JP4334992B2 - PCB storage case - Google Patents

Description

本発明は，半導体素子や液晶表示素子の製造に用いるフオトマスクやフオトマクスブランクス等のマスク基板を保管、運搬するため、マスク基板を縦置きに収納する基板収納ケースに関するものであり、さらに詳しくは、１枚ごとにマスク基板を収納する基板収納ケースに関するものである。   The present invention relates to a substrate storage case for storing a mask substrate vertically in order to store and transport a mask substrate such as a photomask or a photomax blank used for manufacturing a semiconductor element or a liquid crystal display element. The present invention relates to a substrate storage case that stores mask substrates one by one.

従来、マスク基板の主表面を基板収納ケースの底面に対して垂直にして、縦置きにマスク基板を収納する基板収納ケースとしては、複数枚のガラス基板を一定間隔で整列させて収納する収納溝を有する中籠（内容器、または内箱とも称する。）と、前記中籠を収納するために上部に開口を有する容器本体（外容器、またはボトムとも称する。）と、前記外容器の開口を閉鎖する蓋体（蓋、または上蓋とも称する。）と、前記蓋体の内側の面に取り付けられ前記ガラス基板の上方からこれを保持するための基板押さえとからなるものが知られている（例えば、特許文献１、特許文献２参照。）。上記の縦置きの基板収納ケースは、複数枚のマスク基板を同時に一つのケースに収納できるので、フォトマスクブランクスやフォトマスク等の製造工程で多用されている。   Conventionally, as a substrate storage case for storing a mask substrate in a vertical position with the main surface of the mask substrate perpendicular to the bottom surface of the substrate storage case, a storage groove for storing a plurality of glass substrates aligned at regular intervals An inner casing (also referred to as an inner container or an inner box), a container main body (also referred to as an outer container or a bottom) having an opening at the top for accommodating the inner casing, and an opening of the outer container. A lid body (also referred to as a lid or an upper lid) that closes and a substrate pressing member that is attached to the inner surface of the lid body and holds the glass substrate from above is known (for example, , Patent Document 1 and Patent Document 2). Since the above-described vertically placed substrate storage case can store a plurality of mask substrates in one case at the same time, it is frequently used in the manufacturing process of photomask blanks, photomasks and the like.

特許文献１に記載の基板収納ケースは、容器本体中に装入される中籠に対向する内側面にそれぞれ一定間隔をおいて弾性リブを多数並設してマスク嵌合用の収納溝を多数配列形成し、収納溝に外方に連通する開口窓をそれぞれ備えた基板収納ケースであって、収納溝のマスク下面を載置する底受面に斜面にあるマスク係止用突壁を一定間隙が上方に広がるＶ形斜面となるように対向配置すると共に、マスク側面と接触する側受面を内方に突出する湾曲面に形成されている。   In the substrate storage case described in Patent Document 1, a large number of elastic ribs are arranged side by side at regular intervals on the inner surface of the container body that faces the inner casing, and a large number of storage grooves for mask fitting are arranged. A substrate storage case that is formed and has an opening window that communicates outwardly with the storage groove, and a mask locking projection wall on the slope is formed on the bottom receiving surface on which the mask lower surface of the storage groove is placed. While facing and arranging so that it may become the V-shaped slope which spreads upwards, the receiving surface which contacts a mask side surface is formed in the curved surface which protrudes inward.

上記の特許文献１に記載の基板収納ケースは、水平方向の振動及び衝撃により中籠の開口窓とマスク基板の主表面とが接触すると、接触部においてパーティクルが発生し易い傾向があり、マスク基板に異物を付着させたりして影響が及ぶことがあった。また、マスク基板のガタツキを防ぐために湾曲面の突出量を大きくしたり、収納溝の寸法をマスク基板の寸法ぎりぎりに設定してしまうと、マスク基板の角が収納溝を形成するリブにぶつかって収納溝に入れるのが困難になったり取り出しにくくなるという問題があった。また、出し入れの際にマスク基板の側面と内箱との擦れが大きくなり、パーティクルの発生が多くなってマスク基板が汚染されるといった問題もあった。   The substrate storage case described in Patent Document 1 tends to generate particles at the contact portion when the central opening window and the main surface of the mask substrate come into contact with each other due to horizontal vibration and shock. In some cases, foreign matter may adhere to the surface. Also, if the amount of protrusion of the curved surface is increased to prevent rattling of the mask substrate, or if the size of the storage groove is set to the limit of the size of the mask substrate, the corner of the mask substrate will hit the rib forming the storage groove. There was a problem that it became difficult to put in the storage groove and it became difficult to take out. In addition, there is a problem that the side surface of the mask substrate and the inner box are rubbed at the time of loading and unloading, and the generation of particles increases and the mask substrate is contaminated.

特許文献２に記載の基板収納ケースは、特許文献１に記載の問題点を解決することを目的としたものであり、ガラス基板を収納する収納溝が一定間隔で形成された一対の側壁と側壁を連結する一対の端壁とからなる中籠と、開口を有し中籠を収容する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、蓋体に取り付けられそれぞれのガラス基板と接触する突片を有する基板押さえとを有する基板収納ケースにおいて、前記中籠の収納溝下端部にはガラス基板の下面と接触する底受部が形成されていて、収納溝と底受部と基板押さえのそれぞれには、ガラス基板を狭持する一対の傾斜面がそれぞれ形成されている基板収納ケースであり、前記基板収納ケースの収納溝と底受部と基板押さえのそれぞれに形成される一対の傾斜面が、マスク基板の稜線部に形成される面取り部と同一の傾斜角度でそれぞれ形成されている収納ケースである。
実開平３−８１９４５号公報 特開２００３−２６４２２５号公報 The substrate storage case described in Patent Document 2 is intended to solve the problems described in Patent Document 1, and a pair of side walls and side walls in which storage grooves for storing glass substrates are formed at regular intervals. A pair of end walls for connecting the container, a container main body having an opening for receiving the middle collar, a lid for closing the opening of the container main body, and the glass substrate attached to the lid for contacting with each glass substrate In the substrate storage case having the substrate holder having the projecting piece, a bottom receiving portion that is in contact with the lower surface of the glass substrate is formed at the lower end portion of the storage groove of the intermediate collar, and the storage groove, the bottom receiving portion, and the substrate pressing Each is a substrate storage case in which a pair of inclined surfaces for holding the glass substrate is formed, and a pair of inclined surfaces formed in each of the storage groove, the bottom receiving portion, and the substrate presser of the substrate storage case Is the edge of the mask substrate A storage case are formed at the same angle of inclination and the chamfer which is formed on the part.
Japanese Utility Model Publication No. 3-81945 JP 2003-264225 A

しかしながら、特許文献２に記載の基板収納ケースは、基板収納ケースの収納溝と底受部と基板押さえのそれぞれに形成される一対の傾斜面がマスク基板の稜線によりマスク基板と接しているため、マスク基板の出し入れの際にマスク基板の稜線と擦れ合い、中籠の収納溝、底受部および基板押さえの樹脂が削れてパーティクルが発生し、発生したパーティクルが異物となってマスク基板に付着してしまうという問題が依然として生じていた。また、縦置きにマスク基板を収納する基板収納ケースでは、特許文献１、特許文献２に示されるように、従来、複数枚を収納するケースが用いられており、蓋体の複数回の開閉時に塵埃等の異物が発生し易く、巻き込み異物等がマスク基板表面に付着し、フォトマスク等に外観欠陥不良を生じるという問題があった。   However, since the substrate storage case described in Patent Document 2 is in contact with the mask substrate by the ridgeline of the mask substrate, a pair of inclined surfaces formed in each of the storage groove, the bottom receiving portion, and the substrate presser of the substrate storage case, When the mask substrate is put in and out, it rubs against the ridgeline of the mask substrate, the inner storage groove, the bottom receiving part and the substrate pressing resin are scraped to generate particles, and the generated particles become foreign matters and adhere to the mask substrate. The problem of ending up still occurred. In addition, as shown in Patent Document 1 and Patent Document 2, a case for storing a plurality of sheets is conventionally used in a substrate storage case for storing a mask substrate in a vertical position, and when a lid is opened and closed multiple times. There is a problem that foreign matters such as dust are likely to be generated, entrained foreign matters and the like adhere to the surface of the mask substrate, resulting in defective appearance defects in the photomask and the like.

近年、フオトマスク等のパターンの微細化、高密度化に伴い、高品質化の要求はますます大きくなり、それに伴い、フオトマスク等のマスク基板収納ケースにも低発塵性、損傷防止、汚染防止、取扱いの容易性等の特性が強く求められるようになってきている。
さらに、フォトマスク製造工程における化学増幅型レジストの使用増加に伴い、化学増幅型レジストの感度がレジスト塗布から現像までの周辺環境に大きく依存するという特性により、露光時、複数枚を収納する従来の基板収納ケースでは、複数回の基板の出し入れにより、ケース外環境の影響を受け、露光感度の変化を生じ易く、微細なレジストパターン形成に問題を生じていた。上記の課題に対し、１枚のマスク基板を縦置きに収納しようとする場合には、上記の複数枚を収納するケースを兼用しており、塵埃等の異物発生の影響を受けにくい、１枚のマスク基板専用の好適な基板収納ケースがないという問題もあった。 In recent years, with the miniaturization and high density of patterns such as photomasks, the demand for higher quality has increased, and accordingly, mask substrate storage cases such as photomasks also have low dust generation, damage prevention, contamination prevention, Characteristics such as ease of handling have been strongly demanded.
Furthermore, with the increasing use of chemically amplified resists in the photomask manufacturing process, the sensitivity of chemically amplified resists greatly depends on the surrounding environment from resist coating to development. In the substrate storage case, the exposure sensitivity is likely to change due to the influence of the environment outside the case due to the loading and unloading of the substrate multiple times, causing a problem in forming a fine resist pattern. When one mask substrate is to be stored vertically, the above-mentioned problem is also used as a case for storing a plurality of the above-mentioned masks, and is less susceptible to the occurrence of foreign matter such as dust. There is also a problem that there is no suitable substrate storage case dedicated to the mask substrate.

本発明は，上記のような状況のもと、フオトマスク等の１枚のマスク基板を縦置きに収納して、保管時および運搬時に、基板が損傷したり、ケースの内部発塵により汚染したりすることを防止し、取扱いが容易で、基板の出し入れ時に発塵することが抑えられ、ケース自体の洗浄性、乾燥性に優れた、基板収納ケースを提供するものである。また、化学増幅型レジストを塗布したレジスト塗布ブランクスを収納する場合に、露光感度が安定化するようにケース外環境の影響を受けない密閉度の高い基板収納ケースを提供するものである。   In the present invention, in the above situation, a mask substrate such as a photomask is stored vertically, and the substrate may be damaged during storage and transportation, or may be contaminated by internal dust generation in the case. It is possible to provide a substrate storage case that is easy to handle, prevents dust generation when the substrate is taken in and out, and is excellent in cleaning and drying of the case itself. Further, the present invention provides a substrate storage case having a high degree of sealing that is not affected by the environment outside the case so that exposure sensitivity is stabilized when resist-coated blanks coated with a chemically amplified resist are stored.

本発明の請求項１に記載の基板収納ケースは、１枚のマスク基板を縦置きに収納する中籠と、開口部を有し前記中籠を収容する容器本体と、前記容器本体の前記開口部を閉鎖する蓋体と、前記蓋体に取り付けられマスク基板と接する基板押さえとを有する基板収納ケースにおいて、前記中籠の下端部内側の両端は傾斜面を形成し、前記傾斜面は球面状であり、前記マスク基板は該マスク基板下部の４つの角部において前記中籠の下端部内側の両端の傾斜面と４点で接して支えられ、前記蓋体上部の内側の両端２箇所に取り付けられた２つの前記基板押さえは傾斜面を形成し、前記基板押さえのマスク基板と接する面は球面状であり、前記蓋体を閉めることにより、前記マスク基板は該マスク基板上部の４つの角部において前記基板押さえの傾斜面と４点で接して固定されるようにしたものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a substrate storage case that includes a middle casing for storing one mask substrate in a vertical position, a container body having an opening and accommodating the middle casing, and the opening of the container body. In a substrate storage case having a lid that closes a portion and a substrate presser that is attached to the lid and is in contact with the mask substrate, both ends inside the lower end portion of the intermediate collar form inclined surfaces, and the inclined surfaces are spherical The mask substrate is supported at the four corners of the lower part of the mask substrate by being in contact with the inclined surfaces at both ends inside the lower end of the middle collar at four points, and is attached to the two ends on the inner side of the upper part of the lid. The two substrate holders formed have an inclined surface, and the surface of the substrate holder in contact with the mask substrate is spherical, and by closing the lid, the mask substrate has four corners on the top of the mask substrate. In the tilt of the substrate holder It is obtained so as to be fixed against a plane and four points.

本発明の請求項２に記載の基板収納ケースは、前記中籠の下端部外側の相対する２つの側面には、容器本体と嵌合するための２つの取り外し可能な係止リブが形成されているようにしたものである。
In the substrate storage case according to claim 2 of the present invention, two detachable locking ribs for fitting with the container main body are formed on the two opposite side surfaces on the outer side of the lower end portion of the middle collar. It is what you have.

本発明の請求項３に記載の基板収納ケースは、前記中籠のマスク基板収納口の口縁が外側に向かって末広がりに拡がった形状を有するようにしたものである。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a substrate storage case having a shape in which a lip of the intermediate mask substrate storage port is widened toward the outside.

本発明の請求項４に記載の基板収納ケースは、前記中籠のマスク基板収納口の位置が前記容器本体の前記開口部の位置よりも上にあるようにしたものである。
The substrate storage case according to claim 4 of the present invention is such that the position of the intermediate mask substrate storage port is above the position of the opening of the container body.

本発明の請求項５に記載の基板収納ケースは、前記中籠の相対する２つの主壁面の一部は取り除かれており、はすかいが設けられているようにしたものである。
In the substrate storage case according to claim 5 of the present invention, a part of the two main wall surfaces facing each other of the middle casing is removed, and a basin is provided.

本発明の請求項６に記載の基板収納ケースは、前記蓋体と合わせる前記容器本体の合わせ部にはＯリングが嵌め込まれており、前記容器本体を前記蓋体で閉鎖した後、ラッチを用いて蓋体と容器本体とを固定し、密閉できるようにしたものである。密閉することで、外気を遮断し、ケース内の環境を保つことができるようにしたものである。
In the substrate storage case according to claim 6 of the present invention, an O-ring is fitted into a mating portion of the container main body to be combined with the lid, and the container main body is closed with the lid, and then a latch is used. The lid and the container body are fixed so that they can be sealed. By sealing, outside air is shut off and the environment inside the case can be maintained.

本発明の請求項７に記載の基板収納ケースは、前記マスク基板が化学増幅レジストを塗布したフォトマスクブランクスであるようにしたものである。
The substrate storage case according to claim 7 of the present invention is such that the mask substrate is a photomask blank coated with a chemically amplified resist.

本発明の請求項８に記載の基板収納ケースは、前記基板収納ケースの容器本体下部に取り外し可能なスタンドを設けたようにしたものである。
The substrate storage case according to claim 8 of the present invention is such that a removable stand is provided at the lower part of the container body of the substrate storage case.

本発明の基板収納ケースによれば、マスク基板は基板下部の角部の４点と基板上部の角部の４点でのみ支えられて固定しているので、マスク基板の支持部が少なく、フオトマスク等のマスク基板を収納して、保管時および運搬時に基板が損傷したり、ケースの内部発塵により汚染したりすることが防止され、また、1枚入りのため、蓋体の開閉時および基板の出し入れ等の発塵が抑えられる効果を有する。さらに、本発明の基板収納ケースは、ケースの取扱いが容易で、容器本体、蓋体、中籠、基板受けの各部位に分割されることにより、ケース自体の洗浄性、乾燥性に優れた効果が得られる。また、本発明の基板収納ケースによれば、化学増幅型レジストを塗布したレジスト塗布ブランクスを収納する場合に、密閉性向上によりケース外環境の影響を受けないため、露光感度が安定化し高品質、高精度マスクが得られるという効果がある。   According to the substrate storage case of the present invention, since the mask substrate is supported and fixed only at the four corners of the lower part of the substrate and the four points of the upper part of the substrate, the mask substrate has few supporting parts, and the photomask It is possible to store the mask substrate such as when it is stored and transported, and it is prevented that the substrate is damaged or contaminated by dust generated inside the case. It has the effect of reducing dust generation such as loading and unloading. Furthermore, the substrate storage case of the present invention is easy to handle, and is divided into each part of the container main body, the lid, the middle, and the substrate holder, so that the case itself has excellent cleaning and drying properties. Is obtained. In addition, according to the substrate storage case of the present invention, when storing resist-coated blanks coated with a chemically amplified resist, since it is not affected by the environment outside the case by improving the sealing property, exposure sensitivity is stabilized and high quality, There is an effect that a high-precision mask can be obtained.

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
図１は本発明の基板収納ケースの一実施形態を示す斜視図であり、分かり易くするために、主な構成要素を実際より離した状態で示してある。図１に示すように、基板収納ケース１は１枚のマスク基板２を収納する中籠３と、開口部４を有し中籠３を収容する容器本体５と、容器本体５の前記開口部４を閉鎖する蓋体６と、蓋体６に取り付けられマスク基板２と接する２つの基板押さえ７とを有している。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a substrate storage case according to the present invention. In order to make it easy to understand, main components are shown separated from actual ones. As shown in FIG. 1, the substrate storage case 1 includes a middle collar 3 that accommodates one mask substrate 2, a container body 5 that has an opening 4 and accommodates the middle collar 3, and the opening of the container body 5. 4 has a lid 6 that closes 4 and two substrate holders 7 that are attached to the lid 6 and are in contact with the mask substrate 2.

本発明の基板収納ケース１に収納されるマスク基板２は、半導体素子や液晶表示素子の製造に用いるフォトマスク（レチクルとも称する）やフォトマスクブランクス、化学増幅レジスト等のレジストを塗布したフォトマスクブランクス等であり、低熱膨張ガラスや石英ガラス等のガラス基板を主体にして基板の主表面上に遮光膜が設けられたものである。遮光膜やパターンを形成するマスク基板２の主表面および主表面に相対する裏面は正方形状をしており、４つの側面は長方形状であり、マスク基板は８つの角部を有する。基板サイズは規格により外形寸法が定められている。例えば、６０２５基板（６×６×０．２５インチ（厚み））等が代表例である。
また、本発明におけるマスク基板２としては、基板収納ケース１の厚みを大きくすることにより、ペリクル付きマスク基板も収納し得るものである。 The mask substrate 2 stored in the substrate storage case 1 of the present invention is a photomask blank coated with a resist such as a photomask (also referred to as a reticle), a photomask blank, or a chemically amplified resist used for manufacturing a semiconductor element or a liquid crystal display element. A light shielding film is provided on the main surface of the substrate mainly made of a glass substrate such as low thermal expansion glass or quartz glass. The main surface of the mask substrate 2 on which the light-shielding film and the pattern are formed and the back surface opposite to the main surface are square, the four side surfaces are rectangular, and the mask substrate has eight corners. The external dimensions of the substrate size are determined by the standard. For example, a typical example is a 6025 substrate (6 × 6 × 0.25 inch (thickness)).
Further, as the mask substrate 2 in the present invention, by increasing the thickness of the substrate storage case 1, a mask substrate with a pellicle can also be stored.

図２は、本発明の基板収納ケース１の蓋体６をはずして、中籠３を収容した容器本体５と、中籠３に収納されたマスク基板２を現わした状態を示す側面模式図である。マスク基板２は、マスク基板下部の４つの角部８ａ（図２では図面手前側の２ヵ所が示されている。）において中籠３の下端部内側の両端の球面状の傾斜面９と４点で接して支えられている。基板の４つの角部８ａを支える中籠の下端部内側の傾斜面９は、いずれも対称形で同形状である。
図３は、図２に示す容器本体５を蓋体６で閉めて、ラッチ１４で容器本体５と蓋体６を固定した状態を示す側面図である。蓋体６の天面部内側の両端に取り付けられた２つの基板押さえ７は、球面状の傾斜面を形成し、蓋体６を閉めることにより、マスク基板２はマスク基板上部の４つの角部１０（図３では図面手前側の２ヵ所が示されている。）において基板押さえ７の球面状の傾斜面と４点で接して固定される。
FIG. 2 is a schematic side view showing a state in which the cover body 6 of the substrate storage case 1 of the present invention is removed, and the container body 5 that stores the intermediate casing 3 and the mask substrate 2 stored in the intermediate casing 3 appear. It is. Mask substrate 2, four corner portions 8a of the lower mask substrate (2 places in FIG. 2 drawing near side is shown.) And the inclined surface 9 middle of the lower end portion inside the cage 3 at both ends spherical in the 4 It is supported by contact with dots. The inclined surface 9 of the inner bottom portion of the cage in supporting the four corners 8a of the substrate, have shifted also the same shape in symmetrical.
FIG. 3 is a side view showing a state in which the container body 5 shown in FIG. 2 is closed by the lid body 6 and the container body 5 and the lid body 6 are fixed by the latch 14. The two substrate holders 7 attached to both ends inside the top surface portion of the lid body 6 form a spherical inclined surface. By closing the lid body 6, the mask substrate 2 has four corner portions 10 at the upper portion of the mask substrate. (2 places in FIG. 3 drawing near side is shown.) are fixed in contact with the spherical inclined surfaces and four points of the substrate presser 7 in.

本発明のマスク基板２を支持する本発明の基板収納ケースの支持部についてさらに詳しく説明する。
図４は図１に示される基板収納ケース１のＡ−Ａ線における側面断面模式図を示し、図５は図４の基板支持部分の拡大模式図である。図６は基板収納ケース１のＢ−Ｂ線における側面断面模式図を示し、図７は図６の基板支持部分の拡大模式図である。
図４および図６に示すように、中籠３の下端部内側の両端部は球面状である傾斜面９を形成しており、マスク基板２を中籠３に装入することにより、マスク基板２は中籠３の壁面に接触することなく、マスク基板２の下部が中籠３の下端部内側の球面を形成する傾斜面９に到達し、マスク基板下部の４つの角部８において中籠３の下端部内側の両端部の球面状である傾斜面９と接して４点で支えられる。球面状である傾斜面９は曲率半径Ｒ４程度とするのが好ましい。
The support part of the substrate storage case of the present invention that supports the mask substrate 2 of the present invention will be described in more detail.
4 is a schematic side sectional view taken along the line AA of the substrate storage case 1 shown in FIG. 1, and FIG. 5 is an enlarged schematic view of the substrate support portion of FIG. 6 is a schematic side sectional view taken along the line BB of the substrate storage case 1, and FIG. 7 is an enlarged schematic diagram of the substrate support portion of FIG.
As shown in FIGS. 4 and 6, both end portions inside the lower end portion of the middle collar 3 form a sloped surface 9 having a spherical shape, and by inserting the mask substrate 2 into the middle collar 3, the mask substrate 2 without contacting the wall surface of Chukago 3, to reach the inclined surface 9 of the lower portion of the mask substrate 2 to form a lower portion inside the spherical surface of the middle basket 3, medium in four corners 8 of the lower mask substrate It is supported at four points in contact with the inclined surfaces 9 that are spherical at both ends inside the lower end of the flange 3. The inclined surface 9 that is spherical is preferably set to have a radius of curvature R4.

次に、図８は、基板収納ケース１の蓋体６の上部内側両端２箇所に取り付けられる２つの基板押さえ７の内の１つを示す上面模式図であり、図９は、基板押さえ７の側面模式図である。図１０は、図８の基板押さえ７のＣ−Ｃ線における側面断面図であり、マスク基板上部の角部を押さえている状態を示す。図１１は、図８に示す基板押さえのＤ−Ｄ線における側面断面図であり、マスク基板上部の角部を押さえている状態を示す。基板押さえ７は２つとも同形状、同寸法である。基板押さえ７は、蓋体６の天面の両端もしくは天面に近い側面の位置に設けられる。基板押さえ７のマスク基板１と接する面は球面１０を形成しており、蓋体６を閉めることにより、マスク基板２はマスク基板上部の角部において前記２つの基板押さえ７の球面１０と４点で接して固定される。球面状である基板押さえ７は曲率半径Ｒ４程度とするのが好ましい。
Next, FIG. 8 is a schematic top view showing one of the two substrate holders 7 attached to the upper inner both ends of the lid 6 of the substrate storage case 1. FIG. It is a side surface schematic diagram. FIG. 10 is a side cross-sectional view taken along the line CC of the substrate holder 7 of FIG. 8 and shows a state in which a corner of the upper part of the mask substrate is being pressed. FIG. 11 is a side cross-sectional view taken along the line DD of the substrate press shown in FIG. 8 and shows a state in which a corner of the upper portion of the mask substrate is pressed. The two substrate holders 7 have the same shape and the same dimensions. The substrate holder 7 is provided at both ends of the top surface of the lid body 6 or at positions on the side surfaces close to the top surface. The surface of the substrate holder 7 in contact with the mask substrate 1 forms a spherical surface 10, and by closing the lid 6, the mask substrate 2 has four points with the spherical surfaces 10 of the two substrate holders 7 at the upper corners of the mask substrate. Fixed in contact with. The substrate holder 7 having a spherical shape preferably has a radius of curvature R4.

図８〜図１１において、基板押さえ７の球面１０に続く傾斜している部分であるガイド部１１は、マスク基板１の上部側面の角部をとらえ易くし、球面１０にガイドする機能を有しているので、それぞれのガイド部１１は球面１０よりも大きい球面形状とするのが好ましい。基板押さえ７のレバー１２は、固定部１３と球面１０の上部をつないでおり、球面１０との接合部は一定の範囲で動くように接続してあり、マスク基板２が基板押さえ７と接した時のクッションとしての機能も有しており、不自然に強い力がマスク基板２にかかってマスク基板２を破損することを防ぐとともに、蓋体６を閉めるとレバー１２の剛性で徐々にマスク基板２の上部が基板押さえ７の真中に動いていき、マスク基板２が固定されるようにしている。基板押さえ７の固定部１３は、蓋体６の天面もしくは天面に近い側面の内側両端に設けた基板押さえの取り付け部に取り付ける。固定部１３は、基板押さえの取り付け部に取り付け取り外しできる機能を有し、例えば、固定部１３は基板押さえの取り付け部にスライド式にして、取り外し可能に設けることができる。   8 to 11, the guide portion 11, which is an inclined portion following the spherical surface 10 of the substrate holder 7, has a function of making it easy to grasp the corner portion of the upper side surface of the mask substrate 1 and guiding it to the spherical surface 10. Therefore, it is preferable that each guide portion 11 has a spherical shape larger than the spherical surface 10. The lever 12 of the substrate holder 7 connects the fixed portion 13 and the upper portion of the spherical surface 10, and the joint portion with the spherical surface 10 is connected so as to move within a certain range, and the mask substrate 2 is in contact with the substrate holder 7. It also has a function as a cushion at the time, and prevents the mask substrate 2 from being damaged by an unnaturally strong force, and when the lid body 6 is closed, the rigidity of the lever 12 gradually increases the mask substrate. The upper part of 2 moves to the middle of the substrate holder 7 so that the mask substrate 2 is fixed. The fixing part 13 of the substrate holder 7 is attached to the attachment parts of the substrate holder provided at both inner ends of the top surface of the lid 6 or the side surface close to the top surface. The fixing part 13 has a function that can be attached to and detached from the attachment part of the substrate holder. For example, the fixing part 13 can be slidably attached to the attachment part of the substrate holder and can be provided detachably.

本発明において、蓋体６を閉めることにより、図１０および図１１に示すように、マスク基板２はマスク基板上部の４つの角部８ｂにおいて、球面を形成する２つの基板押さえ７とそれぞれ２点、計４点で接して固定されるが、マスク基板２をより強固に固定するには、図３に示すように、容器本体５の蓋体６と合わせる部分にＯリングを嵌め込み、蓋体部分および容器本体の合わせ部にそれぞれラッチ受け用の凸部を設け、蓋体６を閉めた後、蓋体部分および容器本体の合わせ部の凸部に外れ止めのラッチ１４をして、より強固に密閉することが好ましい。本発明の基板収納ケース１は、容器本体５の蓋体６と合わせる部分にＯリングを設けラッチ１４をすることにより、ケースの密閉性を上げ、外環境の影響を無くすことができる。その結果、従来の収納ケースのように、基板収納後に蓋体と容器本体を合わせた部分にテープ等で貼り合わせる作業を不要とすることができる。
また、本発明では、Ｏ−リングが蓋体と容器本体を重ね合わせたときの緩衝材の役割も果たしているものであり、マスク基板へ不自然な力が加わるのを防止している。上記のＯ−リングとしては、フッ素系ゴムを用いることが可能であり、例えば、商品名フロロプラス（ニチアス社製）という製品が挙げられる。 In the present invention, by closing the lid 6, as shown in FIGS. 10 and 11, the mask substrate 2 has two points each of two substrate pressers 7 that form a spherical surface at the four corners 8b on the mask substrate. In order to fix the mask substrate 2 more firmly, as shown in FIG. 3, an O-ring is fitted into a portion of the container main body 5 to be fitted with the lid body 6, and the lid body portion is fixed. Further, a protrusion for receiving the latch is provided at each of the mating portions of the container body, and the lid body 6 is closed. It is preferable to seal. In the substrate storage case 1 of the present invention, by providing an O-ring at the portion to be combined with the lid 6 of the container body 5 and using the latch 14, the case can be sealed and the influence of the external environment can be eliminated. As a result, unlike the conventional storage case, it is possible to eliminate the need to attach the lid and the container body together with a tape or the like after the substrate is stored.
Further, in the present invention, the O-ring also serves as a cushioning material when the lid and the container body are overlapped, thereby preventing an unnatural force from being applied to the mask substrate. As the O-ring, it is possible to use a fluorine-based rubber, and examples thereof include a product named “Fluoroplus” (manufactured by Nichias).

また、本発明の基板収納ケース１において、化学増幅型レジストを塗布したレジスト塗布ブランクスを収納する場合等には、基板収納ケース１に基板を収納後、清浄な窒素ガス等の不活性ガスをケース内部に充填する、もしくは前記環境下で蓋体６を閉めラッチ１４により密閉固定すれば、外環境の影響を受けず、化学増幅レジスト等のレジストの露光感度を安定化した状態で保管しえる基板収納ケースとなる。   Further, in the substrate storage case 1 of the present invention, when storing a resist-coated blank coated with a chemically amplified resist, etc., after storing the substrate in the substrate storage case 1, an inert gas such as clean nitrogen gas is stored in the case. A substrate that can be stored in a state in which the exposure sensitivity of a resist such as a chemically amplified resist is stabilized without being affected by the external environment if the inside is filled or the lid 6 is closed and hermetically fixed by the latch 14 in the above environment. It becomes a storage case.

本発明における中籠３の下端部外側の相対する２つの側面には、図１〜図４に示すように、容器本体５と嵌合するための２つの取り外し可能な係止リブ１５が形成されており、係止リブ１５を容器本体５に設けた係止リブの嵌め込み部１６に嵌め込むことにより、中籠３は固定される。係止リブ１５の形状、大きさは、マスク基板の大きさに応じて適宜設定し得る。
また、本発明における中籠３は、従来の中籠の係止方法のように、容器本体の底面内側に１〜数箇所に係止用の凸部を設け、相対する中籠の底面外側にも１〜数箇所の係止用の凹部もしくは切れ込み部を設け、中籠を容器本体に嵌め込むことも可能である。さらに、中籠をより強固に容器本体に固定するために、前述の本発明の中籠側面部の係止リブ１５による係止方法と従来の中籠底面部の係止方法とを併用することも可能である。
本発明において、基板収納ケース１を洗浄する場合には、中籠３を取り外し、係止リブ１５も取り外して洗浄し得るので、基板収納ケース１の形状の簡易化を図ることができ、洗浄および乾燥し易く、洗浄および乾燥効率も向上する。さらに、基板収納ケース１は何度も使用するうちに消耗するので、使用不可となった部品のみを交換することが可能である。 As shown in FIGS. 1 to 4, two detachable locking ribs 15 for fitting with the container body 5 are formed on the two opposite side surfaces on the outer side of the lower end portion of the intermediate collar 3 in the present invention. The intermediate rib 3 is fixed by fitting the engagement rib 15 into the engagement portion 16 of the engagement rib provided on the container body 5. The shape and size of the locking rib 15 can be appropriately set according to the size of the mask substrate.
Further, the middle collar 3 in the present invention is provided with one or several locking projections on the inner side of the bottom surface of the container body as in the conventional middle collar locking method, and on the outer bottom surface of the opposed middle collar. It is also possible to provide one to several locking recesses or cuts, and to fit the inner collar into the container body. Furthermore, in order to more firmly fix the center collar to the container body, the above-described locking method using the locking rib 15 on the side surface of the middle collar of the present invention and the conventional latching method for the bottom surface of the middle collar are used in combination. Is also possible.
In the present invention, when cleaning the substrate storage case 1, the intermediate collar 3 can be removed and the locking rib 15 can also be removed and cleaned, so that the shape of the substrate storage case 1 can be simplified, It is easy to dry, and cleaning and drying efficiency are also improved. Further, since the substrate storage case 1 is consumed while being used many times, it is possible to replace only the parts that have become unusable.

また、図１に示すように、本発明における中籠３は、中籠３の相対する２つの主壁面の一部が取り除かれており、塵埃が中籠の内部に残存しにくく、洗浄し易い構造としており、はすかい１７を設けることにより中籠３を補強し、中籠３の反りや変形を防止する構造とするのが好ましい。はすかい１７は一方向でもよいが、中籠３の強度を高めるには二方向で対称形に交差させるのがより好ましい。   Further, as shown in FIG. 1, in the middle rod 3 according to the present invention, a part of two opposing main wall surfaces of the middle rod 3 is removed, so that dust hardly remains in the middle wall and is easy to clean. It is preferable to have a structure in which the inner flange 3 is reinforced by providing a small portion 17 to prevent warpage or deformation of the intermediate flange 3. Although the short 17 may be unidirectional, in order to increase the strength of the intermediate collar 3, it is more preferable to cross it symmetrically in two directions.

また、図１〜図３に示すように、本発明における中籠３のマスク基板収納口１８の口縁は外側に向かって末広がりに拡がった形状とするのが好ましく、マスク基板２の出し入れがし易く、マスク基板２が中籠３と接触しにくいので、接触による発塵が抑えられ、基板への異物付着を防止できる。なお、図１〜図３においては、収納口１８の口縁が外側に向かって曲面状に末広がりに拡がっている場合を例示しているが、口縁が外側に向かって末広がりに拡がっていれば、直線状の末広がり形状であってもよい。   Moreover, as shown in FIGS. 1-3, it is preferable to make the edge of the mask board | substrate storage port 18 of the middle collar 3 in this invention into the shape which spreads outward toward the outer side, and the mask board | substrate 2 is taken in and out. It is easy and the mask substrate 2 is difficult to come into contact with the intermediate collar 3, so that the generation of dust due to the contact can be suppressed, and foreign matter adhesion to the substrate can be prevented. 1 to 3 exemplify the case where the rim of the storage port 18 is widened in a curved shape toward the outside, but if the lip is widened toward the outside, Alternatively, it may be a straight and divergent shape.

また、図２に示すように、本発明における中籠３のマスク基板収納口１８の位置は容器本体５の開口部４の位置よりも上にあるのが好ましい。基板収納ケースにおいては、蓋体の開閉時に容器本体と蓋体とを合わせる部分から発塵し易いので、蓋体の開閉時に発生した塵埃がマスク基板に付着するのを防止するには、本発明に示すように、マスク基板収納口１８の位置を容器本体の開口部４の位置よりも上にすることにより、周囲の塵埃を巻き込み、マスク基板に異物付着による外観不良を引き起こすようなことが防止される。   Further, as shown in FIG. 2, it is preferable that the position of the mask substrate storage port 18 of the middle collar 3 in the present invention is above the position of the opening 4 of the container body 5. In the substrate storage case, dust is likely to be generated from the portion where the container body and the lid are brought together when the lid is opened and closed. Therefore, in order to prevent dust generated when the lid is opened and closed from adhering to the mask substrate, the present invention is provided. As shown in FIG. 4, by making the position of the mask substrate storage opening 18 higher than the position of the opening 4 of the container body, it is possible to prevent surrounding dust from being involved and causing appearance defects due to foreign matter adhering to the mask substrate. Is done.

本発明において、縦置きの基板収納ケース１は単独で自立させておくことができるが、不注意等によりケースを倒したとき、高価なマスク基板を破損してしまうという危惧がある場合には、基板収納ケース１の容器本体５の下部に取り外し可能なスタンドを設けることが好ましい。スタンド材料としては、プラスチック製または金属製のものを用いることができ、スタンドの形状は適宜設定し得る。   In the present invention, the vertically placed substrate storage case 1 can stand alone, but when there is a risk of damaging the expensive mask substrate when the case is inadvertently tilted, It is preferable to provide a removable stand at the bottom of the container body 5 of the substrate storage case 1. As the stand material, plastic or metal can be used, and the shape of the stand can be set as appropriate.

さらに、本発明の基板収納ケース１は、縦置きの基板収納ケースなのでマスク保管棚等に書物のように整然と配列することができ、ケースの外側表面にバーコードラベルやＩＣタグ等を貼付すれば、ケースごと製品管理することも可能となり、棚からのケースの自動出し入れ、ケースの自動搬送、基板のケースからの自動出し入れを行うことにより、人手作業が減少することにより、塵埃による品質トラブルも減少し、品質、生産性を向上し、高品質マスクの作製、搬送、保管に寄与することができる。   Further, since the substrate storage case 1 of the present invention is a vertical substrate storage case, it can be arranged in a regular manner like a book on a mask storage shelf or the like, and if a bar code label or an IC tag is attached to the outer surface of the case In addition, it is possible to manage products for each case, and by carrying out automatic loading / unloading of cases from the shelf, automatic transfer of cases, and automatic loading / unloading of boards from / to the case, manual work is reduced and quality problems due to dust are reduced. In addition, the quality and productivity can be improved, and it can contribute to the production, transport and storage of high quality masks.

本発明の基板収納ケース１の中籠３、容器本体５、蓋体６の材質は、耐衝撃性、低発塵性、耐光性があり、洗浄、乾燥性が良くて再使用できるものがよい。例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ＡＢＳ樹脂等が例示できる。また、基板押さえ７は、低発塵性、柔軟性が求められるので、ポリエチレン、ポリプロピレン等が好ましい。
また、本発明の基板収納ケース１は、中籠３と外側の容器本体５および蓋体６の材質を分け、外からの衝撃を基板に直接与えず、柔らかく滑りやすい材質を中籠に用いることで、基板収納ケースとしての特性をさらに向上させることも可能である。
また、基板収納ケースは運搬時等に帯電すると、放電現象によりフォトマスクパターンを破壊したり、空気中の塵埃を吸着して基板を汚染するので、中籠３、容器本体５、蓋体６、基板押さえ７を導電性プラスチックにより形成するのも好ましい形態である。導電性プラスチックとしては、例えば、電気抵抗率の小さいゴム粒子を硬質樹脂中に分散した構造の商品名バイヨン（呉羽化学工業社製）あるいはノバロイ（ダイセルポリマー社製）という樹脂が使用可能である。
さらに、基板収納ケース全体を紫外線を遮光する着色蓋体とすることも可能である。また、蓋体を開けなくても、ケースの内容物を外部から容易に判別し得るように、蓋体のみを透明蓋体もしくは紫外線を遮光し可視光を透過する着色蓋体とすることも好ましい形態である。 The material of the middle shell 3, the container body 5, and the lid 6 of the substrate storage case 1 of the present invention is good in that it has impact resistance, low dust generation, and light resistance, and has good cleaning and drying properties and can be reused. . Examples thereof include polyethylene, polypropylene, polycarbonate, polyacetal, polybutylene terephthalate, and ABS resin. Further, since the substrate holder 7 is required to have low dust generation and flexibility, polyethylene, polypropylene, or the like is preferable.
In the substrate storage case 1 of the present invention, the material of the inner casing 3 and the outer container body 5 and the lid 6 are separated, and a soft and slippery material is used for the intermediate casing without directly applying external impact to the substrate. Thus, it is possible to further improve the characteristics as a substrate storage case.
Further, if the substrate storage case is charged during transportation, etc., the photomask pattern is destroyed by the discharge phenomenon or the substrate is contaminated by adsorbing dust in the air, so the inner casing 3, the container body 5, the lid body 6, It is also a preferred form that the substrate holder 7 is formed of a conductive plastic. As the conductive plastic, for example, a resin called trade name Bayon (manufactured by Kureha Chemical Industry Co., Ltd.) or Novalloy (manufactured by Daicel Polymer Co., Ltd.) having a structure in which rubber particles having a low electrical resistivity are dispersed in a hard resin can be used.
Furthermore, the entire substrate storage case can be a colored lid that shields ultraviolet rays. Further, it is also preferable that only the lid is a transparent lid or a colored lid that blocks ultraviolet rays and transmits visible light so that the contents of the case can be easily distinguished from the outside without opening the lid. It is a form.

本発明の基板収納ケース１は、収納ケースの樹脂成型時におけるヒケの問題を生じさせず、収納ケースのコーナ部や凹凸部に塵埃が集まりにくく、洗浄、乾燥し易くするために、コーナ部や凹凸部に丸みをもたせる構造とするのがより好ましい。また、ケースの強度を上げるために、図１〜図３に示すように、容器本体５、蓋体６に例えば台形状の凹部１９を設けることも好ましい形態である。   The substrate storage case 1 of the present invention does not cause the problem of sink marks at the time of resin molding of the storage case, and it is difficult for dust to collect at the corner portion and the concavo-convex portion of the storage case. It is more preferable to have a structure in which the uneven portion is rounded. Moreover, in order to raise the intensity | strength of a case, as shown in FIGS. 1-3, it is also a preferable form to provide the container main body 5 and the cover body 6 with the trapezoid-shaped recessed part 19, for example.

上記のように、本発明は、従来の基板収納ケースのように、マスク基板を基板の面、もしくは面の一部、もしくは稜線で支持して収納するのではなく、縦置きに収納したマスク基板の上下８箇所の角部で支持することにより、支持部と基板との接触箇所を極力少なくし、発塵の生じる機会を低くしたものである。本発明の基板収納ケース１においては、基板押さえ７が基板を押さえると共に緩衝効果も有するので、マスク基板の角が損傷したりすることはなく、また、基板を支持する部分からの発塵も抑制され、高品質で安価な基板収納ケースが提供される。   As described above, according to the present invention, the mask substrate is not vertically stored but supported by the substrate surface, a part of the surface, or the ridgeline as in the conventional substrate storage case. By supporting at the upper and lower eight corners, the number of contact portions between the support portion and the substrate is reduced as much as possible, and the chance of generating dust is reduced. In the substrate storage case 1 of the present invention, the substrate holder 7 holds the substrate and has a buffering effect, so that the corners of the mask substrate are not damaged, and dust generation from the portion supporting the substrate is also suppressed. Thus, a high-quality and inexpensive substrate storage case is provided.

次に、上述した実施の形態の具体的実施例について述べる。
６インチのフォトマスク（外形寸法６×６×０．２５（厚み）インチ）専用の縦置きの基板収納ケースを作製するために、容器本体は外形寸法２１０×５０×１００（高さ）ｍｍで樹脂厚４ｍｍ、蓋体は外形寸法２１０×５０×８０（高さ）ｍｍで樹脂厚３ｍｍの金型を作製し、ともにＡＢＳ樹脂を用いて作製した。中籠は１７５×３０×１２０ｍｍの金型を作製し、下端部内側は曲率半径４ｍｍの球面状とし、ポリエチレン樹脂を用いて樹脂厚３ｍｍで作製した。また、中籠を容器本体に係止するためのリブをポリプロピレン樹脂で作製した。基板押さえはマスク基板と接する面は球面状である図８〜１１に示す形状の金型を作製し、基板押さえの傾斜面は曲率半径４ｍｍの球面状とし、ポリプロピレン樹脂により作製した。また、ラッチはポリプロピレン樹脂、Ｏ−リングはフッ素ゴムよりなる２ｍｍφで内径１５０ｍｍの商品名フロロプラス（ニチアス社製）を用いた。 Next, specific examples of the above-described embodiment will be described.
In order to produce a vertical substrate storage case dedicated to a 6-inch photomask (outer dimensions 6 × 6 × 0.25 (thickness) inches), the container body has an outer dimension of 210 × 50 × 100 (height) mm. A mold having a resin thickness of 4 mm, a lid having an outer dimension of 210 × 50 × 80 (height) mm, and a resin thickness of 3 mm was produced using ABS resin. A middle die was manufactured as a 175 × 30 × 120 mm mold, and the inner side of the lower end portion was formed into a spherical shape with a curvature radius of 4 mm, and a polyethylene resin was used with a resin thickness of 3 mm. Moreover, the rib for latching a middle collar to a container main body was produced with polypropylene resin. The substrate pressing was made of a mold having the shape shown in FIGS. 8 to 11 having a spherical surface in contact with the mask substrate, and the inclined surface of the substrate pressing was made into a spherical shape with a curvature radius of 4 mm, and made of polypropylene resin. The latch used was a polypropylene resin, and the O-ring was made of fluoro rubber.

次に、上記の基板収納ケースの各構成要素を組み立てて収納ケースを作製した。中籠の下端部外側に係止リブを嵌め込み、次いで、中籠を容器本体に係止リブにより嵌め込んで固定した。蓋体の天面内側の両端に基板押さえをスライド式にして２つ取り付けた。容器本体の蓋体と合わせる部分にはＯ−リングを嵌め込み、容器本体を蓋体で閉め、ラッチで止めて基板収納ケースを形成した。   Next, each component of the substrate storage case was assembled to prepare a storage case. A locking rib was fitted on the outer side of the lower end of the middle collar, and then the middle collar was fitted into the container body with the retaining rib and fixed. Two substrate holders were slid and attached to both ends inside the top surface of the lid. An O-ring was fitted into a portion to be fitted with the lid of the container main body, the container main body was closed with the lid, and stopped with a latch to form a substrate storage case.

次に、上記の基板収納ケースの蓋体を開け、中籠に、電子線レジストを塗布した６インチのフォトマスクブランクス（外形寸法６×６×０．２５（厚み）インチ）を、塗布面を垂直にして縦置きに静置した。マスク基板下部の４つの角部が、中籠の下端部内側の両端の球面状の傾斜面と４点で接して、位置決めと同時に支持された状態となった。   Next, the lid of the above-mentioned substrate storage case is opened, and a 6-inch photomask blank (external dimensions: 6 × 6 × 0.25 (thickness) inch) coated with an electron beam resist is applied to the middle of the coating surface. It was kept vertical and placed vertically. The four corners at the lower part of the mask substrate were in contact with the spherical inclined surfaces at both ends inside the lower end of the middle collar at four points, and were supported at the same time as positioning.

次に、蓋体を閉めることにより、マスク基板はマスク基板上部の４つの角部において、蓋体に取り付けられた基板押さえの球面状の傾斜面と４点で接して固定された。さらに、ラッチを用いて蓋体と容器本体を固定することで、マスク基板は基板収納ケース内にしっかりと固定された。すなわち、マスク基板は、マスク基板下部側および上部側のそれぞれの角部計８箇所で支持され、確実に固定された。
本発明の基板収納ケースは、従来の収納ケースと比較して発塵が低減され、また、化学増幅型レジストを塗布したブランクスを収納した場合に、電子線描画やレーザ描画時のレジスト感度の安定化がなされ、高精度、高品質マスクが歩留りよく作製し得た。また、基板収納ケースの各構成部品が取り外し可能なので、ケースの洗浄が容易であった。 Next, by closing the lid, the mask substrate was fixed at the four corners on the top of the mask substrate in contact with the spherical inclined surface of the substrate press attached to the lid at four points. Furthermore, the mask substrate was firmly fixed in the substrate storage case by fixing the lid and the container body using a latch. That is, the mask substrate was supported and fixed securely at a total of eight corner portions on the lower and upper sides of the mask substrate.
The substrate storage case of the present invention has reduced dust generation compared to the conventional storage case, and stable resist sensitivity during electron beam drawing or laser drawing when storing blanks coated with chemically amplified resist. As a result, high-accuracy and high-quality masks can be manufactured with good yield. Further, since each component of the substrate storage case is removable, the case can be easily cleaned.

本発明の基板収納ケースの一実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows one Embodiment of the board | substrate storage case of this invention. 本発明の一実施例の基板収納ケースを開いた状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state which opened the board | substrate storage case of one Example of this invention. 本発明の一実施例の基板収納ケースを閉じた状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state which closed the substrate storage case of one Example of this invention. 図１に示される基板収納ケースの中籠のＡ−Ａ線における側面断面図である。It is side surface sectional drawing in the AA of the center of the board | substrate storage case shown by FIG. 図４に示されるマスク基板支持部分の拡大模式図である。FIG. 5 is an enlarged schematic view of a mask substrate support portion shown in FIG. 4. 図１に示される基板収納ケースの中籠のＢ−Ｂ線における側面断面図である。It is side surface sectional drawing in the BB line of the center of the board | substrate storage case shown by FIG. 図６に示されるマスク基板支持部分の拡大模式図である。FIG. 7 is an enlarged schematic view of a mask substrate support portion shown in FIG. 6. 本発明の一実施例の基板押さえの平面図である。It is a top view of the board | substrate holding | maintenance of one Example of this invention. 図８に示す基板押さえの側面図である。It is a side view of the board | substrate holding | suppressing shown in FIG. 図８に示す基板押さえのＣ−Ｃ線における側面断面図であり、マスク基板上部の角部を押さえている状態を示す。It is side surface sectional drawing in CC line of the board | substrate holding | suppressing shown in FIG. 8, and shows the state which is pressing down the corner | angular part of a mask board | substrate upper part. 図８に示す基板押さえのＤ−Ｄ線における側面断面図であり、マスク基板上部の角部を押さえている状態を示す。It is side surface sectional drawing in the DD line | wire of the board | substrate holding | suppressing shown in FIG. 8, and shows the state which is pressing down the corner | angular part of a mask board | substrate upper part.

符号の説明Explanation of symbols

１ 基板収納ケース
２ マスク基板
３ 中籠
４ 開口部
５ 容器本体
６ 蓋体
７ 基板押さえ
８ａ 基板下部の角部
８ｂ 基板上部の角部
９ 傾斜面
１０ 基板押さえの球面
１１ ガイド部
１２ レバー
１３ 基板押さえの固定部
１４ ラッチ
１５ 係止リブ
１６ 係止リブ嵌め込み部
１７ はすかい
１８ 基板収納口
１９ 凹部

























DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate storage case 2 Mask substrate 3 Middle 4 Opening 5 Container body 6 Lid 7 Substrate holder 8a Substrate lower corner 8b Substrate upper corner 9 Inclined surface 10 Substrate retaining spherical surface 11 Guide portion 12 Lever 13 Substrate retainer Fixing portion 14 Latch 15 Locking rib 16 Locking rib fitting portion 17 Fast 18 Substrate storage port 19 Recess

Claims (8)

１枚のマスク基板を縦置きに収納する中籠と、開口部を有し前記中籠を収容する容器本体と、前記容器本体の前記開口部を閉鎖する蓋体と、前記蓋体に取り付けられマスク基板と接する基板押さえとを有する基板収納ケースにおいて、前記中籠の下端部内側の両端は傾斜面を形成し、前記傾斜面は球面状であり、前記マスク基板は該マスク基板下部の４つの角部において前記中籠の下端部内側の両端の傾斜面と４点で接して支えられ、前記蓋体上部の内側の両端２箇所に取り付けられた２つの前記基板押さえは傾斜面を形成し、前記基板押さえのマスク基板と接する面は球面状であり、前記蓋体を閉めることにより、前記マスク基板は該マスク基板上部の４つの角部において前記基板押さえの傾斜面と４点で接して固定されることを特徴とする基板収納ケース。 A middle collar for storing one mask substrate vertically, a container main body having an opening and accommodating the middle collar, a lid for closing the opening of the container main body, and attached to the lid In a substrate storage case having a substrate holder in contact with the mask substrate, both ends inside the lower end portion of the middle collar form an inclined surface , the inclined surface is spherical, and the mask substrate has four lower portions of the mask substrate. The two substrate holders, which are supported at the corners by being in contact with the inclined surfaces at both ends inside the lower end portion of the middle collar at four points, and attached to the two ends at both ends inside the lid body, form inclined surfaces, The surface of the substrate retainer that contacts the mask substrate is spherical, and the mask substrate is fixed in contact with the inclined surface of the substrate retainer at four points at the four corners of the upper portion of the mask substrate by closing the lid. It is characterized by being Substrate storage case. 前記中籠の下端部外側の相対する２つの側面には、容器本体と嵌合するための２つの取り外し可能な係止リブが形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納ケース。 2. The substrate storage according to claim 1, wherein two detachable locking ribs for fitting with the container main body are formed on two opposite side surfaces on the outer side of the lower end portion of the intermediate collar. Case. 前記中籠のマスク基板収納口の口縁が外側に向かって末広がりに拡がった形状を有することを特徴とする請求項１もしくは２に記載の基板収納ケース。 3. The substrate storage case according to claim 1, wherein an edge of the intermediate mask substrate storage port has a shape that widens toward the outside. 前記中籠のマスク基板収納口の位置が前記容器本体の前記開口部の位置よりも上にあることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の基板収納ケース。 Substrate storage case according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the position of the mask substrate housing opening in said basket is above the position of the opening of the container body. 前記中籠の相対する２つの主壁面の一部は取り除かれており、はすかいが設けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の基板収納ケース。 Some of the two opposite main walls in said cage has been removed, the substrate storage case according to any one of claims 1 to 4, characterized in that Hasukai is provided. 前記蓋体と合わせる前記容器本体の合わせ部にはＯリングが嵌め込まれており、前記容器本体を前記蓋体で閉鎖した後、ラッチを用いて蓋体と容器本体とを固定し、密閉できることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の基板収納ケース。 An O-ring is fitted in the mating portion of the container main body to be combined with the lid, and after closing the container main body with the lid, the lid and the container main body are fixed using a latch, and can be sealed. The substrate storage case according to any one of claims 1 to 5 . 前記マスク基板が化学増幅レジストを塗布したフォトマスクブランクスであることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の基板収納ケース。 Substrate storage case according to any one of claims 1 to 6, wherein the mask substrate is a photomask blank coated with a chemically amplified resist. 前記基板収納ケースの容器本体下部に取り外し可能なスタンドを設けたことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の基板収納ケース。 The substrate storage case according to any one of claims 1 to 7 , wherein a detachable stand is provided at a lower portion of the container body of the substrate storage case.

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