とが形成され、前記第1の溝の全周囲が、前記第2の溝によって囲まれており、
前記第1の溝及び前記メタルダイアフラムによって圧力検出室が構成され、
前記圧力検出室は、前記メタルダイアフラムに作用する前記圧力流体の圧力を前記センサ素子に伝達する圧力媒体で満たされており、
前記第2ハウジングにおける前記収容空間側の端部は、前記第1ハウジングに対してかしめられており、該かしめられた部位によって、前記第1ハウジングが前記シール部材を介して前記第2ハウジングにおける前記メタルダイアフラムの固定部位に押し付けられており、
前記第2ハウジングにおける前記収容空間を区画する部位であって、前記第1ハウジングの側面と対向する対向部位に、前記収容空間と外部とを連通する貫通孔が少なくとも1つ形成され、
前記収容空間の一部であって、前記シール部材によって前記圧力検出室と区切られた、前記第1ハウジングの側面と前記第2ハウジングの対向部位との間の隙間には、前記貫通孔を介して注入された樹脂が満たされていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記貫通孔は前記第2ハウジングに複数形成されており、
複数の前記貫通孔の少なくとも1つは、前記隙間に樹脂を注入するための貫通孔であり、
複数の前記貫通孔の他の少なくとも1つは、前記隙間から気体を抜くための貫通孔であることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 複数の前記貫通孔は、前記第2ハウジングの中心軸の周方向に沿って、等間隔に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記第1ハウジングの側面には、前記第1ハウジングの中心軸を囲む環状の第3の溝が形成されており、
前記第3の溝と前記貫通孔とが連通していることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載の圧力センサ。 - 前記第1ハウジングは、前記第2ハウジングの中空に設けられる第1柱部と、前記第1柱部における、前記メタルダイアフラムから離れた端部に連結され、前記第2ハウジングから露出した第2柱部と、を有し、
前記第1柱部の径は、前記第2柱部の径よりも長くなっており、
前記第2ハウジングにおける第1ハウジング側の端部が、前記第1柱部における前記メタルダイアフラムから離れた端部側に折れ曲がるようにかしめられていることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載の圧力センサ。 - 請求項1〜5いずれか1項に記載の圧力センサの製造方法であって、
前記第1ハウジングと前記第2ハウジングとを組み付ける組み付け工程と、
該組み付け工程後、前記貫通孔を介して、前記第1ハウジングの側面と前記第2ハウジングの対向部位との間の隙間に樹脂を注入することで、前記隙間を前記樹脂によって充填する注入工程と、を有することを特徴とする圧力センサの製造方法。 - 前記組み付け工程は、前記第1ハウジングを前記第2ハウジングの中空に挿入する挿入工程と、該挿入工程後、前記第2ハウジングにおける前記第1ハウジング側の端部をかしめるかしめ工程と、を有することを特徴とする請求項6に記載の圧力センサの製造方法。
- 前記注入工程後、固定された前記第1ハウジングと前記第2ハウジングとを真空室に入れることで、前記樹脂に混入したガスを抜くガス抜き工程を有することを特徴とする請求項7に記載の圧力センサの製造方法。
- 前記組み付け工程は、前記第1ハウジングを前記第2ハウジングの中空に挿入する挿入工程であることを特徴とする請求項6に記載の圧力センサの製造方法。
- 前記注入工程後、前記第2ハウジングにおける前記第1ハウジング側の端部をかしめるかしめ工程を実施し、
前記かしめ工程後、固定された前記第1ハウジングと前記第2ハウジングとを真空室に入れることで、前記樹脂に混入したガスを抜くガス抜き工程を有することを特徴とする請求項9に記載の圧力センサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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