JP2012059994A - 保持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】片面にダイシングテープ11が接着されているウェハ10を保持する保持装置1であって、ウェハ10をダイシングテープ11が接着されている側の面から吸引する吸引部4と、ウェハ10を水平になるように設置したとき、ダイシングテープ11における吸引部4により吸引される部位よりも外側の部位に対して、鉛直下向きの力を加え、当該力が加えられた部位が当該部位の内側より鉛直下側に位置するようにするクランプ3と、を備える。
【選択図】図1
Description
図1を用いて実施形態1に係る保持装置1について説明する。図1は実施形態1に係る保持装置1の構造を模式的に示す図であり、図1の(a)にクランプ3でウェハ10を固定していない状態の保持装置1を示し、図1の(b)にクランプ3でウェハ10を固定している状態のクランプ3付近を示す。
本発明の別の実施形態について図2を用いて説明する。なお、説明の便宜上、実施形態1に係る構成要素と同様の機能を有する構成要素には同一の番号を付し、その説明を省略する。本実施形態では、主に、実施形態1との相違点について説明するものとする。
本発明の別の実施形態について図3を用いて説明する。なお、説明の便宜上、実施形態1に係る構成要素と同様の機能を有する構成要素には同一の番号を付し、その説明を省略する。本実施形態では、主に、実施形態2との相違点について説明するものとする。
本実施例では、図1に示した保持装置1と同じ構成であり、保持台2の直径が330mm、吸引部4の直径が302mmの装置(以下、「装置A」という。)及び、保持台2の直径が340mm、吸引部4の直径が302mmの装置(以下、「装置B」という。)を用いた。
ダイシングテープにしわを付けず、ウェハに5mmの反りを付けた以外は実施例1と同様にして保持台2の回転、クランプ3による押圧、及び吸着部4による吸着を行なった。
ダイシングテープにしわを付けず、ダイシングフレームに2mmの反りを付けて、装置Bのみを用いた以外は実施例1と同様にして保持台2の回転、クランプ3による押圧、及び吸着部4による吸着を行なった。
2 保持台
2a 突起部
3,23,33 クランプ(加力部)
4 吸引部
5 回転駆動部
10 ウェハ(基板)
11 ダイシングテープ(支持膜)
11a ダイシングフレーム(枠部)
13 サポートプレート(支持板)
33a 押圧部
Claims (7)
- 片面に支持膜が接着されている基板を保持する保持装置であって、
上記基板を上記支持膜が接着されている側の面から吸引する吸引部と、
上記基板を水平になるように設置したとき、上記支持膜における上記吸引部により吸引される部位よりも外側の部位に対して、鉛直下向きの力を加え、当該力が加えられた部位が当該部位の内側より鉛直下側に位置するようにする加力部と、を備える保持装置。 - 上記支持膜は、その外周に枠部を備えており、
上記加力部は上記枠部に力を加えるものである、請求項1に記載の保持装置。 - 上記加力部によって力が加わる箇所が、上記基板を水平になるように設置したときに、上記基板より下に位置する、請求項1又は2に記載の保持装置。
- 上記基板を面方向に垂直な直線を回転軸として回転させる回転駆動部を備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載の保持装置。
- 上記加力部は弾性体を備えており、弾性体によって力を加えるようになっている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の保持装置。
- 上記基板を水平になるように設置したとき、上記外側の部位の一部を鉛直上向きに押し上げる突起部を備えており、上記加力部は、当該突起部によって押し上げられる上記支持膜の当該部位よりさらに外側の部位に力を加えるようになっている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の保持装置。
- 上記基板は、上記支持膜が接着されている側の面とは反対側の面に支持板が接着されており、
上記支持板を、基板に接着している側の面とは反対側の面から押圧する押圧部を備えている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の保持装置。
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