JP2011156834A - パターン形成装置及びパターン形成方法 - Google Patents
パターン形成装置及びパターン形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011156834A JP2011156834A JP2010022656A JP2010022656A JP2011156834A JP 2011156834 A JP2011156834 A JP 2011156834A JP 2010022656 A JP2010022656 A JP 2010022656A JP 2010022656 A JP2010022656 A JP 2010022656A JP 2011156834 A JP2011156834 A JP 2011156834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printing
- pattern
- ink
- printing roll
- printing plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 123
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims abstract description 868
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 115
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 92
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 91
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 123
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 97
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 39
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 claims description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 35
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 26
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 16
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 42
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 23
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 6
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 6
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 3
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F35/00—Cleaning arrangements or devices
Landscapes
- Printing Methods (AREA)
- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】印刷ロール(2)と、印刷ロールの下方に配置され、印刷ロールにインクを形成する塗布装置(3)と、印刷ロールの上方に配置された第1ベース(8)と、第1ベースの下面に配置された第1ステージ(6)と、第1ステージの下面に配置された第1印刷版(4)と、印刷ロール(2)に形成されたインクが転写される被印刷体(5)と、被印刷体(5)の上面もしくは下面に配置された第1ステージ(7)と、第1印刷版(4)及び被印刷体(5)を洗浄する洗浄機(12)とを有し、洗浄機は洗浄装置(9)を有し、洗浄装置の噴射ノズルは前記第1ベース(8)が存在する側に向けられているパターン形成装置及びパターン形成方法。
【選択図】 図1
Description
1)印刷ロール表面の1/2周長部分にインクベタ膜を形成する。それと同時に、印刷版及び被印刷体がセットされた可動ベースを印刷ロール周長の1/2に相当する距離だけ移動させる。
2)印刷ロール表面の1/2周長部分に形成されたインクベタ膜に印刷版を接触させて、インクベタ膜から不要な部分のインクを除去することにより、印刷ロール表面にインクパターンを形成する。
3)印刷ロールを1/2周長分だけ回転させて、被印刷体へインクパターンを転写する準備をする。
4)印刷ロール表面形成されたインクパターンをガラス基板等の被印刷体に接触させて、インクパターンを被印刷体へ転写する。それと同時に、印刷版上に残っているインクを洗浄機により洗浄,乾燥する。
5)インクパターンが形成された被印刷体を搬出する。それと同時に、印刷ロールを1/2周長分だけ回転させて、使用していない印刷ロール表面にインクベタ膜を形成する準備をする。
6)新しい被印刷体を搬入,セットし、復路のパター形成の準備をする。
1)印刷ロール表面の1/2周長部分にインクベタ膜を形成する。なお、印刷ロールの中心部,塗布装置のスリットの中央部,印刷版の先端部が一致するように、印刷ロール,塗布装置及び印刷版が配置されている。
2)印刷ロール表面の1/2周長部分に形成されたインクベタ膜に印刷版を接触させながら印刷ロールを被印刷体方向に移動させ、インクベタ膜から不要な部分のインクを除去することにより、印刷ロール表面にインクパターンを形成する。
3)印刷ロールを1/2周長分だけ回転させながら印刷ロールの中心部が被印刷体の先端部と一致する位置に印刷ロールを移動させ、印刷ロールの表面に形成されたインクパターンを被印刷体へ転写する準備をする。
4)印刷ロールの表面に形成されたインクパターンをガラス基板等の被印刷体に接触させながら印刷ロールを移動させ、印刷ロールの表面に形成されたインクパターンを被印刷体へ転写する。それと同時に、洗浄機を被印刷体の方向へ移動させながら印刷版上に残存するインクを洗浄,乾燥する。
5)インクパターンが転写,形成された被印刷体を搬出する。
6)新しい被印刷体を搬入,セットし、次のパター形成の準備をする。それと同時に、印刷ロールを塗布装置上の所定の位置へ移動させるとともに、洗浄機を塗布装置側の所定の待機位置に移動する。
1)印刷ロール表面の1/2周長部分にインクベタ膜を形成する。なお、印刷ロールの中心部,塗布装置のスリットの中央部と印刷版の先端部との距離が印刷版の長さと同じになるように、印刷ロール,塗布装置及び印刷版は配置される。
2)印刷ロール表面の1/2周長部分に形成されたインクベタ膜に印刷版を接触させながら印刷ロールを被印刷体方向に移動させ、インクベタ膜から不要な部分のインクを除去することにより、印刷ロール表面にインクパターンを形成する。
3)印刷ロールの回転を停止させた状態で印刷ロールの中心部が被印刷体の先端部と一致する位置に印刷ロールを移動させ、印刷ロールの表面に形成されたインクパターンを被印刷体へ転写する準備をする。
4)印刷ロールの表面に形成されたインクパターンをガラス基板等の被印刷体に接触させながら印刷ロールを転動させ、印刷ロールの表面に形成されたインクパターンを被印刷体へ転写する。それと同時に、洗浄機を被印刷体の方向へ移動させながら印刷版上に残存するインクを除去,洗浄する。
5)インクパターンが転写,形成された被印刷体を搬出する。
6)新しい被印刷体を搬入,セットし、復路のパター形成の準備をする。それと同時に、印刷ロールを塗布装置上の所定の位置へ移動させるとともに、洗浄機を塗布装置側の所定の待機位置に移動する。
1)印刷ロール表面の1/2周長部分にインクベタ膜を形成する。それと同時に、印刷版及び被印刷体がセットされた可動ベース8を印刷ロール周長の1/2に相当する距離だけ移動させる。
2)印刷ロール表面の1/2周長部分に形成されたインクベタ膜に印刷版を接触させて、インクベタ膜から不要な部分のインクを除去することにより、印刷ロール表面にインクパターンを形成する。
3)印刷ロールを1/2周長分だけ回転させて、被印刷体へインクパターンを転写する準備をする。
4)印刷ロール表面形成されたインクパターンをガラス基板等の被印刷体に接触させて、インクパターンを被印刷体へ転写する。それと同時に、印刷版上に残っているインクを洗浄機により洗浄,乾燥する。
5)インクパターンが形成された被印刷体を搬出する。
6)新しい被印刷体を搬入,セットし、復路のパター形成の準備をする。
1)印刷ロール表面の1/2周長部分にインクベタ膜を形成する。なお、印刷ロールの中心部、第1塗布装置のスリットの中央部,第1印刷版の先端部が一致するように、印刷ロール,第1塗布装置及び第1印刷版が配置されている。
2)印刷ロール表面の1/2周長部分に形成されたインクベタ膜に第1印刷版を接触させながら印刷ロールを被印刷体方向に移動させ、インクベタ膜から不要な部分のインクを除去することにより、印刷ロール表面にインクパターンを形成する。
3)印刷ロールを1/2周長分だけ回転させながら印刷ロールの中心部が被印刷体の先端部と一致する位置に印刷ロールを移動させ、印刷ロールの表面に形成されたインクパターンを被印刷体へ転写する準備をする。
4)印刷ロールの表面に形成されたインクパターンをガラス基板等の被印刷体に接触させながら印刷ロールを移動させ、印刷ロールの表面に形成されたインクパターンを被印刷体へ転写する。それと同時に、第1洗浄機を被印刷体の方向へ移動させながら第1印刷版上に残存するインクを洗浄,乾燥する。
5)インクパターンが転写,形成された被印刷体を搬出する。
6)新しい被印刷体を搬入,セットし、復路のパター形成の準備をする。それと同時に、印刷ロールを第2塗布装置上の所定の位置へ移動させるとともに、第1洗浄機を第1塗布装置側の所定の待機位置に移動する。
1)印刷ロール表面の1/2周長部分にインクベタ膜を形成する。なお、印刷ロールの中心部、第1塗布装置のスリットの中央部及び第1印刷版の先端部が一致するように、印刷ロール,第1塗布装置及び第1印刷版は配置される。
2)印刷ロール表面の1/2周長部分に形成されたインクベタ膜に第1印刷版を接触させながら印刷ロールを被印刷体方向に移動させ、インクベタ膜から不要な部分のインクを除去することにより、印刷ロール表面にインクパターンを形成する。
3)印刷ロールの回転を停止させた状態で印刷ロールの中心部が被印刷体の先端部と一致する位置に印刷ロールを移動させ、印刷ロールの表面に形成されたインクパターンを被印刷体へ転写する準備をする。
4)印刷ロールの表面に形成されたインクパターンをガラス基板等の被印刷体に接触させながら印刷ロールを転動させ、印刷ロールの表面に形成されたインクパターンを被印刷体へ転写する。それと同時に、第1洗浄機を被印刷体の方向へ移動させながら第1印刷版上に残存するインクを除去,洗浄する。
5)インクパターンが転写,形成された被印刷体を搬出する。
6)新しい被印刷体を搬入,セットし、復路のパター形成の準備をする。それと同時に、印刷ロールを第2塗布装置上の所定の位置へ移動させるとともに、第1洗浄機を第1塗布装置側の所定の待機位置に移動する。
2 印刷ロール
3,3a,3b 塗布装置
3c,3d スリット
4,4a,4b 印刷版
5,5a,5b 被印刷体
6a,6b,7 ステージ
8,8a,8b ベース
9a,9b 洗浄装置
10a,10b 乾燥装置
11a,11b 洗浄剤等回収装置
12,12a,12b 洗浄機
13 インクベタ膜
13a,13b インクパターン
13c インク
Claims (9)
- 印刷ロールと、
前記印刷ロールの下方に配置され、前記印刷ロールにインクを形成する塗布装置と、
前記印刷ロールの上方に配置された第1ベースと、
前記第1ベースの下面に配置された第1ステージと、
前記第1ステージの下面に配置された第1印刷版と、
前記印刷ロールに形成されたインクが転写される被印刷体と、
前記被印刷体の上面もしくは下面に配置された第1ステージと、
前記第1印刷版及び被印刷体を洗浄する洗浄機とを有し、
前記洗浄機は洗浄装置を有し、
前記洗浄装置の噴射ノズルは前記第1ベースが存在する側に向けられているパターン形成装置。 - 請求項1において、
前記被印刷体の上面に前記第1ステージが配置され、
前記第1ベースは可動し、
前記洗浄機は固定されているパターン形成装置。 - 請求項1において、
前記被印刷体の上面に前記第1ステージが配置され、
前記第1ベースは固定され、
前記洗浄機は可動するパターン形成装置。 - 請求項1において、
前記印刷ロールの下方に配置された第2ベースを有し、
前記被印刷体の下面に前記第1ステージが配置され、
前記第1ベース及び前記第2ベースは固定され、
前記洗浄機は可動するパターン形成装置。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
前記第1のベースの下面に第3ステージが配置され、
前記第3ステージの下面に第2印刷版が配置されるパターン形成装置。 - 請求項1乃至5のいずれか一項において、
前記洗浄機は乾燥装置を含むパターン形成装置。 - 請求項1乃至6のいずれか一項において、
前記洗浄機は洗浄剤等回収装置を含むパターン形成装置。 - 請求項1乃至7のいずれか一項において、
前記洗浄機が2基以上の洗浄装置を含むパターン形成装置。 - 塗布装置のスリットを移動させて印刷ロールに接触させる工程と、
前記スリットを移動させて、前記印刷ロールの表面にインクベタ膜が形成される工程と、
前記インクベタ膜を前記印刷ロールと接触させ、前記印刷版の表面に前記インクパターンが形成される工程と、
洗浄装置の上方に配置された前記印刷版が前記洗浄装置によって洗浄される工程と、
前記インクパターンが被印刷体へ転写される工程とを有するパターン形成方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010022656A JP5152216B2 (ja) | 2010-02-04 | 2010-02-04 | パターン形成装置及びパターン形成方法 |
US13/020,916 US8640616B2 (en) | 2010-02-04 | 2011-02-04 | Printing apparatus and printing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010022656A JP5152216B2 (ja) | 2010-02-04 | 2010-02-04 | パターン形成装置及びパターン形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011156834A true JP2011156834A (ja) | 2011-08-18 |
JP5152216B2 JP5152216B2 (ja) | 2013-02-27 |
Family
ID=44340479
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010022656A Expired - Fee Related JP5152216B2 (ja) | 2010-02-04 | 2010-02-04 | パターン形成装置及びパターン形成方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8640616B2 (ja) |
JP (1) | JP5152216B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013111911A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン転写装置およびパターン転写方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101093075B1 (ko) * | 2011-04-04 | 2011-12-13 | 한국기계연구원 | 패턴 인쇄 장치 |
KR20130101328A (ko) | 2012-03-05 | 2013-09-13 | 삼성전자주식회사 | 인쇄판 세정 장치 및 이를 포함하는 인쇄 장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1111037A (ja) * | 1997-06-24 | 1999-01-19 | Heidelberger Druckmas Ag | 版を洗浄する方法 |
JP2006124546A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Hitachi Chem Co Ltd | 印刷インキ組成物、レジストパターンの形成法、電子部品の製造法及び電子部品 |
JP2006281483A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toppan Printing Co Ltd | オフセット印刷装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3689536B2 (ja) | 1997-08-12 | 2005-08-31 | 光村印刷株式会社 | 画像形成法 |
KR101222947B1 (ko) * | 2005-06-30 | 2013-01-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 인쇄용 용제, 및 그를 이용한 인쇄용 패턴 조성물 및 패턴 형성방법 |
KR101138428B1 (ko) * | 2005-09-06 | 2012-04-26 | 삼성전자주식회사 | 잉크 패턴 인쇄 장치, 이를 이용한 잉크 패턴 형성 방법 및액정 표시 장치의 제조 방법 |
KR101255294B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2013-04-23 | 엘지디스플레이 주식회사 | 인쇄장비 및 이를 이용한 액정표시소자 제조방법 |
KR101192748B1 (ko) | 2005-12-30 | 2012-10-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 인쇄장비 및 이를 이용한 액정표시소자 제조방법 |
KR101232168B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2013-02-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 인쇄 장치 시스템, 및 그를 이용한 패턴 형성방법 및액정표시소자 제조방법 |
JP4623043B2 (ja) | 2007-04-11 | 2011-02-02 | 日立化成工業株式会社 | 液晶表示装置 |
JP2010254917A (ja) | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Hitachi Chem Co Ltd | レジストインキおよびそれを用いたレジストパターンの形成方法 |
KR101733585B1 (ko) * | 2009-07-28 | 2017-05-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 잉크 패턴 형성 방법 및 잉크 패턴 인쇄 장치 |
-
2010
- 2010-02-04 JP JP2010022656A patent/JP5152216B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-02-04 US US13/020,916 patent/US8640616B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1111037A (ja) * | 1997-06-24 | 1999-01-19 | Heidelberger Druckmas Ag | 版を洗浄する方法 |
JP2006124546A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Hitachi Chem Co Ltd | 印刷インキ組成物、レジストパターンの形成法、電子部品の製造法及び電子部品 |
JP2006281483A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toppan Printing Co Ltd | オフセット印刷装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013111911A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン転写装置およびパターン転写方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8640616B2 (en) | 2014-02-04 |
JP5152216B2 (ja) | 2013-02-27 |
US20110185932A1 (en) | 2011-08-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4813185B2 (ja) | ウェハの洗浄装置及び洗浄方法 | |
TWI300594B (ja) | ||
JP6086339B1 (ja) | アニロックスロールの自動洗浄装置とその洗浄方法 | |
JP2007243030A (ja) | 平坦化装置 | |
JP2006281483A (ja) | オフセット印刷装置 | |
JP5240069B2 (ja) | スクリーン印刷用マスクのクリーニング装置、スクリーン印刷機及びスクリーン印刷用マスクのクリーニング方法 | |
JP5152216B2 (ja) | パターン形成装置及びパターン形成方法 | |
KR101580738B1 (ko) | 반전 오프셋 인쇄 장치 및 방법 | |
JPH0414494B2 (ja) | ||
KR101419573B1 (ko) | 옵셋 인쇄장치 | |
KR20130101328A (ko) | 인쇄판 세정 장치 및 이를 포함하는 인쇄 장치 | |
JP2001054765A (ja) | 基板洗浄装置 | |
JP2013094685A (ja) | ノズルメンテナンス装置及びそれを用いた塗布処理装置 | |
JP2012232269A (ja) | 基板浮上型搬送機構用スリットコート式塗布装置 | |
KR101501193B1 (ko) | 스테이지 이동을 이용한 분할 오프 방식의 리버스 옵셋 인쇄 장치 및 방법 | |
KR101207069B1 (ko) | 롤 프린팅 장치 | |
KR101705941B1 (ko) | 롤 프린팅 장치 및 이를 이용한 롤 프린팅 방법 | |
JP2008124103A (ja) | 基板の表面処理方法及び基板の表面処理装置 | |
JP5007505B2 (ja) | 凸版印刷装置、印刷方法、印刷物の製造方法、有機el素子の製造方法 | |
JPH04119324A (ja) | 液晶パネル製造装置 | |
KR100839154B1 (ko) | 포토레지스트 클리닝 장치 | |
KR20100078255A (ko) | 클리닝 장치 및 이를 이용한 인쇄 시스템 | |
JP2006272110A (ja) | 塗工方法及び装置並びにそれに用いる塗工液吸引装置 | |
JP6114486B1 (ja) | 印刷装置とその印刷方法 | |
CN107278174A (zh) | 采用具有摩擦增强图案的周边表面在湿式化学工艺期间接触基板的压模制品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120329 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120626 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120801 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121119 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |