JP2011193027A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 入射光量に応じて電荷を発生するフォトダイオード(1)と、電荷を一時的に保持するフローティングディフュージョン部(3)と、前記フォトダイオードと前フローティングディフュージョン部との間の電荷の転送を制御するゲート電極(304)と、前記半導体領域に一時的に保持された電荷を外部に読み出す読み出し回路(5〜8)と、を有する複数の画素を有する固体撮像装置であって、前記ゲート電極の、前記光電変換部側の側壁を覆って配置された遮光部材(427a、427b)とを有する。
【選択図】 図6
Description
次に、上記構成を有する撮像装置などで用いられる、第1の実施形態にかかる固体撮像装置の各画素の詳細構成について説明する。
図5は、図4のAA’断面を示す図である。なお、上述した図13と同様の構成には同じ参照番号を付し、ここでは説明を省略する。
図6は本発明の第2の実施形態におけるMOS型固体撮像装置の画素断面の一例を示す図である。なお、図6において、上記第1の実施形態で説明した図5と同様の構成については同じ参照番号を付し、説明を省略する。
図7は本発明の第3の実施形態におけるMOS型固体撮像装置の画素断面の一例を示す図である。なお、図7において、上記第1の実施形態で説明した図5と同様の構成については同じ参照番号を付し、説明を省略する。
図8は本発明の第4の実施形態におけるMOS型固体撮像装置の画素断面の一例を示す図である。なお、図8において、上記第1の実施形態で説明した図5と同様の構成については同じ参照番号を付し、説明を省略する。
図10は本発明の第5の実施形態におけるMOS型固体撮像装置の画素断面の一例を示す図である。なお、図10において、上記第1の実施形態で説明した図5と同様の構成については同じ参照番号を付し、説明を省略する。
Claims (15)
- 入射光量に応じて電荷を発生する光電変換部と、
電荷を一時的に保持する半導体領域と、
前記光電変換部と前記半導体領域との間の電荷の転送を制御するゲート電極と、
前記半導体領域に一時的に保持された電荷を外部に読み出す読み出し回路と、
を有する複数の画素を有する固体撮像装置であって、
前記ゲート電極の、前記光電変換部側の側壁を覆って配置された遮光部材と
を有することを特徴とする固体撮像装置。 - 入射光量に応じて電荷を発生する光電変換部と、
前記電荷が転送される半導体領域と、
前記光電変換部と前記半導体領域との間の電荷の転送を制御するゲート電極と、
前記半導体領域に接続された電極と、
前記半導体領域の電荷を外部に読み出す読み出し回路と、
を有する複数の画素を有する固体撮像装置であって、
前記ゲート電極の、前記光電変換部側の側壁を覆って配置された遮光部材と
を有することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記遮光部材は、前記ゲート電極の側壁から前記光電変換部の上に延在していることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置。
- 前記遮光部材は、複数の金属層を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記複数の金属層のうち、前記ゲート電極側に配された金属層は、バリアメタルにより構成されていることを特徴とする請求項4に記載の固体撮像装置。
- 前記遮光部材と前記ゲート電極は、電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記遮光部材と前記ゲート電極との間に絶縁膜を有することを特徴とする請求項3乃至6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記絶縁膜に、前記遮光部材と前記ゲート電極とを電気的に接続するコンタクトホールを設けたことを特徴とする請求項7に記載の固体撮像装置。
- 前記コンタクトホールを前記ゲート電極のアクティブ領域外の上に開口したことを特徴とする請求項8に記載の固体撮像装置。
- 前記半導体領域と直接コンタクトを取っているポリシリコン電極を有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記ポリシリコン電極よりも上に、それぞれ配線を含む複数の配線層を有し、該複数の配線層の内、最も前記光電変換部側にある配線層の配線が前記半導体領域の上部に配されていることを特徴とする請求項10に記載の固体撮像装置。
- 前記ゲート電極の下部であって、前記光電変換部と前記半導体領域との間に、前記電荷に対してポテンシャル障壁となる領域が配されていることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記半導体領域の下部に、前記電荷に対してポテンシャル障壁となる領域が配されていることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
- 前記光電変換部を覆う絶縁膜を更に有し、
前記遮光部材が、前記光電変換部を覆う絶縁膜と接するように延在していることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記複数の画素は複数の行を構成するように配列され、
前記複数の行の全ての行において同時に転送パルスをオンにすることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置。
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