JP2011213042A - 真空吸着ステージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 上面側に吸引用流路形成溝5を有するベース板4の上側に、多数の吸引用小孔2を穿設した吸着板6を重ね、ベース板4と吸着板6との合わせ面にてベース板4のすべての吸引用流路形成溝5よりも外側となる外周部に、Oリング8を配置してその外側を固定ボルト9で固定する。吸着板6の下面におけるOリング8よりも内側で且つベース板4の吸引用流路形成溝5と干渉しない位置に設けたねじ穴10に、ベース板4に設けたボルト挿通孔11に下側から挿通させた引きボルト12を締め込むことで、吸着板6のOリング8よりも内側に設けてあるねじ穴10の部分を、ベース板4に密着させて、真空吸着ステージ1aを形成する。引きボルト12により吸着板6のOリング8よりも内側の部分を、ベース板4に密着させることで、吸着板6の上向き凸状の変形を防止させる。
【選択図】図1
Description
(1)上面側に吸引用流路形成溝を有するベース板の上側に、多数の吸引用小孔を穿設した吸着板を重ね、且つ上記ベース板と吸着板との合わせ面における外周部にOリングを配置してその外側を固定ボルトで固定するようにしてある真空吸着ステージにおいて、上記吸着板の下面における上記Oリングよりも内側位置で且つ上記ベース板の吸引用流路形成溝と干渉しない位置にねじ穴を設け、上記ベース板における上記吸着板のねじ穴と対応する個所に設けたボルト挿通孔に該ベース板の下面側から挿通させた引きボルトを、上記ねじ穴に締め込み、上記吸着板における上記ねじ穴の部分を、上記ベース板に密着させるようにした構成としてあるので、吸着板におけるOリングよりも内側の部分が上向き凸状に変形する虞を防止することができる。
(2)したがって、ステージ上面の平面度を、上記吸着板が部品単体のときに該吸着板の上面に得られていた平面度の精度にほぼ一致させることができて、ステージ上面の平面度を向上させることができる。
(3)更に、ベース板と該吸着板とを隙間なく密着した一体構造とすることができるため、ステージ上面における上下方向の剛性を、従来に比して高めることができる。
(4)上記(1)(2)(3)により、本発明の真空吸着ステージは、平板状の版と被印刷物を用いて精密な印刷パターンの印刷を高精度で行う場合における上記版や被印刷物を保持対象とする場合に好適な吸着ステージとすることができる。
2 吸引用小孔
4 ベース板
5 吸引用流路形成溝
6 吸着板
8 Oリング
9 固定ボルト
10 ねじ穴
11 ボルト挿通孔
12 引きボルト
Claims (2)
- 上面側に吸引用流路形成溝を有するベース板の上側に、多数の吸引用小孔を穿設した吸着板を重ね、且つ上記ベース板と吸着板との合わせ面における外周部にOリングを配置してその外側を固定ボルトで固定するようにしてある真空吸着ステージにおいて、上記吸着板の下面における上記Oリングよりも内側位置で且つ上記ベース板の吸引用流路形成溝と干渉しない位置にねじ穴を設け、上記ベース板における上記吸着板のねじ穴と対応する個所に設けたボルト挿通孔に該ベース板の下面側から挿通させた引きボルトを、上記ねじ穴に締め込み、上記吸着板における上記ねじ穴の部分を、上記ベース板に密着させるようにした構成を有することを特徴とする真空吸着ステージ。
- 吸着板におけるOリングよりも内側に設けてあるねじ穴の部分をベース板に密着させるための引きボルトを、上記Oリングの内側近傍位置に配置するようにした請求項1記載の真空吸着ステージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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