JP2002151441A - 基板のチャック装置 - Google Patents
基板のチャック装置Info
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- JP2002151441A JP2002151441A JP2000339351A JP2000339351A JP2002151441A JP 2002151441 A JP2002151441 A JP 2002151441A JP 2000339351 A JP2000339351 A JP 2000339351A JP 2000339351 A JP2000339351 A JP 2000339351A JP 2002151441 A JP2002151441 A JP 2002151441A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸着保持治具の交換時間を短縮して作業効率
性の向上を図ることができる基板のチャック装置を提供
する。 【構成】 吸着保持治具１に複数個の被係合部１１を設
けるとともに、テーブル盤２の吸着保持治具１の被係合
部１１に対応する位置に、被係合部１１と係合可能な係
合部１２を設け、吸着保持治具１の被係合部１１をテー
ブル盤２の係合部１２に係合して吸着保持治具１をテー
ブル盤２に載置した状態で、基板Ｗを吸着保持治具１に
吸着保持する際の吸着力を利用して吸着保持治具１をテ
ーブル盤２に吸着保持させるようにした。
性の向上を図ることができる基板のチャック装置を提供
する。 【構成】 吸着保持治具１に複数個の被係合部１１を設
けるとともに、テーブル盤２の吸着保持治具１の被係合
部１１に対応する位置に、被係合部１１と係合可能な係
合部１２を設け、吸着保持治具１の被係合部１１をテー
ブル盤２の係合部１２に係合して吸着保持治具１をテー
ブル盤２に載置した状態で、基板Ｗを吸着保持治具１に
吸着保持する際の吸着力を利用して吸着保持治具１をテ
ーブル盤２に吸着保持させるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板のチャック装
置に係り、特に基板を個々の素子毎に切断する際に、基
板を保持するために用いる基板のチャック装置に関す
る。
置に係り、特に基板を個々の素子毎に切断する際に、基
板を保持するために用いる基板のチャック装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】通常、多数の素子を形成した基板を個々
の素子毎に切断するダイシング加工では、基板をリング
状フレームに取付けた粘着シートに貼り付け、リング状
フレームをチャック装置で保持して切断を行っている。
の素子毎に切断するダイシング加工では、基板をリング
状フレームに取付けた粘着シートに貼り付け、リング状
フレームをチャック装置で保持して切断を行っている。
【０００３】しかし、基板を粘着シートに貼り付けてリ
ング状フレームを介してチャック装置に保持する方法で
は、基板を粘着シートに貼り付けるのに手間と時間がか
かるとともに、そのための装置が必要であるという不具
合があった。また、基板の切断後、個々の素子を粘着シ
ートから引き剥がす装置が必要であるとともに、個々の
素子を粘着シートから引き剥がす際に、個々の素子に負
荷がかかるため、個々の素子に欠陥が発生する可能性が
あるという不具合があった。
ング状フレームを介してチャック装置に保持する方法で
は、基板を粘着シートに貼り付けるのに手間と時間がか
かるとともに、そのための装置が必要であるという不具
合があった。また、基板の切断後、個々の素子を粘着シ
ートから引き剥がす装置が必要であるとともに、個々の
素子を粘着シートから引き剥がす際に、個々の素子に負
荷がかかるため、個々の素子に欠陥が発生する可能性が
あるという不具合があった。
【０００４】そこで、上述した不具合を解決するため、
基板を直接保持するチャック装置が提案されている。
基板を直接保持するチャック装置が提案されている。
【０００５】従来、基板を直接保持するチャック装置と
して、例えば図３および図４に示す構造のチャック装置
が知られている。このチャック装置は、基板Ｗを吸着保
持する吸着保持治具１と、吸着保持治具１を固定するテ
ーブル盤２と、テーブル盤２を固定するスピンドル３と
から構成されている。
して、例えば図３および図４に示す構造のチャック装置
が知られている。このチャック装置は、基板Ｗを吸着保
持する吸着保持治具１と、吸着保持治具１を固定するテ
ーブル盤２と、テーブル盤２を固定するスピンドル３と
から構成されている。
【０００６】吸着保持治具１は、表面に切断刃の逃げ溝
４を所定の間隔をもって格子状に形成し、この逃げ溝４
に沿って基板Ｗが個々の素子毎に切断されるようになっ
ている。また、吸着保持治具１は、表面側に切断後の基
板Ｗの個々の素子に対応する位置に吸着孔５を形成し、
裏面側に各々の吸着孔５と連通する中空状のバキューム
室６を形成している。そして、吸着保持治具１は、複数
本（例えば１２本）の固定ネジ７によってテーブル盤２
に固定される。尚、この固定に際して、吸着保持治具１
とテーブル盤２との間にＯリング８を介在し、このＯリ
ング８によって吸着保持治具１とテーブル盤２との固定
部をシールする。
４を所定の間隔をもって格子状に形成し、この逃げ溝４
に沿って基板Ｗが個々の素子毎に切断されるようになっ
ている。また、吸着保持治具１は、表面側に切断後の基
板Ｗの個々の素子に対応する位置に吸着孔５を形成し、
裏面側に各々の吸着孔５と連通する中空状のバキューム
室６を形成している。そして、吸着保持治具１は、複数
本（例えば１２本）の固定ネジ７によってテーブル盤２
に固定される。尚、この固定に際して、吸着保持治具１
とテーブル盤２との間にＯリング８を介在し、このＯリ
ング８によって吸着保持治具１とテーブル盤２との固定
部をシールする。
【０００７】テーブル盤２は、固定ネジ（図示せず）に
よってスピンドル３に固定されており、中央部にバキュ
ーム室６と連通する吸引孔９を形成し、この吸引孔９を
図示しない吸引手段に吸引ホース１０を介して接続して
いる。従って、吸引手段を駆動することにより、吸引ホ
ース１０および吸引孔９を介してバキューム室６の空気
が吸引され、この吸引作用によって吸着孔５を介して吸
着保持治具１の表面に載置された基板Ｗが吸着保持治具
１に吸着保持される。
よってスピンドル３に固定されており、中央部にバキュ
ーム室６と連通する吸引孔９を形成し、この吸引孔９を
図示しない吸引手段に吸引ホース１０を介して接続して
いる。従って、吸引手段を駆動することにより、吸引ホ
ース１０および吸引孔９を介してバキューム室６の空気
が吸引され、この吸引作用によって吸着孔５を介して吸
着保持治具１の表面に載置された基板Ｗが吸着保持治具
１に吸着保持される。
【０００８】スピンドル３は、前後左右方向に図示しな
い移動駆動手段によって動作されるとともに、回転方向
に図示しない回転駆動手段によって動作される。これら
の駆動手段を制御して吸着保持治具１を前後左右方向お
よび回転方向に移動させることにより、吸着保持治具１
に吸着保持された基板Ｗを切断刃によって個々の素子毎
に切断するようになっている。
い移動駆動手段によって動作されるとともに、回転方向
に図示しない回転駆動手段によって動作される。これら
の駆動手段を制御して吸着保持治具１を前後左右方向お
よび回転方向に移動させることにより、吸着保持治具１
に吸着保持された基板Ｗを切断刃によって個々の素子毎
に切断するようになっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記チャッ
ク装置では、基板Ｗや素子の大きさに応じて吸着保持治
具１を交換しなければならない。そして、吸着保持治具
１の交換にあたっては、吸着保持治具１をテーブル盤２
に複数本の固定ネジ７によって固定しているため、その
都度、ドライバー等の工具を用いて複数本の固定ネジ７
を弛締する必要があった。このため、吸着保持治具１の
交換作業が極めて面倒であり、交換作業に時間がかかり
作業効率性が極めて悪いという不具合があった。
ク装置では、基板Ｗや素子の大きさに応じて吸着保持治
具１を交換しなければならない。そして、吸着保持治具
１の交換にあたっては、吸着保持治具１をテーブル盤２
に複数本の固定ネジ７によって固定しているため、その
都度、ドライバー等の工具を用いて複数本の固定ネジ７
を弛締する必要があった。このため、吸着保持治具１の
交換作業が極めて面倒であり、交換作業に時間がかかり
作業効率性が極めて悪いという不具合があった。
【００１０】本発明は、上述した不具合に鑑み、吸着保
持治具の交換時間を短縮して作業効率性の向上を図るこ
とができる基板のチャック装置を提供することを目的と
している。
持治具の交換時間を短縮して作業効率性の向上を図るこ
とができる基板のチャック装置を提供することを目的と
している。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した目的
を達成するため、基板を吸着保持する吸着保持治具と、
該吸着保持治具を固定するテーブル盤とを有し、前記吸
着保持治具には、表面に基板の切断線に沿って切断刃の
逃げ溝が形成され、かつ、切断後の基板の個々の素子に
対応する位置に吸着孔が形成され、前記テーブル盤に
は、吸引手段に接続される吸引孔が形成され、前記吸着
保持治具と前記テーブル盤との間には、前記吸着保持治
具の各々の前記吸着孔および前記テーブル盤の前記吸引
孔に連通するバキューム室が形成されており、前記テー
ブル盤の前記吸引孔から前記バキューム室の空気を吸引
させ、その吸引作用によって前記吸着保持治具の表面に
基板を吸着保持させる基板のチャック装置において、前
記吸着保持治具に複数個の被係合部を設けるとともに、
前記テーブル盤の前記吸着保持治具の前記被係合部に対
応する位置に、前記被係合部と係合可能な係合部を設
け、前記吸着保持治具の前記被係合部を前記テーブル盤
の前記係合部に係合して前記吸着保持治具を前記テーブ
ル盤に載置した状態で、基板を前記吸着保持治具に吸着
保持する際の前記バキューム室の吸引作用を利用して前
記吸着保持治具を前記テーブル盤に吸着保持させること
を特徴とする。
を達成するため、基板を吸着保持する吸着保持治具と、
該吸着保持治具を固定するテーブル盤とを有し、前記吸
着保持治具には、表面に基板の切断線に沿って切断刃の
逃げ溝が形成され、かつ、切断後の基板の個々の素子に
対応する位置に吸着孔が形成され、前記テーブル盤に
は、吸引手段に接続される吸引孔が形成され、前記吸着
保持治具と前記テーブル盤との間には、前記吸着保持治
具の各々の前記吸着孔および前記テーブル盤の前記吸引
孔に連通するバキューム室が形成されており、前記テー
ブル盤の前記吸引孔から前記バキューム室の空気を吸引
させ、その吸引作用によって前記吸着保持治具の表面に
基板を吸着保持させる基板のチャック装置において、前
記吸着保持治具に複数個の被係合部を設けるとともに、
前記テーブル盤の前記吸着保持治具の前記被係合部に対
応する位置に、前記被係合部と係合可能な係合部を設
け、前記吸着保持治具の前記被係合部を前記テーブル盤
の前記係合部に係合して前記吸着保持治具を前記テーブ
ル盤に載置した状態で、基板を前記吸着保持治具に吸着
保持する際の前記バキューム室の吸引作用を利用して前
記吸着保持治具を前記テーブル盤に吸着保持させること
を特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
１および図２に基いて詳細に説明する。図１は本発明に
係る基板のチャック装置を示す縦断面図であり、図２は
その平面図である。尚、図１および図２において、従来
技術を示す図３および図４と同一の部材には同一の符号
を用い、重複する事項に関しては説明を省略する。
１および図２に基いて詳細に説明する。図１は本発明に
係る基板のチャック装置を示す縦断面図であり、図２は
その平面図である。尚、図１および図２において、従来
技術を示す図３および図４と同一の部材には同一の符号
を用い、重複する事項に関しては説明を省略する。
【００１３】この実施の形態に係る基板のチャック装置
は、吸着保持治具１の四隅に厚さ方向に貫通するピン孔
（被係合部）１１を形成するとともに、テーブル盤２の
吸着保持治具１のピン孔１１に対応する位置にガイドピ
ン（係合部）１２を垂直に突設する。このガイドピン１
２は、ピン孔１１より所定の公差をもって若干小径に形
成され、先端部はテーパ形状に形成されている。
は、吸着保持治具１の四隅に厚さ方向に貫通するピン孔
（被係合部）１１を形成するとともに、テーブル盤２の
吸着保持治具１のピン孔１１に対応する位置にガイドピ
ン（係合部）１２を垂直に突設する。このガイドピン１
２は、ピン孔１１より所定の公差をもって若干小径に形
成され、先端部はテーパ形状に形成されている。
【００１４】次に、この実施の形態に係る基板のチャッ
ク装置の動作について説明する。
ク装置の動作について説明する。
【００１５】先ず、吸着保持治具１のピン孔１１をテー
ブル盤２のガイドピン１２に挿嵌して吸着保持治具１を
テーブル盤２上に載置する。この際、吸着保持治具２は
ピン孔１１をテーブル盤２のガイドピン１２に挿嵌させ
ることによってテーブル盤２に対して位置決めされる。
ブル盤２のガイドピン１２に挿嵌して吸着保持治具１を
テーブル盤２上に載置する。この際、吸着保持治具２は
ピン孔１１をテーブル盤２のガイドピン１２に挿嵌させ
ることによってテーブル盤２に対して位置決めされる。
【００１６】次に、吸着保持治具１の表面に基板Ｗを載
置する。そして、この状態で吸引手段を駆動すると、吸
引ホース１０および吸引孔９を介してバキューム室６の
空気が吸引され、この吸引作用によって吸着孔５を介し
て吸着保持治具１の表面に載置された基板Ｗが吸着保持
治具１に吸着保持される。その際、吸着保持治具１もバ
キューム室６の吸引作用によってテーブル盤２に吸着さ
れる。これにより、吸着保持治具１をテーブル盤２に固
定ネジを使用しないで固定させることができる。
置する。そして、この状態で吸引手段を駆動すると、吸
引ホース１０および吸引孔９を介してバキューム室６の
空気が吸引され、この吸引作用によって吸着孔５を介し
て吸着保持治具１の表面に載置された基板Ｗが吸着保持
治具１に吸着保持される。その際、吸着保持治具１もバ
キューム室６の吸引作用によってテーブル盤２に吸着さ
れる。これにより、吸着保持治具１をテーブル盤２に固
定ネジを使用しないで固定させることができる。
【００１７】この実施の形態に係る基板のチャック装置
によれば、基板Ｗを吸着保持治具１に吸着保持する際の
バキューム室６の吸引作用を利用して吸着保持治具１を
テーブル盤２に吸着することにより、吸着保持治具１を
テーブル盤２に固定ネジを使用しないで固定させること
ができるから、吸着保持治具１の交換時、従来のよう
に、ドライバー等の工具を用いて複数本の固定ネジを弛
締する必要がなくなり、それだけ吸着保持治具１の交換
作業が容易となる上、吸着保持治具１の交換時間が短縮
されて作業能率性の向上が図れる。
によれば、基板Ｗを吸着保持治具１に吸着保持する際の
バキューム室６の吸引作用を利用して吸着保持治具１を
テーブル盤２に吸着することにより、吸着保持治具１を
テーブル盤２に固定ネジを使用しないで固定させること
ができるから、吸着保持治具１の交換時、従来のよう
に、ドライバー等の工具を用いて複数本の固定ネジを弛
締する必要がなくなり、それだけ吸着保持治具１の交換
作業が容易となる上、吸着保持治具１の交換時間が短縮
されて作業能率性の向上が図れる。
【００１８】以上、本発明の一実施の形態について説明
したが、本発明はこのような実施の形態に限定されるも
のではない。例えば、吸着保持治具１側にガイドピン１
２を設け、テーブル盤２側にピン孔１１を設けても構わ
ない。また、ピン孔１１およびガイドピン１２の個数お
よびその設定位置は、基板Ｗのサイズ等に応じて任意に
変更しても構わない。
したが、本発明はこのような実施の形態に限定されるも
のではない。例えば、吸着保持治具１側にガイドピン１
２を設け、テーブル盤２側にピン孔１１を設けても構わ
ない。また、ピン孔１１およびガイドピン１２の個数お
よびその設定位置は、基板Ｗのサイズ等に応じて任意に
変更しても構わない。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、基板を吸着保持治具に
保持する際の吸着力によって吸着保持治具をテーブル盤
に吸着することにより、吸着保持治具をテーブル盤に固
定ネジを使用しないで固定させることができるから、吸
着保持治具の交換作業が容易となり、吸着保持治具の交
換時間を短縮して作業能率性の向上を図ることができ
る。
保持する際の吸着力によって吸着保持治具をテーブル盤
に吸着することにより、吸着保持治具をテーブル盤に固
定ネジを使用しないで固定させることができるから、吸
着保持治具の交換作業が容易となり、吸着保持治具の交
換時間を短縮して作業能率性の向上を図ることができ
る。
【図１】本発明に係る基板のチャック装置の縦断面図。
【図２】本発明に係る基板のチャック装置の平面図。
【図３】従来のチャック装置の縦断面図。
【図４】従来のチャック装置の平面図。
Ｗ 基板 １ 吸着保持治具 ２ テーブル盤 ３ スピンドル ４ 逃げ溝 ５ 吸着孔 ６ バキューム室 ８ Ｏリング ９ 吸引孔 １０ 吸引ホース １１ ピン孔 １２ ガイドピン
Claims (1)
- 【請求項１】 基板を吸着保持する吸着保持治具と、該
吸着保持治具を固定するテーブル盤とを有し、前記吸着
保持治具には、表面に基板の切断線に沿って切断刃の逃
げ溝が形成され、かつ、切断後の基板の個々の素子に対
応する位置に吸着孔が形成され、前記テーブル盤には、
吸引手段に接続される吸引孔が形成され、前記吸着保持
治具と前記テーブル盤との間には、前記吸着保持治具の
各々の前記吸着孔および前記テーブル盤の前記吸引孔に
連通するバキューム室が形成されており、前記テーブル
盤の前記吸引孔から前記バキューム室の空気を吸引さ
せ、その吸引作用によって前記吸着保持治具の表面に基
板を吸着保持させる基板のチャック装置において、 前記吸着保持治具に複数個の被係合部を設けるととも
に、前記テーブル盤の前記吸着保持治具の前記被係合部
に対応する位置に、前記被係合部と係合可能な係合部を
設け、前記吸着保持治具の前記被係合部を前記テーブル
盤の前記係合部に係合して前記吸着保持治具を前記テー
ブル盤に載置した状態で、基板を前記吸着保持治具に吸
着保持する際の前記バキューム室の吸引作用を利用して
前記吸着保持治具を前記テーブル盤に吸着保持させるこ
とを特徴とする基板のチャック装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000339351A JP2002151441A (ja) | 2000-11-07 | 2000-11-07 | 基板のチャック装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000339351A JP2002151441A (ja) | 2000-11-07 | 2000-11-07 | 基板のチャック装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002151441A true JP2002151441A (ja) | 2002-05-24 |
Family
ID=18814433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000339351A Pending JP2002151441A (ja) | 2000-11-07 | 2000-11-07 | 基板のチャック装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002151441A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011213042A (ja) * | 2010-04-01 | 2011-10-27 | Ihi Corp | 真空吸着ステージ |
| KR101312051B1 (ko) * | 2012-03-30 | 2013-09-25 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | 글래스의 크기 변경에 따른 진공흡착판의 진공구역 조절장치 |
| CN103811396A (zh) * | 2014-01-24 | 2014-05-21 | 南通富士通微电子股份有限公司 | 圆片封装工艺用治具 |
| KR20160019852A (ko) * | 2014-08-12 | 2016-02-22 | 토와 가부시기가이샤 | 절단 장치와 절단 방법, 흡착 기구와 이를 이용하는 흡착 장치 및 절단 시스템 |
| CN107081855A (zh) * | 2016-02-15 | 2017-08-22 | 株式会社迪思科 | 卡盘工作台机构 |
-
2000
- 2000-11-07 JP JP2000339351A patent/JP2002151441A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011213042A (ja) * | 2010-04-01 | 2011-10-27 | Ihi Corp | 真空吸着ステージ |
| KR101312051B1 (ko) * | 2012-03-30 | 2013-09-25 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | 글래스의 크기 변경에 따른 진공흡착판의 진공구역 조절장치 |
| CN103811396A (zh) * | 2014-01-24 | 2014-05-21 | 南通富士通微电子股份有限公司 | 圆片封装工艺用治具 |
| KR20160019852A (ko) * | 2014-08-12 | 2016-02-22 | 토와 가부시기가이샤 | 절단 장치와 절단 방법, 흡착 기구와 이를 이용하는 흡착 장치 및 절단 시스템 |
| KR101687639B1 (ko) | 2014-08-12 | 2016-12-19 | 토와 가부시기가이샤 | 절단 장치와 절단 방법, 흡착 기구와 이를 이용하는 흡착 장치 및 절단 시스템 |
| CN107081855A (zh) * | 2016-02-15 | 2017-08-22 | 株式会社迪思科 | 卡盘工作台机构 |
| JP2017144493A (ja) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル機構 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041025 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041028 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050301 |