JP2011156666A - アクチュエータの駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の駆動素子間で性能ばらつきが存在する場合でも、それら駆動素子間の同一の作動を実現することが可能な、アクチュエータの駆動装置を提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータを駆動するドライバＩＣ４７は、活性部性能データに基づいて、複数の活性部４６のそれぞれについて基準電圧を設定する基準電圧設定回路５５と、基準電圧設定回路５５で設定された基準電圧に応じて、複数の活性部４６にそれぞれ供給する駆動パルス信号の電圧レベルを個別に調整し、調整された駆動パルス信号を複数の活性部４６に出力する出力部５３と、を有する。
【選択図】図６

Description

本発明は、複数の駆動素子を備えたアクチュエータを駆動する駆動装置に関する。

従来から、様々な技術分野において、複数の駆動対象をそれぞれ独立して駆動する複数の駆動素子を備えたアクチュエータが存在する。通常、このようなアクチュエータは、駆動装置（ドライバＩＣ）から、複数の駆動素子に対して、所定の電圧レベル（波高値）を有する駆動パルス信号がそれぞれ供給されることによって、複数の駆動素子が作動するように構成される。

例えば、本願と出願人が同一の出願である特許文献１には、インクジェットヘッドの複数のノズルからそれぞれ液滴を噴射させる圧電アクチュエータが開示されている。この特許文献１の圧電アクチュエータは、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を備えた流路ユニットに設けられており、各圧力室内のインクに圧力を付与して、対応するノズルからインクの液滴を噴射させるものである。より具体的には、特許文献１の圧電アクチュエータは、流路ユニットの複数の圧力室を覆うように配置された圧電層と、この圧電層の両面にそれぞれ設けられた２種類の電極（複数の個別電極と共通電極）とを有する。複数の個別電極は複数の圧力室とそれぞれ対向して設けられ、また、共通電極は圧電層を挟んで複数の個別電極と共通に対向している。

そして、駆動装置（ドライバＩＣ）から圧電アクチュエータの複数の個別電極に対して、所定の電圧レベル（パルス波高値）を有する駆動パルス信号が供給されると、個別電極と共通電極間に電圧が印加されることによって、個別電極と共通電極とに挟まれた圧電層部分（以下、活性部という）に圧電変形が生じ、圧力室内のインクに圧力が付与される。即ち、この圧電アクチュエータにおいては、複数の個別電極と共通電極とに挟まれた複数の活性部の各々が、所定電圧レベルの駆動パルス信号が印加されたときに圧力室内のインクに圧力を付与する、１つの駆動素子を構成する。

特開２００８−２２１４６４号公報

ところで、上述したような複数の駆動素子を有するアクチュエータにおいて、複数の駆動素子に同じ電圧レベルの駆動パルス信号を供給して、複数の駆動対象をそれぞれ同程度に駆動するには、複数の駆動素子の性能が同じであることが前提となる。しかし、実際には、どのような構造のアクチュエータであっても、程度の差はあれ、複数の駆動素子の間で性能にばらつきが生じることは避けられない。

例えば、前述の特許文献１に記載された圧電アクチュエータにおいては、圧電層の活性部は、電圧が印加されたときに電荷を蓄え（充電）、電圧印加が解除されたときに蓄えた電荷を放出（放電）することから、一種のコンデンサとみなすことができるが、複数の活性部の間で静電容量の値がばらつくことがよくある。その要因としては、電極面積のばらつき、活性部の厚みばらつき、製造工程で生じた応力のばらつき、及び、圧電材料の面内不均一に起因する圧電定数のばらつき等が考えられる。このように、複数の活性部で静電容量がばらつく場合には、電圧レベルが等しい駆動パルス信号がそれぞれ供給されて、複数の活性部に同じ電圧が印加されても、活性部の変形量は、静電容量に応じてばらついてしまう。例えば、厚みが小さい（静電容量が大きい）活性部においては変形量が大きくなり、厚みが大きい（静電容量が小さい）活性部においては変形量が小さくなってしまう。

このように、複数の駆動素子間に性能のばらつきが存在する場合に、それぞれ供給される駆動パルス信号の電圧レベルが同じであると、性能ばらつきに応じて複数の駆動素子の作動が異なってしまうということは、前述した圧電アクチュエータに限った話ではなく、その他の様々なアクチュエータにも共通に起こり得る。

本発明の目的は、複数の駆動素子間で性能ばらつきが存在する場合でも、それら駆動素子間の同一の作動を実現することが可能な、アクチュエータの駆動装置を提供することである。

第１の発明のアクチュエータの駆動装置は、アクチュエータの複数の駆動素子に対してそれぞれ駆動パルス信号を供給して、前記複数の駆動素子を作動させる、アクチュエータの駆動装置であって、
外部から入力された、前記駆動素子の性能に関連する素子性能データに基づいて、前記複数の駆動素子のそれぞれについて基準電圧を設定する基準電圧設定部と、前記基準電圧設定部で設定された基準電圧に応じて、前記複数の駆動素子にそれぞれ供給する前記駆動パルス信号の電圧レベルを個別に調整し、調整された前記駆動パルス信号を前記複数の駆動素子に出力する出力部と、を有することを特徴とするものである。

本発明においては、駆動素子の性能に関連する素子性能データに基づいて、複数の駆動素子のそれぞれについて基準電圧が設定され、この基準電圧に応じて複数の駆動素子にそれぞれ供給される駆動パルス信号の電圧レベルが個別に調整される。つまり、複数の駆動素子間で性能ばらつきが存在する場合でも、その性能に応じて駆動パルス信号の電圧レベルが個別に設定されるため、複数の駆動素子の作動を等しくすることができる。

第２の発明のアクチュエータの駆動装置は、前記第１の発明において、前記アクチュエータは、圧電層とこの圧電層に設けられた複数の第１電極及び複数の第２電極を有する圧電アクチュエータであり、前記複数の駆動素子が、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とに挟まれた圧電層部分からなる複数の活性部であることを特徴とするものである。

圧電アクチュエータにおいては、圧電層の、複数の第１電極と複数の第２電極との間に挟まれた複数の活性部間で静電容量にばらつきが生じることがある。複数の活性部間にこのような静電容量ばらつきが存在すると、同じ電圧レベルの駆動パルス信号を印加しても作動（圧電変形）にばらつきが生じるため、活性部ごとで駆動パルス信号の電圧レベルが調整されることが好ましい。

第３の発明のアクチュエータの駆動装置は、前記第１又は第２の発明において、前記アクチュエータは、前記複数の駆動素子が液滴噴射装置の複数のノズルにそれぞれ噴射圧力を付与するように構成された、液滴噴射装置のアクチュエータであることを特徴とするものである。

複数のノズルから液滴を噴射させる液滴噴射装置のアクチュエータにおいては、複数のノズル間で液滴噴射速度がばらつかないように、複数の駆動素子間の作動を等しくし、よって、複数のノズル内の液体に付与する噴射圧力を等しくすることが望まれる。そこで、複数の駆動素子に性能のばらつきがあっても作動を等しくすることができるように、駆動素子ごとで駆動パルス信号の電圧レベルが調整されることが好ましい。

第４の発明のアクチュエータの駆動装置は、前記第１〜第３の何れかの発明において、前記基準電圧設定部は、前記基準電圧を、所定の電源電圧以下の値に設定するものであり、前記出力部は、各駆動素子の電源との接続／遮断を切り換える第１スイッチと、各駆動素子のグランドとの接続／遮断を切り換える第２スイッチと、前記第１スイッチと前記第２スイッチのＯＮ／ＯＦＦを切り換えて各駆動素子への駆動パルス信号の供給を制御するスイッチ制御回路と、各駆動素子へ供給される駆動パルス信号の電圧レベルと前記基準電圧とを比較し、比較信号を前記スイッチ制御回路に出力する比較器とを有することを特徴とするものである。

出力部は、スイッチ制御回路により、各駆動素子と電源との接続／遮断を切り換える第１スイッチと、各駆動素子とグランドとの接続／遮断を切り換える第２スイッチをそれぞれ制御することにより、所定の電圧レベルの駆動パルス信号を駆動素子へ出力する。ここで、基準電圧設定部において、各駆動素子の駆動パルス信号の電圧レベルが、素子性能に応じて電源電圧以下の値で設定される。また、比較器において、駆動パルス信号の電圧レベルと前記基準電圧とが比較され、その比較信号がスイッチ制御回路へ出力される。そして、スイッチ制御回路は、比較器からの比較信号に基づいて第１スイッチと第２スイッチを制御し、各駆動素子へ出力される駆動パルス信号の電圧レベルを、電源電圧以下で設定された所定の基準電圧に近づける。本発明によれば、簡単な回路構成で、電圧レベルの異なる駆動パルス信号を生成することができる。

第５の発明のアクチュエータの駆動装置は、前記第４の発明において、前記スイッチ制御回路は、前記第２スイッチがＯＦＦの状態で、前記比較器の比較信号から、前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記基準電圧よりも高いと判断したときには前記第１スイッチをＯＦＦにし、前記比較器の比較信号から、前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記基準電圧よりも低いと判断したときには前記第１スイッチをＯＮにすることを特徴とするものである。

本発明においては、第２スイッチをＯＦＦにしてグランドと駆動素子を遮断した状態で、第１スイッチのＯＮ／ＯＦＦ制御のみを行うことによって、駆動パルス信号の電圧レベルを基準電圧に近づける。このように、駆動素子に電圧を印加する際には第２スイッチのＯＮ／ＯＦＦ制御を行わないため、スイッチ制御が簡単になる。

第６の発明のアクチュエータの駆動装置は、前記第４の発明において、前記スイッチ制御回路は、前記比較器の比較信号から、前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記基準電圧よりも高いと判断したときには、前記第１スイッチをＯＦＦにするとともに前記第２スイッチをＯＮにし、前記比較器の比較信号から、前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記基準電圧よりも低いと判断したときには、前記第１スイッチをＯＮにするとともに前記第２スイッチをＯＦＦにすることを特徴とするものである。

本発明においては、駆動パルス信号の電圧レベルを基準電圧に近づけるために、駆動素子と電源との間の第１スイッチだけでなく、駆動素子とグランドとの間の第２スイッチについても、ＯＮ／ＯＦＦ制御を行う。即ち、駆動パルス信号の電圧レベルが基準電圧を超えたときには、第１スイッチをＯＦＦにするだけでなく第２スイッチをＯＮにすることで、積極的に電圧レベルを低下させ、速やかに基準電圧に近づけることが可能となる。

第７の発明のアクチュエータの駆動装置は、前記第４の発明において、前記基準電圧設定部は、前記複数の駆動素子のそれぞれについて、第１基準電圧と、この第１基準電圧よりも高い第２基準電圧の、２つの前記基準電圧を設定し、前記出力部は、前記駆動パルス信号の電圧レベルと前記第１基準電圧とを比較する第１比較器と、前記駆動パルス信号の電圧レベルと前記第２基準電圧とを比較する第２比較器とを有し、
前記スイッチ制御回路は、前記第１比較器の比較信号と前記第２比較器の比較信号に基づいて、前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記第１基準電圧と前記第２基準電圧の間であると判断したときには、前記第１スイッチと前記第２スイッチを共にＯＦＦにし、前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記第１基準電圧よりも低くなったと判断したときには、前記第１スイッチをＯＮにするとともに前記第２スイッチをＯＦＦにし、前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記第２基準電圧よりも高くなったと判断したときには、前記第１スイッチをＯＦＦにするとともに前記第２スイッチをＯＮにすることを特徴とするものである。

本発明においては、駆動パルス信号の電圧レベルを、第１基準電圧と比較する第１比較器と、それよりも高い第２基準電圧と比較する第２比較器を使用する。そして、電圧レベルが第１基準電圧と第２基準電圧との間にあるときには第１スイッチと第２スイッチを共にＯＦＦ、第１基準電圧を下回ったときには電源に接続する第１スイッチをＯＮ、第２基準電圧を上回ったときにはグランドに接続する第２スイッチをＯＮにする。これによれば、通常は、第１基準電圧に近づくように電圧レベルが調整される一方で、ノイズが混入して電圧レベルが急激に上昇して第２基準電圧を超えたときには、電圧レベルをすぐに低下させるために第２スイッチがＯＮに切り換えられるため、ノイズが混入したときに電圧レベルが基準電圧から大きく乖離してしまうのを抑えることができる。

第８の発明のアクチュエータの駆動装置は、前記第１〜第７の何れかの発明において、前記出力部は、外部から入力された、前記複数の駆動素子をそれぞれ駆動するための駆動データと前記基準電圧設定部で設定された基準電圧に基づいて、前記複数の駆動素子への駆動パルス信号を生成して出力するものであり、先に前記素子性能データが前記基準電圧設定部に入力されて、前記基準電圧設定部において前記複数の駆動素子のそれぞれについての基準電圧の設定が完了した後に、前記駆動データが入力されて、前記出力部において前記駆動パルス信号の生成が行われることを特徴とするものである。

本発明においては、駆動素子を駆動するための駆動データが入力される前に、全ての駆動素子についての基準電圧の設定を終えておき、駆動データが入力されたときに、既に設定を終えた基準電圧を用いて駆動パルス信号を生成する。つまり、駆動データが入力される度に基準電圧の設定を行うわけではないため、基準電圧設定用の素子性能データの送信が素子駆動前の１回だけとなり、データ転送時間や駆動パルス信号生成にかかる時間が短くなる。

第９の発明のアクチュエータの駆動装置は、前記第１〜第８の何れかの発明において、前記複数の駆動素子は、それぞれ２以上の前記駆動素子で構成される複数の駆動素子群に区分され、前記基準電圧設定部は、１つの前記駆動素子群に属する全ての駆動素子に対して、同じ基準電圧を設定することを特徴とするものである。

複数の駆動素子のうち、いくつかまとまった駆動素子の間では素子性能が同じである場合、１つの駆動素子群に属する全ての駆動素子については、基準電圧の設定を同じにすることで、素子性能データのデータ量を減らしたり、あるいは、回路構成を簡素化したりすることが可能となる。

本発明によれば、アクチュエータの複数の駆動素子間で性能ばらつきが存在する場合でも、その性能に応じて駆動パルス信号の電圧レベルが個別に設定されるため、複数の駆動素子の作動を等しくすることができる。

本実施形態に係るインクジェットプリンタを概略的に示す平面図である。 インクジェットヘッドの平面図である。 図２の一部拡大図である。 図３のIV-IV線断面図である。 ドライバＩＣから圧電アクチュエータへ供給される信号（非噴射信号と駆動パルス信号）の波形図である。 ドライバＩＣの回路構成を概略的に示すブロック図である。 出力部の、１つの活性部へ駆動パルス信号を出力する回路構成を示す回路図である。 プリンタの電気的構成を概略的に示すブロック図である。 変更形態の出力部の回路図である。

次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、記録用紙に対してインクの液滴を噴射するインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタに本発明を適用した一例である。

まず、本実施形態のインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。図１は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。この図１に示すように、プリンタ１は、所定の走査方向（図１の左右方向）に沿って往復移動可能に構成されたキャリッジ２と、このキャリッジ２に搭載されたインクジェットヘッド３と、被印刷媒体である記録用紙１００を、走査方向と直交する搬送方向に搬送する搬送機構４等を備えている。

キャリッジ２は、走査方向（図１の左右方向）に平行に延びる２本のガイド軸１７に沿って往復移動可能に構成されている。また、キャリッジ２には、無端ベルト１８が連結されており、キャリッジ駆動モータ１９によって無端ベルト１８が走行駆動されたときに、キャリッジ２は、無端ベルト１８の走行に伴って走査方向に移動するようになっている。尚、プリンタ１には、走査方向に間隔を空けて配列された多数の透光部（スリット）を有するリニアエンコーダ１０が設けられている。一方、キャリッジ２には、発光素子と受光素子とを有する透過型のフォトセンサ１１が設けられている。そして、プリンタ１は、キャリッジ２の移動中にフォトセンサ１１が検出したリニアエンコーダ１０の透光部の計数値（検出回数）から、キャリッジ２の走査方向に関する現在位置を認識できるようになっている。

このキャリッジ２には、インクジェットヘッド３が搭載されている。インクジェットヘッド３は、その下面（図１の紙面向こう側の面）に多数のノズル３０（図２〜図４参照）を備えている。このインクジェットヘッド３は、搬送機構４により図１の下方（搬送方向）に搬送される記録用紙１００に対して、図示しないインクカートリッジから供給されたインクを多数のノズル３０から噴射するように構成されている。

搬送機構４は、インクジェットヘッド３よりも搬送方向上流側に配置された給紙ローラ１２と、インクジェットヘッド３よりも搬送方向下流側に配置された排紙ローラ１３とを有する。給紙ローラ１２と排紙ローラ１３は、それぞれ、給紙モータ１４と排紙モータ１５により回転駆動される。そして、この搬送機構４は、給紙ローラ１２により、記録用紙１００を図１の上方からインクジェットヘッド３へ搬送するとともに、排紙ローラ１３により、インクジェットヘッド３によって画像や文字等が記録された記録用紙１００を図１の下方へ排出する。

次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２はインクジェットヘッドの平面図、図３は図２の一部拡大図、図４は図３のIV-IV線断面図である。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド３は、ノズル３０や圧力室２４を含むインク流路が形成された流路ユニット６と、圧力室２４内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ７とを備えている。

まず、流路ユニット６について説明する。図４に示すように、流路ユニット６はキャビティプレート２０、ベースプレート２１、マニホールドプレート２２、及びノズルプレート２３を備えており、これら４枚のプレート２０〜２３が積層状態で接合されている。このうち、キャビティプレート２０、ベースプレート２１及びマニホールドプレート２２は、それぞれ、ステンレス鋼等の金属材料からなる平面視で略矩形状の板である。そのため、これら３枚のプレート２０〜２２に、後述するマニホールド２７や圧力室２４等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。また、ノズルプレート２３は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート２２の下面に接着剤で接合される。あるいは、このノズルプレート２３も、他の３枚のプレート２０〜２２と同様にステンレス鋼等の金属材料で形成されていてもよい。

図２〜図４に示すように、４枚のプレート２０〜２３のうち、最も上方に位置するキャビティプレート２０には、平面に沿って配列された複数の圧力室２４がプレート２０を貫通する孔により形成されている。また、複数の圧力室２４は、搬送方向（図２の上下方向）に千鳥状に２列に配列されている。また、図４に示すように、複数の圧力室２４は上下両側から後述の振動板４０及びベースプレート２１によりそれぞれ覆われている。さらに、各圧力室２４は、平面視で走査方向（図２の左右方向）に長い、略楕円形状に形成されている。

図３、図４に示すように、ベースプレート２１の、平面視で圧力室２４の長手方向両端部と重なる位置には、それぞれ連通孔２５，２６が形成されている。また、マニホールドプレート２２には、平面視で、２列に配列された圧力室２４の連通孔２５側の部分と重なるように、搬送方向に延びる２つのマニホールド２７が形成されている。これら２つのマニホールド２７は、後述の振動板４０に形成されたインク供給口２８に連通しており、図示しないインクタンクからインク供給口２８を介してマニホールド２７へインクが供給される。さらに、マニホールドプレート２２の、平面視で複数の圧力室２４のマニホールド２７と反対側の端部と重なる位置には、それぞれ、複数の連通孔２６に連なる複数の連通孔２９も形成されている。

さらに、ノズルプレート２３の、平面視で複数の連通孔２９にそれぞれ重なる位置には、複数のノズル３０が形成されている。図２に示すように、複数のノズル３０は、搬送方向に沿って２列に配列された複数の圧力室２４の、マニホールド２７と反対側の端部とそれぞれ重なるように配置され、２列のノズル列を構成している。

そして、図４に示すように、マニホールド２７は連通孔２５を介して圧力室２４に連通し、さらに、圧力室２４は、連通孔２６，２９を介してノズル３０に連通している。このように、流路ユニット６内には、マニホールド２７から圧力室２４を経てノズル３０に至る個別インク流路３１が複数形成されている。

尚、図２においては、説明の簡単のため、１つのインク供給口２８に連なる１種類の流路構造（マニホールド２７、圧力室２４、ノズル３０等）のみが描かれているが、インクジェットヘッド３が、図２に示されている流路構造が走査方向に複数並べて設けられた構成を備え、複数色（例えば、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの４色）のインクをそれぞれ噴射可能な、カラーインクジェットヘッドであってもよい。

次に、圧電アクチュエータ７について説明する。図２〜図４に示すように、圧電アクチュエータ７は、複数の圧力室２４を覆うように流路ユニット６（キャビティプレート２０）の上面に配置された振動板４０と、この振動板４０の上面に、複数の圧力室２４と対向するように配置された圧電層４１と、圧電層４１の上面に配置された複数の個別電極４２とを備えている。

振動板４０は、平面視で略矩形状の金属板であり、例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。この振動板４０は、キャビティプレート２０の上面に複数の圧力室２４を覆うように配設された状態で、キャビティプレート２０に接合されている。また、導電性を有する振動板４０の上面は、圧電層４１の下面側に配置されることによって、上面の複数の個別電極４２との間で圧電層４１に厚み方向の電界を生じさせる、共通電極を兼ねている。この共通電極としての振動板４０は、圧電アクチュエータ７を駆動するドライバＩＣ４７のグランド配線に接続されて、常にグランド電位に保持される。

圧電層４１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなる。図２に示すように、この圧電層４１は、振動板４０の上面において、複数の圧力室２４に跨って連続的に形成されている。

圧電層４１の上面の、複数の圧力室２４と対向する領域には、複数の個別電極４２がそれぞれ配置されている。各々の個別電極４２は圧力室２４よりも一回り小さい略楕円形の平面形状を有し、圧力室２４の中央部と対向している。また、複数の個別電極４２の端部からは、ドライバＩＣ４７を実装したフレキシブル配線基板（図示省略）と接続される、複数の接点部４５が個別電極４２の長手方向に沿ってそれぞれ引き出されている。尚、上述した複数の個別電極４２が本願における複数の第１電極に相当し、また、共通電極としての振動板４０のうちの、複数の個別電極４２とそれぞれ対向して圧電層４１を挟む複数の部分が、本願における複数の第２電極に相当する。

また、複数の個別電極４２と共通電極としての振動板４０とに挟まれた、複数の圧電層部分（活性部４６）は、予め、その厚み方向に分極されている。そして、個別電極４２と振動板４０との間に電位差（電圧）が発生したときには、活性部４６には圧電変形（圧電歪み）が発生し、この変形によって、その活性部４６と対向する圧力室２４内のインクに圧力が付与されることになる。即ち、１つの活性部４６が、１つの圧力室２４内に噴射圧力を付与してノズル３０からインクの液滴を噴射させる、本願発明における１つの駆動素子に相当する。

以上の圧電アクチュエータ７には、この圧電アクチュエータ７を駆動するドライバＩＣ４７（駆動装置）を実装した、図示しないフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）が接続され、ＦＰＣ上の配線を介してドライバＩＣ４７と複数の個別電極４２、及び、共通電極としての振動板４０が電気的に接続される。そして、ドライバＩＣ４７から個別電極４２に対して、所定のパルス波形と電圧レベル（波高値）を有する駆動パルス信号（図５（ｂ）〜（ｄ）参照）が供給されることにより、活性部４６に印加される電圧が駆動パルスＰの電圧レベルとグランドとの間で切り換えられる。

次に、駆動パルス信号が供給されたときの、圧電アクチュエータ７の各活性部４６の動作について説明する。ある個別電極４２に対して、ドライバＩＣ４７から駆動パルス信号が供給されると、駆動パルスＰ（図５（ｂ）〜（ｄ）参照）が供給されたタイミングにおいて、個別電極４２とグランド電位に保持されている共通電極としての振動板４０との間に挟まれた活性部４６に電圧が印加され、活性部４６に厚み方向の電界が作用する。この電界の方向は活性部４６の分極方向と平行であるから、個別電極４２と対向する領域（活性領域）の圧電層４１が厚み方向と直交する面方向に収縮する。ここで、圧電層４１の下側の振動板４０はキャビティプレート２０に固定されているため、この振動板４０の上面に位置する圧電層４１が面方向に収縮するのに伴って、振動板４０の圧力室２４を覆う部分が圧力室２４側に凸となるように変形する（ユニモルフ変形）。このとき、圧力室２４内の容積が減少するために圧力室２４内のインク圧力が上昇し、この圧力室２４に連通するノズル３０からインクが噴射される。

次に、圧電アクチュエータ７に駆動パルス信号を供給する、ドライバＩＣ４７について詳細に説明する。このドライバＩＣ４７は、各活性部４６（個別電極４２）に対して、図５に示す４種類の信号の中から１種類の信号を選択して供給する。これら４種類の信号のうち、１種類の信号（図５（ａ））は駆動パルスＰを有さない（活性部４６に電圧を印加しない）非噴射信号である。また、残りの３種類の信号（図５（ｂ）〜（ｄ））は、パルス波形が互いに異なる駆動パルス信号であり、多階調印字を可能とするために、１つのノズル３０からサイズの異なる３種類の液滴（小玉、中玉、大玉）を噴射させる信号である。より具体的には、図５（ｂ）〜（ｄ）に示すように、３種類の駆動パルス信号は、１印字周期（記録用紙１００に１ドットを形成する周期）に含まれる駆動パルスＰの数が異なっている。尚、駆動パルスＰの後に印加される、駆動パルスＰよりもパルス幅の短いパルスＰ’は、インクの圧力を安定させる安定化パルスである。また、ドライバＩＣ４７は、後述するプリンタ１の制御装置８（図８参照）から送信された波形選択データに基づいて、各活性部４６に対して、図５に示される４種類の信号のうちの１つを選択する。

図６は、ドライバＩＣ４７の回路構成を概略的に示すブロック図である。図６に示すように、ドライバＩＣ４７は、シフトレジスタ５０、ラッチ回路５１、波形選択回路５２、及び、出力部５３を有する。シフトレジスタ５０には、プリンタ１の制御装置８から、複数の活性部４６のそれぞれに対応した波形選択データが入力される。１つの活性部４６に対応する波形選択データは、後述する波形選択回路５２において図５に示す４種類の信号から１種類の信号を選択することができるように、２ビットのビットデータの組み合わせ（計４通り）で表現される。また、１印字周期における、複数の活性部４６にそれぞれ対応する波形選択データの総ビット数は、（２ビット）×（活性部４６の総数）となり、これら多数のビットデータは制御装置８からドライバＩＣ４７へシリアル入力される。尚、上述した波形選択データが、本発明における「駆動素子を駆動するための駆動データ」に相当する。

シフトレジスタ５０は、上記のシリアル入力された多数のビットデータを、パラレル変換してラッチ回路５１へ順次出力する。また、ラッチ回路５１は、シフトレジスタ５０からパラレル出力される多数のビットデータ（波形選択データ）を、全てのデータの入力が完了するまで保持する。そして、全ての波形選択データの入力が完了すると、保持している波形選択データを波形選択回路５２へパラレル出力する。

波形選択回路５２には、制御装置８から図５（ａ）〜（ｄ）に示す４種類の信号のパルス波形データが入力される。そして、波形選択回路５２は、ラッチ回路５１から入力された、複数の活性部４６のそれぞれに対応する２ビットの波形選択データに基づいて、４種類の信号の中から１種類を選択し、その波形信号を出力部５３へ出力する。

前記波形選択回路５２から出力される波形信号は、シフトレジスタ５０、ラッチ回路５１、及び、波形選択回路５２等のロジック回路の制御電圧レベル（例えば、３．３Ｖ）の信号である。そして、出力部５３は、この波形選択回路５２から入力された波形信号を、活性部４６を実際に駆動するための、電源電圧（例えば、２８Ｖ）に近い所定の電圧レベルまで増幅して駆動パルス信号を生成し、活性部４６（個別電極４２）へ駆動パルス信号を出力する。

ところで、複数の活性部４６間で性能の違いが存在する場合に、複数の活性部４６にそれぞれ供給する駆動パルス信号の電圧レベルが同じであると、性能の違いによって作動（圧電変形）がばらついてしまう。このように複数の活性部４６間で作動が異なってしまうと、複数のノズル３０間で液滴噴射速度がばらつくことになってしまい、その結果、着弾位置ズレが生じるなど、印字品質の低下につながる。そこで、本実施形態のドライバＩＣ４７は、複数の活性部４６間での性能の違いによって作動（圧電変形）がばらつくことを抑制するため、出力部５３において、複数の活性部４６にそれぞれ供給される駆動パルス信号の電圧レベル（駆動パルスＰの波高値）を個別に調整するように構成されている。この出力部５３における電圧レベルの個別調整を可能とするために、図６に示すように、ドライバＩＣ４７は、ラッチ回路５４、基準電圧設定回路５５、電圧発生部５６をさらに備えている。

前述したシフトレジスタ５０には、波形選択データの他、活性部性能データ（素子性能データ）が制御装置８から入力される。この活性部性能データは、複数の活性部４６のそれぞれの性能に関するデータであり、駆動パルス信号の電圧レベルを多段階で調整するために用いられる。例えば、活性部４６の性能に応じて電圧レベルを４段階で調整する場合には、４通りの電圧レベルを表現するために、活性部性能データは２ビットのビットデータで構成される。

尚、活性部４６の性能パラメータとしては様々なものを採用できる。例えば、圧電層４１の活性部４６は、厚みばらつき等の要因によってその静電容量値がばらつくことがよくあり、静電容量値が異なると、同じ電圧を印加しても活性部４６の圧電変形が異なることになる。そこで、活性部性能データは、予め測定された各活性部４６の静電容量値に応じて設定されてもよい。あるいは、活性部４６の厚みに応じて活性部性能データが設定されてもよい。

複数の活性部４６にそれぞれ対応する活性部性能データは制御装置８からドライバＩＣ４７へシリアル入力され、シフトレジスタ５０は、上記のシリアル入力された活性部性能データを、パラレル変換してラッチ回路５４へ出力する。

ラッチ回路５４は、シフトレジスタ５０からパラレル出力される活性部性能データを、全てのデータの入力が完了するまで保持する。そして、全ての活性部性能データの入力が完了すると、保持しているデータを基準電圧設定回路５５へパラレル出力する。

基準電圧設定回路５５（基準電圧設定部）は、ラッチ回路５４から入力された活性部性能データに基づいて、複数の活性部４６のそれぞれについて、出力部５３で電圧レベルを調整する際の基準となる基準電圧を設定する。具体的には、まず、電圧発生部５６において電源電圧（ＶＤＤ）以下の複数種類の電圧レベルを発生させる。この電圧発生部５６の回路構成は特に限定されるものではないが、例えば、電源とグランドとの間に直列的に配置された複数の抵抗により、電源電圧を複数段階に分割することによって、電源電圧以下の複数種類の電圧レベルを得る回路構成を採用できる。そして、基準電圧設定回路５５は、活性部性能データに応じて、電圧発生部５６で発生された複数種類の電圧レベルのうちから１種類を基準電圧として選択し、複数の活性部４６のそれぞれについて選択した基準電圧を出力部５３へ出力する。ここで、活性部４６の性能が高いということは、印加される電圧が低くても、大きな圧電変形を得ることができるということであるから、基準電圧設定回路５５は、活性部性能データで示される活性部４６の性能が高いほど基準電圧を低く設定する。

また、基準電圧設定回路５５は、複数の活性部４６のそれぞれについて、駆動パルス信号の電圧レベルを調整するための基準電圧として、第１基準電圧と、この第１基準電圧よりも高い第２基準電圧の、高低２つの基準電圧を設定する。これら２つの基準電圧を使用する理由は後で説明する。

出力部５３は、複数の活性部４６のそれぞれについて基準電圧設定回路５５で設定された２つの基準電圧（第１基準電圧、第２基準電圧）に応じて、駆動パルス信号の電圧レベルを個別に調整する。図７は、出力部５３の、１つの活性部４６へ駆動パルス信号を出力する回路構成を示す回路図である。尚、圧電層４１の活性部４６は、２種類の電極（個別電極４２と共通電極としての振動板４０）間の電圧印加によって電荷を蓄えるコンデンサ（容量成分）とみなせることから、図７では活性部４６をコンデンサの記号で示してある。

図７に示すように、出力部５３は、各活性部４６の電源（ＶＤＤ）との接続／遮断を切り換える第１スイッチＳＷ１と、各活性部４６のグランドとの接続／遮断を切り換える第２スイッチＳＷ２と、第１スイッチＳＷ１と前記第２スイッチＳＷ２のＯＮ／ＯＦＦを切り換えて各活性部４６への駆動パルス信号の供給を制御するスイッチ制御回路６０とを備えている。

第１スイッチＳＷ１と第２スイッチＳＷ２は共にＭＯＳＦＥＴ型のトランジスタで構成されており、電源（ＶＤＤ）とグランドとの間で直列的に配置されている。また、第１スイッチＳＷ１のソースと第２スイッチＳＷ２のドレインとの接続点は、出力抵抗Ｒを介して、活性部４６（個別電極４２）と接続されている。

スイッチ制御回路６０は、第１スイッチＳＷ１と第２スイッチＳＷ２のそれぞれのゲートにゲート電圧を印加することで、これらのＯＮ／ＯＦＦを切り換える。さらに、スイッチ制御回路６０は、波形選択回路５２から出力された、各活性部４６に対する波形信号を受けて、各活性部４６に対応する第１スイッチＳＷ１と第２スイッチＳＷ２の、ＯＮ／ＯＦＦをそれぞれ切り換えることにより、前記波形信号を所定の電圧レベルに増幅して駆動パルス信号を生成し、各活性部４６へ供給する。

さらに、出力部５３は、各活性部４６へ供給される駆動パルス信号の電圧レベル（駆動パルスＰの印加時における点Ａの電圧）と、基準電圧設定回路５５で設定された基準電圧とを比較する２つの比較器（第１比較器６１、第２比較器６２）を有する。第１比較器６１は、駆動パルス信号の電圧レベルと、基準電圧設定回路５５で設定された低い方の基準電圧である第１基準電圧とを比較し、その比較信号をスイッチ制御回路６０に出力する。第２比較器６２は駆動パルス信号の電圧レベルと、高い方の基準電圧である第２基準電圧とを比較し、その比較信号をスイッチ制御回路６０に出力する。

スイッチ制御回路６０は、第１比較器６１及び第２比較器６２のそれぞれから入力された比較信号に基づき、以下のようにして第１スイッチＳＷ１と第２スイッチＳＷ２のＯＮ／ＯＦＦ制御を行う。

駆動パルスＰを印加するタイミング（活性部４６の充電時）においては、当初、点Ａの電圧はグランドであって第１基準電圧よりも低い状態にあることから、スイッチ制御回路６０は、第１スイッチＳＷ１をＯＮ、第２スイッチＳＷ２をＯＦＦにする。すると、点Ａの電圧が上昇していくが、第１基準電圧を超えたときに、第１スイッチＳＷ１をＯＦＦにする。

電圧レベル（点Ａの電圧）が第１基準電圧と第２基準電圧の間であるときには、第１スイッチＳＷ１と第２スイッチＳＷ２の両方がＯＦＦであるが、この状態では、電圧レベルは次第に低下していき、再び第１基準電圧より低くなる。そのため、スイッチ制御回路６０は、第２スイッチＳＷ２をＯＦＦの状態のままで、第１スイッチＳＷ１をＯＮにして電源と活性部４６とを接続し、電圧レベルを再度上昇させる。このように、通常は、第２スイッチＳＷ２はＯＦＦの状態で、第１スイッチＳＷ１のＯＮ／ＯＦＦだけが切り換えられることで、駆動パルス信号の電圧レベルは、第１基準電圧に近づくように制御される。

但し、外部からノイズが混入したときには、電圧レベルが瞬間的に上昇し、電圧レベルを第１基準電圧と比較する第１比較器６１の比較信号による制御のみでは、ノイズ混入による電圧レベルの上昇を抑え、且つ、短時間で収束させることが難しい。そこで、本実施形態では、ノイズによる電圧レベルの大きな変動を防止するために、電圧レベルと、第１基準電圧よりも高い第２基準電圧とを比較する、第２比較器６２が設けられている。

駆動パルス信号にノイズが混入して、電圧レベルが第２基準電圧よりも高くなったときには、スイッチ制御回路６０は、第１スイッチはＯＦＦのままで第２スイッチＳＷ２をＯＮにしてグランドと活性部４６とを接続し、電圧レベルを低下させる。そして、電圧レベルが第２基準電圧より低くなると再び第２スイッチＳＷ２をＯＦＦにする。その後、ノイズの混入が起こらなければ電圧レベルは低下し、第１基準電圧に近づく。

尚、上述の制御は、駆動パルスＰを印加するタイミング（活性部４６の充電時）のスイッチ制御であるが、駆動パルスＰを印加しないタイミング（活性部４６の放電時）においては、スイッチ制御回路６０は、第１スイッチＳＷ１をＯＦＦにするとともに第２スイッチＳＷ２をＯＮにし、個別電極４２とグランドとを接続する。この状態では、活性部４６には電圧が印加されなくなる。

以上のように、本実施形態のドライバＩＣ４７においては、基準電圧設定回路５５において、活性部４６の性能に関連する活性部性能データに基づいて、複数の活性部４６のそれぞれについて基準電圧が設定され、出力部５３では、基準電圧に応じて複数の活性部４６にそれぞれ供給される駆動パルス信号の電圧レベルが個別に調整される。つまり、複数の活性部４６間で性能ばらつきが存在する場合でも、その性能に応じて駆動パルス信号の電圧レベルが個別に設定されるため、複数の活性部４６の作動を等しくすることができる。

また、駆動パルス信号を活性部４６へ出力する出力部５３は、図７のように第１スイッチＳＷ１、第２スイッチＳＷ２、比較器６１，６２、及び、スイッチ制御回路６０からなる簡単な回路構成で、電圧レベルの異なる駆動パルス信号を生成することができる。

さらに、出力部５３は、基準電圧設定回路５５で設定された２つの基準電圧（第１基準電圧及び第２基準電圧）と、駆動パルス信号の電圧レベルとをそれぞれ比較する、２つの比較器６１，６２を有する。そして、通常は、第１基準電圧に近づくように電圧レベルが調整される一方で、ノイズが混入して電圧レベルが急激に上昇して第２基準電圧を超えたときには、電圧レベルをすぐに低下させるために第２スイッチＳＷ２がＯＮに切り換えられるため、ノイズが混入したときに電圧レベルが基準電圧から大きく乖離してしまうのを抑えることができる。

次に、プリンタ１の電気的な構成について、図８のブロック図を参照して説明する。 図８に示すように、制御装置８は、中央処理装置であるＣＰＵ（Central Processing Unit）７０、ＲＯＭ（Read Only Memory）７１、ＲＡＭ（Random Access Memory）７２、及び、これらを接続するバス７３からなるマイクロコンピュータを有する。また、バス７３には、インクジェットヘッド３のドライバＩＣ４７、キャリッジ２を駆動するキャリッジ駆動モータ１９、搬送機構４の給紙モータ１４及び排紙モータ１５等を制御する、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）７４が接続されている。また、このＡＳＩＣ７４は、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）７８を介して外部装置であるＰＣ（パーソナルコンピュータ）７９とデータ通信可能に接続されている。

また、ＡＳＩＣ７４には、ＰＣ７９から入力された画像データに基づいてインクジェットヘッド３のドライバＩＣ４７とキャリッジ駆動モータ１９をそれぞれ制御するヘッド制御回路８１と、同じく前記画像データに基づいて搬送機構４の給紙モータ１４と排紙モータ１５をそれぞれ制御する搬送制御回路８２等が組み込まれている。

次に、ヘッド制御回路８１について具体的に説明する。図８に示すように、ヘッド制御回路８１は、波形データ記憶部８５と、波形選択データ生成部８６と、性能データ記憶部８７とを有する。波形データ記憶部８５は、図５（ａ）〜（ｄ）に示される、４種類のパルス波形に関するデータ（パルス波形データ）を記憶するものである。波形選択データ生成部８６は、ＰＣ７９から入力された画像データに基づいて、複数の活性部４６のそれぞれについて、図５に示す４種類のパルス波形から１つを選択するための２ビットの波形選択データを生成する。性能データ記憶部８７は、複数の活性部４６のそれぞれについての活性部性能データを記憶する。

そして、ヘッド制御回路８１は、波形データ記憶部８５に記憶されたパルス波形データと、波形選択データ生成部８６で生成された波形選択データと、性能データ記憶部８７に記憶された活性部性能データを、ドライバＩＣ４７に送信する。これを受けて、ドライバＩＣ４７は複数の活性部４６のそれぞれについて駆動パルス信号の電圧レベルを個別に調整した上で、駆動パルス信号を複数の活性部４６にそれぞれ供給する。

尚、制御装置８からドライバＩＣ４７への活性部性能データの送信（即ち、ドライバＩＣ４７における活性部性能データに基づく基準電圧の設定）は、制御装置８からの波形選択データ（本発明の「駆動素子を駆動するための駆動データ」）の送信前に先立って行われてもよい。即ち、まず、制御装置８からドライバＩＣ４７に対して複数の活性部４６のそれぞれについての活性部性能データのみが送信され、図６の基準電圧設定回路５５において複数の活性部４６のそれぞれについて基準電圧の設定が行われる。その後、複数の活性部４６のそれぞれについて、画像データから生成された、複数の印字周期分の波形選択データが順次送信される。この場合は、印字前（波形選択データの送信前）に全ての活性部４６についての基準電圧の設定を終えるため、その後に波形選択データが入力される度に基準電圧の設定を行う必要はない。つまり、基準電圧設定用の活性部性能データの送信が印字前の１回だけであるから、データ転送時間や駆動パルス信号生成にかかる時間が短くなる。

あるいは、１印字周期の波形選択データが送信される度に、その波形選択データと共に活性部性能データがドライバＩＣ４７に送信されてもよい。即ち、波形選択データ（例えば２ビット）と活性部性能データ（例えば２ビット）とが１組となってドライバＩＣ４７に入力される。この場合は、波形選択回路５２における波形選択と並行して、基準電圧設定回路５５における基準電圧設定が行われる。

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

１］ドライバＩＣ４７の基準電圧設定回路５５が、複数の活性部４６のそれぞれについて基準電圧を１つだけ設定するように構成された上で、図９に示すように、出力部５３Ａが駆動パルス信号の電圧レベルと前記基準電圧とを比較する比較器を１つのみ（第１比較器６１のみ）有する構成であってもよい。この場合、前記実施形態の構成と比べると、ノイズ混入による電圧レベルの瞬間的な上昇を抑える第２基準電圧が設定されていない分だけ、駆動パルス信号にノイズの影響が出やすいと言えるが、比較器が１つしかない分、回路構成が簡単になり、また、比較器の比較信号に基づくスイッチ制御が簡素化されるという利点がある。尚、図９のような比較器が１つである回路構成を採用する場合に、比較器６１の比較信号に基づくスイッチ制御回路６０によるスイッチ制御は、次の２通りの何れも採用することができる。

（１）駆動パルスＰを印加する際（活性部４６の充電時）に、第２スイッチＳＷ２をＯＦＦにした状態で、第１スイッチＳＷ１のみのＯＮ／ＯＦＦを切り換えることによって、駆動パルス信号の電圧レベルを基準電圧に近づけてもよい。即ち、スイッチ制御回路６０は、駆動パルス信号の電圧レベルが基準電圧よりも高いと判断したときには第１スイッチＳＷ１をＯＦＦにする。また、駆動パルス信号の電圧レベルが基準電圧よりも低いと判断したときには第１スイッチＳＷ１をＯＮにする。この場合、駆動パルスＰの印加時に第２スイッチＳＷ２のＯＮ／ＯＦＦ制御を行わないため（第２スイッチＳＷ２のＯＮは、放電時に活性部４６をグランドと接続するときのみ）、スイッチ制御が簡単になる。

（２）駆動パルスＰを印加する際（活性部４６の充電時）に、第１スイッチＳＷ１と第２スイッチＳＷ２の両方のＯＮ／ＯＦＦを制御して、駆動パルス信号の電圧レベルを基準電圧に近づけてもよい。即ち、スイッチ制御回路６０は、駆動パルス信号の電圧レベルが基準電圧よりも高いと判断したときには、第１スイッチＳＷ１をＯＦＦにするとともに第２スイッチＳＷ２をＯＮにする。また、駆動パルス信号の電圧レベルが基準電圧よりも低いと判断したときには、第１スイッチＳＷ１をＯＮにするとともに第２スイッチＳＷ２をＯＦＦにする。この場合は、上記（１）の方式と違い、駆動パルス信号の電圧レベルが基準電圧を超えたときには、第１スイッチＳＷ１をＯＦＦにするだけでなく第２スイッチＳＷ２をＯＮにすることで、積極的に電圧レベルを低下させるため、速やかに基準電圧に近づけることが可能となる。

２］複数の活性部４６のうち、いくつかまとまった活性部４６の間で性能が同じである場合、その活性部４６の群の間で基準電圧が同じに設定されてもよい。即ち、複数の活性部４６が、それぞれ２以上の活性部４６（性能が同じである活性部４６）で構成される複数の活性部の群に区分された上で、基準電圧設定回路は、１つの活性部の群に属する全ての活性部４６に対して、同じ基準電圧を設定してもよい。このように、１つの活性部の群に属する、性能が等しい全ての活性部４６については、基準電圧の設定を同じにすることで、活性部性能データのデータ量を減らしたり、あるいは、回路構成を簡素化したりすることが可能となる。

圧電層の製造方法にもよるが、例えば、１列のノズル列（圧力室２４の列）に対応する、一方向に配列された複数の活性部４６の間で、それらの性能がほぼ等しい場合には、１列のノズル列毎で、活性部４６の基準電圧を同じにすることができる。あるいは、同色のインクを噴射する複数のノズル群毎で、活性部４６の基準電圧を同じにすることもできる。

３］前記実施形態は、２種類の電極によって挟まれた圧電層部分からなる活性部４６を複数備えた、圧電アクチュエータに本発明を適用した例であるが、本発明の適用対象となるアクチュエータは、このような圧電アクチュエータには限られない。圧電アクチュエータ以外のアクチュエータにおいても、複数の駆動素子間で性能がばらついているときに、同じ電圧レベルの駆動パルス信号を供給すれば、上述した圧電アクチュエータと同様の問題が生じることは、当業者であれば容易に想像できる。

４］本発明の適用対象となるアクチュエータは、ノズル内の液体に噴射圧力を付与して、ノズルから液滴を噴射させるインクジェットヘッド等の液滴噴射装置のアクチュエータには限られない。例えば、液体に圧力を付与するものには限られず、固形の駆動対象を駆動するアクチュエータに対しても本発明を適用できる。

７ 圧電アクチュエータ
３０ ノズル
４０ 振動板
４１ 圧電層
４２ 個別電極
４６ 活性部
４７ ドライバＩＣ
５３，５３Ａ，５３Ｂ 出力部
５５ 基準電圧設定回路
６０ スイッチ制御回路
６１ 第１比較器
６２ 第２比較器
ＳＷ１ 第１スイッチ
ＳＷ２ 第２スイッチ

Claims (9)

1. アクチュエータの複数の駆動素子に対してそれぞれ駆動パルス信号を供給して、前記複数の駆動素子を作動させる、アクチュエータの駆動装置であって、
   外部から入力された、前記駆動素子の性能に関連する素子性能データに基づいて、前記複数の駆動素子のそれぞれについて基準電圧を設定する基準電圧設定部と、
   前記基準電圧設定部で設定された基準電圧に応じて、前記複数の駆動素子にそれぞれ供給する前記駆動パルス信号の電圧レベルを個別に調整し、調整された前記駆動パルス信号を前記複数の駆動素子に出力する出力部と、を有することを特徴とするアクチュエータの駆動装置。
2. 前記アクチュエータは、圧電層とこの圧電層に設けられた複数の第１電極及び複数の第２電極を有する圧電アクチュエータであり、
   前記複数の駆動素子が、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とに挟まれた圧電層部分からなる複数の活性部であることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータの駆動装置。
3. 前記アクチュエータは、
   前記複数の駆動素子が液滴噴射装置の複数のノズルにそれぞれ噴射圧力を付与するように構成された、液滴噴射装置のアクチュエータであることを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータの駆動装置。
4. 前記基準電圧設定部は、前記基準電圧を、所定の電源電圧以下の値に設定するものであり、
   前記出力部は、
   各駆動素子の電源との接続／遮断を切り換える第１スイッチと、
   各駆動素子のグランドとの接続／遮断を切り換える第２スイッチと、
   前記第１スイッチと前記第２スイッチのＯＮ／ＯＦＦを切り換えて各駆動素子への駆動パルス信号の供給を制御するスイッチ制御回路と、
   各駆動素子へ供給される駆動パルス信号の電圧レベルと前記基準電圧とを比較し、比較信号を前記スイッチ制御回路に出力する比較器とを有することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のアクチュエータの駆動装置。
5. 前記スイッチ制御回路は、前記第２スイッチがＯＦＦの状態で、
   前記比較器の比較信号から、前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記基準電圧よりも高いと判断したときには前記第１スイッチをＯＦＦにし、
   前記比較器の比較信号から、前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記基準電圧よりも低いと判断したときには前記第１スイッチをＯＮにすることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータの駆動装置。
6. 前記スイッチ制御回路は、
   前記比較器の比較信号から、前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記基準電圧よりも高いと判断したときには、前記第１スイッチをＯＦＦにするとともに前記第２スイッチをＯＮにし、
   前記比較器の比較信号から、前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記基準電圧よりも低いと判断したときには、前記第１スイッチをＯＮにするとともに前記第２スイッチをＯＦＦにすることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータの駆動装置。
7. 前記基準電圧設定部は、前記複数の駆動素子のそれぞれについて、第１基準電圧と、この第１基準電圧よりも高い第２基準電圧の、２つの前記基準電圧を設定し、
   前記出力部は、前記駆動パルス信号の電圧レベルと前記第１基準電圧とを比較する第１比較器と、前記駆動パルス信号の電圧レベルと前記第２基準電圧とを比較する第２比較器とを有し、
   前記スイッチ制御回路は、前記第１比較器の比較信号と前記第２比較器の比較信号に基づいて、
   前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記第１基準電圧と前記第２基準電圧の間であると判断したときには、前記第１スイッチと前記第２スイッチを共にＯＦＦにし、
   前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記第１基準電圧よりも低くなったと判断したときには、前記第１スイッチをＯＮにするとともに前記第２スイッチをＯＦＦにし、
   前記駆動パルス信号の電圧レベルが前記第２基準電圧よりも高くなったと判断したときには、前記第１スイッチをＯＦＦにするとともに前記第２スイッチをＯＮにすることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータの駆動装置。
8. 前記出力部は、外部から入力された、前記複数の駆動素子をそれぞれ駆動するための駆動データと前記基準電圧設定部で設定された基準電圧に基づいて、前記複数の駆動素子への駆動パルス信号を生成して出力するものであり、
   先に前記素子性能データが前記基準電圧設定部に入力されて、前記基準電圧設定部において前記複数の駆動素子のそれぞれについての基準電圧の設定が完了した後に、前記駆動データが入力されて、前記出力部において前記駆動パルス信号の生成が行われることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載のアクチュエータの駆動装置。
9. 前記複数の駆動素子は、それぞれ２以上の前記駆動素子で構成される複数の駆動素子群に区分され、
   前記基準電圧設定部は、
   １つの前記駆動素子群に属する全ての駆動素子に対して、同じ基準電圧を設定することを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載のアクチュエータの駆動装置。
   

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