JP2011190492A - メッキ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メッキ対象となるワークWを内部に収容するバレル4と、該バレル内に設けられたカソードP2と、支持体3とを備え、メッキ槽のメッキ液L内に前記カソード及びワークが浸されるようにして前記バレルを軸回りに回転駆動可能に支持体側に支持し、メッキ液L内のアノードP1と前記カソードとの間に電圧を印加させるとともにバレルを回転させることにより、バレル内のワークに対してメッキ処理を行うメッキ装置において、前記バレルの軸方向の一端である底面が下側に位置するように該バレルを支持体側に支持し、カソードをバレルの底面に沿う電極板にするとともにバレルの回転軸Y回りにリング状に成形する。
【選択図】図2
Description
図4(A)はバレルの平断面図であり、(B)はバレルの着脱構成を示す要部正面図であり、(C)は(B)のC−C断面図である。バレル4は、上方側が開放された平断面視多角形(図示する例では正六角形)状をなす上下方向の筒状に成形された本体部29と、該本体部29上端部の開放端側端部からバレル4の径方向外側に向ってフランジ状に一体的に延設された取付部31と、本体部29の中途部からバレル4の径方向外側に向って一体的に延設された鍔部32と、本体部29の下面側に対向状態で配置されて該下面と略平行な円形の下端側プレート33と、後述する導線34を本体部29の底面側に導入する導入部36と、下端側プレート33を本体部29から所定間隔離間させて本体部29に固定する複数のスペーサ37と、下端側プレート33の中心部に固着されて下段プレート17側に突出する下方が開放された筒状の被支持部38とを備えている。
通電手段は、カソードバーS2と電気的に接続される上述の通電バー13と、上述の駆動軸42及び該駆動軸42と摺動自在に当接するブラシ53と、上述の回転体43及び当接部材48と、上述の導入部36内に設置されてカソードP2に電気的に接続された接続端子54と、金属製(具体的には、鉄製や銅製)導体よりなる当接部材48と該接続端子54とを電気的に接続する上述の上記導線34とから構成されている。
4 バレル
42 駆動軸
43 回転体
49 カム
53 ブラシ
L メッキ液
P1 アノード
P2 カソード(電極板)
M 液面
W ワーク
Y 回転軸
Claims (6)
- メッキ対象となるワーク(W)を内部に収容するバレル(4)と、該バレル(4)内に設けられたカソード(P2)と、支持体(3)とを備え、メッキ槽のメッキ液(L)内に前記カソード(P2)及びワーク(W)が浸されるようにして前記バレル(4)を軸回りに回転駆動可能に支持体(3)側に支持し、メッキ液(L)内のアノード(P1)と前記カソード(P2)との間に電圧を印加させるとともにバレル(4)を回転させることにより、バレル(4)内のワーク(W)に対してメッキ処理を行うメッキ装置において、前記バレル(4)の軸方向の一端である底面が下側に位置するように該バレル(4)を支持体(3)側に支持し、カソード(P2)をバレル(4)の底面に沿う電極板にするとともにバレル(4)の回転軸(Y)回りにリング状に成形したメッキ装置。
- カソード(P2)の外縁がバレル(4)の内周面に接近又は接触する大きさに該カソード(P2)を成形した請求項1に記載のメッキ装置。
- バレル(4)の回転軸(Y)と同一軸心となって軸回りに回転駆動される駆動軸(42)を設け、該駆動軸(42)によってバレル(4)を回転駆動可能に支持体(3)側に支持した請求項1又は2の何れか一に記載のメッキ装置。
- 前記駆動軸(42)の外周面に摺動自在に当接するブラシ(53)を支持体(3)側に設け、該ブラシ(53)をメッキ液(L)の液面(M)よりも上方に配置し、駆動軸(42)を導体によって構成し、前記ブラシ(53)を介してバレル(4)側のカソード(P2)と、支持体(3)側のブラシ(53)とを電気的に接続する請求項3に記載のメッキ装置。
- 駆動軸(42)に回転体(43)を取付け、該回転体(43)にバレル(4)を着脱可能に取付けた請求項3又は4の何れか一に記載のメッキ装置。
- バレル(4)の回転体(43)側端部を該回転体(43)側に押圧して固定するカム(49)を設け、カム(49)の回動によって前記カム(49)によるバレル(4)の回転体(43)への押圧及び押圧解除を行うことにより該バレル(4)を回転体(43)から着脱させる請求項5に記載のメッキ装置。
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KR20190082191A (ko) * | 2017-12-26 | 2019-07-09 | 홀마크 테크놀로지 씨오., 엘티디. | 전기도금 결합기구 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63145862U (ja) * | 1987-03-14 | 1988-09-27 | ||
JPH076267U (ja) * | 1993-06-29 | 1995-01-27 | 新共立化工株式会社 | メッキ装置 |
JP2009242924A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Tdk Corp | めっき用バレルおよびバレルめっき装置 |
JP2010043329A (ja) * | 2008-08-13 | 2010-02-25 | Tdk Corp | めっき装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63145862U (ja) * | 1987-03-14 | 1988-09-27 | ||
JPH076267U (ja) * | 1993-06-29 | 1995-01-27 | 新共立化工株式会社 | メッキ装置 |
JP2009242924A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Tdk Corp | めっき用バレルおよびバレルめっき装置 |
JP2010043329A (ja) * | 2008-08-13 | 2010-02-25 | Tdk Corp | めっき装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190039284A (ko) * | 2016-12-28 | 2019-04-10 | 홀마크 테크놀로지 씨오., 엘티디. | 소형부품 전기도금 장치 |
JP2019522733A (ja) * | 2016-12-28 | 2019-08-15 | ▲漢▼▲瑪▼科技股▲フン▼有限公司 | 小型部品用の電気めっき装置 |
CN110139949A (zh) * | 2016-12-28 | 2019-08-16 | 汉玛科技股份有限公司 | 小型零件的电镀装置 |
KR102244497B1 (ko) * | 2016-12-28 | 2021-04-26 | 홀마크 테크놀로지 씨오., 엘티디. | 소형부품 전기도금 장치 |
CN110139949B (zh) * | 2016-12-28 | 2021-12-21 | 汉玛科技股份有限公司 | 小型零件的电镀装置 |
KR20190082191A (ko) * | 2017-12-26 | 2019-07-09 | 홀마크 테크놀로지 씨오., 엘티디. | 전기도금 결합기구 |
JP2020506284A (ja) * | 2017-12-26 | 2020-02-27 | ▲漢▼▲瑪▼科技股▲フン▼有限公司 | 電気めっき用の組み合わせ機構 |
KR102221652B1 (ko) * | 2017-12-26 | 2021-03-02 | 홀마크 테크놀로지 씨오., 엘티디. | 전기도금 결합기구 |
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