JP2011242780A5

JP2011242780A5 -

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Publication number: JP2011242780A5
Application number: JP2011111704A
Authority: JP
Filing date: 2011-05-18
Publication date: 2012-01-19
Anticipated expiration: 2031-05-18

Claims

マイクロ振動装置のための接続構造（１）であって、該接続構造（１）の一端はマイクロ振動構造（４）に、他端はバネ部材（３）に少なくとも間接的に接続可能であり、前記接続構造は、前記マイクロ振動構造（４）の回転軸（Ｔ）に対して平行に配置された少なくとも１つの脚部（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、前記回転軸（Ｔ）に対して垂直に配置された少なくとも１つの別の脚部（２’）と、前記接続構造（１）の捩れを測定する少なくとも１つの抵抗素子（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）とを含んでおり、前記回転軸（Ｔ）に平行な方向における前記接続構造（１）の広がりは、前記回転軸（Ｔ）に対して垂直な方向における前記接続構造（１）の広がりの少なくとも２．５倍であり、前記抵抗素子（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）は前記接続構造（１）が捩れたときに比較的大きな機械的応力が生じる領域に配置されている、ことを特徴とするマイクロ振動装置のための接続構造。
前記接続構造は、前記マイクロ振動構造（４）の回転軸（Ｔ）に対して平行に配置された少なくとも２つの脚部（２ａ、２ｂ、２ｃ）を有している、請求項１記載の接続構造。
前記接続構造は、前記マイクロ振動構造（４）の回転軸（Ｔ）に対して平行に配置された３つの脚部（２ａ、２ｂ、２ｃ）を有している、請求項１記載の接続構造。
前記回転軸（Ｔ）に平行な方向における前記接続構造（１）の広がりは、前記回転軸（Ｔ）に対して垂直な方向における前記接続構造（１）の広がりの少なくとも３倍である、請求項１記載の接続構造。
前記抵抗素子（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）は、前記接続構造（１）と前記マイクロ振動構造（４）との間及び／又は前記接続構造（１）と前記バネ部材（３）との間の接続部にホイートストンブリッジ（Ａ₁、Ａ₂、Ａ₃、Ａ₄、５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）の形態で配置された少なくとも４つの抵抗器（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）を含んでいる、請求項１から４のいずれか１項記載の接続構造。
前記抵抗素子（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）は少なくとも１つの圧電結晶（Ｋ）を含んでおり、当該圧電結晶（Ｋ）の<110>方向は前記回転軸（Ｔ）に平行である、請求項１から４のいずれか１項記載の接続構造。
前記抵抗素子（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）は少なくとも１つの外脚部（２ａ、２ｂ）に配置されており、及び／又は、前記抵抗素子（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）に給電するための給電線（Ｚ）が内脚部（２ｃ）に配置されている、請求項１から５のいずれか１項記載の接続構造。
前記給電線（Ｚ）は１μｍよりも深い拡散によって製造されており、及び／又は、前記抵抗素子（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）は１μｍ未満の深さの拡散によって製造されている、請求項７記載の接続構造。
記給電線（Ｚ）は８μｍよりも深い拡散によって製造されている、請求項８記載の接続構造。
少なくとも１つの外脚部（２ａ、２ｂ）が内部に拡幅部（Ｖ_S）を有しており、前記抵抗素子（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）の少なくとも１つの抵抗器（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）が少なくとも１つの脚部（２ａ、２ｂ）の内部に導電路（Ｌ_a、Ｌ_b）の形態で拡幅部（Ｖ）を有している、請求項７記載の接続構造。
前記少なくとも１つの抵抗器（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）は前記脚部（２ａ、２ｂ）の少なくとも一方の端部に導電路（Ｌ_a、Ｌ_b）の形態で２マイクロメートル未満の幅を有する、請求項１０記載の接続構造。
前記少なくとも１つの抵抗器（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）は前記脚部（２ａ、２ｂ）の少なくとも一方の端部に導電路（Ｌ _a 、Ｌ _b ）の形態で１．５マイクロメートル未満の幅を有する、請求項１１記載の接続構造。
前記外脚部（２ａ、２ｂ）の少なくとも１つに、少なくとも１つの抵抗器（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）の電圧をタップするタップ（Ａ_L、Ａ_R）を有するタップ構造（Ｍ）が配置されており、ここで前記電圧のタップ（Ａ_L、Ａ_R）は前記脚部（２ａ、２ｂ）の拡幅部（Ｖ_S）の領域及び／又は前記抵抗器（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）の拡幅部（Ｖ）の領域にホイートストンブリッジ（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）を形成するために前記外脚部（２ａ、２ｂ）の半分の長さの箇所において行われる、請求項１から４のいずれか１項記載の接続構造。
前記タップ（Ａ、Ａ_R）付きタップ構造（Ｍ）は少なくとも３重の曲折模様（Ｍ）として形成されている、請求項１３記載の接続構造。
前記脚部（２ａ、２ｂ、２ｃ）はトーション軸（Ｔ）に平行に互いに距離を持っており、当該距離は前記回転軸（Ｔ）に対して垂直な方向における前記脚部（２ｃ）の長さの半分である、請求項１から４のいずれか１項記載の接続構造。
前記マイクロ振動装置はマイクロ振動ミラーである、請求項１から１５のいずれか１項記載の接続構造。
請求項１−１６のいずれか１項記載の接続構造（１）を少なくとも１つ含むマイクロ振動装置。
前記マイクロ振動装置はマイクロ振動ミラーである、請求項１７記載のマイクロ振動装置。