JP2012060419A5 - - Google Patents

Description

第１の形態の弾性表面波デバイスは、オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，ψ）の水晶基板と、
前記水晶基板上に設けられ、複数の電極指を備え、ストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴと、
平面視で、前記電極指の間に位置する前記水晶基板の部分にある電極指間溝と、を有し、
前記弾性表面波の波長λと前記電極指間溝の深さＧとが、０．０１λ≦Ｇの関係を満足し、
前記ＩＤＴのライン占有率ηと前記電極指間溝の深さＧとが、

及び、

の関係を満足し、
前記オイラー角ψが、｜ψ｜≠９０°×ｎ、（ｎ＝０，１，２，３）を満足し、
前記電極指の膜厚Ｈが、０．０５μｍ≦Ｈ≦０．２０μｍの範囲内にあることを特徴とする弾性表面波デバイス。
第２の形態の弾性表面波デバイスは、オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，４２．７９°≦｜ψ｜≦４９．５７°）の水晶基板と、
前記水晶基板上に設けられ、複数の電極指を備え、ストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴと、
平面視で、前記電極指の間に位置する前記水晶基板の部分にある電極指間溝と、を有し、
前記弾性表面波の波長λと前記電極指間溝の深さＧとが、０．０１λ≦Ｇの関係を満足し、
前記ＩＤＴのライン占有率ηと前記電極指間溝の深さＧとが、

及び、

の関係を満足し、
前記電極指の膜厚Ｈが、０．０５５μｍ≦Ｈ≦０．３３５μｍの範囲内にあることを特徴とする弾性表面波デバイス。
第３の形態の弾性表面波デバイスは、前記電極指の膜厚Ｈが、０．０８０μｍ≦Ｈ≦０．３３５μｍの範囲内にあることを特徴とする第２の形態に記載の弾性表面波デバイス。
第４の形態の弾性表面波デバイスは、前記ＩＤＴのライン占有率ηが、

を満足することを特徴とする第２の形態または第３の形態に記載の弾性表面波デバイス。
第５の形態の弾性表面波デバイスは、前記電極指間溝の深さＧと前記電極指の膜厚Ｈとの和が、０．０４０７λ≦Ｇ＋Ｈを満足することを特徴とする第２の形態乃至第４の形態のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイス。
第６の形態の弾性表面波デバイスは、前記弾性表面波の伝搬方向に沿って前記ＩＤＴを挟むように配置され、それぞれ複数の導体ストリップを備えている一対の反射器と、
平面視で、前記導体ストリップの間に位置する前記水晶基板の部分にある導体ストリップ間溝と、を更に有し、
前記電極指及び前記導体ストリップに直交する第１の方向と前記水晶基板の電気軸とのなす角度が前記オイラー角ψであり、
前記ＩＤＴ及び反射器の少なくとも一部が、前記第１の方向と角度δをもって交差する第２の方向に配置され、
前記角度δが、前記水晶基板のパワーフロー角±１°の範囲内であることを特徴とする第２の形態乃至第５の形態のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイス。
第７の形態の弾性表面波デバイスは、前記ＩＤＴを駆動するための発振回路を更に有することを特徴とする第１の形態乃至第６の形態のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイス。
第８の形態は、第１の形態乃至第７の形態のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイスを備えることを特徴とする電子機器。
第９の形態は、第１の形態乃至第７の形態のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイスを備えることを特徴とするセンサー装置。
本発明のＳＡＷデバイスは、オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，ψ）の水晶基板と、
該水晶基板の主面に設けられた複数の電極指からなり、ストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴと、
該ＩＤＴの隣り合う電極指間の水晶基板の表面に凹設した電極指間溝とを有し、
ＳＡＷの波長λと電極指間溝の深さＧとが、０．０１λ≦Ｇの関係を満足し、
ＩＤＴのライン占有率ηと電極指間溝の深さＧとが、

…（１）
及び、

…（２）
の関係を満足し、
オイラー角ψが、｜ψ｜≠９０°×ｎ、（ｎ＝０，１，２，３）を満足し、
ＩＤＴの電極指の膜厚Ｈが、０．０５μｍ≦Ｈ≦０．２０μｍの範囲内にあることを特徴とする。

Claims (9)

1. オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，ψ）の水晶基板と、
   前記水晶基板上に設けられ、複数の電極指を備え、ストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴと、
   平面視で、前記電極指の間に位置する前記水晶基板の部分にある電極指間溝と、を有し、
   前記弾性表面波の波長λと前記電極指間溝の深さＧとが、０．０１λ≦Ｇの関係を満足し、
   前記ＩＤＴのライン占有率ηと前記電極指間溝の深さＧとが、
   

   

   及び、
   

   

   の関係を満足し、
   前記オイラー角ψが、｜ψ｜≠９０°×ｎ、（ｎ＝０，１，２，３）を満足し、
   前記電極指の膜厚Ｈが、０．０５μｍ≦Ｈ≦０．２０μｍの範囲内にあることを特徴とする弾性表面波デバイス。
2. オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，４２．７９°≦｜ψ｜≦４９．５７°）の水晶基板と、
   前記水晶基板上に設けられ、複数の電極指を備え、ストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴと、
   平面視で、前記電極指の間に位置する前記水晶基板の部分にある電極指間溝と、を有し、
   前記弾性表面波の波長λと前記電極指間溝の深さＧとが、０．０１λ≦Ｇの関係を満足し、
   前記ＩＤＴのライン占有率ηと前記電極指間溝の深さＧとが、
   

   

   及び、
   

   

   の関係を満足し、
   前記電極指の膜厚Ｈが、０．０５５μｍ≦Ｈ≦０．３３５μｍの範囲内にあることを特徴とする弾性表面波デバイス。
3. 前記電極指の膜厚Ｈが、０．０８０μｍ≦Ｈ≦０．３３５μｍの範囲内にあることを特徴とする請求項２に記載の弾性表面波デバイス。
4. 前記ＩＤＴのライン占有率ηが、
   

   

   を満足することを特徴とする請求項２または３に記載の弾性表面波デバイス。
5. 前記電極指間溝の深さＧと前記電極指の膜厚Ｈとの和が、０．０４０７λ≦Ｇ＋Ｈを満足することを特徴とする請求項２乃至４のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイス。
6. 前記弾性表面波の伝搬方向に沿って前記ＩＤＴを挟むように配置され、それぞれ複数の導体ストリップを備えている一対の反射器と、
   平面視で、前記導体ストリップの間に位置する前記水晶基板の部分にある導体ストリップ間溝と、を更に有し、
   前記電極指及び前記導体ストリップに直交する第１の方向と前記水晶基板の電気軸とのなす角度が前記オイラー角ψであり、
   前記ＩＤＴ及び反射器の少なくとも一部が、前記第１の方向と角度δをもって交差する第２の方向に配置され、
   前記角度δが、前記水晶基板のパワーフロー角±１°の範囲内であることを特徴とする請求項２乃至５のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイス。
7. 前記ＩＤＴを駆動するための発振回路を更に有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイス。
8. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイスを備えることを特徴とする電子機器。
9. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイスを備えることを特徴とするセンサー装置。