JP2012044091A - 撮像装置、撮像モジュール及びカメラ - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体基板の変形や割れの可能性を低減し、信頼性の高い撮像装置及び撮像システムを実現することを目的とする。
【解決手段】 撮像装置は、透明部材と、フォトダイオードを備えた撮像素子チップと、撮像素子チップの周辺に配置され、透明部材と撮像素子チップとを固定する固定部材と、を備え、透明部材と撮像素子チップと固定部材とで囲まれた空間を有し、撮像素子チップは、半導体基板を有し、半導体基板は、透明部材側の第1主面と、第1主面の反対側の第2主面と、を貫通する貫通電極を有し、撮像装置を透明部材側から見た固定部材に対応する固定領域に貫通電極が配置され、空間に対応する第1領域の半導体基板の厚みより薄くなる境界が、固定領域に配置されている構成としたものである。
【選択図】 図3
【解決手段】 撮像装置は、透明部材と、フォトダイオードを備えた撮像素子チップと、撮像素子チップの周辺に配置され、透明部材と撮像素子チップとを固定する固定部材と、を備え、透明部材と撮像素子チップと固定部材とで囲まれた空間を有し、撮像素子チップは、半導体基板を有し、半導体基板は、透明部材側の第1主面と、第1主面の反対側の第2主面と、を貫通する貫通電極を有し、撮像装置を透明部材側から見た固定部材に対応する固定領域に貫通電極が配置され、空間に対応する第1領域の半導体基板の厚みより薄くなる境界が、固定領域に配置されている構成としたものである。
【選択図】 図3
Description
本発明は、撮像装置、撮像モジュール及びカメラに関する。
従来の撮像装置には、撮像素子と貫通電極とを有する半導体基板と光透過性支持基板とを、撮像素子上に空間ができるように接着剤を介して固定したWL−CSP(ウエハレベルチップサイズパッケージ)がある(特許文献1及び2参照。)。WL−CSPの撮像装置すなわちイメージセンサは、現状では携帯電話等に使用される比較的小さなサイズに限定されている。この特許文献1及び2の撮像装置は、光透過性支持基板から見て空間下の半導体基板の厚さを、接着剤下の半導体基板の厚さより厚くした構造が開示されている。
携帯電話には小型の撮像装置が用いられるが、一眼レフなど、より大きいサイズの撮像装置においても小型・薄型化が求められている。
撮像装置を小型化する手段の一つである貫通電極を形成するためには、シリコン基板厚を薄くする必要があるが、撮像装置のサイズが大きくなると、シリコン基板厚を薄くすることにより強度が低下する。そのため、リフローなどの加熱工程がある製造過程における空間部の膨張によって撮像素子チップの反り等の変形・割れ、完成したチップの強度に問題が生じるというトレードオフの関係にある。
特許文献1や特許文献2のWL−CSPの撮像装置では、光透過性支持基板から見た半導体基板の厚さが薄い部分が空間下の領域であるため、半導体基板の変形による応力が半導体基板の厚さが薄い部分に集中することになっていた。そのため、半導体基板の変形、さらには割れの可能性があり、撮像装置の信頼性が低下する可能性があった。
本発明は、このような従来の構成が有していた問題を解決しようとするものであり、半導体基板の変形や割れの可能性を低減し、信頼性の高い撮像装置及び撮像システムを実現することを目的とする。
そして、上記目的を達成するために、本発明にかかる撮像装置は、透明部材と、フォトダイオードを備えた撮像素子チップと、前記撮像素子チップの周辺に配置され、前記透明部材と前記撮像素子チップとを固定する固定部材と、を備え、前記透明部材と前記撮像素子チップと前記固定部材とで囲まれた空間を有し、前記撮像素子チップは、半導体基板を有し、前記半導体基板は、前記透明部材側の第1主面と、前記第1主面の反対側の第2主面と、を貫通する貫通電極を有し、前記撮像装置を前記透明部材側から見た前記固定部材に対応する固定領域に前記貫通電極が配置され、前記空間に対応する第1領域の前記半導体基板の厚みより薄くなる境界が、前記固定領域に配置されている構成としたものである。
本発明によれば、半導体基板の変形や割れの可能性を低減し、信頼性の高い撮像装置及び撮像システムを提供できる。
以下、本発明の実施の形態を図1〜図9に基づいて説明する。
図1は、実施例1の撮像装置を分解した斜視図である。撮像装置は、透明部材1と、撮像素子チップ2と、透明部材1と撮像素子チップ2の間に配置された固定部材3と、を有する。
透明部材1は、光透過性を有し、ガラス、樹脂などが用いられる。撮像素子チップ2に用いられる半導体基板がシリコンの場合、ガラスは、SCHOTT社のTEMPAX Float(登録商標)、CORNING社のPYREX(登録商標)、AGC旭硝子社のSWガラス基板などが好ましい。そして、透明部材1が樹脂の場合は、ポリカーボネイト樹脂などで形成される光学用プラスチックも用いられる。これらのガラス、樹脂の透明部材はシリコンと近い線膨張係数を持つ材料であるため好ましい材料である。撮像素子チップ2は、主にシリコン基板が用いられ、光入射側にマイクロレンズが配置されていることが好ましい。固定部材3は、透明部材1と撮像素子チップ2とを固定するための接着剤が用いられ、透明部材または撮像素子チップの少なくとも一方の表面に、たとえばパターニングによって形成される。
図2は、実施例1の撮像装置の平面図及び正面図である。透明部材1と撮像素子チップ2とは固定部材3によって固定されている。透明部材1と撮像素子チップ2と固定部材3とで囲まれることによって空間4が構成されている。撮像素子チップ2は、半導体基板11と、半導体基板上の配線構造12、マイクロレンズ13を有し、半導体基板11の下側(光入射側とは反対側)に絶縁部材14、ハンダボール15を有する。撮像素子チップ2は、半導体基板11の光入射側である透明部材側の第1主面と、第1主面とは反対側の第2主面とを貫通する貫通電極16を有する。貫通電極16は配線構造内の内部電極17に電気的に接続されている。また、貫通電極16は導電膜18としてハンダボール15と電気的に接続されている。配線構造12とマイクロレンズ13との間には不図示の平坦化膜やカラーフィルタが配置されている。撮像装置を光入射側から見て、固定部材3が配置されている領域が固定領域であり、固定部材の内周19から外側に対応する。固定領域の内周19の内側は、撮影領域である。撮影領域は、撮像素子チップのマイクロレンズ13が配置されている領域、すなわち入射した光を電荷に変換するフォトダイオードが配置された画素領域を内側に含む。固定領域には、撮像素子チップの内部電極17、貫通電極16などの電極部が配置されている。
半導体基板11は、厚みが変化する境界20が固定部材の下部、すなわち光入射側から見て固定領域の範囲内に配置されている。この構成によって、固定領域の内側に厚みが変化する境界20が配置されている半導体基板を用いた従来の撮像装置に比べ、半導体基板の変形や割れの可能性を低減することができる。
次に、半導体基板11として用いたシリコン基板に必要な厚みに関して説明する。
図3は、図2(a)のX−X’線に沿った撮像装置の部分的な断面図と対応する部分的な平面図である。
透明部材1と撮像素子チップ2は、間に配置されている固定部材3で固定されている。撮像素子チップ表面と透明部材1と固定部材3とで囲まれた領域は空間4である。光入射側から見た撮像装置は、撮影領域としての第1領域A1、第1領域A1の外側である固定領域の一部の第2領域A2、固定領域の一部で第2領域A2の外側の貫通電極が配置された電極領域としての第3領域A3として分類される。第1領域から第3領域は、それぞれ長手方向の幅がW1、W2、W3である。撮像素子チップは、第1領域A1に不図示のフォトダイオードと、フォトダイオードの光電変換による電荷に応じた信号を転送するトランジスタと、を含む画素領域21を有する。シリコン基板の光入射側である第1主面上には不図示の配線や層間絶縁膜で構成された配線構造12が配置されている。配線構造上には、第1平坦化膜22が配置されている。第1平坦化膜上には、カラーフィルタ23が配置されている。カラーフィルタ上には、第2平坦化膜24が配置されている。第2平坦化膜上には、マイクロレンズ13が配置されている。シリコン基板11は、第1主面から第2主面に貫通穴が形成され、貫通電極16が配置されている。シリコン基板11の貫通穴を含む第2主面には絶縁膜25が配置されている。絶縁膜上には、導電体膜18が配置されている。導電体膜上には保護膜としてのソルダーレジスト26が配置されている。ソルダーレジスト26は、導電体膜上に一部開口が形成されている。そして、導電体膜上のソルダーレジストの開口部にはハンダボール15が配置されている。第1領域A1のトランジスタや不図示の周辺回路などと導電体膜とは、配線構造12が有する内部電極17を介して電気的に接続されている。
図3は、図2(a)のX−X’線に沿った撮像装置の部分的な断面図と対応する部分的な平面図である。
透明部材1と撮像素子チップ2は、間に配置されている固定部材3で固定されている。撮像素子チップ表面と透明部材1と固定部材3とで囲まれた領域は空間4である。光入射側から見た撮像装置は、撮影領域としての第1領域A1、第1領域A1の外側である固定領域の一部の第2領域A2、固定領域の一部で第2領域A2の外側の貫通電極が配置された電極領域としての第3領域A3として分類される。第1領域から第3領域は、それぞれ長手方向の幅がW1、W2、W3である。撮像素子チップは、第1領域A1に不図示のフォトダイオードと、フォトダイオードの光電変換による電荷に応じた信号を転送するトランジスタと、を含む画素領域21を有する。シリコン基板の光入射側である第1主面上には不図示の配線や層間絶縁膜で構成された配線構造12が配置されている。配線構造上には、第1平坦化膜22が配置されている。第1平坦化膜上には、カラーフィルタ23が配置されている。カラーフィルタ上には、第2平坦化膜24が配置されている。第2平坦化膜上には、マイクロレンズ13が配置されている。シリコン基板11は、第1主面から第2主面に貫通穴が形成され、貫通電極16が配置されている。シリコン基板11の貫通穴を含む第2主面には絶縁膜25が配置されている。絶縁膜上には、導電体膜18が配置されている。導電体膜上には保護膜としてのソルダーレジスト26が配置されている。ソルダーレジスト26は、導電体膜上に一部開口が形成されている。そして、導電体膜上のソルダーレジストの開口部にはハンダボール15が配置されている。第1領域A1のトランジスタや不図示の周辺回路などと導電体膜とは、配線構造12が有する内部電極17を介して電気的に接続されている。
また、内部電極上には、層間絶縁膜を介して素子面電極27が配置されている。内部電極と素子面電極間の層間絶縁膜内には、これら電極間を電気的に接続する不図示のコンタクトプラグが配置されている。素子面電極27は、コンタクトプラグ、内部電極17を介して電圧の印加及び信号の読み出しなどに使用される。特に、ダイソートテスト時に、素子面電極に針が当てられる。
このような構造の撮像装置において、第1領域A1及び第2領域A2の厚みT1、T2の最小値を求めた。前提として、従来のWL−CSPの撮像装置で1/2.5型サイズ、0.1mm厚の小型の撮像素子チップと同等の反り量に抑えることとし、シリコン基板11の厚みの検討を行った。図4は、空間4の長辺の幅W1が変化したときのシリコン基板の必要な厚みを示している。シリコン基板の第1領域及び第2領域の必要な厚みT1、T2は、以下の(1)式で得ることができる。
T1、T2≧0.009W11.33・・・(1)
従って、シリコン基板11の第1領域A1及び第2領域A2の必要な厚みT1、T2は、概略次のようになる。1/2.5”サイズ相当の場合は、0.1mm以上、FourThirdsサイズ相当の場合は、0.4mm以上、APS−Cサイズ相当の場合は、0.6mm以上。FourThirdsサイズ相当の撮像装置は、約17.3×13mmの画素領域を有している。APS−Cサイズ相当の撮像装置は、約24.0×16mmの画角を有している。
T1、T2≧0.009W11.33・・・(1)
従って、シリコン基板11の第1領域A1及び第2領域A2の必要な厚みT1、T2は、概略次のようになる。1/2.5”サイズ相当の場合は、0.1mm以上、FourThirdsサイズ相当の場合は、0.4mm以上、APS−Cサイズ相当の場合は、0.6mm以上。FourThirdsサイズ相当の撮像装置は、約17.3×13mmの画素領域を有している。APS−Cサイズ相当の撮像装置は、約24.0×16mmの画角を有している。
次に、撮像装置の製造工程中の歩留り低下の抑制や変形による画像への影響を低減するために、シリコン基板が割れる場合に生じていた応力が1/10になるために必要な第2領域A2の厚みT2と幅W2の検討を行った。図5は、第2領域A2の厚さT2が変化したときの必要な幅W2を示している。シリコン基板11の第2領域A2の厚みT2の変化による必要な幅W2は、以下の(2)式と(3)式とを両立することで得ることができる。
W2≧0.3mm・・・(2)
W2≧2T2+0.2mm・・・(3)
次に、シリコン基板の第3領域A3の厚みT3は、以下の(4)式を満たすことが好ましい。
T3≦T2・・・(4)
さらには、シリコン基板の第3領域の厚みT3は、貫通電極形成工程のスループット向上や、貫通穴に形成される絶縁膜や導電体膜を良好な膜質とするため、0.2mm以下であることがより好ましい。
W2≧0.3mm・・・(2)
W2≧2T2+0.2mm・・・(3)
次に、シリコン基板の第3領域A3の厚みT3は、以下の(4)式を満たすことが好ましい。
T3≦T2・・・(4)
さらには、シリコン基板の第3領域の厚みT3は、貫通電極形成工程のスループット向上や、貫通穴に形成される絶縁膜や導電体膜を良好な膜質とするため、0.2mm以下であることがより好ましい。
従って、シリコン基板の第2領域の必要な厚みT2と幅W2は、概略次のようになる。1/2.5”サイズ相当の場合は、T2が0.1mm以上、かつW2が0.4mm以上である。FourThirdsサイズ相当の場合は、T2が0.4mm以上、かつW2が1.0mm以上である。APS−Cサイズ相当の場合は、T2が0.6mm以上、かつW2が 1.4mm以上である。
ここで、シリコン基板の厚みは、第2主面を研磨やエッチングすることによりシリコンが除去されることで変化させる。したがって、厚みT1、T2、T3は、シリコン基板の平坦な第1主面あるいは透明部材のシリコン基板側表面に対する第2主面の距離となる。そして、シリコン基板の平坦な第1主面あるいは透明部材のシリコン基板側表面に対して、シリコン基板の第2主面は、固定領域内で凹んでいる領域、すなわち厚みが薄い領域を有する。
以上のように、固定領域下にシリコン基板の厚みが変わる境界を配置することで信頼性の高い撮像装置を得ることができる。さらには、第2領域A2の厚みT2や幅W2、そして第3領域A3の厚みT3が上記の関係を満たすことでよりシリコン基板の変形や割れの可能性が低減され、信頼性の高い撮像装置を得ることができる。
図6は、実施例1で示した撮像装置の変形例であり、図3と同様な部分的な断面図と対応する部分的な平面図である。図3と同じ構成要素に関しては同じ符号を付して説明は省略する。
本実施例の撮像装置の特徴は、第1領域の厚みT1>第2領域の厚みT2>第3領域の厚みT3の関係を有する点である。すなわち、撮像領域である第1領域A1の厚みT1より貫通電極16が形成されている第3領域A3の厚みT3が薄く、第1領域A1と第3領域A3の間の第2の領域A2の厚みT2が、T1とT3の間の厚みであり、シリコン基板11は3つ厚みを有する構成である。シリコン基板11の厚みが変化する境界が、撮像装置を光入射側から見て固定部材3の配置された固定領域に配置されていることは実施例1の撮像装置と同じである。そして、第2領域A2の厚みT2や幅W2、そして第3領域A3の厚みT3が実施例1で示した関係を満たすことで、よりシリコン基板の変形や割れの可能性が低減され、信頼性の高い撮像装置を得ることができる。
図7は、実施例1で示した撮像装置の変形例であり、図3と同様な部分的な断面図と対応する平面図である。図3と同じ構成要素に関しては同じ符号を付して説明は省略する。
本実施例の撮像装置の特徴は、第2領域A2がデーパ形状を有する点である。すなわち、撮像領域である第1領域A1の厚みT1より貫通電極16が形成されている第3領域A3の厚みT3が薄く、第1領域A1と第3領域A3の間の第2の領域A2の厚みT2が変化してテーパ形状となっている構成である。シリコン基板11の厚みが変化する境界20が、撮像装置を光入射側から見て固定部材3の配置された固定領域に配置されていることは実施例1の撮像装置と同じである。そして、第2領域A2の厚みT2や幅W2、そして第3領域A3の厚みT3が実施例1で示した関係を満たすことでよりシリコン基板の変形や割れの可能性が低減され、信頼性の高い撮像装置を得ることができる。
(撮像モジュールへの応用)
図8は、本発明の第1乃至第3の実施例にて説明した撮像装置を、カメラに用いられる撮像モジュールへ適用した場合の一例を示す構成図である。
図8は、本発明の第1乃至第3の実施例にて説明した撮像装置を、カメラに用いられる撮像モジュールへ適用した場合の一例を示す構成図である。
セラミックやシリコン等の回路基板807上に撮像装置800を設置し、封止するカバー部材804がある。この回路基板807は撮像装置800と電気的な接続がされている。撮像装置800上には、光を取り込む光学部分805と光学ローパスフィルタ806が設置されている。更に、撮像レンズ802およびそれを固定する鏡筒部材801がカバー部材804を覆い回路基板807とでよく封止されている。
本応用において、回路基板807上には、本発明の撮像装置のみならず、撮像信号処理回路、A/D変換器(アナログ/デジタル変換器)やモジュール制御部が搭載されていてもよい。また、それらが撮像装置と同一半導体基板上に、同一工程によって形成されていてもよい。
(デジタルカメラへの応用)
図9は、本発明の第1乃至第3の実施例にて説明した撮像装置を、撮像システムの一例であるデジタルカメラへ適用した場合のブロック図である。
図9は、本発明の第1乃至第3の実施例にて説明した撮像装置を、撮像システムの一例であるデジタルカメラへ適用した場合のブロック図である。
撮像装置である固体撮像素子904へ光を取り込むための構成として、シャッター901、撮像レンズ902、絞り903がある。シャッター901は固体撮像素子904への露出を制御し、入射した光は、撮像レンズ902によって固体撮像素子904に結像される。このとき、絞り903によって光量が制御される。
取り込まれた光に応じて固体撮像素子904から出力された信号は、撮像信号処理回路905にて処理され、A/D変換器906によってアナログ信号からデジタル信号へ変換される。出力されたデジタル信号は、更に信号処理部907にて演算処理され撮像画像データが生成される。撮像画像データは、ユーザーの動作モードの設定に応じ、デジタルカメラに搭載されたメモリ910への蓄積や、外部I/F部913を通してコンピュータやプリンタなどの外部の機器への送信ができる。また、記録媒体制御I/F部811を通して、デジタルカメラに着脱可能な記録媒体912に撮像画像データを記録することも可能である。
固体撮像素子904、撮像信号処理回路905、A/D変換器906、信号処理部907はタイミング発生部908により制御されるほか、システム全体は全体制御部・演算部909にて制御される。また、これらのシステムは、固体撮像素子904と同一の半導体基板上に、同一工程によって形成することも可能である。
1 透明部材
2 撮像素子チップ
3 固定部材
4 空間
11 半導体基板
12 配線構造
13 マイクロレンズ
14 絶縁部材
15 ハンダボール
16 貫通電極
17 内部電極
18 導電膜
19 内周
20 境界
2 撮像素子チップ
3 固定部材
4 空間
11 半導体基板
12 配線構造
13 マイクロレンズ
14 絶縁部材
15 ハンダボール
16 貫通電極
17 内部電極
18 導電膜
19 内周
20 境界
Claims (13)
- 透明部材と、フォトダイオードを備えた撮像素子チップと、前記撮像素子チップの周辺に配置され、前記透明部材と前記撮像素子チップとを固定する固定部材と、を備え、前記透明部材と前記撮像素子チップと前記固定部材とで囲まれた空間を有する撮像装置であって、
前記撮像素子チップは、半導体基板を有し、前記半導体基板は、前記透明部材側の第1主面と、前記第1主面の反対側の第2主面と、を貫通する貫通電極を有し、
前記撮像装置を前記透明部材側から見た前記固定部材に対応する固定領域に前記貫通電極が配置され、
前記空間に対応する第1領域の前記半導体基板の厚みより薄くなる境界が、前記固定領域に配置されていることを特徴とする撮像装置。 - 前記撮像装置を前記透明部材側から見た前記固定領域の、前記貫通電極が配置された領域と前記第1領域との間を第2領域とし、前記貫通電極が配置された領域を第3領域とし、
前記第2領域の前記半導体基板の厚みは、前記第1領域の前記半導体基板の厚み以下、かつ前記第3領域の厚みより厚いことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 - 前記半導体基板がシリコン基板であり、前記透明部材がガラスまたは光学用プラスチックであることを特徴とする請求項1または2に記載の撮像装置。
- 前記シリコン基板の第3領域の厚みが0.2mm以下であることを特徴とする請求項3に記載の撮像装置。
- 前記シリコン基板の前記第1領域の厚みT1および前記第2領域の厚みT2と、前記空間の長辺の幅W1と、の関係が以下の(1)式を満たすことを特徴とする請求項3または4に記載の撮像装置。
T1、T2≧0.009W11.33・・・(1) - 前記撮像素子チップがFourThirdsサイズ相当であり、前記シリコン基板の前記第1領域の厚みT1および前記第2領域の厚みT2が0.4mm以上であることを特徴とする請求項3ないし5のいずれか一項に記載の撮像装置。
- 前記撮像素子チップがAPS−Cサイズ相当であり、前記シリコン基板の前記第1領域の厚みT1および前記第2領域の厚みT2が0.6mm以上であることを特徴とする請求項3ないし5のいずれか一項に記載の撮像装置。
- 前記撮像装置を前記透明部材側から見た前記第2領域の前記シリコン基板の厚みT2と幅W2の関係が以下の(2)式、(3)式を満たすことを特徴とする請求項3ないし7のいずれか一項に記載の撮像装置。
W2≧0.3mm・・・(2)
W2≧2T2+0.2mm・・・(3) - 前記撮像素子チップがFourThirdsサイズ相当であり、前記シリコン基板の前記第2の領域の厚みT2が0.4mm以上、かつ幅W2が1.0mm以上であることを特徴とする請求項8に記載の撮像装置。
- 前記撮像素子チップがAPS−Cサイズ相当であり、前記シリコン基板の前記第2の領域の厚みT2が0.6mm以上、かつ幅W2が1.4mm以上であることを特徴とする請求項8に記載の撮像装置。
- 前記撮像素子チップが1/2.5”サイズ相当であり、前記シリコン基板の前記第2の領域の厚みT2が0.1mm以上、かつ幅W2が0.4mm以上であることを特徴とする請求項8に記載の撮像装置。
- 請求項1ないし11のいずれか一項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置の前記撮像素子チップの前記透明部材側に配置された光学ローパスフィルタと、
前記撮像装置の前記撮像素子チップに固定され、電気的な接続を有する回路基板と、を有する撮像モジュール。 - 請求項1ないし11のいずれか一項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置によって得られた信号を処理する信号処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。
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