JP2011196708A - 外形検出装置および外形検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】太陽電池セル7を載置面3aの外周17よりも内側に載置するステージ2aと、載置面3a上に設置された金属箔テープ6と、太陽電池セル7および金属箔テープ6に照明光8を照射する同軸落射照明装置11と、照明光8の反射光9を受光するCCDカメラ12と、CCDカメラ12の出力信号から、太陽電池セルの外形を検出する画像処理装置13と、を備え、載置面3a上に設置された金属箔テープ6が、太陽電池セル7の照明光8が照射される面23と金属箔テープ6の照明光8が照射される面26とが、照明光8が出射する側から見て光学的に連続するように設置する。
【選択図】 図1
Description
まず、この発明の実施の形態1における外形検出装置1の構成を説明する。図1は、この発明の実施の形態1における外形検出装置1を示す構成図である。
図7は、この発明の実施の形態2における太陽電池セル7を載置したステージ2aを示す図であり、(a)は側面図、(b)は上面図である。図7において、図1および図2と同じ符号を付けたものは、同一または相当の構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、金属箔テープ6を太陽電池セル7と載置面3aとの間に設置せずに、太陽電池セル7を直接載置面3aに載置し、金属箔テープ6を太陽電池セル7の外周31に隣接して設置した構成が相違している。
図8は、この発明の実施の形態3におけるステージ2bを示す斜視図であり、図9は、この発明の実施の形態3における太陽電池セル7を載置したステージ2bを示す図であり、(a)は側面図、(b)は上面図である。図8および図9において、図1および図2と同じ符号を付けたものは、同一または相当の構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、ステージ2bの載置面3bに溝32を形成した構成が相違している。
2a、2b ステージ
3a、3b ステージの載置面
6 金属箔テープ
7 太陽電池セル
8 照明光
9 反射光
11 同軸落射照明装置
12 CCDカメラ
13 画像処理装置
17 ステージの載置面の外周
18 金属箔
21 粘着層
22 金属箔テープの外周
23 太陽電池セルの照明光が照射される面
26 金属箔テープの照明光が照射される面
31 太陽電池セルの外周
32 溝
Claims (8)
- 検査対象物を載置面の外周よりも内側に載置するステージと、
前記載置面上に設置された金属板と、
前記検査対象物および前記金属板に照明光を照射する照明装置と、
前記照明光の反射光を受光する受光素子と、
前記受光素子の出力信号から、前記検査対象物の外形を検出する検出部と、
を備えた外形検出装置であって、
前記金属板は、前記検査対象物の前記照明光が照射される面と前記金属板の前記照明光が照射される面とが、前記照明光が出射する側から見て光学的に連続するように設置された外形検出装置。 - 金属板は、検査対象物と前記載置面との間に設置され、前記金属板の外周よりも内側に前記検査対象物を載置することを特徴とする請求項1記載の外形検出装置。
- 金属板は、検査対象物の外周に隣接して設置されたことを特徴とする請求項1記載の外形検出装置。
- 金属板は、接地されたことを特徴とする請求項2記載の外形検出装置。
- ステージは導電性樹脂製であって、前記ステージと金属板とは電気的に接続され、前記ステージは接地されたことを特徴とする請求項2記載の外形検出装置。
- 金属板は、ステージの載置面に貼り付けるための粘着層を有する金属箔テープであることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の外形検出装置。
- ステージの載置面には溝が形成され、金属箔テープによって前記溝の一部が塞がれたことを特徴とする請求項6記載の外形検出装置。
- 載置面上に金属板が設置されたステージに、検査対象物を載置面の外周よりも内側に載置する載置工程と、
前記検査対象物および前記金属板に照明光を照射する照射工程と、
前記照明光の反射光を受光する受光工程と、
前記受光工程で得られ光情報から、前記検査対象物の外形を検出する検出工程と、
を備えた外形検出方法であって、
前記載置工程では、前記検査対象物を、前記検査対象物の前記照明光が照射される面と前記金属板の前記照明光が照射される面とが、前記照明光が出射する側から見て光学的に連続するように載置し、
前記受光工程では、前記照射光が出射する側から見て光学的に連続する前記検査対象物の前記照明光が照射される面と前記金属板の前記照明光が照射される面からの前記反射光を受光する外形検出方法。
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