JP2011235385A - 吸着パッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルム上に、高分子弾性体(A)からなる多孔層が存在する吸着パッドであって、圧縮時の圧縮変形量が、多孔層上部よりも多孔層下部が大きいことを特徴とする吸着パッド。さらには、フィルムと多孔層の間に高分子弾性体(B)からなる接着層が存在することや、低荷重時の圧縮率が2〜10%、高荷重時の圧縮率が10〜40%であること、低荷重時の圧縮弾性率が80〜100%であること、高荷重時の圧縮弾性率が60〜100%であることが好ましい。
【選択図】図1
Description
しかし、平滑化こそ向上するものの、被研磨物を固定するための吸着性能については満足のいくものではないという問題があった。
さらには、フィルムと多孔層の間に高分子弾性体(B)からなる接着層が存在することや、低荷重時の圧縮率が2〜10%、高荷重時の圧縮率が10〜40%であること、低荷重時の圧縮弾性率が80〜100%であること、高荷重時の圧縮弾性率が60〜100%であることが好ましい。
ここで用いられる高分子弾性体(A)としては、ポリウレタンエラストマー、ポリウレアエラストマー、ポリウレタン・ポリウレアエラストマー、ポリアクリル酸樹脂、アクリロニトリル・ブタジエンエラストマー、スチレン・ブタジエンエラストマー等が挙げられるが、なかでもポリウレタンエラストマー、ポリウレアエラストマー、ポリウレタン・ポリウレアエラストマー等のポリウレタン系のエラストマーであることが好ましい。さらに例えばポリウレタン系エラストマーの場合には、平均分子量500〜4000のポリエーテルグリコール、ポリエステルグリコール、ポリエステル・エーテルグリコール、ポリカプロラクトングリコール、ポリカーボネートグリコール等から選ばれた、一種または二種以上のポリマーグリコールと、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレジンイソシアネート、トリレジンイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、イソフォロンジイソシアネート等の有機ジイソシアネートと、低分子グリコール、ジアミン、ヒドラジン、又は有機酸ヒドラジッド、アミノ酸ヒドラジッド等のヒドラジン誘導体等から選ばれた鎖伸長剤を反応させて得られるものであることが好ましい。
Ra=1/L∫|F(x)|dx
(積分範囲0→L(エル))
このような上記の製造方法により、本発明の優れた吸着パッドを製造することが可能となる。
また、より好ましい加熱プレスの方法としては、平滑なフィルムを多孔層に接するように設置し、そのフィルムの多孔層の反対側から加熱するフィルムプレス方法であることが好ましい。
またこのとき加工プロセスとしては、連続的(連続加工処理)あるいは非連続(バッチ加工処理)プロセスを採用することができ、生産性の面からは連続加工処理であることが好ましい。
このフィルムプレス工程に用いることができる合成樹脂フィルムの種類は、プロセスでの処理時間や加熱ロール温度、プロセスのおける合成樹脂フィルムに掛かる張力等により選択することが可能である。このような合成樹脂フィルムの素材としては、たとえばポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリプロピレン(PP)やポリエチレン(PE)、ポリカーボネート(PC)などの素材が挙げられる。中でもポリエチレンテレフタレート(PET)がその均質性と取り扱いやすさ及び耐熱性の点から、特に好ましい。
吸着パッドの一定荷重を付与したときの圧縮率である。低荷重時の圧縮率は150g/m2の条件下にて測定し、高荷重時の圧縮率は1427g/m2の条件下にて測定したものである。圧縮が全く起こらない場合を0%、圧縮により厚さが0となった場合を100%とした。
上記(1)の圧縮率の測定後、荷重除去後の厚さの回復率を「圧縮弾性率」とした。なお低荷重は150g/cm2の荷重、高荷重は1427g/cm2の荷重の条件を採用した。もとの厚さに戻った場合を100%、全く厚さが回復しない場合を0%とした。
図1に基づいて説明すると、まずあらかじめ吸着パッドの多孔層の上層部分と下層部分の境界線9を定め、その厚みを記録する。ここで境界線は多孔層の中心、総厚さの1/2の位置である。次にピンチコックにて試験片に一定荷重(100g/cm2)を掛けて圧縮した後、電子顕微鏡にて変形状態を撮影し、その境界線9の位置を確認し、多孔層の上層部分の圧縮後の厚み、下層部分の圧縮後の厚みを求め、それぞれの部分の圧縮率を計算し、変形率とした。
表面粗さ測定器(株式会社ミツトヨ製、品番SJ−301)にてJIS B0601:1994に基づき、カットオフ値(λc:粗さ曲線断面曲線から波長の長い成分(うねり成分や形状精度成分)を除去する長さ)2.5mm、評価長さ12.5mm、使用測定検出器先端のR:10μm(SR10検出器)の設定にて測定した。
Ra=1/L∫|F(x)|dx
(積分範囲0→L(エル))
測定した表面粗さ曲線の平均線に対し、1cmあたり何回その平均線を介して山谷があるかを、ピークカウント値とした。
研磨加工時の吸着パッド用素材の吸着力を測定するため、取手を付けた金属板表面にガラスを取り付けた測定用治具(a)とガラスの付いていない測定用治具(b)を用意した。大きさ15cm×10cmの長方形の吸着パッド用素材の多孔質層の存在しない側、つまり両面テープがある裏面側を、測定用治具(b)側に両面テープにより貼り付けた。
その後、吸着パッド用素材の表面にスプレーにて一定量の水を噴霧し、ワイパーにて過剰な水を除去した後に、測定用治具(a)のガラス面に、吸着パッド用素材の表面(多孔質層側)が接するように貼り付け、130g/cm2の圧力で60秒間加圧保持した。
最後に図2のように引張試験機にて2方向(垂直方向、平行方向)に引っ張り、面積当たりの応力測定を行い、吸着力とした。
接着処理液に用いる高分子弾性体(B)としてポリエステルポリオール系接着剤(大日精化株式会社製、E−256)と、架橋剤に用いるイソシアネート系架橋剤とを、重量比100:12となるように混合し、固形分濃度を25%となるよう溶剤で調整した溶液を準備した。
目付234g/m2、厚み190μmのポリエステル(PET)フィルムの上に、ポリエステルポリオール系接着剤からなる上記接着処理液を、クリアランス100μmの条件にてコーティングし、80℃の乾燥機で2分乾燥させ、ポリエステルフィルムの上に25μmの接着層を形成したベース基材を得た。
上記で得られたフィルムと接着剤からなる基材上に、100%モジュラスが6MPaであるポリエステル系ポリウレタンの20%濃度のジメチルホルムアミド(以下DMFとする)溶液を作成し、ナイフコーティングによりコーティングした後、5%DMF水溶液の凝固バス中で凝固し、十分に水洗を行い、厚さ800μmの多孔層を形成させ、90℃で乾燥した。
得られた研磨用吸着パッドの算術平均表面粗さRa、ピークカウントPc、研磨加工時の吸着パッドの吸着力、圧縮力(低荷重、高荷重)、圧縮弾性率(低荷重、高荷重)、初期圧縮時の圧縮変形率を測定した。
測定の結果、低荷重時の圧縮率は、2.86%、圧縮弾性率は90.2%、高荷重時の圧縮率は、23.1%、圧縮弾性率は75.0%であった。初期圧縮時の変形状態を確認したところ、底広三角形状の多孔質層の下層部分が変形率31.7%(=0.26mm)で先に圧縮変形していた。算術平均表面粗さRaは、1.58μm、ピークカウントPcは、23.1/cmと低く、吸着力は、垂直方向が3.12N/cm2、平行方向が4.35N/cm2と研磨加工時に吸着性能に優れる研磨用吸着パッド素材であった。表1に測定結果を示した。
実施例1の多孔層に使用した100%モジュラスが6MPaのウレタン樹脂から、100%モジュラスが2MPaと6MPaであるポリエステル系ポリウレタン樹脂を20:80でブレンドし、100%モジュラスを5.2MPaとする以外は、同様の方法にて吸着パッドを作製し、目付が455g/m2、全体厚さ1.05mm、多孔層厚さ0.86mmの吸着パッドを得た。
初期圧縮時の変形状態を確認したところ、底広三角形状の多孔質層(C)の下層部分が変形率35.5%(=0.31mm)で先に圧縮変形していた。また吸着力は、垂直方向が3.98N/cm2、平行方向が5.02N/cm2と研磨加工時の吸着性能に優れる吸着パッドであった。その他の物性を表1に併せて示した。
実施例1の多孔層に使用した100%モジュラスが6MPaのウレタン樹脂から、100%モジュラスが8MPaであるポリエステル系ポリウレタン樹脂とする以外は、同様の方法にて吸着パッドを作製し、目付が420g/m2、全体厚さ1.02mm、多孔層厚さ0.83mmの吸着パッドを得た。
初期圧縮時の変形状態を確認したところ、縦長形状の多孔層の下層部分が変形率24.4%(=0.20mm)で先に圧縮変形していた。また吸着力は、垂直方向が2.96N/cm2、平行方向が3.85N/cm2と研磨加工時に吸着性能に優れる吸着パッドであった。その他の物性を表1に併せて示した。
実施例1の多孔層に使用した100%モジュラスが6MPaのウレタン樹脂から、100%モジュラスを12MPaとする以外は、同様の方法にて吸着パッドを作製し、目付が450g/m2、全体厚さ0.98mm、多孔層厚さ0.79mmの吸着パッドを得た。
初期圧縮時の変形状態を確認したところ、多孔質層の上層部分が変形率8.8%(=0.07mm)で先に圧縮変形していたため、下層部分の多孔質層の変形はほとんど無く、空気の排出が十分行われていなかった。また算術平均表面粗さRaは1.34μm、ピークカウントPcは19.2/cmと低いものの、圧縮率が低く、吸着力は、垂直方向が0.57N/cm2、平行方向が2.21N/cm2と研磨加工時の吸着性能が劣るものであった。実際に加工を行ったところ、研磨加工数回で吸着パッドから被研磨物が落下した。その他の物性を表1に併せて示した。
2 高分子弾性重合体からなる多孔質層
3 接着層
4 フィルム
5 両面テープ
6 多孔層の上部
7 多孔層の下部
8 ガラス(被吸着物)
9 測定用治具
10 吸着試験(平行方向)
11 吸着試験(垂直方向)
Claims (5)
- フィルム上に、高分子弾性体(A)からなる多孔層が存在する吸着パッドであって、圧縮時の圧縮変形量が、多孔層上部よりも多孔層下部が大きいことを特徴とする吸着パッド。
- フィルムと多孔層の間に高分子弾性体(B)からなる接着層が存在する請求項1記載の吸着パッド。
- 低荷重時の圧縮率が2〜10%、高荷重時の圧縮率が10〜40%である請求項1または2記載の吸着パッド。
- 低荷重時の圧縮弾性率が80〜100%である請求項1〜3のいずれか1項記載の吸着パッド。
- 高荷重時の圧縮弾性率が60〜100%である請求項1〜4のいずれか1項記載の吸着パッド。
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