JP2011187635A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体素子1の電極パッドと基板21上の電極パッド20とをはんだボールによって接続する。はんだボールは、金属製コア部11と、金属製コア部11の周囲に設けられ、前記コア部11よりも剛性が低く融点が低いはんだ部10とで構成されている。はんだボールを半導体素子1にリフローによって接続する。その後、半田ボールが付いた半導体素子1と基板21を超音波にて接続し、基板21側において、金属コア11と電極20を直接接続する。これによって熱ストレスの少ない、かつ、抵抗の小さい接続を可能とする。
【選択図】図1
Description
2 チップ側電極
3 チップ側金属間化合物
10 はんだ
11 金属コア
12 金属間化合物
13 はんだバンプ
20 基板側電極
21 基板
22 基板側金属間化合物
30 チップ側電極
31 半導体素子
40 フラックス印刷用マスク
41 スキージ
42 フラックス
43 はんだ振込み用マスク
50 金属コアはんだ
60 基板
61 基板側配線
70 アンダーフィル
101 はんだの残存部
121 金属間化合物の残存部。
Claims (9)
- 第一の部材上の第一の電極パッドと第二の部材上の第二の電極パッドとをはんだボールによって接続している半導体装置において、
前記はんだボールは、金属製コア部と、前記金属製コア部の周囲に設けられ、前記金属性コア部よりも硬度が低く融点が低いはんだ部とを有し、
前記金属製のコア部が前記第一の部材上の第一の電極パッドもしくは前記第二の部材上の第二の電極パッドと直接接続していることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記金属製コア部と前記はんだの間には金属間化合物が形成され、前記金属製のコア部が前記第一の部材上の第一の電極パッドもしくは前記第二の部材上の第二の電極パッドと直接接続している界面には、前記はんだあるいは前記金属間化合物が残存している部分が存在していることを特徴とする半導体装置。 - 第一の部材上の第一の電極パッドと第二の部材上の第二の電極パッドとをはんだボールによって接続している半導体装置において、
前記はんだボールは、金属製コア部と、前記金属製コア部の周囲に設けられ、前記金属製コア部よりも硬度が低く融点が低いはんだ部とを有し、
前記金属製コア部と前記はんだとの間には金属間化合物が形成され、
前記金属間化合物が前記第一の部材上の第一の電極パッドもしくは前記第二の部材上の第二の電極パッドと直接接続していることを特徴とする半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置において、
前記金属製コア部が前記第一の部材上の第一の電極パッドもしくは前記第二の部材上の第二の電極パッドと直接接続している界面には、前記はんだが残存している部分が存在していることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記金属製コア部と前記第一の電極あるいは前記第二の電極が超音波接続にて接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記金属製コア部の材質が銅、ニッケル、金または銀を主成分とする金属からなる半導体装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記金属製コア部の外周の材質が銅、ニッケル、金または銀を主成分とする金属で覆われていることを特徴とする半導体装置。 - 第一の部材上の第一の電極パッドと第二の部材上の第二の電極パッドとをはんだボールによって接続している半導体装置において、
前記はんだボールは、金属製コア部と、前記金属製コア部の周囲に設けられ、前記コア部よりも硬度が低く融点が低いはんだ部とを有し、
前記金属製コア部が前記第一の部材上の第一の電極パッドおよび前記第二の部材上の第二の電極パッドと直接接続していることを特徴とする半導体装置。 - 第一の部材上の第一の電極パッドと第二の部材上の第二の電極パッドとをはんだボールによって接続する電子機器の製造方法において、
前記はんだボールは、金属製のコア部と、前記コア部の周囲に設けられ、前記コア部よりも硬度が低く融点が低いはんだ部とを有し、
加熱により前記はんだ部を溶融させることにより、前記はんだボールを前記第一の電極パッドへ接続する工程と、
前記第一の電極パッドに接続されたはんだボールを前記第二の電極パッドに接触させた状態で、前記はんだボール及び前記第二の電極パッドに超音波を印加することにより、前記第二の電極パッドと前記はんだボールのコア部とを超音波接合する工程と、を含む電子機器の製造方法。
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2010
- 2010-03-08 JP JP2010050615A patent/JP2011187635A/ja active Pending
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