JP3622202B2 - 弾性表面波装置の温度特性調整方法 - Google Patents
弾性表面波装置の温度特性調整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3622202B2 JP3622202B2 JP2002164912A JP2002164912A JP3622202B2 JP 3622202 B2 JP3622202 B2 JP 3622202B2 JP 2002164912 A JP2002164912 A JP 2002164912A JP 2002164912 A JP2002164912 A JP 2002164912A JP 3622202 B2 JP3622202 B2 JP 3622202B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave device
- temperature characteristic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
- H03H3/10—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves for obtaining desired frequency or temperature coefficient
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02551—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of quartz substrates
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、水晶を用いた圧電振動子の温度特性（温度変化に対する周波数変動特性）は、音叉振動子、弾性表面波装置などのように２次関数で表されるものや、ＡＴ振動子などのように３次関数で表されるものがある。
この圧電振動子における温度特性では、通常使用温度である２５℃を中心に使用温度範囲（−４０〜＋８５℃）で周波数の変動量幅が最小になるように振動子の温度特性を調整している。通常、温度特性が２次関数である圧電振動子では、当該圧電振動子の温度特性の頂点温度（周波数の極値を与える温度）が使用温度範囲の中心に位置するように調整すると、周波数の変動量幅が最小となる。なお従来の２次関数の温度特性をもつ振動子では頂点温度の範囲は０℃から５０℃あたりである。
【０００３】
一方、温度特性が３次関数であるＡＴカット振動子では、変曲点温度が使用温度範囲のほぼ中央に位置しているため、使用温度範囲における周波数変動幅が極めて小さい。
【０００４】
ところでＳＡＷ共振子やＳＡＷフィルタに代表される弾性表面波装置では、温度変化による周波数変化を低減させる目的から、ＳＴカット水晶板をＺ’軸まわりに面内回転させた水晶板（以下、面内回転ＳＴカット水晶板と称す）が用いられる場合がある。
そして面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置も従来のＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置と同様、その温度特性は２次関数であると従来から思われており、使用温度範囲の中心に面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の頂点温度を一致させ、温度変化に対する周波数の変動量幅を最小限に抑えるようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前述の通り面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性は、従来から２次関数であると思われていた。
しかし本願発明者が改めて検証したところ、実際は変曲点が１１０℃近辺にある３次関数であることが判明した。１１０℃を大きく超えて温度特性を測定することは通常行わないため、面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が３次関数であることがこれまで確認されなかった。したがって、この面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を調整しようとする場合、２次関数として行っていたので、使用温度範囲での周波数変動量幅を最適化したものにはなっていなかったのである。
【０００６】
そして面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が２次関数ではなく実際は３次関数であったことから、これまでの調整方法では、面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を十分に発揮することができないという問題が発生した。
【０００７】
本発明は、上記従来の問題点に着目し、面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の持つ３次関数の温度特性に適合した弾性表面波装置の温度特性調整方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が、従来２次関数と考えられ、頂点温度が使用温度範囲の中心に位置するように調整されていたが、実際は３次関数であった為、頂点温度を使用温度範囲の中心からずらすようにすれば周波数変化の量を一層低減することが可能になるという知見に基づいてなされたものである。
【０００９】
すなわち本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を、前記面内回転ＳＴカット水晶板の面内回転角を変化させて３次関数の一次係数項を調整し、変曲点まわりに回転させて温度特性を調整することとした。
また、本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を、前記面内回転ＳＴカット水晶板に形成した電極の膜厚を調整し、変曲点まわりに回転させて温度特性を調整することとした。
また、本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を、前記面内回転ＳＴカット水晶板に形成した電極のη（電極幅／電極ピッチ）を調整し、変曲点まわりに回転させて温度特性を調整することとした。
さらに、本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が極値を有するよう前記オイラー角の範囲を設定し、前記面内回転ＳＴカット水晶板の面内回転角を変化させて３次関数の一次係数項を調整して、変曲点まわりに温度特性を回転させて使用温度範囲における温度特性の変動を最小限に調整することとした。
また、本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が極値を有するよう前記オイラー角の範囲を設定し、前記面内回転ＳＴカット水晶板に形成した電極の膜厚を調整して、変曲点まわりに温度特性を回転させて使用温度範囲における温度特性の変動を最小限に調整することとした。
また、本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が極値を有するよう前記オイラー角の範囲を設定し、前記面内回転ＳＴカット水晶板に形成した電極のη（電極幅／電極ピッチ）を調整して、変曲点まわりに温度特性を回転させて使用温度範囲における温度特性の変動を最小限に調整することとした。
【００１０】
そして前記オイラー角を（０°，θ，ψ）とした場合、ψは、
ψ＝０．３２９５θ＋３．３３１８°±１．１２５°
で表される範囲とする。特に、オイラー角を（０°，θ，ψ）としたときに、θ＝１２５〜１２８°であって、η（電極幅／電極ピッチ）を０．３〜０．６にすることが望ましい。
【００１２】
このようにオイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置は、発明者の検討によって３次関数の温度特性を持つことが確認されている。そして前記３次関数の温度特性の中で極値を有するような前記オイラー角の範囲を（０°、１１３〜１３５°、±（４０〜４９°））の範囲内で選定し、この範囲内で３次関数の変曲点まわりに温度特性を回転させれば、使用温度範囲における温度特性（すなわち周波数変動）の変動量幅を最小限に設定することができる。特に、オイラー角のθを、θ＝１２５〜１２８°するとともに、η（電極幅／電極ピッチ）を０．３〜０．６にすると、高周波になるほど影響が大きくなるプロセス誤差による温度特性のばらつきを含めても、−４０〜＋８５℃の温度範囲における周波数の変動量幅を小さく抑えることができる。そして変曲点まわりに温度特性を変動させるには、Ｚ’軸まわりの面内回転量を調整したり、あるいは表面に形成される電極の厚みや幅の変更を行うようにすればよい。
【００１３】
なお３次関数の温度特性の中で極値を有するような前記オイラー角の範囲は、請求項３に示すように発明者の検討によって検証がなされているので、この範囲内をターゲットとして面内回転量等を調整すればよい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法の具体的実施形態を、図面を参照しつつ、詳細に説明する。水晶を用いた弾性表面波装置では、２次関数の温度特性が一般的であるが、面内回転ＳＴカット水晶板を用いると３次関数の温度特性をもつ弾性表面波装置が実現できる。そしてこの３次関数の温度特性をもつ弾性表面波装置では、変曲点温度が通常の使用温度範囲よりも高い温度領域に位置し、３次関数の温度特性の極大値付近の温度特性を使用温度範囲として温度特性を調節することで、温度変化に対する周波数の変動量幅が小さい弾性表面波装置を提供することができる。
【００１５】
例えば、圧電振動子を水晶から切り出す場合、カットの方向によって温度特性が変動する。図１に示すように、水晶の結晶軸は、電気軸（Ｘ軸）、機械軸（Ｙ軸）、光軸（Ｚ軸）によって定義されるが、ＳＴカットといわれるものはオイラー角（φ，θ，ψ）が（０°，０°，０°）の水晶Ｚ板２を、電気軸（Ｘ軸）まわりにθ＝１１３〜１３５°回転させて得られる水晶板１の新しい座標軸（Ｘ，Ｙ’，Ｚ’）に沿って切り出されるものである。このＳＴカット水晶板１のＺ’軸まわりにさらにψ＝±（４０〜４９）°回転させ、弾性表面波の伝播方向がこの方向となるように作製された圧電振動子が面内回転ＳＴカット弾性表面波装置３といわれるものである。そしてこの面内回転ＳＴカット弾性表面波装置３は、温度特性が極めてよいことが知られており、その温度特性は、ＳＴカットの一種であることから、２次関数の温度特性であると思われていた。しかし、発明者が検討を行ってみると、実際は温度特性の変曲点が１１０℃近辺にある３次関数の温度特性であることが判明した。１１０℃を大きく超えて温度特性を測定することは通常行わないため、面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が３次関数であることがこれまで確認されなかった。したがって、この面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を調整しようとする場合、２次関数として行っていたので、使用温度範囲での周波数変動量幅を最適化したものにはなっていなかったのである。
【００１６】
本実施形態では、面内回転ＳＴカット弾性表面波装置が３次関数の温度特性であるとの知見を得て、使用温度範囲に位置する極大値もしくは極小値温度を頂点温度とし、一次係数項の調整により使用温度範囲外に位置する変曲点まわりに温度特性を回転させて前記頂点温度を使用温度範囲の最適値に調整するように構成したものである。これは具体的には、水晶板を電気軸（Ｘ軸）まわりにθ＝１１３〜１３５°回転させて得られるＳＴカット水晶板を更にＺ’軸まわりにψ＝±（４０〜４９）°だけ面内回転させた水晶板を設定する。そして前記範囲内で、さらに温度特性が−４０〜＋８５℃の使用温度範囲において極値を持つ範囲を選定し、この極値を持つ範囲内で面内回転角を調整することによって温度特性の極大値もしくは極小値を与える温度を使用温度範囲の最適値に調整して温度特性を調整するようにしたものである。
【００１７】
今、図２に示しているように、面内回転ＳＴカット弾性表面波装置の温度特性は変曲点温度が約１１０℃であり、使用温度範囲は、それより低い温度領域−４０〜＋８５℃であるので、３次関数の温度特性曲線のうち、変曲点より低い温度領域に位置する極大値を有する領域を使用する（図２において四角で囲んだ部分）。３次関数の温度特性の場合には変曲点を移動することが困難であるので，一次係数項を調整し、温度特性曲線を変曲点まわりに回転させる。これによって、使用温度範囲での温度特性曲線の極大値を使用温度範囲の中心より低温側になるように調整するのである。図２に示す実線は温度特性曲線の極大値Ｐ１が使用温度範囲Ｔｚの中央に位置しており、これが温度特性を２次関数としていた従来の調整方法である。この温度特性曲線を変曲点まわりに回転させて新たに破線で示しているような温度特性曲線に調整すると、極大値温度がＰ１からＰ２に移動し、使用温度範囲において周波数変動量幅を最小にすることができる。
【００１８】
面内回転ＳＴカット弾性表面波装置は、まずＳＴカット水晶ウェハを作製し、そのオリエンテーリングフラットを利用して面内角度ψを与え、これに各振動子領域に反射電極とすだれ状電極を露光形成するのである。この３次関数の温度特性の実際的調整作業は、上記面内角度ψ＝±（４０〜４９）°を加減調整することによって弾性表面波の伝播方向を変えて行う。ψの変化と３次関数の温度特性の一次係数項の変化の関係は予め分かっているので、調整方向と調整量はある程度予測できる。したがって、面内回転ＳＴカット弾性表面波装置を作成してその温度特性を求め、設計仕様による使用温度範囲で極大値（もしくは極小値）が使用温度範囲の中心より低温側（もしくは高温側）に位置するように温度特性曲線の回転量を求め、この回転量に対応するψを算出する。そしてこの面内回転角度ψに対応するオリエンテーリングフラットを±（４０〜４９）度内で設定して反射電極とすだれ状電極を形成するのである。これにより使用温度範囲において周波数変動量幅を最小にする面内回転ＳＴカット弾性表面波装置を得ることができる。
【００１９】
図３は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板において極値を有する温度特性曲線を容易に見つけることが可能な範囲を示すグラフである。
ここで発明者は種々の検討を繰り返し、３次関数の温度特性を有する同グラフの範囲において、トランスバーサル型の弾性表面波装置が−４０〜＋８５℃の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性曲線を容易に見つけることが可能なθとψとの範囲を見いだした。この範囲を同グラフにおけるハッチング部５に示す。一方、同グラフにおけるハッチング部４は、共振子型の弾性表面波装置において、温度特性曲線が上記の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性曲線を容易に見つけることが可能なθとψとの範囲のうち、ハッチング部５の範囲外にある範囲であり、電極が形成されている分ハッチング５の領域に比較して、ψの値が小さくなっている。そして同グラフにおけるハッチング部４とハッチング部５を合わせた領域は、下記の数式によって定義される。
【数１】
【００２０】
そしてハッチング部４とハッチング部５に示される領域内で、Ｚ’軸まわりに面内回転を行わせることで容易に極値（極大値と極小値）を有する周波数温度特性曲線を見つけることができ、さらに変曲点まわりに温度特性曲線を回転させ、使用温度範囲における周波数の変動量幅を最小限に調整すればよい。
【００２１】
発明者は、上記ハッチング部４とハッチング部５の境界領域において、温度特性の検証を行い、前記ハッチング部４とハッチング部５の範囲の正当性についてそれぞれ確認をおこなった。また本実施の形態では、面内回転ＳＴカット水晶弾性表面波装置とは、トランスバーサル型のＳＡＷフィルタと、共振子型ＳＡＷデバイス（ＳＡＷ共振子、共振子型ＳＡＷフィルタを含む）の双方を含むものと定義する。
【００２２】
図９〜図１２は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いたトランスバーサル型ＳＡＷフィルタにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
これらの図から、トランスバーサル型ＳＡＷフィルタの弾性表面波装置が−４０〜＋８５℃の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性を容易に見つけることが可能なθとψの範囲を見いだした。その範囲が図３のハッチング部５であり、下記の数式によって定義される。
【数２】
【００２３】
ところで発明者は、トランスバーサル型ＳＡＷフィルタの温度特性だけに留まらず、さらに共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性についても検討を重ね、種々の規則性を見いだした。すなわちトランスバーサル型ＳＡＷフィルタは、圧電材料となる水晶基板の表面に、発信側のＩＤＴ電極（くし歯電極）と受信側のＩＤＴ電極がある間隔をもって配置された形態となっている。このようなＳＡＷフィルタにおいてはＩＤＴ電極間には何も形成されないため、電極の幅、厚み等の要素によって周波数の温度特性の変化が小さい（電極の形状を変化させても温度特性があまり変化しない）。これに対し共振子型ＳＡＷデバイスでは、圧電材料となる水晶基板の表面にＩＤＴ電極が形成され、このＩＤＴ電極を挟むように反射器電極が形成された形態となっており、このＩＤＴ電極の幅、厚み等の要素によって温度特性が変化する。
【００２４】
図４は、オイラー角が（０°，１２３°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた共振子型ＳＡＷデバイスにおいて、３次関数の温度特性について−４０〜＋８５℃の温度範囲において極値の有無を検証したグラフである。このグラフに示すように、図３におけるハッチング部４の範囲より面内回転角ψを小さくした条件では、−４０〜＋８５℃の温度範囲において温度特性に極値を有しないことが解る。また図４のグラフは図３のハッチング部４の範囲よりψを大きくした条件でも極値を有することを示しているが、同時にハッチング部５の範囲内であることも示している。
【００２５】
図４と図１０はオイラー角（０°，θ，ψ）のうち、θが同一でも電極の有無により、類似した温度特性曲線を与えるψが異なることを示す。例えば、極値を有する境界となるψを見ると、図１０ではψ＝４３．７°であるのに対し、図４ではψ＝４２．７°と１度小さくなっている。即ち、電極があることにより、図３のハッチング部５で定義されるψの範囲内だけでは−４０〜＋８５℃の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性を見つけることは容易ではなくなる。そこで図３のハッチング部５の範囲のψを１度小さい方に広げた範囲（これがハッチング部４）とハッチング部５を合わせた範囲を定義すれば電極の有無に関らず、−４０〜＋８５℃の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性を容易に見つけることが可能となる。そしてハッチング部４とハッチング部５を合わせた範囲は、数式１によって定義される。
【００２６】
図５ないし図７、図８にはオイラー角（０°，１１７°，ψ）、（０°，１２９°，ψ）、（０°，１３５°，ψ）における共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性を示している。これらの図より、図３のハッチング部５で定義されるψの範囲内だけでは−４０〜＋８５℃の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性を見つけることは容易ではなくなるが、ハッチング部４とハッチング部５を合わせた範囲内であれば、−４０〜＋８５℃の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性を容易に見つけることが可能となる。
【００２７】
このように上述したオイラー角の範囲において、温度特性が−４０〜＋８５℃の温度範囲において極値を有するようなカット角の範囲を把握しておけば、弾性表面波装置の使用温度範囲での周波数変動量幅を最小限に抑えることができる。すなわち図１３（１）に示すように、図３のハッチング部４に入る共振子型ＳＡＷデバイスでは、頂点温度を使用温度範囲（−４０〜＋８５℃）のほぼ中央の温度（２５℃）に一致させているが、同図（１）においては周波数の温度特性が３次関数で示されるため、頂点温度を基準とした周波数変動量は左右で等しくならない。３次関数で示される温度特性の変動を抑えるには頂点温度を低温側にシフトさせ、頂点温度を基準として高温側と低温側の周波数の変動量を等しくすることが必要である。
【００２８】
図１３（１）はオイラー角が（０°，１２３°，４３°）の面内回転ＳＴカット水晶板を有する共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性を示しており、図１４に示したオイラー角が（０°，１２３°，０°）である通常のＳＴカットの場合に比較して、周波数変動量幅を７１ｐｐｍまで小さくできる。しかしこの共振子型ＳＡＷデバイスの頂点温度は使用温度範囲のほぼ中心である２５℃になっている。この頂点温度を移動する調整を行うことによって、より使用温度範囲での周波数変動量幅を小さくすることができる。そのためには図示の場合には頂点温度を低温側にシフトさせればよい。
【００２９】
面内回転ＳＴカット水晶板は３次関数の温度特性であるから、温度特性曲線を変曲点回りに回転させることにより、頂点温度を移動させたことと同様の結果を得ることができる。同図（１）の状態から頂点温度を低温側にシフトさせるには、第１にはＩＤＴ電極の膜厚Ｈを調整することによって実現でき、同図（２）に示すように、電極膜厚Ｈを厚くして膜厚比Ｈ／λを大きくすることにより、頂点温度を低温側にシフトさせて温度特性を調整できる。また、Ｚ’軸まわりに面内回転量を調整することで変曲点まわりの温度特性を変更することによっても可能である。これは電極の形成方向（弾性表面波の伝搬方向）を角度調整することによって実現でき、同図（３）に示すように、Ｚ’軸まわりの面内回転角ψをψ＝４３．０°からψ＝４３．１°とすることにより、調整できる。さらにＩＤＴ電極におけるη（電極幅／電極ピッチ）を変更することによっても調整可能で、この調整結果を同図（４）に示す。これらの調整によって、従来の温度特性に比べ、使用温度範囲での周波数変動量幅を一層抑えることが可能になる。
【００３０】
ところで、共振周波数が高周波になるにつれ、弾性表面波装置は電極が微細化されるために電極幅が小さくなり、電極幅の製造誤差が相対的に大きくなる。このため、温度特性に影響を与えるη（電極幅／電極ピッチ）の値の変動量が大きくなり、例えば１ＧＨｚ程度であると、ηが±０．１程度の製造誤差を生ずるようになる。したがって、面内回転ＳＴカット水晶板１を用いた弾性表面波装置の場合、共振周波数が例えば１ＧＨｚ程度まで高周波となると、−４０〜＋８５℃の温度範囲における周波数の変動量幅が１００ｐｐｍ以内のものを安定して作ることが困難となる。
【００３１】
例えば、オイラー角が（φ，θ，ψ）としたときに，φ＝０°、θ＝１２３°であって、膜厚比Ｈ／λ＝０．０５、η＝０．４の面内回転ＳＴカット水晶板１を用いた共振子型ＳＡＷデバイスの場合、−４０〜＋８５℃の使用温度範囲における周波数の変動量幅を、図１５に示したように、約６０ｐｐｍに調整することが可能である。ただし、図１５の場合、数式１によって求められるψの角度範囲内において、ψを最適な温度特性が得られるように調整するとともに、２５℃の周波数を基準としている。
【００３２】
ところが、同じオイラー角、同じ膜厚比であったとしても、電極幅が小さくなってη＝０．３になると、図１６に示したように、周波数変動量幅が９０ｐｐｍを超える。そして、逆に電極幅が大きくなってη＝０．５となった場合、同じオイラー角、同じ膜厚比であっても、周波数変動量幅が図１７に示したように１３４ｐｐｍとなってしまう（ただし、図１７においては、＋８５℃における周波数変動量が記載されていない）。したがって、周波数変動量幅が１００ｐｐｍ以内となるように、η＝０．４と設定したとしても、電極幅の製造上におけるばらつきのため、周波数変動量幅が１００ｐｐｍを超える共振子型ＳＡＷデバイスが製造されてしまう。
【００３３】
そこで、本願発明者らは、鋭意研究と実験とを重ね、電極幅に製造誤差が生じたとしても、−４０〜＋８５℃の温度範囲における周波数変動量幅が１００ｐｐｍ以内となる面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスが得られる水晶板のカット角を見いだした。図１８ないし図２３は、オイラー角のθと電極膜厚比（Ｈ／λ）、ηとの関係を調べたものである。これらの図の縦軸は、ηが±０．１変動した際の周波数変動量幅の最大値を表している。この周波数変動量幅の最大値とは、たとえば図１５ないし図１７の、θ＝１２３°、Ｈ／λ＝０．０５、η＝０．４±０．１において，周波数変動量幅が最大となる図１７（η＝０．５）の周波数変動量幅を表す。記載しないが、ψは数式１によって求められる角度範囲内である。また、いずれの場合にも、２５℃における周波数を基準とし、−４０〜＋８５℃の温度範囲における周波数変動量幅を示している。
【００３４】
図１８は、Ｈ／λ＝０．０３、η＝０．４±０．１の場合である。この場合、θ＝１２３〜１３４°の範囲において、周波数変動量幅を１００ｐｐｍ以下にすることができる。また、図１９は、Ｈ／λ＝０．０３、η＝０．５±０．１の場合であって、θ＝１２５〜１３１°の範囲で周波数変動量幅をほぼ１００ｐｐｍ以下にすることが可能となっている。
【００３５】
図２０は、Ｈ／λ＝０．０４、η＝０．４±０．１の場合である。この場合、θ＝１２４〜１３４°の範囲で周波数変動量幅を１００ｐｐｍ以下とすることができる。そして、図２１に示したＨ／λ＝０．０４、η＝０．５±０．１の場合においては、θ＝１２５〜１２９°の範囲において周波数変動量幅を１００ｐｐｍ以下とすることができる。さらに、図２２に示したＨ／λ＝０．０５、η＝０．４±０．１の場合においては、θ＝１２４〜１３４°の範囲において周波数変動量幅を１００ｐｐｍ以下とすることができる。また、図２３のＨ／λ＝０．０５、η＝０．５±０．１の場合、θ＝１２５〜１２８°の範囲において周波数変動量幅を１００ｐｐｍ以下とすることができる。
【００３６】
したがって、これらの結果から、θ＝１２５〜１２８°の範囲であれば、η＝０．３ないし０．６の範囲内でプロセスによりηが０．２以内の変動幅で変動した場合においても、−４０〜＋８５℃の温度範囲において周波数変動量幅を１００ｐｐｍ以下とすることができる。
電極幅の製造誤差が相対的に大きくない周波数帯（例えば３００ＭＨｚ、６００ＭＨｚ等）においても、上記範囲が有効であることは言うまでも無い。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、オイラー角が（０°、１１３〜１３５°、±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が極値を有するよう前記オイラー角の範囲を設定し、変曲点まわりに温度特性を回転させて使用温度範囲における周波数の変動量幅が最小になるように調整したことから、周囲温度が変動しても発振周波数が変動するのを最小限に抑えることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ｚ’軸回りに面内回転させたＳＴカット水晶の説明図である。
【図２】Ｚ’軸回りに面内回転させたＳＴカット弾性表面波装置の温度特性曲線図である。
【図３】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板において極値を有する温度特性曲線を容易に見つけることが可能な範囲を示すグラフである。
【図４】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた共振子型ＳＡＷデバイスにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図５】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた共振子型ＳＡＷデバイスにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図６】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた共振子型ＳＡＷデバイスにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図７】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた共振子型ＳＡＷデバイスにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図８】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた共振子型ＳＡＷデバイスにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図９】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いたトランスバーサル型ＳＡＷフィルタにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図１０】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いたトランスバーサル型ＳＡＷフィルタにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図１１】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いたトランスバーサル型ＳＡＷフィルタにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図１２】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いたトランスバーサル型ＳＡＷフィルタにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図１３】３次関数の温度特性の調整作業の説明図である。
【図１４】従来のオイラー角が（０°，１２３°，０°）のＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性を示す図である。
【図１５】実施の形態に係るθ＝１２３°であって、Ｈ／λ＝０．０５、η＝０．４のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性を示す図である。
【図１６】実施の形態に係るθ＝１２３°であって、Ｈ／λ＝０．０５、η＝０．３のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性を示す図である。
【図１７】実施の形態に係るθ＝１２３°であって、Ｈ／λ＝０．０５、η＝０．５のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性を示す図である。
【図１８】実施の形態に係るＨ／λ＝０．０３、η＝０．４±０．１のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの−４０〜＋８５℃の温度範囲におけるθと周波数変動量幅の最大値との関係を示す図である。
【図１９】実施の形態に係るＨ／λ＝０．０３、η＝０．５±０．１のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの−４０〜＋８５℃の温度範囲におけるθと周波数変動量幅の最大値との関係を示す図である。
【図２０】実施の形態に係るＨ／λ＝０．０４、η＝０．４±０．１のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの−４０〜＋８５℃の温度範囲におけるθと周波数変動量幅の最大値との関係を示す図である。
【図２１】実施の形態に係るＨ／λ＝０．０４、η＝０．５±０．１のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの−４０〜＋８５℃の温度範囲におけるθと周波数変動量幅の最大値との関係を示す図である。
【図２２】実施の形態に係るＨ／λ＝０．０５、η＝０．４±０．１のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの−４０〜＋８５℃の温度範囲におけるθと周波数変動量幅の最大値との関係を示す図である。
【図２３】実施の形態に係るＨ／λ＝０．０５、η＝０．５±０．１のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの−４０〜＋８５℃の温度範囲におけるθと周波数変動量幅の最大値との関係を示す図である。
【符号の説明】
１………ＳＴカット水晶板、２………水晶Ｚ板、３………面内回転ＳＴカット弾性表面波装置、４………ハッチング部、５………ハッチング部。
【発明の属する技術分野】
本発明は、面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、水晶を用いた圧電振動子の温度特性（温度変化に対する周波数変動特性）は、音叉振動子、弾性表面波装置などのように２次関数で表されるものや、ＡＴ振動子などのように３次関数で表されるものがある。
この圧電振動子における温度特性では、通常使用温度である２５℃を中心に使用温度範囲（−４０〜＋８５℃）で周波数の変動量幅が最小になるように振動子の温度特性を調整している。通常、温度特性が２次関数である圧電振動子では、当該圧電振動子の温度特性の頂点温度（周波数の極値を与える温度）が使用温度範囲の中心に位置するように調整すると、周波数の変動量幅が最小となる。なお従来の２次関数の温度特性をもつ振動子では頂点温度の範囲は０℃から５０℃あたりである。
【０００３】
一方、温度特性が３次関数であるＡＴカット振動子では、変曲点温度が使用温度範囲のほぼ中央に位置しているため、使用温度範囲における周波数変動幅が極めて小さい。
【０００４】
ところでＳＡＷ共振子やＳＡＷフィルタに代表される弾性表面波装置では、温度変化による周波数変化を低減させる目的から、ＳＴカット水晶板をＺ’軸まわりに面内回転させた水晶板（以下、面内回転ＳＴカット水晶板と称す）が用いられる場合がある。
そして面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置も従来のＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置と同様、その温度特性は２次関数であると従来から思われており、使用温度範囲の中心に面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の頂点温度を一致させ、温度変化に対する周波数の変動量幅を最小限に抑えるようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前述の通り面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性は、従来から２次関数であると思われていた。
しかし本願発明者が改めて検証したところ、実際は変曲点が１１０℃近辺にある３次関数であることが判明した。１１０℃を大きく超えて温度特性を測定することは通常行わないため、面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が３次関数であることがこれまで確認されなかった。したがって、この面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を調整しようとする場合、２次関数として行っていたので、使用温度範囲での周波数変動量幅を最適化したものにはなっていなかったのである。
【０００６】
そして面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が２次関数ではなく実際は３次関数であったことから、これまでの調整方法では、面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を十分に発揮することができないという問題が発生した。
【０００７】
本発明は、上記従来の問題点に着目し、面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の持つ３次関数の温度特性に適合した弾性表面波装置の温度特性調整方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が、従来２次関数と考えられ、頂点温度が使用温度範囲の中心に位置するように調整されていたが、実際は３次関数であった為、頂点温度を使用温度範囲の中心からずらすようにすれば周波数変化の量を一層低減することが可能になるという知見に基づいてなされたものである。
【０００９】
すなわち本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を、前記面内回転ＳＴカット水晶板の面内回転角を変化させて３次関数の一次係数項を調整し、変曲点まわりに回転させて温度特性を調整することとした。
また、本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を、前記面内回転ＳＴカット水晶板に形成した電極の膜厚を調整し、変曲点まわりに回転させて温度特性を調整することとした。
また、本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を、前記面内回転ＳＴカット水晶板に形成した電極のη（電極幅／電極ピッチ）を調整し、変曲点まわりに回転させて温度特性を調整することとした。
さらに、本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が極値を有するよう前記オイラー角の範囲を設定し、前記面内回転ＳＴカット水晶板の面内回転角を変化させて３次関数の一次係数項を調整して、変曲点まわりに温度特性を回転させて使用温度範囲における温度特性の変動を最小限に調整することとした。
また、本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が極値を有するよう前記オイラー角の範囲を設定し、前記面内回転ＳＴカット水晶板に形成した電極の膜厚を調整して、変曲点まわりに温度特性を回転させて使用温度範囲における温度特性の変動を最小限に調整することとした。
また、本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が極値を有するよう前記オイラー角の範囲を設定し、前記面内回転ＳＴカット水晶板に形成した電極のη（電極幅／電極ピッチ）を調整して、変曲点まわりに温度特性を回転させて使用温度範囲における温度特性の変動を最小限に調整することとした。
【００１０】
そして前記オイラー角を（０°，θ，ψ）とした場合、ψは、
ψ＝０．３２９５θ＋３．３３１８°±１．１２５°
で表される範囲とする。特に、オイラー角を（０°，θ，ψ）としたときに、θ＝１２５〜１２８°であって、η（電極幅／電極ピッチ）を０．３〜０．６にすることが望ましい。
【００１２】
このようにオイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置は、発明者の検討によって３次関数の温度特性を持つことが確認されている。そして前記３次関数の温度特性の中で極値を有するような前記オイラー角の範囲を（０°、１１３〜１３５°、±（４０〜４９°））の範囲内で選定し、この範囲内で３次関数の変曲点まわりに温度特性を回転させれば、使用温度範囲における温度特性（すなわち周波数変動）の変動量幅を最小限に設定することができる。特に、オイラー角のθを、θ＝１２５〜１２８°するとともに、η（電極幅／電極ピッチ）を０．３〜０．６にすると、高周波になるほど影響が大きくなるプロセス誤差による温度特性のばらつきを含めても、−４０〜＋８５℃の温度範囲における周波数の変動量幅を小さく抑えることができる。そして変曲点まわりに温度特性を変動させるには、Ｚ’軸まわりの面内回転量を調整したり、あるいは表面に形成される電極の厚みや幅の変更を行うようにすればよい。
【００１３】
なお３次関数の温度特性の中で極値を有するような前記オイラー角の範囲は、請求項３に示すように発明者の検討によって検証がなされているので、この範囲内をターゲットとして面内回転量等を調整すればよい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る弾性表面波装置の温度特性調整方法の具体的実施形態を、図面を参照しつつ、詳細に説明する。水晶を用いた弾性表面波装置では、２次関数の温度特性が一般的であるが、面内回転ＳＴカット水晶板を用いると３次関数の温度特性をもつ弾性表面波装置が実現できる。そしてこの３次関数の温度特性をもつ弾性表面波装置では、変曲点温度が通常の使用温度範囲よりも高い温度領域に位置し、３次関数の温度特性の極大値付近の温度特性を使用温度範囲として温度特性を調節することで、温度変化に対する周波数の変動量幅が小さい弾性表面波装置を提供することができる。
【００１５】
例えば、圧電振動子を水晶から切り出す場合、カットの方向によって温度特性が変動する。図１に示すように、水晶の結晶軸は、電気軸（Ｘ軸）、機械軸（Ｙ軸）、光軸（Ｚ軸）によって定義されるが、ＳＴカットといわれるものはオイラー角（φ，θ，ψ）が（０°，０°，０°）の水晶Ｚ板２を、電気軸（Ｘ軸）まわりにθ＝１１３〜１３５°回転させて得られる水晶板１の新しい座標軸（Ｘ，Ｙ’，Ｚ’）に沿って切り出されるものである。このＳＴカット水晶板１のＺ’軸まわりにさらにψ＝±（４０〜４９）°回転させ、弾性表面波の伝播方向がこの方向となるように作製された圧電振動子が面内回転ＳＴカット弾性表面波装置３といわれるものである。そしてこの面内回転ＳＴカット弾性表面波装置３は、温度特性が極めてよいことが知られており、その温度特性は、ＳＴカットの一種であることから、２次関数の温度特性であると思われていた。しかし、発明者が検討を行ってみると、実際は温度特性の変曲点が１１０℃近辺にある３次関数の温度特性であることが判明した。１１０℃を大きく超えて温度特性を測定することは通常行わないため、面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が３次関数であることがこれまで確認されなかった。したがって、この面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を調整しようとする場合、２次関数として行っていたので、使用温度範囲での周波数変動量幅を最適化したものにはなっていなかったのである。
【００１６】
本実施形態では、面内回転ＳＴカット弾性表面波装置が３次関数の温度特性であるとの知見を得て、使用温度範囲に位置する極大値もしくは極小値温度を頂点温度とし、一次係数項の調整により使用温度範囲外に位置する変曲点まわりに温度特性を回転させて前記頂点温度を使用温度範囲の最適値に調整するように構成したものである。これは具体的には、水晶板を電気軸（Ｘ軸）まわりにθ＝１１３〜１３５°回転させて得られるＳＴカット水晶板を更にＺ’軸まわりにψ＝±（４０〜４９）°だけ面内回転させた水晶板を設定する。そして前記範囲内で、さらに温度特性が−４０〜＋８５℃の使用温度範囲において極値を持つ範囲を選定し、この極値を持つ範囲内で面内回転角を調整することによって温度特性の極大値もしくは極小値を与える温度を使用温度範囲の最適値に調整して温度特性を調整するようにしたものである。
【００１７】
今、図２に示しているように、面内回転ＳＴカット弾性表面波装置の温度特性は変曲点温度が約１１０℃であり、使用温度範囲は、それより低い温度領域−４０〜＋８５℃であるので、３次関数の温度特性曲線のうち、変曲点より低い温度領域に位置する極大値を有する領域を使用する（図２において四角で囲んだ部分）。３次関数の温度特性の場合には変曲点を移動することが困難であるので，一次係数項を調整し、温度特性曲線を変曲点まわりに回転させる。これによって、使用温度範囲での温度特性曲線の極大値を使用温度範囲の中心より低温側になるように調整するのである。図２に示す実線は温度特性曲線の極大値Ｐ１が使用温度範囲Ｔｚの中央に位置しており、これが温度特性を２次関数としていた従来の調整方法である。この温度特性曲線を変曲点まわりに回転させて新たに破線で示しているような温度特性曲線に調整すると、極大値温度がＰ１からＰ２に移動し、使用温度範囲において周波数変動量幅を最小にすることができる。
【００１８】
面内回転ＳＴカット弾性表面波装置は、まずＳＴカット水晶ウェハを作製し、そのオリエンテーリングフラットを利用して面内角度ψを与え、これに各振動子領域に反射電極とすだれ状電極を露光形成するのである。この３次関数の温度特性の実際的調整作業は、上記面内角度ψ＝±（４０〜４９）°を加減調整することによって弾性表面波の伝播方向を変えて行う。ψの変化と３次関数の温度特性の一次係数項の変化の関係は予め分かっているので、調整方向と調整量はある程度予測できる。したがって、面内回転ＳＴカット弾性表面波装置を作成してその温度特性を求め、設計仕様による使用温度範囲で極大値（もしくは極小値）が使用温度範囲の中心より低温側（もしくは高温側）に位置するように温度特性曲線の回転量を求め、この回転量に対応するψを算出する。そしてこの面内回転角度ψに対応するオリエンテーリングフラットを±（４０〜４９）度内で設定して反射電極とすだれ状電極を形成するのである。これにより使用温度範囲において周波数変動量幅を最小にする面内回転ＳＴカット弾性表面波装置を得ることができる。
【００１９】
図３は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板において極値を有する温度特性曲線を容易に見つけることが可能な範囲を示すグラフである。
ここで発明者は種々の検討を繰り返し、３次関数の温度特性を有する同グラフの範囲において、トランスバーサル型の弾性表面波装置が−４０〜＋８５℃の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性曲線を容易に見つけることが可能なθとψとの範囲を見いだした。この範囲を同グラフにおけるハッチング部５に示す。一方、同グラフにおけるハッチング部４は、共振子型の弾性表面波装置において、温度特性曲線が上記の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性曲線を容易に見つけることが可能なθとψとの範囲のうち、ハッチング部５の範囲外にある範囲であり、電極が形成されている分ハッチング５の領域に比較して、ψの値が小さくなっている。そして同グラフにおけるハッチング部４とハッチング部５を合わせた領域は、下記の数式によって定義される。
【数１】
そしてハッチング部４とハッチング部５に示される領域内で、Ｚ’軸まわりに面内回転を行わせることで容易に極値（極大値と極小値）を有する周波数温度特性曲線を見つけることができ、さらに変曲点まわりに温度特性曲線を回転させ、使用温度範囲における周波数の変動量幅を最小限に調整すればよい。
【００２１】
発明者は、上記ハッチング部４とハッチング部５の境界領域において、温度特性の検証を行い、前記ハッチング部４とハッチング部５の範囲の正当性についてそれぞれ確認をおこなった。また本実施の形態では、面内回転ＳＴカット水晶弾性表面波装置とは、トランスバーサル型のＳＡＷフィルタと、共振子型ＳＡＷデバイス（ＳＡＷ共振子、共振子型ＳＡＷフィルタを含む）の双方を含むものと定義する。
【００２２】
図９〜図１２は、オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いたトランスバーサル型ＳＡＷフィルタにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
これらの図から、トランスバーサル型ＳＡＷフィルタの弾性表面波装置が−４０〜＋８５℃の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性を容易に見つけることが可能なθとψの範囲を見いだした。その範囲が図３のハッチング部５であり、下記の数式によって定義される。
【数２】
ところで発明者は、トランスバーサル型ＳＡＷフィルタの温度特性だけに留まらず、さらに共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性についても検討を重ね、種々の規則性を見いだした。すなわちトランスバーサル型ＳＡＷフィルタは、圧電材料となる水晶基板の表面に、発信側のＩＤＴ電極（くし歯電極）と受信側のＩＤＴ電極がある間隔をもって配置された形態となっている。このようなＳＡＷフィルタにおいてはＩＤＴ電極間には何も形成されないため、電極の幅、厚み等の要素によって周波数の温度特性の変化が小さい（電極の形状を変化させても温度特性があまり変化しない）。これに対し共振子型ＳＡＷデバイスでは、圧電材料となる水晶基板の表面にＩＤＴ電極が形成され、このＩＤＴ電極を挟むように反射器電極が形成された形態となっており、このＩＤＴ電極の幅、厚み等の要素によって温度特性が変化する。
【００２４】
図４は、オイラー角が（０°，１２３°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた共振子型ＳＡＷデバイスにおいて、３次関数の温度特性について−４０〜＋８５℃の温度範囲において極値の有無を検証したグラフである。このグラフに示すように、図３におけるハッチング部４の範囲より面内回転角ψを小さくした条件では、−４０〜＋８５℃の温度範囲において温度特性に極値を有しないことが解る。また図４のグラフは図３のハッチング部４の範囲よりψを大きくした条件でも極値を有することを示しているが、同時にハッチング部５の範囲内であることも示している。
【００２５】
図４と図１０はオイラー角（０°，θ，ψ）のうち、θが同一でも電極の有無により、類似した温度特性曲線を与えるψが異なることを示す。例えば、極値を有する境界となるψを見ると、図１０ではψ＝４３．７°であるのに対し、図４ではψ＝４２．７°と１度小さくなっている。即ち、電極があることにより、図３のハッチング部５で定義されるψの範囲内だけでは−４０〜＋８５℃の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性を見つけることは容易ではなくなる。そこで図３のハッチング部５の範囲のψを１度小さい方に広げた範囲（これがハッチング部４）とハッチング部５を合わせた範囲を定義すれば電極の有無に関らず、−４０〜＋８５℃の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性を容易に見つけることが可能となる。そしてハッチング部４とハッチング部５を合わせた範囲は、数式１によって定義される。
【００２６】
図５ないし図７、図８にはオイラー角（０°，１１７°，ψ）、（０°，１２９°，ψ）、（０°，１３５°，ψ）における共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性を示している。これらの図より、図３のハッチング部５で定義されるψの範囲内だけでは−４０〜＋８５℃の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性を見つけることは容易ではなくなるが、ハッチング部４とハッチング部５を合わせた範囲内であれば、−４０〜＋８５℃の温度範囲で極値（極大値もしくは極小値）を有する温度特性を容易に見つけることが可能となる。
【００２７】
このように上述したオイラー角の範囲において、温度特性が−４０〜＋８５℃の温度範囲において極値を有するようなカット角の範囲を把握しておけば、弾性表面波装置の使用温度範囲での周波数変動量幅を最小限に抑えることができる。すなわち図１３（１）に示すように、図３のハッチング部４に入る共振子型ＳＡＷデバイスでは、頂点温度を使用温度範囲（−４０〜＋８５℃）のほぼ中央の温度（２５℃）に一致させているが、同図（１）においては周波数の温度特性が３次関数で示されるため、頂点温度を基準とした周波数変動量は左右で等しくならない。３次関数で示される温度特性の変動を抑えるには頂点温度を低温側にシフトさせ、頂点温度を基準として高温側と低温側の周波数の変動量を等しくすることが必要である。
【００２８】
図１３（１）はオイラー角が（０°，１２３°，４３°）の面内回転ＳＴカット水晶板を有する共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性を示しており、図１４に示したオイラー角が（０°，１２３°，０°）である通常のＳＴカットの場合に比較して、周波数変動量幅を７１ｐｐｍまで小さくできる。しかしこの共振子型ＳＡＷデバイスの頂点温度は使用温度範囲のほぼ中心である２５℃になっている。この頂点温度を移動する調整を行うことによって、より使用温度範囲での周波数変動量幅を小さくすることができる。そのためには図示の場合には頂点温度を低温側にシフトさせればよい。
【００２９】
面内回転ＳＴカット水晶板は３次関数の温度特性であるから、温度特性曲線を変曲点回りに回転させることにより、頂点温度を移動させたことと同様の結果を得ることができる。同図（１）の状態から頂点温度を低温側にシフトさせるには、第１にはＩＤＴ電極の膜厚Ｈを調整することによって実現でき、同図（２）に示すように、電極膜厚Ｈを厚くして膜厚比Ｈ／λを大きくすることにより、頂点温度を低温側にシフトさせて温度特性を調整できる。また、Ｚ’軸まわりに面内回転量を調整することで変曲点まわりの温度特性を変更することによっても可能である。これは電極の形成方向（弾性表面波の伝搬方向）を角度調整することによって実現でき、同図（３）に示すように、Ｚ’軸まわりの面内回転角ψをψ＝４３．０°からψ＝４３．１°とすることにより、調整できる。さらにＩＤＴ電極におけるη（電極幅／電極ピッチ）を変更することによっても調整可能で、この調整結果を同図（４）に示す。これらの調整によって、従来の温度特性に比べ、使用温度範囲での周波数変動量幅を一層抑えることが可能になる。
【００３０】
ところで、共振周波数が高周波になるにつれ、弾性表面波装置は電極が微細化されるために電極幅が小さくなり、電極幅の製造誤差が相対的に大きくなる。このため、温度特性に影響を与えるη（電極幅／電極ピッチ）の値の変動量が大きくなり、例えば１ＧＨｚ程度であると、ηが±０．１程度の製造誤差を生ずるようになる。したがって、面内回転ＳＴカット水晶板１を用いた弾性表面波装置の場合、共振周波数が例えば１ＧＨｚ程度まで高周波となると、−４０〜＋８５℃の温度範囲における周波数の変動量幅が１００ｐｐｍ以内のものを安定して作ることが困難となる。
【００３１】
例えば、オイラー角が（φ，θ，ψ）としたときに，φ＝０°、θ＝１２３°であって、膜厚比Ｈ／λ＝０．０５、η＝０．４の面内回転ＳＴカット水晶板１を用いた共振子型ＳＡＷデバイスの場合、−４０〜＋８５℃の使用温度範囲における周波数の変動量幅を、図１５に示したように、約６０ｐｐｍに調整することが可能である。ただし、図１５の場合、数式１によって求められるψの角度範囲内において、ψを最適な温度特性が得られるように調整するとともに、２５℃の周波数を基準としている。
【００３２】
ところが、同じオイラー角、同じ膜厚比であったとしても、電極幅が小さくなってη＝０．３になると、図１６に示したように、周波数変動量幅が９０ｐｐｍを超える。そして、逆に電極幅が大きくなってη＝０．５となった場合、同じオイラー角、同じ膜厚比であっても、周波数変動量幅が図１７に示したように１３４ｐｐｍとなってしまう（ただし、図１７においては、＋８５℃における周波数変動量が記載されていない）。したがって、周波数変動量幅が１００ｐｐｍ以内となるように、η＝０．４と設定したとしても、電極幅の製造上におけるばらつきのため、周波数変動量幅が１００ｐｐｍを超える共振子型ＳＡＷデバイスが製造されてしまう。
【００３３】
そこで、本願発明者らは、鋭意研究と実験とを重ね、電極幅に製造誤差が生じたとしても、−４０〜＋８５℃の温度範囲における周波数変動量幅が１００ｐｐｍ以内となる面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスが得られる水晶板のカット角を見いだした。図１８ないし図２３は、オイラー角のθと電極膜厚比（Ｈ／λ）、ηとの関係を調べたものである。これらの図の縦軸は、ηが±０．１変動した際の周波数変動量幅の最大値を表している。この周波数変動量幅の最大値とは、たとえば図１５ないし図１７の、θ＝１２３°、Ｈ／λ＝０．０５、η＝０．４±０．１において，周波数変動量幅が最大となる図１７（η＝０．５）の周波数変動量幅を表す。記載しないが、ψは数式１によって求められる角度範囲内である。また、いずれの場合にも、２５℃における周波数を基準とし、−４０〜＋８５℃の温度範囲における周波数変動量幅を示している。
【００３４】
図１８は、Ｈ／λ＝０．０３、η＝０．４±０．１の場合である。この場合、θ＝１２３〜１３４°の範囲において、周波数変動量幅を１００ｐｐｍ以下にすることができる。また、図１９は、Ｈ／λ＝０．０３、η＝０．５±０．１の場合であって、θ＝１２５〜１３１°の範囲で周波数変動量幅をほぼ１００ｐｐｍ以下にすることが可能となっている。
【００３５】
図２０は、Ｈ／λ＝０．０４、η＝０．４±０．１の場合である。この場合、θ＝１２４〜１３４°の範囲で周波数変動量幅を１００ｐｐｍ以下とすることができる。そして、図２１に示したＨ／λ＝０．０４、η＝０．５±０．１の場合においては、θ＝１２５〜１２９°の範囲において周波数変動量幅を１００ｐｐｍ以下とすることができる。さらに、図２２に示したＨ／λ＝０．０５、η＝０．４±０．１の場合においては、θ＝１２４〜１３４°の範囲において周波数変動量幅を１００ｐｐｍ以下とすることができる。また、図２３のＨ／λ＝０．０５、η＝０．５±０．１の場合、θ＝１２５〜１２８°の範囲において周波数変動量幅を１００ｐｐｍ以下とすることができる。
【００３６】
したがって、これらの結果から、θ＝１２５〜１２８°の範囲であれば、η＝０．３ないし０．６の範囲内でプロセスによりηが０．２以内の変動幅で変動した場合においても、−４０〜＋８５℃の温度範囲において周波数変動量幅を１００ｐｐｍ以下とすることができる。
電極幅の製造誤差が相対的に大きくない周波数帯（例えば３００ＭＨｚ、６００ＭＨｚ等）においても、上記範囲が有効であることは言うまでも無い。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、オイラー角が（０°、１１３〜１３５°、±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が極値を有するよう前記オイラー角の範囲を設定し、変曲点まわりに温度特性を回転させて使用温度範囲における周波数の変動量幅が最小になるように調整したことから、周囲温度が変動しても発振周波数が変動するのを最小限に抑えることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ｚ’軸回りに面内回転させたＳＴカット水晶の説明図である。
【図２】Ｚ’軸回りに面内回転させたＳＴカット弾性表面波装置の温度特性曲線図である。
【図３】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板において極値を有する温度特性曲線を容易に見つけることが可能な範囲を示すグラフである。
【図４】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた共振子型ＳＡＷデバイスにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図５】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた共振子型ＳＡＷデバイスにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図６】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた共振子型ＳＡＷデバイスにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図７】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた共振子型ＳＡＷデバイスにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図８】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた共振子型ＳＡＷデバイスにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図９】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いたトランスバーサル型ＳＡＷフィルタにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図１０】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いたトランスバーサル型ＳＡＷフィルタにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図１１】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いたトランスバーサル型ＳＡＷフィルタにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図１２】オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いたトランスバーサル型ＳＡＷフィルタにおいて、３次関数の極値の有無を検証したグラフである。
【図１３】３次関数の温度特性の調整作業の説明図である。
【図１４】従来のオイラー角が（０°，１２３°，０°）のＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性を示す図である。
【図１５】実施の形態に係るθ＝１２３°であって、Ｈ／λ＝０．０５、η＝０．４のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性を示す図である。
【図１６】実施の形態に係るθ＝１２３°であって、Ｈ／λ＝０．０５、η＝０．３のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性を示す図である。
【図１７】実施の形態に係るθ＝１２３°であって、Ｈ／λ＝０．０５、η＝０．５のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの温度特性を示す図である。
【図１８】実施の形態に係るＨ／λ＝０．０３、η＝０．４±０．１のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの−４０〜＋８５℃の温度範囲におけるθと周波数変動量幅の最大値との関係を示す図である。
【図１９】実施の形態に係るＨ／λ＝０．０３、η＝０．５±０．１のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの−４０〜＋８５℃の温度範囲におけるθと周波数変動量幅の最大値との関係を示す図である。
【図２０】実施の形態に係るＨ／λ＝０．０４、η＝０．４±０．１のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの−４０〜＋８５℃の温度範囲におけるθと周波数変動量幅の最大値との関係を示す図である。
【図２１】実施の形態に係るＨ／λ＝０．０４、η＝０．５±０．１のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの−４０〜＋８５℃の温度範囲におけるθと周波数変動量幅の最大値との関係を示す図である。
【図２２】実施の形態に係るＨ／λ＝０．０５、η＝０．４±０．１のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの−４０〜＋８５℃の温度範囲におけるθと周波数変動量幅の最大値との関係を示す図である。
【図２３】実施の形態に係るＨ／λ＝０．０５、η＝０．５±０．１のときの、面内回転ＳＴカット共振子型ＳＡＷデバイスの−４０〜＋８５℃の温度範囲におけるθと周波数変動量幅の最大値との関係を示す図である。
【符号の説明】
１………ＳＴカット水晶板、２………水晶Ｚ板、３………面内回転ＳＴカット弾性表面波装置、４………ハッチング部、５………ハッチング部。
Claims (8)
- オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を、前記面内回転ＳＴカット水晶板の面内回転角を変化させて３次関数の一次係数項を調整し、変曲点まわりに回転させて温度特性を調整することを特徴とする弾性表面波装置の温度特性調整方法。
- オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を、前記面内回転ＳＴカット水晶板に形成した電極の膜厚を調整し、変曲点まわりに回転させて温度特性を調整することを特徴とする弾性表面波装置の温度特性調整方法。
- オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性を、前記面内回転ＳＴカット水晶板に形成した電極のη（電極幅／電極ピッチ）を調整し、変曲点まわりに回転させて温度特性を調整することを特徴とする弾性表面波装置の温度特性調整方法。
- オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が極値を有するよう前記オイラー角の範囲を設定し、前記面内回転ＳＴカット水晶板の面内回転角を変化させて３次関数の一次係数項を調整して、変曲点まわりに温度特性を回転させて使用温度範囲における温度特性の変動を最小限に調整することを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装置の温度特性調整方法。
- オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が極値を有するよう前記オイラー角の範囲を設定し、前記面内回転ＳＴカット水晶板に形成した電極の膜厚を調整して、変曲点まわりに温度特性を回転させて使用温度範囲における温度特性の変動を最小限に調整することを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装置の温度特性調整方法。
- オイラー角が（０°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））にある面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性調整方法であって、３次関数の温度特性を有する前記面内回転ＳＴカット水晶板を用いた弾性表面波装置の温度特性が極値を有するよう前記オイラー角の範囲を設定し、前記面内回転ＳＴカット水晶板に形成した電極のη（電極幅／電極ピッチ）を調整して、変曲点まわりに温度特性を回転させて使用温度範囲における温度特性の変動を最小限に調整することを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装置の温度特性調整方法。
- 前記オイラー角を（０°，θ，ψ）とした場合、ψは、
ψ＝０．３２９５θ＋３．３３１８°±１．１２５°
に収まる範囲であることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の弾性表面波装置の温度特性調整方法。 - 前記オイラー角を（０°，θ，ψ）としたときに、θ＝１２５〜１２８°であって、η（電極幅／電極ピッチ）が０．３〜０．６であることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の弾性表面波装置の温度特性調整方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002164912A JP3622202B2 (ja) | 2001-08-29 | 2002-06-05 | 弾性表面波装置の温度特性調整方法 |
| CN02142124.2A CN1248413C (zh) | 2001-08-29 | 2002-08-28 | 弹性表面波装置的温度特性调整方法及弹性表面波装置 |
| US10/229,210 US6784595B2 (en) | 2001-08-29 | 2002-08-28 | Method for adjusting the temperature-dependent property of a surface acoustic wave device and a surface acoustic device |
| EP02019390A EP1292023A3 (en) | 2001-08-29 | 2002-08-29 | Method for adjusting the temperature-dependent property of a surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001-260122 | 2001-08-29 | ||
| JP2001260122 | 2001-08-29 | ||
| JP2002164912A JP3622202B2 (ja) | 2001-08-29 | 2002-06-05 | 弾性表面波装置の温度特性調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003152487A JP2003152487A (ja) | 2003-05-23 |
| JP3622202B2 true JP3622202B2 (ja) | 2005-02-23 |
Family
ID=26621249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002164912A Expired - Fee Related JP3622202B2 (ja) | 2001-08-29 | 2002-06-05 | 弾性表面波装置の温度特性調整方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6784595B2 (ja) |
| EP (1) | EP1292023A3 (ja) |
| JP (1) | JP3622202B2 (ja) |
| CN (1) | CN1248413C (ja) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3675373B2 (ja) * | 2001-07-17 | 2005-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 発振回路の温度特性調整方法 |
| JP2004274696A (ja) | 2002-10-04 | 2004-09-30 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置および弾性表面波装置の温度特性調整方法 |
| JP2005204275A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-07-28 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片およびその製造方法並びに弾性表面波装置 |
| JP4968510B2 (ja) * | 2006-04-27 | 2012-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波素子片の周波数温度特性調整方法、及び弾性表面波素子片、並びに弾性表面波デバイス |
| JP4591800B2 (ja) | 2008-02-20 | 2010-12-01 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波デバイスおよび弾性表面波発振器 |
| WO2010098139A1 (ja) | 2009-02-27 | 2010-09-02 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、及び電子機器 |
| JP4645923B2 (ja) | 2009-02-27 | 2011-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器 |
| JP5678486B2 (ja) | 2010-06-17 | 2015-03-04 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器 |
| JP2012049817A (ja) | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 |
| JP5934464B2 (ja) | 2010-08-26 | 2016-06-15 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 |
| JP2012049818A (ja) | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、電子機器 |
| JP2012060422A (ja) | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
| JP2012060420A (ja) | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
| JP2012060419A (ja) | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
| JP2012060421A (ja) | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
| JP2012060418A (ja) | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
| JP5652606B2 (ja) | 2010-12-03 | 2015-01-14 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、及び電子機器 |
| JP5648908B2 (ja) | 2010-12-07 | 2015-01-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、並びに発振器、および電子機器 |
| JP5850109B2 (ja) * | 2014-08-14 | 2016-02-03 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、及び電子機器 |
| JP2015029358A (ja) * | 2014-10-29 | 2015-02-12 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器 |
| CN108199697B (zh) * | 2017-12-04 | 2021-03-30 | 北京航天微电科技有限公司 | 一种声表面波滤波器及其实现方法 |
| CN113654728B (zh) * | 2021-07-16 | 2023-09-01 | 汕头大学 | 一种基于坐标转换的负压波信号拐点定位方法及*** |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4166228A (en) * | 1978-03-17 | 1979-08-28 | Sperry Rand Corporation | Temperature compensated reflective array for surface acoustic wave processing |
| US4319154A (en) * | 1979-12-26 | 1982-03-09 | Sperry Corporation | Temperature insensitive reflective array S.A.W. device |
| JPS5773513A (en) | 1980-10-27 | 1982-05-08 | Yasutaka Shimizu | Surface acoustic wave device |
| US4609843A (en) * | 1983-01-27 | 1986-09-02 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Temperature compensated berlinite for surface acoustic wave devices |
| JP2839104B2 (ja) | 1990-01-20 | 1998-12-16 | 株式会社シマノ | 釣用リールの変速装置 |
| WO1996010293A1 (fr) | 1994-09-29 | 1996-04-04 | Seiko Epson Corporation | Dispositif a ondes acoustiques de surface |
| EP0738039B1 (en) | 1995-04-12 | 2000-06-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Resonator ladder surface acoustic wave filter |
| JP3360541B2 (ja) * | 1995-10-20 | 2002-12-24 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置及びその設計方法 |
-
2002
- 2002-06-05 JP JP2002164912A patent/JP3622202B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-08-28 CN CN02142124.2A patent/CN1248413C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-08-28 US US10/229,210 patent/US6784595B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-08-29 EP EP02019390A patent/EP1292023A3/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1292023A3 (en) | 2004-03-10 |
| US20030052572A1 (en) | 2003-03-20 |
| CN1402429A (zh) | 2003-03-12 |
| CN1248413C (zh) | 2006-03-29 |
| EP1292023A2 (en) | 2003-03-12 |
| JP2003152487A (ja) | 2003-05-23 |
| US6784595B2 (en) | 2004-08-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3622202B2 (ja) | 弾性表面波装置の温度特性調整方法 | |
| US7042133B2 (en) | Surface acoustic wave device and method of adjusting a temperature characteristic of the same | |
| US11750170B2 (en) | Guided SAW device | |
| US10924085B2 (en) | Guided acoustic wave device | |
| EP2224591B1 (en) | Surface acoustic wave resonator and surface acoustic wave oscillator | |
| US7696675B2 (en) | Surface acoustic wave device and electronic apparatus | |
| JP2018191112A (ja) | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
| JP3724575B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP5835765B2 (ja) | 弾性波素子 | |
| JP2007267033A (ja) | 弾性表面波素子及び弾性表面波デバイス | |
| JP2007028664A (ja) | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 | |
| JP2005065160A (ja) | 弾性表面波デバイス及びその製造方法 | |
| JP2000188521A (ja) | 弾性表面波装置及び２ポ―ト弾性表面波共振子 | |
| JP5563378B2 (ja) | 弾性波素子 | |
| JP2005086233A (ja) | 弾性表面波装置の周波数温度特性調整方法および弾性表面波装置 | |
| CN202261188U (zh) | 表面声波器件、表面声波振荡器以及电子设备 | |
| TWI747636B (zh) | 彈性波元件 | |
| CN116584039A (zh) | 弹性波装置 | |
| JP2020141382A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| CN116615866A (zh) | 弹性波装置 | |
| CN116584041A (zh) | 弹性波装置 | |
| CN116584040A (zh) | 弹性波装置 | |
| JPH0818391A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP2001007676A (ja) | 短冊形ａｔカット水晶振動子 | |
| JPS59221023A (ja) | 圧電振動素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040423 |
|
| A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20040423 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040423 |
|
| A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20040528 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040806 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041004 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041101 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041114 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3622202 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081203 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091203 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101203 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101203 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111203 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111203 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121203 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121203 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203 Year of fee payment: 9 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |