JP2012028058A - 有機el装置、有機el装置の製造方法、ならびに電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】一般的な湿式のカラーフィルター形成工程では、カラーフィルターのパターン寸法が小さくなるにつれ、例えば現像工程で、本来残すべく、前工程で形成されたカラーフィルターが密着力不足で剥がれてしまうという課題がある。
【解決手段】イエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107と、を用い、短辺方向に隣り合う有機EL素子101,102:102,103:103,101(104)と間に挟まる分離部118をまとめて覆うように配置した。素子基板116とカラーフィルター105,106,107との接触面積は、有機EL素子101,102,103を個々に覆う場合と比べて、2倍以上の面積(有機EL素子101,102,103の間にある分離部118も密着に寄与する)となる。そのため、高い密着性を備え、製造プロセス中での剥がれの抑制を可能とした。
【選択図】図1

Description

本発明は、有機EL装置、有機EL装置の製造方法、ならびに電子機器に関する。
ヘッドマウントディスプレイ(HMD)や電子ビューファインダー(EVF)、モバイルミニプロジェクター向けとして数μmオーダーの寸法を備える微小画素を含み、かつ軽量で薄く、バックライトを必要としない表示素子として、有機EL素子の活用が期待されている。ここで、微小画素を構成するサブ画素は、3〜5μm程度の微細寸法を備えることとなる。このような有機EL素子を集積した有機EL装置が開発されてきている。
有機EL素子は自発光型の素子であるため、バックライトを必要とする液晶素子と比べ、薄型化、軽量化することができる。加えて、自発光型の素子の特徴として、黒の再現に優れると共に、斜め方向に射出される光に対しても、正面から射出される光と同様な色を持つ光が射出されるため、バックライトの光透過量を制御する液晶素子と比べ、優れた特性を備えている。
有機EL素子を含む有機EL装置の製造方法としては、真空蒸着法が用いられる。真空蒸着法は、白色有機EL素子+カラーフィルター法と、RGB選択蒸着法に分類される。白色有機EL素子+カラーフィルター法とは、白色有機EL素子を形成した素子基板(白色有機EL素子が形成された基板)に、カラーフィルターを備えた対向基板(素子基板と向き合う基板)とを貼り合わせてカラー表示を行わせる方法である。
RGB選択蒸着法は、マスクを用いて選択的に、RGBそれぞれに対応した物質を蒸着する方法である。RGB選択蒸着法は、蒸着に伴いマスクの温度が上昇するため、マスクが膨張し位置精度が低下し、有機EL装置の画質の低下、歩留まりの悪化を引き起こす場合がある。
また、白色有機EL素子+カラーフィルター法では、対向基板に形成されたカラーフィルターと白色有機EL素子を搭載した素子基板とを貼り合わせる工程を行うが、有機EL素子とカラーフィルターとの相対的な位置関係を揃えて貼り合わせることが難しく、有機EL装置の画質の低下、歩留まりの悪化を引き起こす場合がある。そこで、有機EL素子を含む有機EL装置の品質を安定化させる技術がいくつか提案されている。
その1つとして、素子基板に直接カラーフィルターを形成するオンチップカラーフィルターが解決策となる。オンチップカラーフィルターを用いることで、対向基板にカラーフィルターを形成し貼り合わせる方法と比べ、白色有機EL素子とカラーフィルターとの合わせずれが軽減できる。加えて、白色有機EL素子と、カラーフィルターとの厚み方向での距離が短くなることから、特に素子基板に対して斜めから射出された光による色ずれを抑えることが可能となる。
カラーフィルターの構造としては、例えば特許文献1に示すように、カラーフィルターの塗布材料による白色有機EL素子の劣化を抑えるべく、素子基板とカラーフィルターとの間に、保護層を形成する技術が公知である。
また、特許文献2に示すように、基板上に、赤、緑、青の着色画素を有するカラーフィルターにおいて、補色の関係を用いて、赤色画素をマゼンタの着色層とイエローの着色層とを重ねることによって形成し、緑色画素をイエローの着色層とシアンの着色層とを重ねることによって形成し、青色画素をシアンの着色層とマゼンタの着色層とを重ねることによって形成する方法が公知である。補色の関係を用いてカラーフィルターを重ねることで、各色のカラーフィルターに生じる貫通欠陥を、別のカラーフィルターで覆うため、貫通欠陥が生じた領域の輝度を相対的に低下させ、画質に与える影響を低減することができると記載されている。
特開2006−032010号公報 特開2001−74926号公報
しかしながら、一般的な湿式のカラーフィルター形成工程では、カラーフィルターのパターン寸法が小さくなるにつれ例えば現像工程で、本来残す領域にあるカラーフィルターや、前工程で形成されたカラーフィルターが密着力不足で剥がれてしまうという課題がある。この課題は、上記した特許文献1、特許文献2で開示された技術を用いても改善が困難である。特に、特許文献2に開示された技術を用いた場合、カラーフィルターは2層分重ねた構造をとることとなり、カラーフィルターの厚みが増加する。そのため、単層のカラーフィルターを用いた場合と比べ、より剥がれやすくなり密着性が低下するという課題がある。さらに、カラーフィルターを3層重ねて遮光部を形成する場合には、さらに剥がれやすくなり、歩留まりが低下するという課題がある。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例にかかる有機EL装置は、基板の第1面側に位置し、当該順に隣り合う、第1の有機EL素子と、第1の分離部と、第2の有機EL素子と、第2の分離部と、第3の有機EL素子と、第3の分離部と、第4の有機EL素子と、前記第1の有機EL素子と、前記第1の分離部と、前記第2の有機EL素子と、をまとめて覆う、イエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を備える第1のカラーフィルターと、前記第2の有機EL素子と、前記第2の分離部と、前記第3の有機EL素子と、をまとめて覆う、残りのどちらかの色を備える第2のカラーフィルターと、前記第3の有機EL素子と、前記第3の分離部と、前記第4の有機EL素子と、をまとめて覆う、残りの色を備える第3のカラーフィルターと、を含むことを特徴とする。
これによれば、第1のカラーフィルター、第2のカラーフィルター、第3のカラーフィルターが、2つの有機EL素子と分離部とをまとめて覆う。そのため、1つの有機EL素子を独立して覆う場合と比べ、2倍以上の面積(分離部の面積も含む)を持って基板や他のカラーフィルターを覆う。従って、製造途中でのカラーフィルターの剥がれを抑制することが可能となる。また、カラーフィルターの基板との密着性が高くなることから、有機EL装置の信頼性を向上させることができる。なお、分離部とは、有機EL素子同士を分離する領域として定義する。
[適用例2]上記適用例にかかる有機EL装置であって、複数の前記第1の有機EL素子および、複数の前記第2の有機EL素子、複数の前記第3の有機EL素子、複数の前記第4の有機EL素子が、前記隣り合う方向と交差する方向に、第4の分離部を介して各々並べられ、前記第1の分離部、前記第2の分離部、前記第3の分離部、前記第4の分離部と、の少なくとも1つが、前記第1のカラーフィルターと、前記第2のカラーフィルターと、前記第3のカラーフィルターと、が重なる領域を備えることを特徴とする。
上記した適用例によれば、第1のカラーフィルターと、第2のカラーフィルター、第3のカラーフィルターとが重なるため、各カラーフィルターの面積は、重なる部分の面積分大きくなる。そのため、製造途中でのカラーフィルターの剥がれを抑制することが可能となる。加えて、この領域では光が遮断されるため、有機EL素子が斜め方向に射出する光を遮断することができる。そのため、隣接する有機EL素子からの光の浸入に起因する画質劣化を防止することが可能となる。
[適用例3]上記適用例にかかる有機EL装置であって、前記第1の有機EL素子と、前記第2の有機EL素子と、前記第3の有機EL素子と、前記第4の有機EL素子と、が平面視にて矩形もしくは矩形の角を落とした形状を備えており、前記第1のカラーフィルターが、前記第1の有機EL素子と、前記第1の分離部と、前記第2の有機EL素子と、を短辺方向にまとめて覆い、前記第2のカラーフィルターが、前記第2の有機EL素子と、前記第2の分離部と、前記第3の有機EL素子と、を短辺方向にまとめて覆い、前記第3のカラーフィルターが、前記第3の有機EL素子と、前記第3の分離部と、前記第4の有機EL素子と、を短辺方向にまとめて覆うことを特徴とする。
上記した適用例によれば、より剥がれやすい短辺方向をカラーフィルターでまとめて覆うことで、長辺方向にまとめて覆うよりも製造プロセス中で剥がれにくくすることが可能となる。
[適用例4]本適用例にかかる有機EL装置の製造方法は、当該順に隣り合う第1の有機EL素子と、第1の分離部と、第2の有機EL素子と、第2の分離部と、第3の有機EL素子と、第3の分離部と、第4の有機EL素子とを、基板の第1面側に形成する工程と、前記第1の有機EL素子と、前記第1の分離部と、前記第2の有機EL素子とをまとめて覆う、イエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を備える第1のカラーフィルターを形成する工程と、前記第2の有機EL素子と、前記第2の分離部と、前記第3の有機EL素子とをまとめて覆う、残りのどちらかの色を備える第2のカラーフィルターを形成する工程と、前記第3の有機EL素子と、前記第3の分離部と、前記第4の有機EL素子とをまとめて覆う、残りの色を備える第3のカラーフィルターを形成する工程と、を含むことを特徴とする。
これによれば、第1のカラーフィルター、第2のカラーフィルター、第3のカラーフィルターが、2つの有機EL素子をまとめて覆う。そのため、カラーフィルターが1つの有機EL素子を独立して覆う背景技術と比べ、カラーフィルターが2倍以上の面積(分離部の面積も含む)を持って基板や他のカラーフィルターを覆うことができる。そのため、製造途中でのカラーフィルターの剥がれを抑制することが可能となる。
[適用例5]上記適用例にかかる有機EL装置の製造方法であって、複数の前記第1の有機EL素子、複数の前記第2の有機EL素子、複数の前記第3の有機EL素子を、前記隣り合う方向と交差する方向に分離する第4の分離部と、をさらに備え、前記第2のカラーフィルターと前記第3のカラーフィルターと、が前記第1の分離部を覆うことと、前記第1のカラーフィルターと前記第3のカラーフィルターと、が前記第2の分離部を覆うことと、前記第1のカラーフィルターと前記第2のカラーフィルターと、が前記第3の分離部を覆うことと、前記第1のカラーフィルターと、前記第2のカラーフィルターと、前記第3のカラーフィルターと、を重ねて、前記第4の分離部の少なくとも一部を覆うことと、の少なくとも1つが行われていることを特徴とする。
上記した適用例によれば、第1のカラーフィルター、第2のカラーフィルター、第3のカラーフィルターが重なる分離部が光を遮断するため、有機EL素子が斜め方向に射出する光を遮断することができる。そのため、隣接する有機EL素子への光の浸入に起因する画質低下を防止しうる有機EL装置の製造方法を提供することが可能となる。
[適用例6]本適用例にかかる電子機器は、上記した有機EL装置を備えることを特徴とする。
これによれば、第1のカラーフィルター、第2のカラーフィルター、第3のカラーフィルターが、2つの有機EL素子をまとめて覆う。そのため、カラーフィルターが1つの有機EL素子を独立して覆う背景技術と比べ、カラーフィルターが2倍以上の面積(分離部の面積も含む)を持って基板や他のカラーフィルターを覆うことができる。そのため、製造途中でのカラーフィルターの剥がれを抑制することが可能となる。また、カラーフィルターの基板との密着性が高くなり、有機EL装置の信頼性が向上することから、高い歩留まりと信頼性を持った電子機器を提供することが可能となる。
[適用例7]本適用例にかかる電子機器は、上記した有機EL装置の製造方法を用いて形成された有機EL装置を備えることを特徴とする。
これによれば、第1のカラーフィルター、第2のカラーフィルター、第3のカラーフィルターが、2つの有機EL素子をまとめて覆う工程を備えている。そのため、カラーフィルターが、1つの有機EL素子を独立して覆う背景技術と比べ、カラーフィルターが2倍以上の面積(分離部の面積も含む)を持って基板や他のカラーフィルターを覆うことができ、製造途中でのカラーフィルターの剥がれを抑制することが可能となる。
そのため、不良率が低下する。不良率が低下することで、高い歩留まりを持って有機EL装置を形成できるため、信頼性、コスト面で優れた電子機器を提供することが可能となる。
(a)は、本実施形態にかかる有機EL装置を説明するための平面図、(b)は当該有機EL装置の構造を説明するためのA−A’線断面図。 カラーフィルターの典型的な透過特性を示す分光特性図。 (a)は、本実施形態にかかる有機EL装置を説明するための平面図、(b)は当該有機EL装置の構造を説明するためのA−A’線断面図。 (a)は、本実施形態にかかる有機EL装置を説明するための平面図、(b)は当該有機EL装置の構造を説明するためのA−A’線断面図。 (a)〜(d)は、有機EL装置を形成するための工程断面図。 (a)〜(c)は、有機EL装置を形成するための工程断面図。 (a)〜(c)は、カラーフィルターを用いた遮光部を形成する工程を説明するための工程断面図。 (a)〜(c)は、ストライプ構造を備え、ブラックマトリックスを用いずに、カラーフィルターの積層構造を用いて遮光部を形成する例を示す平面図、(d)〜(f)は、モザイク構造を用い、ブラックマトリックスを用いずに、カラーフィルターの積層構造を用いて遮光部を形成する例を示す平面図、(g)〜(i)は、デルタ構造を用い、ブラックマトリックスを用いずに、カラーフィルターの積層構造を用いて遮光部を形成する例を示す平面図。 (a)は携帯電話への適用例を示す模式図、(b)はビデオカメラへの適用例を示す模式図、(c)は携帯型パーソナルコンピューターへの適用例を示す模式図、(d)はヘッドマウントディスプレイへの適用例を示す模式図、(e)はリア型プロジェクターへの適用例を示す模式図、(f)はフロント型プロジェクターへの適用例を示す模式図。
以下、本発明を具体化した各実施形態を図面に基づいて説明する。
(有機EL装置の構成)
図1(a)は、本実施形態にかかる有機EL装置を説明するための平面図、(b)は当該有機EL装置の構造を説明するためのA−A’線断面図である。有機EL装置100は、基板本体115、素子基板116、ブラックマトリックス117、画素電極110、有機発光層111、共通電極112、保護層113、画素電極110の間に位置する分離部118と、を備える。第1の分離部、第2の分離部、第3の分離部、第4の分離部としての分離部118は、平面視にて画素電極110の間(有機EL素子の間)に位置し、画素電極110の間を分離する領域を示す。ここで、基板としての素子基板116の第1面側とは、画素電極110が位置する面側を示すものとする。
加えて、イエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を備える(ここではイエロー色とする)第1のカラーフィルターとしてのイエロー色カラーフィルター105、残りのどちらかの色を備える(ここではシアン色とする)第2のカラーフィルターとしてのシアン色カラーフィルター106、残りの色を備える(ここではマゼンタ色とする)第3のカラーフィルターとしてのマゼンタ色カラーフィルター107と、を備えている。
加えて、平面視にて当該順に隣り合う第1の有機EL素子と、第2の有機EL素子と、第3の有機EL素子と、第4の有機EL素子としての有機EL素子101,102,103,101(104)と、を備える(第4の有機EL素子は、3つの有機EL素子で構成される一周期の、次の周期の始点ともなる)。
ここで、イエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107と、をまとめて適宜カラーフィルターとも呼称する。
また、適宜、「上」という言葉を、基板本体115から共通電極112に向かう方向を指すものとして用いる。そして、適宜、「下」という言葉を、「上」と反対方向を指すものとして用いる。
また、有機EL素子101,102,103と、をまとめて有機EL素子とも呼称する。ここで、図1(a)に示す平面図では、画素電極110を透過させて記載している。
なお、図1(b)では、有機EL素子101,102,103は、イエロー色カラーフィルター105やシアン色カラーフィルター106、基板本体115に入るよう図示しているが、これは図面上、線が重なることにより視認性の低下を避け、位置をずらして記載しているためであり、有機EL素子101,102,103は基板本体115、イエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106を含まない。
また、ブラックマトリックス117は、カラーフィルターに比べ薄い膜を用いているが、視認性の都合上、厚みを大きくして図示している。
基板本体115に、後述する(例えば図5(b)参照)TFT131,132,133や金属支柱136を搭載した素子基板116には、ブラックマトリックス117が図1(a)に示す、色の異なるカラーフィルターを横切る方向と、図1(b)に示す、同色のカラーフィルターと並ぶ(本実施形態では平行)方向と、に分離部118と重なり、格子状に配置されている。そして、画素電極110と共通電極112とに挟まれる有機発光層111に対して、画素電極110と共通電極112より電流が供給され、有機発光層111は発光する。
本実施形態では、有機EL素子101,102,103に、矩形形状を備えたものを用いている。有機EL素子101,102,103は短辺方向に当該順に隣り合っており、イエロー色カラーフィルター105は、平面視にて有機EL素子101,102と、有機EL素子101,102との間に挟まる分離部118をまとめて覆っている。同様にシアン色カラーフィルター106は、平面視にて有機EL素子102,103と、有機EL素子102,103との間に挟まる分離部118をまとめて覆っている。同様にマゼンタ色カラーフィルター107は、平面視にて有機EL素子103,101(104)と、有機EL素子103,101(104)との間に挟まる分離部118をまとめて覆っている。ここで、有機EL素子101,102,103の形状としては、矩形の角を落とした角RやC面形状を備えていても良い。
有機EL素子の形状は、矩形形状である必要はなく、楕円や、円、その他の形状を備えていても良く、隣り合う位置にあれば、カラーフィルターでまとめて覆うことができる。
素子基板116とイエロー色カラーフィルター105との接触面積は、有機EL素子101,102を個々に覆う例と比べて、2倍以上の面積(有機EL素子101,102の間にある分離部118も密着に寄与する)となり、高い密着性を備えることとなる。シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107についても同様に、素子基板116との密着性を高めることが可能となる。
そのため、カラーフィルターを、例えば湿式(フォトリソグラフ・エッチング法)で形成する工程で、これらのカラーフィルターが素子基板116から剥がれることで発生する不良を抑えることが可能となる。
カラーフィルターと素子基板116との間で接着面積を広く取れることから、カラーフィルターと素子基板116との密着性が高くなる。そのため、カラーフィルターと素子基板116との間での間隙の発生を抑制でき、有機EL装置100の信頼性を向上させることが可能となる。例えば、温度サイクルの影響で繰り返し応力が掛ると、カラーフィルターの隅が素子基板116から捲れる欠陥が発生するおそれがあるが、カラーフィルターの面積を大きくすることで、カラーフィルターと、素子基板116との密着性を高くすることができ、このような欠陥の発生を抑制することが可能となる。
有機EL素子101は、イエロー色カラーフィルター105とマゼンタ色カラーフィルター107とに覆われることで赤色の光を通過させる。同様に、有機EL素子102は、シアン色カラーフィルター106と、イエロー色カラーフィルター105とに覆われることで緑色の光を通過させる。同様に、有機EL素子103は、シアン色カラーフィルター106と、マゼンタ色カラーフィルター107とに覆われることで青色の光を通過させる。これらの有機EL素子を含む有機EL装置100は光の3原色の光を独立に制御できるため、カラー表示が可能となる。
ここで、カラーフィルターの分光特性を工夫することで、より鮮やかな色表現が可能となる。図2は、カラーフィルターの典型的な透過特性を示す分光特性図である。このような分光特性を示すイエロー色カラーフィルター105と、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107と、を2層ずつ重ねることで、有機EL素子101は赤色の光を透過させ、有機EL素子102は、緑色の光を透過させ、有機EL素子103は青色の光を透過させることとなる。
このような特性を持つカラーフィルターを組み合わせることで、RGB各色を射出する光源を得ることができる。前述したようにカラーフィルターの幅(短辺方向の長さ)は、原色系カラーフィルターを用いた場合と比べ、2倍以上の幅にすることができ、製造プロセス中における剥がれや、熱サイクルによるカラーフィルターの捲れを抑制することが可能となる。
また、例えばカラーフィルターと、SiONを用いた保護層113との密着性と比べ、カラーフィルター同士の密着性は高い。本実施形態の構成を用いることで、カラーフィルター同士が重なり合う構造を取ることとなる。そのため、高い信頼性を備え、かつ製造工程中での意図しないカラーフィルターの剥離を抑制することが可能となる。
(有機EL素子の構造を変えた構成)
上記した有機EL装置に用いた有機EL素子101,102,103は、同じ構成を備えることで白色光を射出し、この白色光をイエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107を用いて色毎に分離した構成を用いていたが、これは、波長選択性を持たせた有機EL素子を用いることも好適である。
図3(a)は、本実施形態にかかる有機EL装置を説明するための平面図、(b)は当該有機EL装置の構造を説明するためのA−A’線断面図である。図3(a),(b)に示すように、有機EL素子101,102,103はそれぞれ異なる構成を備えている。以下、上記した構成との主な相違点について説明する。
有機EL素子101は、画素電極110、第1透明導電層120、第2透明導電層121、有機発光層111、共通電極112、保護層113を備えている。
有機EL素子102は、画素電極110、第2透明導電層121、有機発光層111、共通電極112、保護層113を備えている。
有機EL素子103は、画素電極110、有機発光層111、共通電極112、保護層113を備えている。
有機EL素子101は、赤色の光を射出し、有機EL素子102は緑色の光を射出し、有機EL素子103は青色の光を射出する。以下、有機EL素子103、有機EL素子102、有機EL素子101の順序で説明を続ける。
有機EL素子103は、画素電極110を覆う有機発光層111と共通電極112を備えている。屈折率を考慮した共振器長(実寸法は、概ね有機発光層111の厚さ)は、青色に対応している。有機発光層111を挟む画素電極110と共通電極112との間で光共振装置が構成される。そのため、選択的に青色発光を行う有機EL素子103を構成することが可能となる。一方、有機EL素子103には、シアン色カラーフィルター106とマゼンタ色カラーフィルター107と、が重ねられ、青色の光が透過する。そのため、カラーフィルターによる光損失を抑えて青色の光を射出することができる。また、青色の色純度を向上させることが可能となる。
同様に、有機EL素子102は、画素電極110を覆う有機発光層111と第2透明導電層121、共通電極112を備えることで、画素電極110と共通電極112との間で光共振装置が構成されることとなる。有機EL素子103との主な相違点としては、有機発光層111と共通電極112との間に第2透明導電層121を備えていることにある。第1透明導電層120を備えることで有機EL素子101と比べ共振器長が長くなり、有機EL素子103よりも長い波長を備える光を共振させることが可能となる。
例えば、前記した共振器長に加え、第2透明導電層121の光学的厚さを増やすことで、緑色で共振するように厚さを制御する。すると、選択的に緑色発光を行う有機EL素子102を構成することが可能となる。有機EL素子102には、イエロー色カラーフィルター105とシアン色カラーフィルター106が重ねられ、緑色の光が透過する。そのため、カラーフィルターによる光損失を抑えて緑色の光を射出することができる。また、緑色の色純度を向上させることが可能となる。
同様に、有機EL素子101は、画素電極110を覆う有機発光層111と第1透明導電層120、第2透明導電層121、共通電極112を備えることで、画素電極110と共通電極112との間で光共振装置が構成されることとなる。ここで、有機EL素子102との主な相違点としては、第1透明導電層120と共通電極112との間に第2透明導電層121を備えていることにある。
第2透明導電層121を備えることで有機EL素子102と比べ共振器長が長くなり、有機EL素子102よりも長い波長を備える光を共振させることが可能となる。例えば、第2透明導電層121の光学的厚さを加えることで、赤色で共振するように厚さを制御できる。そのため、選択的に赤色発光を行う有機EL素子101を構成することが可能となる。有機EL素子101には、イエロー色カラーフィルター105とマゼンタ色カラーフィルター107が重ねられ、赤色の光が透過する。そのため、カラーフィルターによる光損失を抑えて赤色の光を射出することができる。また、赤色の色純度を向上させることが可能となる。
上記したように、有機EL素子101,102,103に光の共振器構造を含ませることで、各色の色純度を向上させることが可能となる。そのため、高精細な表示を可能とする有機EL装置100を構成することが可能となる。
(カラーフィルターを用いた遮光層)
以下、有機EL装置についての、別の構成について説明する。ここで、有機EL素子101,102,103や、有機EL素子101,102,103と重なるカラーフィルターの構成については、上記した有機EL装置の構成と大きな相違点はないため、説明を省略する。図4(a)は本実施形態にかかる有機EL装置を説明するための平面図、(b)は当該有機EL装置の構造を説明するためのA−A’線断面図である。
上記した有機EL装置100との主な相違点は、有機EL素子101,102,103を分離する分離部118で、イエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107が厚み方向に重なっていることである。イエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107が重なると、色としては黒色、即ち光を遮断する領域(遮光層)が形成される。この構成を用いることで、有機EL素子101,102,103の分離部118は遮光層に覆われる。そのため、有機EL素子101,102,103からの光の回り込みによる色純度の低下を抑えることが可能となる。
ここでは、同じ色を射出する有機EL素子101と有機EL素子101aとの分離、有機EL素子102と有機EL素子102aとの分離、有機EL素子103と有機EL素子103aとの分離を行う第4の分離部としての分離部118に、金属のブラックマトリックス117を用いた例について説明したが、これはイエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107を厚み方向に重ねて分離部118を構成しても良い。
ここでは、有機EL素子101,102,103を分離する分離部118全てにイエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107を重ねた例について説明した。
また、有機EL素子101と101a,102と102a,103と103aと、をイエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107を重ねて第4の分離部としての分離部118を重ねた例についても言及したが、これは分離部118の少なくとも一部に、イエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107が重なる領域を備えていれば良い。3種類のカラーフィルターを搭載した分離部118はカラーフィルターによる遮光部として用いられる。
(有機EL装置の製造方法)
次に、上記した有機EL装置の製造方法について説明する。図5(a)〜(d)、図6(a)〜(c)は、有機EL装置を形成するための工程断面図である。
まず、例えばガラスを用いてなる基板本体115上に例えば酸化シリコンを用いたバッファー層130を形成する。バッファー層130は、例えばプラズマCVD(化学気相堆積)法により形成され、200nm程度の厚さを有している。この工程において用いる原料ガスとしては、例えばモノシランと酸化窒素との混合ガスや、TEOS(テトラエトキシシラン、Si(OC254)と酸素との組合せが酸化シリコン層の品質を高くできる(例えば、固定電荷が少ない)ことから好適である。成膜温度としては、基板本体115の表面温度が150℃〜450℃となる条件を用いることができる。続けて、シランガス雰囲気中で基板本体115を加熱し、ポリシリコン層を形成する。
ポリシリコン層の形成方法としては、上記したもの以外でも、例えばアモルファスシリコン層を堆積した後、レーザーアニールを施す方法や、レーザーアニールに代えて熱を加えることでポリシリコン層を形成する方法を用いても良い。また、ポリシリコン層も代えてアモルファスシリコン層そのものを用いても良い。また、酸化物半導体を用いても良い。特にアモルファスシリコン層や酸化物半導体を用いると、ポリシリコン層を用いる場合と比べ、低い温度で製造工程を組めることから、耐熱性が低い物質を用いることができる。そのため、使える物質の種類が増え、製造工程の自由度を増やすことができることから好適である。
続けて、ゲート絶縁膜を形成した後、ゲート電極の形成やイオン注入、サイドウォールの形成を行うことで、TFT131,132,133を形成する。ここまでの工程を終えた状態を図5(a)に示す。ここで、基板本体115として耐熱プラスチック(例えば、ポリイミド系樹脂や、ポリフェニレンサルファイド系樹脂)を用いても良い。この場合、バッファー層130として例えば窒化酸化珪素を用いることが、ガスバリア性を高めることから好適である。
次に、層間絶縁膜135を形成し、コンタクトホールを開けた後、金属支柱136を形成する。ここまでの工程を終えた状態を図5(b)に示す。ここまでの工程で、基板としての素子基板116が形成される。なお、素子基板116の第1面側とは、金属支柱136が形成されている側の面と定義する。
次に、画素電極110を形成した後、有機発光層111を形成する。有機発光層111は、例えば青色発光層、赤色発光層、緑色発光層を重ねて形成する方法を用いることができる。一例としては、BH125(出光興産製)+BD102(出光興産製)、BD102+GD206(出光興産製)、アルミニウム・キノリノール錯体(Alq3)+ジシアノメチレンピラン誘導体(DCM2)の積層構造を用いることができる。これらの物質の分子量は比較的小さく、蒸着法により形成することができる。
また、これらの発光材料に代えて、有機発光層111としては、蛍光あるいは燐光を発光する公知の発光材料が用いても良い。具体的には、ポリフルオレン誘導体(PF)、ポリパラフェニレンビニレン誘導体(PPV)、ポリフェニレン誘導体(PP)、ポリパラフェニレ誘導体(PPP)、ポリビニルカルバゾール(PVK)、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン(PMPS)などのポリシラン系が用いられる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。またカルバゾール(CBP)などの低分子材料にこれらの低分子色素をドープして発光層とすることもできる。
ここで、低分子系の発光材料を用いる場合には、典型的には蒸着法を用いることが、容易に多層構造(蒸着源を複数用いることで青色発光層、赤色発光層、緑色発光層を重ねられる)に対応できることから好適である。そして、高分子系の発光材料を用いる場合には、適当な溶媒中に分散させた後、例えばスピンコート法を用いることが膜厚を精密に制御できることから好適である。また、基板本体115の寸法が大きく、スピンコート法を用いることが困難となる場合には、スリットコート法を用いることが好適となる。スリットコート法を用いることで基板本体115を回転させる工程を用いずに発光材料を塗布できる。なお、有機発光層111は発光層単層に限定されるわけではなく、複数の層を重ねた多層構造を備えていても良い。例えば、電子注入層や正孔輸送層で発光を司る層を挟んでいても良い。
ここで、後述する有機EL素子101,102,103に光共振器構造を形成する場合には、有機発光層111を形成する前に、前述した第1透明導電層120や第2透明導電層121を、湿式法(膜形成とエッチングを繰り返す)で形成することで対応可能である。
ここで、第1透明導電層120、第2透明導電層121を形成する物質としてはITO(インジウム・錫・酸化物)を用いることができる。
本実施形態では、有機EL素子101,102,103が白色光を射出する場合について説明を続ける。ここまでの工程を終えた状態を図5(c)に示す。
次に、共通電極112を形成する。共通電極112としては、例えばMgAg(MgとAgを重量比でMg:Ag=10:1に混合した材料)を共蒸着法(MgとAgを別の蒸着源を用いて同時に蒸着させることで合金化する方法)を用いて形成することが組成の制御性を向上させることが可能となるため好適である。ここで、MgAgの層厚は10nm程度が光透過率、電気抵抗値とのバランスがとれるため好適であるが、層厚はこの値に限定される必要はなく、光透過率を優先させたり、電気抵抗値を優先させたりすべく、層厚を別の値にとしても良い。続けて、保護層113とブラックマトリックス117と、を形成する。ここまでの工程を終えた状態を図5(d)に示す。この工程により、当該順に隣り合う、第1の有機EL素子としての有機EL素子101と、第1の分離部としての分離部118と、第2の有機EL素子としての有機EL素子102と、第2の分離部としての分離部118と、第3の有機EL素子としての有機EL素子103と、第3の分離部としての分離部118と、第4の有機EL素子としての有機EL素子101(104)と、が素子基板116の第1面側に形成される。ここで、分離部118は、画素電極110を分断することで有機EL素子同士を分離している。
次に、有機EL素子101と、有機EL素子102と、有機EL素子101と有機EL素子102に挟まれる分離部118と、をまとめてイエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を含む(ここではイエロー色とする)第1のカラーフィルターとしてのイエロー色カラーフィルター105を用いて、覆うように形成する。具体的には顔料を添加したアクリル系のネガ型イエロー色カラーレジストを塗布し、湿式法(フォトリソグラフ・エッチング法)を用いて形成する。ここまでの工程を終えた状態を図6(a)に示す。
次に、有機EL素子102と、有機EL素子103と、有機EL素子102と有機EL素子103に挟まれる分離部118と、をまとめて残りのどちらかの色を含む(ここではシアン色とする)第2のカラーフィルターとしてのシアン色カラーフィルター106を用いて、覆うように形成する。具体的には顔料を添加したアクリル系のネガ型シアン色カラーレジストを塗布し、湿式法(フォトリソグラフ・エッチング法)を用いて形成する。ここまでの工程を終えた状態を図6(b)に示す。なお、図6(b)には、イエロー色カラーフィルター105とシアン色カラーフィルター106と、で形成される緑色の領域に、比較のため従来の緑色カラーフィルターを用いた場合のカラーフィルターの幅(従来の幅、と図示)を重ねて表示している。
従来の緑色カラーフィルターの幅は、イエロー色カラーフィルター105や、マゼンタ色カラーフィルター107に比べ半分以下の幅となっている。そのため、湿式法で不要部分を除去する際に、一緒に剥がれてしまうおそれがあるが、本実施形態のように、カラーフィルターの幅を広くすることで、湿式法で不要部分を除去する場合においても、剥がれるおそれはほぼ解消される。
次に、有機EL素子103と、有機EL素子101(104)と、有機EL素子103と有機EL素子101(104)に挟まれる分離部118と、をまとめて残りの色を含む(ここではマゼンタ色とする)第3のカラーフィルターとしてのマゼンタ色カラーフィルター107を用いて、覆うように形成する。具体的には顔料を添加したアクリル系のネガ型マゼンタ色カラーレジストを塗布し、湿式法(フォトリソグラフ・エッチング法)を用いて形成する。ここまでの工程を終えた状態を図6(c)に示す。ここまでの工程を行うことで、図1(a),(b)に示す有機EL装置100を形成する製造方法を提供することが可能となる。
(カラーフィルターによる遮光層)
次に、カラーフィルターを用いてブラックマトリックスの一部を代替する遮光層を備える有機EL装置100の製造方法について説明する。図7(a)〜(c)は、カラーフィルターを用いた遮光層を形成する工程を説明するための工程断面図である。ここで、保護層113を形成する工程までは上記した製造方法と同様な工程を用いているため説明を省略し、イエロー色カラーフィルター105を形成する工程から説明する。ここで、ブラックマトリックス117(図4(a),(b)参照)は、図示せぬ有機EL素子101,102,103が隣り合う方向と交差する(ここでは直交している)方向に分離するよう形成されている。
まず、イエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を用いた(ここではイエロー色とする)第1のカラーフィルターとしてのイエロー色カラーフィルター105を形成する。
上記した工程と比較した場合との主たる相違点は、イエロー色カラーフィルター105が、有機EL素子102と有機EL素子103との間にある分離部118と、有機EL素子103と有機EL素子101(104)との間にある分離部118と、を覆っていることである。ここまでの工程を終えた状態を図7(a)に示す。図7(a)では、この領域を破線で示している。
次に、残りのどちらかの色を用いた(ここではシアン色とする)第2のカラーフィルターとしてのシアン色カラーフィルター106を形成する。上記した工程と比較した場合との主たる相違点は、シアン色カラーフィルター106が、有機EL素子103と有機EL素子101(104)との間にある分離部118と、有機EL素子101と有機EL素子102との間にある分離部118と、を覆っていることである。ここまでの工程を終えた状態を図7(b)に示す。図7(b)では、この領域を破線で示している。
次に、残りの色を用いた(ここではマゼンタ色とする)第3のカラーフィルターとしてのマゼンタ色カラーフィルター107を形成する。上記した工程と比較した場合との主たる相違点は、マゼンタ色カラーフィルター107が、有機EL素子102と有機EL素子103との間にある分離部118と、有機EL素子101と有機EL素子102との間にある分離部118と、を覆っていることである。ここまでの工程を終えた状態を図7(c)に示す。図7(c)では、この領域を破線で示している。
このような製造工程を用いることで、図4(a),(b)に示すように、平面視にてイエロー色カラーフィルター105とシアン色カラーフィルター106とマゼンタ色カラーフィルター107が分離部118内で重なり、カラーフィルターによる遮光構造を得ることが可能になる。
また、同じ構成を備えるカラーフィルターを含む有機EL素子101と有機EL素子101aとの分離(図4(a),(b)参照)、有機EL素子102と有機EL素子102aとの分離、有機EL素子103と有機EL素子103aとの分離、を金属のブラックマトリックス117を用いた例について説明したが、これはイエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107を重ねて第4の分離部としての分離部118を構成しても良い。
ここでは、有機EL素子101,102,103を分離するために、イエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107を重ねて分離部118を構成する例について説明した。
また、有機EL素子101と有機EL素子101aとの分離、有機EL素子102と有機EL素子102aとの分離、有機EL素子103と有機EL素子103aとの分離についてもイエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107を重ねて第4の分離部としての分離部118を構成する例についても説明した。しかし、これは、有機EL素子101,102,103を平面視で囲う分離部118の一部にのみイエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107を重ねて遮光層を形成し、ブラックマトリックス117と代替させても良い。例えば、シアン色カラーフィルター106が、すでにイエロー色カラーフィルター105が形成されている有機EL素子101と有機EL素子102との間にある分離部118を覆い、マゼンタ色カラーフィルター107を有機EL素子101と有機EL素子102との間にある分離部118を覆うように重ね、他の分離部118を前述した(有機EL装置の製造方法)に準じ、カラーフィルターの端側にあたる分離部118を避けてカラーフィルターを形成することで、有機EL素子101と有機EL素子102の間に位置する分離部118のみをカラーフィルターによる遮光層として機能させることができる。
(有機EL装置:カラーフィルターの別の構成例)
上記した実施形態では、ストライプ構造で、ブラックマトリックス117(図1(a),(b)参照)を格子状に配置したものと、色の異なるカラーフィルターを横切る向きにブラックマトリックス117(図4(a),(b)参照)を形成したものと、について説明したが、これはストライプ構造以外の構造を備えていても良く、また、ブラックマトリックス117の形状(ブラックマトリックス117が無い場合を含む)についても種々の構造を備えていても良い。
図8(a)〜(c)は、ストライプ構造を備え、ブラックマトリックスを用いずに、カラーフィルターの積層構造を用いて遮光部を形成する例を示す平面図である。図中四角の領域は、画素電極110を示している。
図8(a)は、イエロー色カラーフィルター105のパターンを示し、(b)は、シアン色カラーフィルター106、(c)は、マゼンタ色カラーフィルター107のパターンを、それぞれ示している。
有機EL素子を平面視にて囲う分離部118は、(a)〜(c)のパターンを重ねると、イエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107で覆われる。即ち、黒色となり、分離部118により遮光が行われ、画質の低下は防止される。
図8(d)〜(f)は、モザイク構造を用い、ブラックマトリックスを用いずに、カラーフィルターの積層構造を用いて遮光部を形成する例を示す平面図である。
図8(d)は、イエロー色カラーフィルター105のパターンを示し、(e)は、シアン色カラーフィルター106、(f)は、マゼンタ色カラーフィルター107のパターンを、それぞれ示している。有機EL素子を平面視にて囲う分離部118は、(d)〜(f)のパターンを重ねると、イエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107の全てで覆われる。即ち、分離部118により遮光が行われ、画質の低下は防止される。
図8(g)〜(i)は、デルタ構造を用い、ブラックマトリックスを用いずに、カラーフィルターの積層構造を用いて遮光部を形成する例を示す平面図である。
図8(g)は、イエロー色カラーフィルター105のパターンを示し、(h)は、シアン色カラーフィルター106、(i)は、マゼンタ色カラーフィルター107のパターンを、それぞれ示している。有機EL素子を平面視にて囲う分離部118は、(h)〜(i)のパターンを重ねると、イエロー色カラーフィルター105、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107の全てで覆われる。即ち、分離部118により遮光が行われ、画質の低下は防止される。
上記した例では、ブラックマトリックス117を用いずに遮光する構成について説明したが、これは、例えば一部をブラックマトリックス117で代替しても良い。また、全ての分離部118をブラックマトリックス117で遮光するように代替しても良い。
ここで示したカラーフィルターを備えた有機EL装置100と、上記した実施形態との主たる差異はカラーフィルターのパターンにあり、例えばTFT131,132,133として上記したものを用いることで、同様な構成を得ることができる。また、この構造を作るための製造工程として、上記した製造工程を適用することができる。
(電子機器)
図9に上記した有機EL装置、または上記した有機EL装置の製造方法を用いて形成された有機EL装置を含む電子機器の例を挙げる。図9(a)は携帯電話への適用例を示す模式図であり、携帯電話230は、アンテナ部231、音声出力部232、音声入力部233、操作部234、及び有機EL装置100を備えている。このように本発明の有機EL装置を携帯電話230の表示部として利用可能である。図9(b)はビデオカメラへの適用例を示す模式図であり、ビデオカメラ240は、受像部241、操作部242、音声入力部243、及び有機EL装置100を備えている。このように本発明の有機EL装置は、電子ビューファインダーや表示部として利用可能である。図9(c)は携帯型パーソナルコンピューターへの適用例を示す模式図であり、コンピューター250は、カメラ部251、操作部252、及び有機EL装置100を備えている。このように本発明の有機EL装置は、表示部として利用可能である。
図9(d)はヘッドマウントディスプレイへの適用例を示す模式図であり、ヘッドマウントディスプレイ260は、バンド261、光学系収納部262及び有機EL装置100を備えている。このように本発明の有機EL装置は画像表示器として利用可能である。図9(e)はリア型プロジェクターへの適用例を示す模式図であり、プロジェクター270は、筐体271に、合成光学系273、ミラー274、ミラー275、スクリーン276、及び有機EL装置100を備えている。このように本発明の有機EL装置は画像表示器として利用可能である。図9(f)はフロント型プロジェクター(モバイルミニプロジェクター)への適用例を示す模式図であり、プロジェクター280は、筐体282に光学系281及び有機EL装置100を備え、画像をスクリーン283に表示可能になっている。なお、モバイルミニプロジェクターとして扱う場合、スクリーン283に代えて白い壁に映すようにすると、スクリーン283を省略することが可能となり、より持ち運び易いモバイルミニプロジェクターを提供することが可能となる。このように本発明の有機EL装置は画像表示器として利用可能である。
上記例に限らず本発明の有機EL装置は、種々の電子機器に適用可能である。例えば、表示機能付きファックス装置、デジタルカメラのファインダー、携帯型TV、DSP装置、PDA、電子手帳、電光掲示板、宣伝公告用ディスプレイなどにも活用することができる。
上記した有機EL装置、有機EL装置の製造方法、ならびに電子機器は、例えば、以下の特徴を有する。
カラーフィルターで2つの有機EL素子101,102とこれらに平面視で挟まれる分離部118をまとめて覆うため、素子基板116とイエロー色カラーフィルター105との接触面積は、有機EL素子101,102を個々に覆う場合と比べて、2倍以上の面積(有機EL素子101,102の間にある分離部118も密着に寄与する)となり、高い密着性を備えることとなる。そのため、カラーフィルターを、例えば湿式(フォトリソグラフ・エッチング法)で形成する場合に、これらのカラーフィルターが素子基板116から剥がれることで発生する不良を抑えることが可能となる。
カラーフィルターと素子基板116との間で密着性が高くなることで、カラーフィルターの端での捲れが発生し難くなるため、有機EL装置100の信頼性を向上させることが可能となる。例えば、温度サイクルの影響で繰り返し応力が掛った場合にカラーフィルターの端での捲れが発生し、この間隙により、光が反射する欠陥が発生するおそれがあるが、カラーフィルターの面積を大きくすることで、カラーフィルターと、素子基板116との密着性が高くなり、このような欠陥の発生を抑制することが可能となる。
有機EL素子101,102,103のそれぞれの光路長を、第1透明導電層120と第2透明導電層121の有無を制御することで変える。例えば、赤色の光を射出する有機EL素子101には第1透明導電層120と第2透明導電層121を共に挟み、緑色の光を射出する有機EL素子102には第2透明導電層121のみを挟み、青色の光を射出する有機EL素子103にはどちらも挟まない構成を持たせる。そして、半透過電極(共通電極112)と画素電極110との間で光の共振器構造を形成する。このように、有機EL素子101,102,103に光の共振器構造を含ませることで、各色の色純度を向上させることが可能となる。そのため、高精細な表示を可能とする有機EL装置100を構成することが可能となる。
有機EL素子101,102,103の分離部118で、イエロー色カラーフィルター105と、シアン色カラーフィルター106、マゼンタ色カラーフィルター107と、を厚み方向に重ねることで、色としては黒色、即ち光を遮断する領域が形成される。この構成を用いることで、有機EL素子101,102,103の分離部118にブラックマトリックスと等価な特性を示す領域を設置することが可能となる。そのため、有機EL素子101,102,103からの光の回り込みによる色純度の低下を抑えることが可能となる。
有機EL素子101,102,103と分離部118とは、分離部118の長手方向と隣接している。そのため、分離部118の加工で発生する剥がれを抑えて、高い歩留まりを備えた有機EL装置100が提供できる。
分離部118をカラーフィルターで埋めることで、カラーフィルターの幅そのものが広がるため、製造プロセス上での剥がれを抑制することが可能となる。
ストライプ構造に限らず、モザイク構造やデルタ構造を用いた場合においても、黒色を示す領域を分離部118に設置することができ、ブラックマトリックス117を設置する工程を省略することが可能となる。
カラーフィルターの剥がれが抑えられることで歩留まりが向上し、さらに信頼性にも優れた有機EL装置を種々の電子機器に適用することで、低価格でかつ高品質な電子機器を提供することが可能となる。
100…有機EL装置、101…第1の有機EL素(第4の有機EL素子)としての有機EL素子、101a…有機EL素子、102…第2の有機EL素子としての有機EL素子、102a…有機EL素子、103…第3の有機EL素子としての有機EL素子、103a…有機EL素子、105…第1のカラーフィルターとしてのイエロー色カラーフィルター、106…第2のカラーフィルターとしてのシアン色カラーフィルター、107…第3のカラーフィルターとしてのマゼンタ色カラーフィルター、110…画素電極、111…有機発光層、112…共通電極、113…保護層、115…基板本体、116…基板としての素子基板、117…ブラックマトリックス、118…第1の分離部、第2の分離部、第3の分離部、第4の分離部としての分離部、120…第1透明導電層、121…第2透明導電層、130…バッファー層、131…TFT、132…TFT、133…TFT、135…層間絶縁膜、136…金属支柱、230…携帯電話、231…アンテナ部、232…音声出力部、233…音声入力部、234…操作部、240…ビデオカメラ、241…受像部、242…操作部、243…音声入力部、250…コンピューター、251…カメラ部、252…操作部、260…ヘッドマウントディスプレイ、261…バンド、262…光学系収納部、270…プロジェクター、271…筐体、273…合成光学系、274…ミラー、275…ミラー、276…スクリーン、280…プロジェクター、281…光学系、282…筐体、283…スクリーン。

Claims (7)

  1. 基板の第1面側に位置し、当該順に隣り合う、第1の有機EL素子と、第1の分離部と、第2の有機EL素子と、第2の分離部と、第3の有機EL素子と、第3の分離部と、第4の有機EL素子と、
    前記第1の有機EL素子と、前記第1の分離部と、前記第2の有機EL素子と、をまとめて覆う、イエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を備える第1のカラーフィルターと、
    前記第2の有機EL素子と、前記第2の分離部と、前記第3の有機EL素子と、をまとめて覆う、残りのどちらかの色を備える第2のカラーフィルターと、
    前記第3の有機EL素子と、前記第3の分離部と、前記第4の有機EL素子と、をまとめて覆う、残りの色を備える第3のカラーフィルターと、
    を含むことを特徴とする有機EL装置。
  2. 請求項1に記載の有機EL装置であって、
    複数の前記第1の有機EL素子および、複数の前記第2の有機EL素子、複数の前記第3の有機EL素子、複数の前記第4の有機EL素子が、前記隣り合う方向と交差する方向に、第4の分離部を介して各々並べられ、
    前記第1の分離部、前記第2の分離部、前記第3の分離部、前記第4の分離部と、
    の少なくとも1つが、
    前記第1のカラーフィルターと、
    前記第2のカラーフィルターと、
    前記第3のカラーフィルターと、
    が重なる領域を備えることを特徴とする有機EL装置。
  3. 請求項1または2に記載の有機EL装置であって、
    前記第1の有機EL素子と、
    前記第2の有機EL素子と、
    前記第3の有機EL素子と、
    前記第4の有機EL素子と、
    が平面視にて矩形もしくは矩形の角を落とした形状を備えており、
    前記第1のカラーフィルターが、前記第1の有機EL素子と、前記第1の分離部と、前記第2の有機EL素子と、を短辺方向にまとめて覆い、
    前記第2のカラーフィルターが、前記第2の有機EL素子と、前記第2の分離部と、前記第3の有機EL素子と、を短辺方向にまとめて覆い、
    前記第3のカラーフィルターが、前記第3の有機EL素子と、前記第3の分離部と、前記第4の有機EL素子と、を短辺方向にまとめて覆うことを特徴とする有機EL装置。
  4. 当該順に隣り合う第1の有機EL素子と、第1の分離部と、第2の有機EL素子と、第2の分離部と、第3の有機EL素子と、第3の分離部と、第4の有機EL素子とを、基板の第1面側に形成する工程と、
    前記第1の有機EL素子と、前記第1の分離部と、前記第2の有機EL素子とをまとめて覆う、イエロー色、シアン色、マゼンタ色のいずれか一色を備える第1のカラーフィルターを形成する工程と、
    前記第2の有機EL素子と、前記第2の分離部と、前記第3の有機EL素子とをまとめて覆う、残りのどちらかの色を備える第2のカラーフィルターを形成する工程と、
    前記第3の有機EL素子と、前記第3の分離部と、前記第4の有機EL素子とをまとめて覆う、残りの色を備える第3のカラーフィルターを形成する工程と、
    を含むことを特徴とする有機EL装置の製造方法。
  5. 請求項4に記載の有機EL装置の製造方法であって、
    複数の前記第1の有機EL素子、複数の前記第2の有機EL素子、複数の前記第3の有機EL素子を、前記隣り合う方向と交差する方向に分離する第4の分離部と、をさらに備え、
    前記第2のカラーフィルターと前記第3のカラーフィルターと、が前記第1の分離部を覆うことと、
    前記第1のカラーフィルターと前記第3のカラーフィルターと、が前記第2の分離部を覆うことと、
    前記第1のカラーフィルターと前記第2のカラーフィルターと、が前記第3の分離部を覆うことと、
    前記第1のカラーフィルターと、前記第2のカラーフィルターと、前記第3のカラーフィルターと、を重ねて、前記第4の分離部の少なくとも一部を覆うことと、
    の少なくとも1つが行われていることを特徴とする有機EL装置の製造方法。
  6. 請求項1〜3のいずれか一項に記載の有機EL装置を備えることを特徴とする電子機器。
  7. 請求項4または5に記載の有機EL装置の製造方法を用いて形成された有機EL装置を備えることを特徴とする電子機器。
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