JP2011242780A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011242780A5 JP2011242780A5 JP2011111704A JP2011111704A JP2011242780A5 JP 2011242780 A5 JP2011242780 A5 JP 2011242780A5 JP 2011111704 A JP2011111704 A JP 2011111704A JP 2011111704 A JP2011111704 A JP 2011111704A JP 2011242780 A5 JP2011242780 A5 JP 2011242780A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- connection structure
- micro
- rotation axis
- structure according
- leg
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Claims (18)
- マイクロ振動装置のための接続構造(1)であって、該接続構造(1)の一端はマイクロ振動構造(4)に、他端はバネ部材(3)に少なくとも間接的に接続可能であり、前記接続構造は、前記マイクロ振動構造(4)の回転軸(T)に対して平行に配置された少なくとも1つの脚部(2a、2b、2c)と、前記回転軸(T)に対して垂直に配置された少なくとも1つの別の脚部(2’)と、前記接続構造(1)の捩れを測定する少なくとも1つの抵抗素子(5a、5b、5c、5d)とを含んでおり、前記回転軸(T)に平行な方向における前記接続構造(1)の広がりは、前記回転軸(T)に対して垂直な方向における前記接続構造(1)の広がりの少なくとも2.5倍であり、前記抵抗素子(5a、5b、5c、5d)は前記接続構造(1)が捩れたときに比較的大きな機械的応力が生じる領域に配置されている、ことを特徴とするマイクロ振動装置のための接続構造。
- 前記接続構造は、前記マイクロ振動構造(4)の回転軸(T)に対して平行に配置された少なくとも2つの脚部(2a、2b、2c)を有している、請求項1記載の接続構造。
- 前記接続構造は、前記マイクロ振動構造(4)の回転軸(T)に対して平行に配置された3つの脚部(2a、2b、2c)を有している、請求項1記載の接続構造。
- 前記回転軸(T)に平行な方向における前記接続構造(1)の広がりは、前記回転軸(T)に対して垂直な方向における前記接続構造(1)の広がりの少なくとも3倍である、請求項1記載の接続構造。
- 前記抵抗素子(5a、5b、5c、5d)は、前記接続構造(1)と前記マイクロ振動構造(4)との間及び/又は前記接続構造(1)と前記バネ部材(3)との間の接続部にホイートストンブリッジ(A1、A2、A3、A4、5a、5b、5c、5d)の形態で配置された少なくとも4つの抵抗器(5a、5b、5c、5d)を含んでいる、請求項1から4のいずれか1項記載の接続構造。
- 前記抵抗素子(5a、5b、5c、5d)は少なくとも1つの圧電結晶(K)を含んでおり、当該圧電結晶(K)の<110>方向は前記回転軸(T)に平行である、請求項1から4のいずれか1項記載の接続構造。
- 前記抵抗素子(5a、5b、5c、5d)は少なくとも1つの外脚部(2a、2b)に配置されており、及び/又は、前記抵抗素子(5a、5b、5c、5d)に給電するための給電線(Z)が内脚部(2c)に配置されている、請求項1から5のいずれか1項記載の接続構造。
- 前記給電線(Z)は1μmよりも深い拡散によって製造されており、及び/又は、前記抵抗素子(5a、5b、5c、5d)は1μm未満の深さの拡散によって製造されている、請求項7記載の接続構造。
- 記給電線(Z)は8μmよりも深い拡散によって製造されている、請求項8記載の接続構造。
- 少なくとも1つの外脚部(2a、2b)が内部に拡幅部(VS)を有しており、前記抵抗素子(5a、5b、5c、5d)の少なくとも1つの抵抗器(5a、5b、5c、5d)が少なくとも1つの脚部(2a、2b)の内部に導電路(La、Lb)の形態で拡幅部(V)を有している、請求項7記載の接続構造。
- 前記少なくとも1つの抵抗器(5a、5b、5c、5d)は前記脚部(2a、2b)の少なくとも一方の端部に導電路(La、Lb)の形態で2マイクロメートル未満の幅を有する、請求項10記載の接続構造。
- 前記少なくとも1つの抵抗器(5a、5b、5c、5d)は前記脚部(2a、2b)の少なくとも一方の端部に導電路(L a 、L b )の形態で1.5マイクロメートル未満の幅を有する、請求項11記載の接続構造。
- 前記外脚部(2a、2b)の少なくとも1つに、少なくとも1つの抵抗器(5a、5b、5c、5d)の電圧をタップするタップ(AL、AR)を有するタップ構造(M)が配置されており、ここで前記電圧のタップ(AL、AR)は前記脚部(2a、2b)の拡幅部(VS)の領域及び/又は前記抵抗器(5a、5b、5c、5d)の拡幅部(V)の領域にホイートストンブリッジ(5a、5b、5c、5d)を形成するために前記外脚部(2a、2b)の半分の長さの箇所において行われる、請求項1から4のいずれか1項記載の接続構造。
- 前記タップ(A、AR)付きタップ構造(M)は少なくとも3重の曲折模様(M)として形成されている、請求項13記載の接続構造。
- 前記脚部(2a、2b、2c)はトーション軸(T)に平行に互いに距離を持っており、当該距離は前記回転軸(T)に対して垂直な方向における前記脚部(2c)の長さの半分である、請求項1から4のいずれか1項記載の接続構造。
- 前記マイクロ振動装置はマイクロ振動ミラーである、請求項1から15のいずれか1項記載の接続構造。
- 請求項1−16のいずれか1項記載の接続構造(1)を少なくとも1つ含むマイクロ振動装置。
- 前記マイクロ振動装置はマイクロ振動ミラーである、請求項17記載のマイクロ振動装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010029074.2A DE102010029074B4 (de) | 2010-05-18 | 2010-05-18 | Anbindungsstruktur für Mikroschwingeneinrichtungen |
DE102010029074.2 | 2010-05-18 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011242780A JP2011242780A (ja) | 2011-12-01 |
JP2011242780A5 true JP2011242780A5 (ja) | 2012-01-19 |
JP5832143B2 JP5832143B2 (ja) | 2015-12-16 |
Family
ID=44898707
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011111704A Active JP5832143B2 (ja) | 2010-05-18 | 2011-05-18 | マイクロ振動装置のための接続構造 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8462415B2 (ja) |
JP (1) | JP5832143B2 (ja) |
CN (1) | CN102313986B (ja) |
DE (1) | DE102010029074B4 (ja) |
IT (1) | ITMI20110698A1 (ja) |
TW (1) | TWI582038B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012219660B4 (de) * | 2012-10-26 | 2023-10-12 | Robert Bosch Gmbh | Mechanisches Bauteil |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3204784B2 (ja) * | 1993-03-23 | 2001-09-04 | オリンパス光学工業株式会社 | 集積型spmセンサー、及び、その駆動回路、及び、それを有する走査型プローブ顕微鏡 |
US5488862A (en) * | 1993-10-18 | 1996-02-06 | Armand P. Neukermans | Monolithic silicon rate-gyro with integrated sensors |
US5614678A (en) | 1996-02-05 | 1997-03-25 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | High pressure piezoresistive transducer |
JP4185089B2 (ja) * | 1998-08-07 | 2008-11-19 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 自己検知型spmプローブ |
JP4776779B2 (ja) * | 1998-09-02 | 2011-09-21 | カイロス・インク | 捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材 |
DE19941045A1 (de) | 1999-08-28 | 2001-04-12 | Bosch Gmbh Robert | Mikroschwingvorrichtung |
JP2002116403A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-04-19 | Univ Tokyo | 光スキャナ装置 |
US7446911B2 (en) | 2002-11-26 | 2008-11-04 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical scanning apparatus and image forming apparatus |
US7443569B2 (en) * | 2003-04-24 | 2008-10-28 | Jds Uniphase Corporation | Micro-electro-mechanical-system two dimensional mirror with articulated suspension structures for high fill factor arrays |
JP2005088188A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-04-07 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子駆動方法 |
US7442918B2 (en) * | 2004-05-14 | 2008-10-28 | Microvision, Inc. | MEMS device having simplified drive |
US20090250853A1 (en) | 2006-04-24 | 2009-10-08 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewand | Torsion resilient element for hanging micromechanical elements which can be deflected |
KR100868758B1 (ko) | 2007-01-15 | 2008-11-13 | 삼성전기주식회사 | 압저항 센서를 구비한 회전형 mems 디바이스 |
JP5233221B2 (ja) * | 2007-09-21 | 2013-07-10 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 |
JP2009151013A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-07-09 | Canon Inc | 揺動体装置及びその製造方法、揺動体装置によって構成される光学機器 |
JP2009210955A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Brother Ind Ltd | 光スキャナ |
-
2010
- 2010-05-18 DE DE102010029074.2A patent/DE102010029074B4/de active Active
-
2011
- 2011-04-27 IT IT000698A patent/ITMI20110698A1/it unknown
- 2011-05-12 US US13/106,453 patent/US8462415B2/en active Active
- 2011-05-16 TW TW100116984A patent/TWI582038B/zh active
- 2011-05-18 CN CN201110133059.4A patent/CN102313986B/zh active Active
- 2011-05-18 JP JP2011111704A patent/JP5832143B2/ja active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2014066325A5 (ja) | ||
EP2645211A3 (en) | Touch sensor integrated type display device and method of manufacturing the same | |
JP2008209389A5 (ja) | ||
JP2014232105A5 (ja) | ||
WO2008154034A3 (en) | Interlocking toy | |
JP2011242780A5 (ja) | ||
WO2014116108A8 (en) | Rotary assembly comprising a flexible wire | |
JP2013192013A5 (ja) | ||
JP2014504793A5 (ja) | ||
MX2019004289A (es) | Resorte telescópico de fuerza controlada. | |
JP2014032137A5 (ja) | ||
JP2012129904A5 (ja) | ||
JP2012522196A5 (ja) | ||
JP2008219066A5 (ja) | ||
JP2017062038A5 (ja) | ||
Xu | Big data | |
JP5832143B2 (ja) | マイクロ振動装置のための接続構造 | |
JP3172186U (ja) | 内角度分度板 | |
JP2015094716A5 (ja) | 振動素子製造用基板、振動素子の製造方法、物理量検出装置、電子機器、および移動体 | |
JP2013029522A5 (ja) | ||
US480370A (en) | Ernest lxddeckens | |
CN106308357A (zh) | 三角形叉子 | |
JP2016053486A5 (ja) | ||
CN302413614S (zh) | 仪器仪表机箱(2) | |
TWI539723B (zh) | 線性馬達之組合式定子構造 |