JP2011508428A - 半導体材料を大量生産するためのin−situチャンバ洗浄プロセスの方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 158
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 142
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 96
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 86
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 145
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 124
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 28
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 27
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 17
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 17
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 13
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 10
- 239000000047 product Substances 0.000 claims description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 8
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 claims description 8
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 6
- -1 halide compound Chemical class 0.000 claims description 4
- 150000002366 halogen compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 claims description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 15
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 11
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 7
- 238000005108 dry cleaning Methods 0.000 description 6
- 230000001351 cycling effect Effects 0.000 description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 4
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 4
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 4
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 4
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 3
- XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M chlorogallium Chemical compound [Ga]Cl XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 3
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009614 chemical analysis method Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910001510 metal chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002835 noble gases Chemical class 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
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-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02334—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment in-situ cleaning after layer formation, e.g. removing process residues
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
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- C23C16/52—Controlling or regulating the coating process
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
【選択図】 図1A
Description
Claims (20)
- 半導体材料を製造するための反応チャンバにおいて、半導体材料の望ましくない堆積物を制御する方法であって、
基板上に半導体材料を製造するステップと、
in situ洗浄プロセスによって前記リアクタチャンバ内の望ましくない堆積物を除去するステップとを含み、前記in situ洗浄プロセスが、
(a)前記リアクタチャンバの望ましくない堆積物の量が許容範囲内に維持される間、前記基板上に前記選択した量の半導体材料が提供されるように、前記製造するステップと除去するステップを繰り返すステップによって、または
(b)前記望ましくない堆積物と反応して気体状の反応生成物を形成する1つ以上の洗浄ガスに、前記リアクタチャンバの内部を暴露し、前記気体状の反応生成物のレベルを自動的に検出し、反応生成物の前記自動的に検出されたレベルが、前記望ましくない堆積物の量が許容範囲内であることを示すまで、前記反応チャンバにおけるガスへの暴露を継続するステップによって行われる方法。 - 前記in situ洗浄プロセスが、
化学気相成長(CVD)プロセスによって前記リアクタチャンバの前記基板上に選択した量の前記半導体材料を成長させるステップと、
前記選択した量の材料が前記基板上に成長し、前記リアクタチャンバにある望ましくない堆積物の量が前記許容範囲内に維持されるまで、前記成長させるステップおよび除去するステップを繰り返すことによって、前記リアクタチャンバ内にある望ましくない堆積物を除去するステップと、
を含む請求項1に記載の方法。 - 前記選択した量の半導体材料が前記基板上に成長するまで、前記基板を、周囲雰囲気と接触させずに制御条件下で維持するステップをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- 前記CVDプロセスが、水素化物気相エピタキシープロセスを含み、前記基板上に成長する前記半導体材料が、1つ以上のIII族元素の1つ以上の化合物を含み、前記in situ洗浄プロセスが、望ましくない堆積物を、前記リアクタチャンバから排気される気体状の生成物に変換することを含む、請求項2に記載の方法。
- 望ましくない堆積物の蓄積の前記許容範囲が、前記基板上に成長する材料が意図した用途に対して十分な品質を有するものである、請求項2に記載の方法。
- 望ましくない堆積物の蓄積の前記許容範囲が、前記基板上に成長する材料が前記望ましくない堆積物から生じる汚染が実質的にないものである、請求項2に記載の方法。
- 前記望ましくない堆積物の量を自動的に検出するステップと、
前記望ましくない堆積物の量が、前記許容範囲内に維持されるように、前記自動的に検出された望ましくない堆積物の量に依存して、前記in situ洗浄プロセスを実行するステップと、
をさらに含む、請求項2に記載の方法。 - 前記in situ洗浄プロセス中、前記リアクタチャンバから前記基板を移送するステップをさらに含み、基板移送中の前記リアクタチャンバの温度が、前記基板へ熱的ダメージが起こらないように再設置/除去温度範囲内に設定される、請求項1に記載の方法。
- 前記in situ洗浄プロセスが、
前記望ましくない堆積物と反応して気体状の反応生成物を形成する1つ以上の洗浄ガスに、前記リアクタチャンバの内部を暴露するステップと、
前記気体状の反応生成物のレベルを自動的に検出するステップと、
前記自動的に検出された反応生成物のレベルが、前記望ましくない堆積物の量が許容範囲内にあることを示すまで、前記ガスへの暴露を継続するステップとを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記リアクタチャンバに1つ以上の洗浄ガスを流すステップと、スペクトル測定を実行することによって、前記リアクタチャンバ排気ガスにある気体状の反応生成物の前記レベルを検出するステップをさらに含み、前記望ましくない堆積物が、1つ以上のIII−V族化合物と、ハロゲン化物化合物を含み、前記洗浄ガスが、ハロゲン化合物を含む、請求項9に記載の方法。
- 基板上に選択した量の半導体材料を成長させるための処理機器であって、
リアクタチャンバを含み、さまざまな半導体プロセスを実行するように制御信号によって命令されるリアクタサブシステムと、
前記チャンバから放出されるガスの組成に応答して信号を発生するためのガスセンサと、
少なくとも一部において前記ガスセンサ信号に依存して発生される制御信号を、前記リアクタサブシステムに命令するために発生する自動コントローラと、
を備える処理機器。 - 前記制御信号が、前記リアクタチャンバ内から望ましくない堆積物を洗浄するためのin situプロセスを実行する洗浄制御信号をさらに含み、前記ガスセンサ信号が、前記リアクタチャンバ内の望ましくない堆積物の前記残りの量が許容範囲内であることを示すまで、前記in situ洗浄プロセスが継続される、請求項11に記載の機器。
- 前記in situ洗浄プロセスが、
前記リアクタチャンバ内の前記望ましくない堆積物と反応して、気体状の反応生成物を形成する1つ以上の洗浄ガスに前記リアクタチャンバを暴露するステップと、
前記リアクタチャンバから前記反応生成物を放出するステップとをさらに含む、請求項12に記載の機器。 - 前記制御信号が、前記チャンバ内の前記基板上に半導体材料を成長させるためのCVDプロセスを実行する成長制御信号をさらに含み、前記リアクタチャンバにある望ましくない堆積物の量が許容範囲内に維持されている間、選択した量の材料が前記基板上に成長するように、前記コントローラが、前記成長制御信号および前記洗浄制御信号を繰り返し発生する、請求項12に記載の機器。
- 前記リアクタチャンバ内の望ましくない堆積物に応答して信号を発生するための堆積物センサをさらに備え、前記堆積物センサ信号が前記リアクタチャンバの洗浄が必要であることを示すまで、前記CVDプロセスが継続される、請求項14に記載の機器。
- 前記CVDプロセスが、
前記リアクタを成長温度範囲まで加熱するステップと、
前記基板上に前記半導体材料を堆積するように反応する1つ以上の前駆体ガスを前記リアクタチャンバに流すステップとをさらに含む、請求項14に記載の機器。 - 前記前駆体ガスが、III族元素のハロゲン化合物を含み、前記成長温度範囲が約800℃〜約1150℃である、請求項16に記載の機器。
- in situプロセス中に前記基板が存在する制御された雰囲気を有するロードチャンバと、前記リアクタチャンバとの間で基板を移送するためのプロセスを実行するための移送制御信号によって命令される基板移送手段とをさらに備え、前記基板が、in situ洗浄プロセスの前に前記リアクタチャンバから移送され、in situ洗浄プロセスの後に前記リアクタチャンバ内に戻される、請求項12に記載の機器。
- 前記基板移送手段が、ロボットアームをさらに含み、前記移送プロセスが、前記基板の移送中に再設置/除去温度に前記リアクタを維持するステップをさらに含み、前記再設置/除去温度が、移送中に前記基板への熱的ダメージが生じないような温度である、請求項18に記載の機器。
- 前記再設置/除去温度が、約600度〜約750度である、請求項19に記載の機器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US1549807P | 2007-12-20 | 2007-12-20 | |
PCT/US2008/085707 WO2009085561A2 (en) | 2007-12-20 | 2008-12-05 | Methods for in-situ chamber cleaning process for high volume manufacture of semiconductor materials |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011508428A true JP2011508428A (ja) | 2011-03-10 |
Family
ID=40718512
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010539609A Pending JP2011508428A (ja) | 2007-12-20 | 2008-12-05 | 半導体材料を大量生産するためのin−situチャンバ洗浄プロセスの方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
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EP (1) | EP2231898A2 (ja) |
JP (1) | JP2011508428A (ja) |
KR (1) | KR20100108359A (ja) |
CN (1) | CN101903563A (ja) |
WO (1) | WO2009085561A2 (ja) |
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- 2008-12-05 JP JP2010539609A patent/JP2011508428A/ja active Pending
- 2008-12-05 US US12/602,740 patent/US20100180913A1/en not_active Abandoned
- 2008-12-05 EP EP08868108A patent/EP2231898A2/en not_active Withdrawn
- 2008-12-05 KR KR1020107014357A patent/KR20100108359A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-12-05 WO PCT/US2008/085707 patent/WO2009085561A2/en active Application Filing
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KR102365024B1 (ko) | 2017-08-18 | 2022-02-18 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 모니터링 디바이스를 갖는 처리 툴 |
KR20220025930A (ko) * | 2017-08-18 | 2022-03-03 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 모니터링 디바이스를 갖는 처리 툴 |
KR102422119B1 (ko) | 2017-08-18 | 2022-07-18 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 모니터링 디바이스를 갖는 처리 툴 |
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Publication number | Publication date |
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CN101903563A (zh) | 2010-12-01 |
WO2009085561A2 (en) | 2009-07-09 |
KR20100108359A (ko) | 2010-10-06 |
WO2009085561A4 (en) | 2009-12-17 |
EP2231898A2 (en) | 2010-09-29 |
WO2009085561A3 (en) | 2009-10-29 |
US20100180913A1 (en) | 2010-07-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110704 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120613 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120619 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121016 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130312 |