JP2011164057A - 半導体圧力センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】第2シリコン基板の第1シリコン基板と対向する面で、凹部と対向する部位と第1シリコン基板と接合された部位との境界における応力集中を緩和することにより、破壊耐圧を向上させることができる半導体圧力センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】一方の面3に凹部8aが形成された第1シリコン基板2と、凹部8aを封止するように第1シリコン基板2に一方の面7が接合された第2シリコン基板6と、第2シリコン基板6の他方の面12に形成された歪検出素子13と、第2シリコン基板6の一方の面7で凹部8aと対向する部位に、少なくとも凹部8aと対向する部位と第1シリコン基板2の一方の面3と接合された部位との境界を覆うように形成された第1酸化シリコン膜18と、を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】一方の面3に凹部8aが形成された第1シリコン基板2と、凹部8aを封止するように第1シリコン基板2に一方の面7が接合された第2シリコン基板6と、第2シリコン基板6の他方の面12に形成された歪検出素子13と、第2シリコン基板6の一方の面7で凹部8aと対向する部位に、少なくとも凹部8aと対向する部位と第1シリコン基板2の一方の面3と接合された部位との境界を覆うように形成された第1酸化シリコン膜18と、を備える。
【選択図】 図1
Description
この発明は、半導体基板を用いて形成される半導体圧力センサおよびその製造方法に関するものである。
半導体基板を用いて形成される半導体圧力センサは、半導体の微細加工技術を用いることにより、高い加工精度で大量に生産することが可能である。従来の半導体圧力センサは、上面に凹部が形成されると共にシリコン酸化膜が形成されたシリコン基板に、そのシリコン酸化膜を介して、凹部を封止するように単結晶シリコン層が形成され、単結晶シリコン層によって形成されたダイヤフラム上にゲージ抵抗を備えた構成であった。(例えば、特許文献1参照)
このような半導体圧力センサにあっては、シリコン基板の凹部とダイヤフラムにより囲まれた圧力基準室内とその外部との圧力差によってダイヤフラムが変形する際、特に、単結晶シリコン層のシリコン基板と対向する面で、凹部と対向する部位とシリコン基板と接合された部位との境界に応力が集中しやすい。この応力集中によって、シリコン基板と単結晶シリコン層との接合面からクラックが進展してしまうことがあり、破壊耐圧の点で不利であるという問題点があった。
この発明は、上述のような問題を解決するためになされたもので、単結晶シリコン層のシリコン基板と対向する面で、凹部と対向する部位とシリコン基板と接合された部位との境界における応力集中を緩和することにより、破壊耐圧を向上させることができる半導体圧力センサおよびその製造方法を提供することを目的とする。
この発明に係る半導体圧力センサは、一方の面に凹部が形成された第1半導体基板と、凹部を封止するように第1半導体基板に一方の面が接合された第2半導体基板と、第2半導体基板の他方の面に形成された歪検出素子と、第2半導体基板の一方の面で凹部と対向する部位に、少なくとも凹部と対向する部位と第1半導体基板の一方の面と接合された部位との境界を覆うように形成された第1酸化膜と、を備えたものである。
また、この発明に係る半導体圧力センサの製造方法は、第1半導体基板の一方の面に凹部を形成する工程と、凹部を封止するように第1半導体基板と第2半導体基板の一方の面とを接合する工程と、第2半導体基板の一方の面で凹部と対向する部位に、少なくとも凹部と対向する部位と第1半導体基板の一方の面と接合された部位との境界を覆うように第1酸化膜を形成する工程と、第2半導体基板の他方の面に歪検出素子を形成する工程と、を備えたものである。
この発明に係る半導体圧力センサによれば、一方の面に凹部が形成された第1半導体基板と、凹部を封止するように第1半導体基板に一方の面が接合された第2半導体基板と、第2半導体基板の他方の面に形成された歪検出素子と、第2半導体基板の一方の面で凹部と対向する部位に、少なくとも凹部と対向する部位と第1半導体基板の一方の面と接合された部位との境界を覆うように形成された第1酸化膜と、を備えたことにより、第2半導体基板の一方の面で、凹部と対向する部位と第1半導体基板の一方の面と接合された部位との境界への応力集中を緩和できるため、破壊耐圧を向上させることができる。
また、この発明に係る半導体圧力センサの製造方法によれば、第1半導体基板の一方の面に凹部を形成する工程と、凹部を封止するように第1半導体基板と第2半導体基板の一方の面とを接合する工程と、第2半導体基板の一方の面で凹部と対向する部位に、少なくとも凹部と対向する部位と第1半導体基板の一方の面と接合された部位との境界を覆うように第1酸化膜を形成する工程と、第2半導体基板の他方の面に歪検出素子を形成する工程と、を備えたことにより、第2半導体基板の一方の面で、凹部と対向する部位と第1半導体基板の一方の面と接合された部位との境界への応力集中を緩和できるため、破壊耐圧を向上させることができる。
実施の形態1.
まず、この発明の実施の形態1における半導体圧力センサ1aの構成を説明する。図1は、この発明の実施の形態1における半導体圧力センサ1aを示す断面図である。
まず、この発明の実施の形態1における半導体圧力センサ1aの構成を説明する。図1は、この発明の実施の形態1における半導体圧力センサ1aを示す断面図である。
図1において、半導体圧力センサ1aは、第1シリコン基板2の一方の面3と、第2シリコン基板6の一方の面7とが接合された構成となっている。第1シリコン基板2の一方の面3には凹部8aが形成されており、第2シリコン基板6は、この凹部8aを封止するように第1シリコン基板2と接合されている。第2シリコン基板6によって凹部8aを封止したことにより、第2シリコン基板6の凹部8aと対向する部位が、凹部8aおよび第2シリコン基板6で囲まれた空間内の圧力と第2シリコン基板6の他方の面12側の外部圧力との圧力差によって変形するダイヤフラム11となる。凹部8aおよび第2シリコン基板6で囲まれた空間内の圧力を真空にすれば絶対圧の測定が可能である。
第2シリコン基板6の他方の面12の所定位置には、ダイヤフラム11の歪みを抵抗変化として検出する歪検出素子13が形成され、歪検出素子13の電気信号を外部に取り出す配線層16が形成されている。そして、歪検出素子13および配線層16は保護膜17によって覆われている。
さらに、第2シリコン基板6の一方の面7で凹部8aと対向する部位には、第1酸化シリコン膜18が形成されている。また、第1シリコン基板2の、第2シリコン基板6と接合される面である一方の面3上には第2酸化シリコン膜21が形成されている。よって、第1シリコン基板2と第2シリコン基板6とは、第2酸化シリコン膜21を介して接合されていることとなる。そして、第1酸化シリコン膜18は、第2シリコン基板6の一方の面7の凹部8aと対向する部位と第1シリコン基板2の一方の面3と接合された部位との境界Pを覆うように形成されている。即ち、第1酸化シリコン膜18は、第1シリコン基板2と第2シリコン基板6との接合面22のうち、凹部8aに面する部位を覆っている。尚、これら第1酸化シリコン膜18と第2酸化シリコン膜21との間には明確な境界は存在せず、一体となるように形成されている。
凹部8aの内面には、第3酸化シリコン膜23が形成されている。そして、第3酸化シリコン膜23と、第1酸化シリコン膜18および第2酸化シリコン膜21との間には明確な境界は存在せず、一体となるように形成されている。また、第1シリコン基板2の他方の面26には、第4酸化シリコン膜27が形成されている。
尚、ここでは、第1酸化シリコン膜18および第3酸化シリコン膜23の膜厚が、第2酸化シリコン膜21および第4酸化シリコン膜27の膜厚よりも薄い場合について図1に図示して説明しているが、必ずしも第1酸化シリコン膜18および第3酸化シリコン膜23の方が薄くならなければならない訳ではない。
次に、第1シリコン基板2について説明する。ここで、第1シリコン基板2は、面方位(100)である単結晶シリコン基板であって、表面粗さRaが1nm以下まで鏡面研磨されていることが好ましい。導電型および比抵抗値は特に問わないが、P型導電型で、比抵抗1〜10Ω・cm程度であるのが好ましい。
図2は、この発明の実施の形態1における第1シリコン基板2を示す上面図である。図2に示すように、第1シリコン基板2は、例えば一辺が1mm程度の正方形であって、一方の面3の中央部には、凹部8aが形成されている。凹部8aは、平面形状が例えば一辺が500μm程度の正方形で、深さは10〜100μm程度である。凹部8aの内面には第3酸化シリコン膜23が形成されている。第3酸化シリコン膜23の膜厚は、0.01〜2μmの範囲が好ましい。
また、第1シリコン基板2の第2シリコン基板6と接合される面上に形成された第2酸化シリコン膜21の膜厚は、薄過ぎるとピンホールができてしまう可能性があるので、0.1μm以上が好ましく、より好ましくは0.2〜3μmの範囲とするのがよい。第1シリコン基板2の他方の面26に形成された第4酸化シリコン膜27の膜厚は、第2酸化シリコン膜21と同程度とするのがよい。同程度の膜厚で第2酸化シリコン膜21と第4酸化シリコン膜27を形成することによって、第1シリコン基板2の反りを防止することができる。
次に、第2シリコン基板6について説明する。第2シリコン基板6も、上述した第1シリコン基板2と同様に、面方位(100)である単結晶シリコン基板であって、表面粗さRaが1nm以下まで鏡面研磨されていることが好ましい。導電型は特に問わないが、歪検出素子13をイオン注入によって形成する場合は、第2シリコン基板6はN型導電型であることが好ましい。比抵抗値は、低過ぎると歪検出素子13から電流がリークするため、高い方が好ましく、1〜10Ω・cm程度であるのが好ましい。
第2シリコン基板6も一辺が1mm程度の正方形である。第2シリコン基板6は、凹部8aを封止するように第1シリコン基板2と接合されることにより、第2シリコン基板6の凹部8aと対向する部位がダイヤフラム11となる。ダイヤフラム11の最大撓み量は1μm以下となることが好ましく、例えば凹部8aが500μmの正方形である場合は、第2シリコン基板6の厚さを20μm程度にすれば、ダイヤフラム11の最大撓み量を1μm以下に抑えることができる。
そして、第2シリコン基板6の一方の面7で凹部8aと対向する部位には、第1酸化シリコン膜18が形成される。第1酸化シリコン膜18の膜厚は、0.01〜2μmの範囲が好ましい。第2シリコン基板6の他方の面12の所定位置には、歪検出素子13が形成され、さらに、配線層16および保護膜17が形成される。
次に、歪検出素子13について説明する。歪検出素子13の形成手段としては、例えば、イオン注入によって、P型基板にN型領域を、またはN型基板にP型領域を形成する方法や、クロム膜をスパッタリング法で成膜する方法がある。検出感度の観点から、クロム膜を成膜する方法よりもイオン注入を行う方法の方が好ましく、P型基板にN型領域を形成するものよりもN型基板にP型領域を形成するものの方が好ましい。従って、イオン注入によってP型の歪検出素子13を形成する場合は、第2シリコン基板6はN型導電型のものを用いることとなる。
歪検出素子13の電気信号を外部に取り出す配線層16としては、アルミニウム、銅、金、銀などの金属膜が用いられる。歪検出素子13および配線層16を覆う保護膜17としては、水分を透過させない窒化シリコン膜が適している。
次に、この発明の実施の形態1における半導体圧力センサ1aの製造方法について説明する。図3は、この発明の実施の形態1における半導体圧力センサ1aの製造工程を示す断面図である。
まず、図3(a)に示すように、第1シリコン基板2を準備する。ここで、第1シリコン基板2は、P型導電型であって、面方位(100)の単結晶シリコン基板である。
次に、図3(b)に示すように、第1シリコン基板2の一方の面3に第2酸化シリコン膜21を、他方の面26に第4酸化シリコン膜27を形成する。第2酸化シリコン膜21および第4酸化シリコン膜27の形成方法としては、熱酸化法やプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法などがあるが、緻密な酸化シリコン膜を容易に形成できる熱酸化法を用いることが好ましい。よって、ここでは熱酸化法を用いて、第1シリコン基板2を酸化性雰囲気中でアニール処理することによって、第2酸化シリコン膜21および第4酸化シリコン膜27を形成する。
次に、図3(c)に示すように、第1シリコン基板2の一方の面3の第2酸化シリコン膜21上に、感光性樹脂28をスピン塗布により塗布し、写真製版技術によって感光性樹脂28を所望の形状にパターニングする。
次に、図3(d)に示すように、第2酸化シリコン膜21の感光性樹脂28で覆われていない部分を除去する。除去手段としては、フッ酸、アンモニアフッ化物を添加した溶液、または、四フッ化メタンガスと酸素ガスを混合したプラズマエッチングを用いることができる。
次に、図3(e)に示すように、第1シリコン基板2の一方の面3における、前工程で第2酸化シリコン膜21を除去したことによって露出したシリコンの部分をエッチングして凹部8aを形成する。エッチングの手段としては、六フッ化硫黄ガスを用いたプラズマエッチングが用いられる。プラズマエッチングの際に、パーフルオロシクロブタンガスと六フッ化硫黄ガスとを交互に導入することによって、およそ垂直にエッチングすることが可能である。
次に、図3(f)に示すように、第2酸化シリコン膜21上に残っている感光性樹脂28を除去する。除去手段としては、アセトンのような有機溶剤による除去や、酸素プラズマによる除去が用いられる。ただし、プラズマによる除去の場合は、第2酸化シリコン膜21の表面粗さRaが1nmより大きくならないように、プラズマのパワーを制御し、照射イオンによるダメージを低減する必要がある。
次に、第1シリコン基板2の表面に親水化処理を行う。例えば、濃度98%の濃硫酸と濃度30%の過酸化水素水を4:1の体積比で混合して130℃に加熱した溶液によって、第1シリコン基板2を10分間程度洗浄する。これにより、第1シリコン基板2の表面が親水化された状態となり、第1シリコン基板2と第2シリコン基板6とを室温で仮接合する上で良好な表面状態となる。
次に、図3(g)に示すように、第1シリコン基板2の凹部8aを封止するように、第1シリコン基板2の一方の面3と第2シリコン基板6の一方の面7とを第2酸化シリコン膜21を介して仮接合する。ここで、第2シリコン基板6は、N型導電型であって、面方位(100)の単結晶シリコン基板である。さらに、第2シリコン基板6の厚さは、ダイヤフラム11を形成するために適した厚さよりも厚くなっている。
このとき、温度は室温でよい。大気中、真空中のいずれでもよいが、半導体圧力センサ1aの圧力基準室となる凹部8aおよび第2シリコン基板6で囲まれた空間を真空にしたい場合は、真空中で仮接合を行うことが好ましい。ここでは、凹部8aおよび第2シリコン基板6で囲まれた空間内に残留した水分を後の工程で利用するため、1Pa程度もしくはそれより高い圧力の真空状態が適している。
次に、アニール処理を行う。ここでは、酸化性雰囲気、例えば酸素や水蒸気雰囲気でのアニール処理が適している。アニール温度は1000〜1200℃の範囲が好ましく、アニール時間は1時間以上が好ましく、より好ましくは6時間程度がよい。このアニール処理によって、仮接合状態であった第1シリコン基板2と第2シリコン基板6とが完全に接合される。
さらに、図3(h)に示すように、このアニール処理によって、凹部8aおよび第2シリコン基板6で囲まれた空間内に残留した水分を利用して、第2シリコン基板6の一方の面7で凹部8aと対向する部位に第1酸化シリコン膜18が、凹部8aの内面に第3酸化シリコン膜23が形成される。ここで、第2シリコン基板6の一方の面7の凹部8aと対向する部位と第1シリコン基板2の一方の面3と接合された部位との境界が、第1酸化シリコン膜18によって覆われることとなる。即ち、第1シリコン基板2と第2シリコン基板6との接合面22のうち、凹部8aに面する部位が、第1酸化シリコン膜18によって覆われる。尚、第1酸化シリコン膜18、第2酸化シリコン膜21および第3酸化シリコン膜23の間には明確な境界は存在せず、一体となるように形成される。
尚、ここでは、このアニール処理によって形成される第1酸化シリコン膜18および第3酸化シリコン膜23の膜厚が、第2酸化シリコン膜21および第4酸化シリコン膜27の膜厚よりも薄い場合について図示して説明しているが、必ずしも薄くならなければならない訳ではなく、第1酸化シリコン膜18および第3酸化シリコン膜23の膜厚の方が厚くなってもよい。
次に、図3(i)に示すように、第2シリコン基板6を所望の厚さに薄肉化する。これにより、第2シリコン基板6の凹部8aと対向する部位がダイヤフラム11となる。第2シリコン基板6の厚さを薄くするほどダイヤフラム11の最大撓み量は大きくなるが、薄肉化は、ダイヤフラム11の最大撓み量が1μm以下となる程度とするのが好ましい。薄肉化の手段としては、グラインダおよび化学機械研磨の技術を用いるとよい。
次に、図3(j)に示すように、第2シリコン基板6の他方の面12の所定位置に、歪検出素子13を形成する。歪検出素子13は、ダイヤフラム11の歪みが大きい部分に形成することが好ましいため、ダイヤフラム11の端部または中央部が好ましい。図3(j)では、ダイヤフラム11の端部に形成している。
第1シリコン基板2の他方の面26側から波長1000nm以上の光を含む白色光を照射し、第2シリコン基板6を透過してきた近赤外光を赤外線カメラで観測することによって、凹部8aの位置を正確に判別することができる。これにより、凹部8aの位置に対して、歪検出素子13を形成する位置を決めることができる。
歪検出素子13の形成手段としては、上述のように検出感度の観点から、例えばボロンをイオン注入することによって、N型導電型の第2シリコン基板6の他方の面12上にP型領域を形成することが好ましい。
最後に、第2シリコン基板6の他方の面12に、配線層16および保護膜17を形成する。配線層16としてはアルミニウム膜を、保護膜17としては窒化シリコン膜を用いることが好ましい。
次に、この発明の実施の形態1における半導体圧力センサ1aと、第1酸化シリコン膜18および第3酸化シリコン膜23を形成しない半導体圧力センサ31とで破壊耐圧を比較した例について説明する。図4は、半導体圧力センサの凹部の端部を拡大して示す断面図であり、(a)はこの発明の実施の形態1における半導体圧力センサ1aを示す断面図、(b)は第1酸化シリコン膜18および第3酸化シリコン膜23を形成しない半導体圧力センサ31を示す断面図である。ただし、図4においては、配線層16および保護膜17は省略している。
まず、比較実験に用いた半導体圧力センサ1aおよび半導体圧力センサ31の構成について説明する。図4(a)に示すこの発明の実施の形態1における半導体圧力センサ1aは、凹部8aの平面形状が一辺500μmの正方形であって、第2シリコン基板6の厚さを20μmとしたものである。図4(b)に示す比較例の半導体圧力センサ31は、第1酸化シリコン膜18および第3酸化シリコン膜23が形成されていないこと以外は半導体圧力センサ1aと同じ構成である。
半導体圧力センサ1aでは、第1シリコン基板2と第2シリコン基板6とを接合する際の圧力を1Pa程度としたことにより、凹部8aおよび第2シリコン基板6で囲まれた空間内に水分が残留し、その後のアニール処理によって熱酸化され、第1酸化シリコン膜18および第3酸化シリコン膜23が形成された。これに対して、半導体圧力センサ31では、圧力を10−4Pa程度まで下げて、凹部8aおよび第2シリコン基板6で囲まれた空間内に残留する水分を極力除去して接合したため、その後のアニール処理によっても第1酸化シリコン膜18および第3酸化シリコン膜23が形成されなかった。
次に、比較実験の結果について説明する。半導体圧力センサ31においては、外部圧力を上げていくと、5〜8MPaで破壊した。これに対して、この発明の実施の形態1における半導体圧力センサ1aにおいては、外部圧力を上げていくと、12〜15MPaで破壊した。凹部8aの寸法および第2シリコン基板6の厚さを変えて実験を行っても、それぞれの破壊圧力値の絶対値は上下したが、半導体圧力センサ1aの方が、破壊圧力が高くなることについては変わらなかった。
図4(b)に示すように、比較例の半導体圧力センサ31では、ダイヤフラム11が撓む際に、第2シリコン基板6の一方の面7で、凹部8aと対向する部位と第1シリコン基板2の一方の面3と接合された部位との境界であるB点に特に応力が集中するため、接合面22からクラックが進展しやすい。一方、図4(a)に示すように、この発明の実施の形態1における半導体圧力センサ1aでは、第2シリコン基板6の一方の面7で凹部8aと対向する部位に第1酸化シリコン膜18を形成したことによって、ダイヤフラム11が撓む際に応力が集中する箇所が接合面22から離れたA点となる。よって、半導体圧力センサ1aでは、第2シリコン基板6の一方の面7で、凹部8aと対向する部位と第1シリコン基板2の一方の面3と接合された部位との境界、即ち、第1シリコン基板2と第2シリコン基板6との接合面22の凹部8aに面する部位への応力集中を緩和することができる。
この発明の実施の形態1では、以上のような構成としたことにより、第2シリコン基板6の一方の面7で、凹部8aと対向する部位と第1シリコン基板2の一方の面3と接合された部位との境界への応力集中を緩和することができるため、破壊耐圧が向上するという効果がある。
また、酸化シリコンはシリコンと比べて親水化しやすいことから、第1シリコン基板2の第2シリコン基板6と接合される面である一方の面3に第2酸化シリコン膜21を形成したことにより、一方の面3は、第2酸化シリコン膜21を形成しない状態と比べて、より親水化される。このため、第1シリコン基板2と第2シリコン基板6との接合が容易となる。
さらに、第1シリコン基板2の他方の面26に第4酸化シリコン膜27を形成したことにより、第2酸化シリコン膜21と第4酸化シリコン膜27とが、第1シリコン基板2の表裏に形成されることとなり、第1シリコン基板2の反りを抑えることができる。
第1シリコン基板2の凹部8aの内面に第3酸化シリコン膜23を形成したことにより、この第3酸化シリコン膜23が、半導体圧力センサ1aの圧力基準室となる凹部8aおよび第2シリコン基板6で囲まれた空間内に残留した水分を吸収する役割を果たすこととなる。これにより、凹部8aおよび第2シリコン基板6で囲まれた空間内の残留水分を減らすことができるので、残留した水分子が圧力検出に悪影響を及ぼすことを防ぐことができる。
また、第1シリコン基板2の一方の面3に凹部8aを形成した後で、かつ、第1シリコン基板2と第2シリコン基板6とを接合する前に、熱酸化によって第2酸化シリコン膜21を形成しようとすると、第1シリコン基板2の第2シリコン基板と接合される面上において、凹部8aの周囲にあたる部位と凹部8aから離れた部位とで温度分布が異なってしまうため、第1シリコン基板2の一方の面3内で、第2酸化シリコン膜21の膜厚が一様でなくなる。第2酸化シリコン膜21の膜厚が一様でなくなると、第1シリコン基板2と第2シリコン基板6との接合に不良が生じてしまうこととなる。これに対して、この発明の実施の形態1では、第1シリコン基板2の一方の面3に凹部8aを形成する前に第2酸化シリコン膜21を形成したことによって、第2酸化シリコン膜21の膜厚が、第1シリコン基板2の一方の面3内において一様になるように形成することができる。これにより、第1シリコン基板2と第2シリコン基板6との接合に不良が生じることを防止できる。
尚、この発明の実施の形態1では、第2シリコン基板6の一方の面7で凹部8aと対向する部位の全面に、第1酸化シリコン膜18を形成した。しかし、これに限ることはなく、第2シリコン基板6の一方の面7で凹部8aと対向する部位の、少なくとも凹部8aと対向する部位と第1シリコン基板2の一方の面3と接合された部位との境界を覆うように形成されていれば一定の効果が得られる。
また、この発明の実施の形態1では、第1シリコン基板2の第2シリコン基板6と接合される面の全面に第2酸化シリコン膜21を形成した。しかし、これに限ることはなく、第1シリコン基板2の第2シリコン基板6と接合される面上における、少なくとも凹部8aの周囲にあたる部位に、凹部8aを第2シリコン基板6によって封止するために充分なだけ形成されていればよい。
第1シリコン基板2の他方の面26に形成された第4酸化シリコン膜27についても同様であり、必ずしも全面に形成する必要はない。第4酸化シリコン膜27は、第2酸化シリコン膜21や第3酸化シリコン膜23との関係で、第1シリコン基板2の反りが小さくなるように形成することが好ましい。
さらに、この発明の実施の形態1では、凹部8aの内面の全面に第3酸化シリコン膜23を形成し、第3酸化シリコン膜23と、第1酸化シリコン膜18および第2酸化シリコン膜21との間には明確な境界が存在せず一体となるように形成した。しかし、凹部8aの内面の全面に第3酸化シリコン膜23を形成する必要はなく、凹部8aの内面の一部のみに形成しても一定の効果が得られる。また、第3酸化シリコン膜23が、第1酸化シリコン膜18および第2酸化シリコン膜21と一体とならずに分離した状態になるように形成しても同様の効果が得られる。
尚、この発明の実施の形態1では、第2シリコン基板6として、ダイヤフラム11の形成のために必要な厚さよりも厚いものを用い、第1シリコン基板2と接合した後に所望の厚さまで薄肉化した。しかし、薄肉化の工程は第1シリコン基板2と接合する前に行ってもよいし、第2シリコン基板6として、はじめから薄肉化の必要のない厚さのものを準備して使用してもよい。
また、この発明の実施の形態1では、第1シリコン基板2の一方の面3の第2酸化シリコン膜21と、他方の面26の第4酸化シリコン膜27とを、凹部8aを形成する前に同時に形成した。しかし、同時である必要はなく、第4酸化シリコン膜27は、いつ形成してもよい。ただし、第1シリコン基板2と第2シリコン基板6とを接合する前に形成することが好ましい。
第2酸化シリコン膜21についても、アニール時における第1シリコン基板2の一方の面3内での温度分布を適切に管理するなどにより、第2酸化シリコン膜21の膜厚を一様に形成することができるならば、凹部8aを形成した後に形成してもよい。
加えて、この発明の実施の形態1では、第1酸化シリコン膜18と第3酸化シリコン膜23とを同時に形成した。しかし、同時に限らず、別々の工程で形成してもよく、第3酸化シリコン膜23については、第1シリコン基板2と第2シリコン基板6とを接合する前に形成してもよい。
尚、この発明の実施の形態1では、シリコンの基板である第1シリコン基板2および第2シリコン基板6を用いたが、これに限ることはなく、シリコンカーバイドやゲルマニウムなど他の半導体の基板を用いてもよい。
第1シリコン基板2および第2シリコン基板6の形状については、ここでは正方形としたが、他の形状でもよい。凹部8aについても、平面形状を正方形とし、深さ方向には垂直にエッチングして形成したが、他の形状でもよい。
第1シリコン基板2と第2シリコン基板6の形状および大きさが同じになるようにしたが、第2シリコン基板6は、最低限、凹部8aを封止してダイヤフラム11を形成できるだけの大きさがあれば充分である。
実施の形態2.
図5は、この発明の実施の形態2における第1シリコン基板2の一方の面3に凹部8bを形成する工程を示す断面図である。図5において、図3(e)と同じ符号を付けたものは、同一または相当の構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、凹部8bが、深さ方向に垂直な形状ではなく、深さ方向に進むにつれて細くなる形状となっている構成が相違している。
図5は、この発明の実施の形態2における第1シリコン基板2の一方の面3に凹部8bを形成する工程を示す断面図である。図5において、図3(e)と同じ符号を付けたものは、同一または相当の構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、凹部8bが、深さ方向に垂直な形状ではなく、深さ方向に進むにつれて細くなる形状となっている構成が相違している。
次に、このような凹部8bを形成する工程について説明する。図5に示すように、第1シリコン基板2の一方の面3における、シリコンの露出部分をエッチングして凹部8bを形成する。エッチングの手段としては、例えば水酸化カリウム水溶液のようなアルカリ溶液によるエッチングが用いられる。水酸化カリウム水溶液は、シリコンの結晶方位に対して異方性を示し、(111)面にはエッチングがほとんど進まない。ここでは、第1シリコン基板2として面方位(100)である単結晶シリコン基板を用いているため、水酸化カリウム水溶液を用いることによって、(111)面が現れ、深さ方向に進むにつれて細くなる形状の凹部8bが形成される。
尚、アルカリ溶液を用いたエッチングによって凹部8bを形成する場合は、アルカリ溶液によって感光性樹脂28が溶解し、シリコンのエッチングに悪影響を及ぼすことがあるため、凹部8bを形成する工程の前に、感光性樹脂28を除去しておくことが好ましい。その他の工程については、この発明の実施の形態1の場合と同様である。
この発明の実施の形態2では、以上のような製造工程としたことにより、プラズマエッチングによって凹部8aを形成する場合と比べて、製造コストを抑えることができる。
実施の形態3.
図6は、この発明の実施の形態3における半導体圧力センサ1bを示す断面図である。図6において、図1と同じ符号を付けたものは、同一または相当の構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、第1シリコン基板2の他方の面26に第1アライメントマーク32が形成され、第2シリコン基板6の他方の面12に第2アライメントマークが形成された構成が相違している。第1アライメントマーク32は、凹部8aとの相対位置を示す目印となるものであり、第2アライメントマーク33は、第1アライメントマーク32との相対位置を示す目印となるものである。
図6は、この発明の実施の形態3における半導体圧力センサ1bを示す断面図である。図6において、図1と同じ符号を付けたものは、同一または相当の構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、第1シリコン基板2の他方の面26に第1アライメントマーク32が形成され、第2シリコン基板6の他方の面12に第2アライメントマークが形成された構成が相違している。第1アライメントマーク32は、凹部8aとの相対位置を示す目印となるものであり、第2アライメントマーク33は、第1アライメントマーク32との相対位置を示す目印となるものである。
ただし、ここでは、第4酸化シリコン膜27を形成していない場合について説明する。また、図6において、配線層16および保護膜17は省略している。
次に、第1アライメントマーク32を形成する工程について説明する。図7は、この発明の実施の形態3における第1アライメントマーク32を形成する工程を示す断面図である。この工程は、図3(e)に示す凹部8aを形成する工程、または、図(f)に示す感光性樹脂28を除去する工程の後に行う。
第1アライメントマーク32は、第1シリコン基板2の他方の面26に、写真製版技術によって感光性樹脂をパターニングし、感光性樹脂で覆われない部分をエッチングすることによって形成される。第1アライメントマーク32の形状については、平面形状が正方形、長方形、円形のものや、スリット状のものなど、特に限定されない。
第1アライメントマーク32のパターニング用のフォトマスクの位置決めは、第1シリコン基板2を一方の面3側から観察した像と、他方の面26側から観察した像とを重ね合わせた像を観察して行う。この重ね合わせた観察像から、凹部8aの位置、もしくは第1シリコン基板2の一方の面3に凹部8aとの相対位置が精度良く定まって形成された他の目印の位置を基準としてフォトマスクの位置決めを行う。これによって、凹部8aとの相対位置が精度良く定まった第1アライメントマーク32を形成することができる。
次に、第2アライメントマーク33を形成する工程について説明する。図8は、この発明の実施の形態3における第2アライメントマーク33を形成する工程を示す断面図である。この工程は、図3(i)に示す第2シリコン基板6を薄肉化する工程の後に行う。
第2アライメントマーク33についても第1アライメントマーク32と同様に、写真製版技術によって第2シリコン基板6の他方の面12にパターニングを行い、その後、エッチングを行って形成する。第2アライメントマーク33の形状が特に限定されないことも第1アライメントマーク32と同様である。
第2アライメントマーク33のパターニング用のフォトマスクの位置決めは、第1シリコン基板2の他方の面26側から観察した像と、第2シリコン基板6の他方の面12側から観察した像とを重ね合わせた像を観察して行う。この重ね合わせた観察像から、第1アライメントマーク32の位置を基準としてフォトマスクの位置決めを行う。これによって、第1アライメントマーク32との相対位置が精度良く定まった第2アライメントマーク33を形成することができる。第1アライメントマーク32は、凹部8aとの相対位置が精度良く定まっているため、第2アライメントマーク33は、凹部8aとの相対位置が精度良く定まって形成されていることとなる。
次に、第2シリコン基板6の他方の面12に歪検出素子13を形成する工程について説明する。歪検出素子13を形成する位置決めを行うときに、第2シリコン基板6の他方の面12上に形成された第2アライメントマーク33を目印として位置決めを行う。凹部8aと第2アライメントマーク33との相対位置が精度良く定まっていることから、第2アライメントマーク33を目印とすることで、ダイヤフラム11上の適切な位置に歪検出素子13を形成することができる。
この発明の実施の形態3では、以上のような構成としたことにより、第2シリコン基板6の他方の面12に歪検出素子13を形成する工程で、近赤外光を用いることなく可視光での観察によって歪検出素子13の形成位置を決めることができる。これにより、近赤外光を照射する装置が不要となるため、装置構成を簡素化できるという効果がある。
尚、この発明の実施の形態3では、第1アライメントマーク32と第2アライメントマーク33を形成した。しかし、第1アライメントマーク32のみ形成して第2アライメントマーク33を形成しない場合でも、可視光観察での歪検出素子13の位置決めは可能である。第1アライメントマーク32のみの場合は、歪検出素子13の形成位置を決める際に、第1シリコン基板2の他方の面26側から観察した像と、第2シリコン基板6の他方の面12側から観察した像とを重ね合わせた像を観察して行う。この重ね合わせた観察像から、第1アライメントマーク32を目印として歪検出素子13を形成する位置を決定することにより、ダイヤフラム11上の適切な位置に歪検出素子13を形成することができる。
さらに、この発明の実施の形態3では、凹部8aを形成した後に、凹部8aの位置、もしくは第1シリコン基板2の一方の面3に凹部8aとの相対位置が精度良く定まって形成された他の目印の位置を基準として第1アライメントマーク32を形成した。しかし、逆に、第1アライメントマーク32を形成した後に、第1アライメントマーク32の位置を基準として凹部8aを形成してもよい。
また、この発明の実施の形態3では、第1シリコン基板2の他方の面26に第4酸化シリコン膜27を形成していない場合について説明したが、第4酸化シリコン膜27を形成していてもよい。この場合は、第4酸化シリコン膜27に第1アライメントマーク32を形成すればよい。
実施の形態4.
図9は、この発明の実施の形態4における半導体圧力センサ1cを示す断面図である。図9において、図1と同じ符号を付けたものは、同一または相当の構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、第1シリコン基板2の他方の面26から凹部8aまで貫通する貫通穴36が形成された構成が相違している。
図9は、この発明の実施の形態4における半導体圧力センサ1cを示す断面図である。図9において、図1と同じ符号を付けたものは、同一または相当の構成を示しており、その説明を省略する。この発明の実施の形態1とは、第1シリコン基板2の他方の面26から凹部8aまで貫通する貫通穴36が形成された構成が相違している。
ただし、ここでは、第4酸化シリコン膜27を形成していない場合について説明する。また、図9において、配線層16および保護膜17は省略している。
貫通穴36は、エッチングによって形成するが、第1シリコン基板2の他方の面26から凹部8aまで貫通する穴が形成できれば、形成手段は特に問わない。また、貫通穴36の形状、大きさおよび位置も特に問わない。貫通穴36を形成する工程は、歪検出素子13を形成する工程より後に行うことが好ましい。
この発明の実施の形態4では、以上のような構成としたことにより、第1シリコン基板2の他方の面26側の圧力と、第2シリコン基板6の他方の面12側の圧力との圧力差を検出することができる。
尚、この発明の実施の形態4では、第1シリコン基板2の他方の面26に第4酸化シリコン膜27を形成していない場合について説明したが、第4酸化シリコン膜27を形成している場合でも、第1シリコン基板2の他方の面26側から凹部8aまで貫通するように貫通穴36を形成すれば同様の効果が得られる。
以上、この発明の実施の形態1〜4について説明した。これらの、この発明の実施の形態1〜4で説明した構成は互いに組合せることができる。
1a〜1c 半導体圧力センサ
2 第1シリコン基板
3 第1シリコン基板の一方の面
6 第2シリコン基板
7 第2シリコン基板の一方の面
8a、8b 凹部
12 第2シリコン基板の他方の面
13 歪検出素子
18 第1酸化シリコン膜
21 第2酸化シリコン膜
22 第1シリコン基板と第2シリコン基板との接合面
23 第3酸化シリコン膜
26 第1シリコン基板の他方の面
27 第4酸化シリコン膜
32 第1アライメントマーク
33 第2アライメントマーク
36 貫通穴
2 第1シリコン基板
3 第1シリコン基板の一方の面
6 第2シリコン基板
7 第2シリコン基板の一方の面
8a、8b 凹部
12 第2シリコン基板の他方の面
13 歪検出素子
18 第1酸化シリコン膜
21 第2酸化シリコン膜
22 第1シリコン基板と第2シリコン基板との接合面
23 第3酸化シリコン膜
26 第1シリコン基板の他方の面
27 第4酸化シリコン膜
32 第1アライメントマーク
33 第2アライメントマーク
36 貫通穴
Claims (12)
- 一方の面に凹部が形成された第1半導体基板と、
前記凹部を封止するように前記第1半導体基板に、一方の面が接合された第2半導体基板と、
前記第2半導体基板の他方の面に形成された歪検出素子と、
前記第2半導体基板の一方の面で前記凹部と対向する部位に、少なくとも前記凹部と対向する部位と前記第1半導体基板の一方の面と接合された部位との境界を覆うように形成された第1酸化膜と、
を備えた半導体圧力センサ。 - 第1半導体基板の第2半導体基板と接合される面上における少なくとも凹部の周囲に第2酸化膜が形成され、前記第2酸化膜は、第1酸化膜の一部と一体となったことを特徴とする請求項1記載の半導体圧力センサ。
- 第1半導体基板の凹部の内面に第3酸化膜が形成されたことを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の半導体圧力センサ。
- 第1半導体基板の他方の面に第4酸化膜が形成されたことを特徴とする請求項2または請求項3のいずれかに記載の半導体圧力センサ。
- 第1半導体基板の他方の面から凹部まで貫通する貫通穴が形成されたことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の半導体圧力センサ。
- 第1半導体基板の一方の面に凹部を形成する工程と、
前記凹部を封止するように前記第1半導体基板と第2半導体基板の一方の面とを接合する工程と、
前記第2半導体基板の一方の面で前記凹部と対向する部位に、少なくとも前記凹部と対向する部位と前記第1半導体基板の一方の面と接合された部位との境界を覆うように第1酸化膜を形成する工程と、
前記第2半導体基板の他方の面に歪検出素子を形成する工程と、
を備えた半導体圧力センサの製造方法。 - 第1半導体基板の第2半導体基板と接合される面上における少なくとも凹部の周囲に、第1酸化膜の一部と一体となるように第2酸化膜を形成する工程を備えたことを特徴とする請求項6記載の半導体圧力センサの製造方法。
- 第1半導体基板の凹部の内面に第3酸化膜を形成する工程を備えたことを特徴とする請求項6または請求項7のいずれかに記載の半導体圧力センサの製造方法。
- 第1半導体基板の他方の面に第4酸化膜を形成する工程を備えたことを特徴とする請求項7または請求項8のいずれかに記載の半導体圧力センサの製造方法。
- 第2半導体基板を所望の厚さに薄肉化する工程を備えたことを特徴とする請求項6ないし請求項9のいずれか1項に記載の半導体圧力センサの製造方法。
- 第1半導体基板の他方の面に、凹部に対する相対位置を示す第1目印部を形成する工程を備え、
第2半導体基板の他方の面に歪検出素子を形成する工程では、前記第1目印部を目印として前記歪検出素子を形成することを特徴とする請求項6ないし請求項10のいずれか1項に記載の半導体圧力センサの製造方法。 - 第1半導体基板の他方の面に、凹部に対する相対位置を示す第1目印部を形成する工程と、
第2半導体基板の他方の面に、第1目印部に対する相対位置を示す第2目印部を形成する工程と、
を備え、
前記第2半導体基板の他方の面に歪検出素子を形成する工程では、前記第2目印部を目印として前記歪検出素子を形成することを特徴とする請求項6ないし請求項10のいずれか1項に記載の半導体圧力センサの製造方法。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120830 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120904 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20130129 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |