JP2011143716A - 吐出口部材の製造方法および液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、吐出口を形成するための絶縁性の第1のレジストと、流路壁の凹部を形成するための絶縁性の第2のレジストと、を表面に備えた、少なくとも前記表面が導電性の基体を用意する工程と、前記第1のレジストと前記第2のレジストとをマスクとして利用してめっきを行い、吐出口部材の一部分となるめっき層を形成する工程と、前記第2のレジストを除去する工程と、前記第1のレジストをマスクとしてめっきを行い、前記壁の凹部となるめっき層を形成する工程と、前記第1のレジスト及び前記基体を除去する工程と、をこの順に有する吐出口部材の製造方法である。
【選択図】なし
Description
液体を吐出する液体吐出ヘッドに使用され、液体を吐出する吐出口と、凹部を有し、前記吐出口と連通する液体の流路の壁の一部と、を有する吐出口部材の製造方法であって、
(1)前記吐出口を形成するための絶縁性の第1のレジストと、前記流路の壁の前記凹部を形成するための絶縁性の第2のレジストと、を表面に備えた、少なくとも前記表面が導電性の基体を用意する工程と、
(2)前記第1のレジストと前記第2のレジストとをマスクとして利用してめっきを行うことにより、前記吐出口部材の一部分となるめっき層を前記表面に形成する第1のめっき工程と、
(3)前記第2のレジストを除去する工程と、
(4)前記第1のレジストをマスクとしてめっきを行うことにより、前記基体の前記第2のレジストが除去されたことで露出した部分に前記壁の凹部となるめっき層を形成する第2のめっき工程と、
(5)前記第1のレジストを除去して前記吐出口を形成することと、前記基体を除去することと、を行うことにより前記吐出口部材を形成する工程と、
をこの順に有する吐出口部材の製造方法である。
前記吐出口部材の製造方法により製造された吐出口部材を用意する工程と、
前記吐出口部材の前記凹部を内側にして、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた基板と、前記吐出口部材と、を接合する工程と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法である。
図1及び2に、本実施形態により製造される液体吐出ヘッドの構成例を示す。
本実施形態では、図7(A)及び(B)に記載の液体吐出ヘッドの製造工程について説明する。図7(A)には、液体吐出ヘッドの一構成例における吐出口部材の模式的上面図を、図7(B)はそのA部の拡大図を示す。
本実施形態では、図7(A)及び(C)に記載の液体吐出ヘッドの製造工程について説明する。図7(A)には、液体吐出ヘッドの一構成例における吐出口部材の模式的上面図を、図7(C)はそのA部の拡大図を示す。
実施形態3では、図6(B)に示す工程において、面方向において第1のレジスト層16の形状よりも第3のレジスト層20の形状の方が大きく、レジスト層が第1のレジスト層16を覆うような構造としている。
以下、本発明の実施例を説明する。本実施例では、図1及び図2に示した液体吐出ヘッドを電鋳法を用いて製造する。なお、本実施例は、吐出口間ピッチが1200dpiであり、吐出口4が千鳥配列に並んだ場合について例を示している。また、本実施例では、穴径dが10μmの吐出口、及び幅5μm、長さ60μm、深さ8μmの凹部を有する吐出口部材を用意した。
以下、本発明の実施例を説明する。本実施例では、図7(A)及び(B)に示した液体吐出ヘッドを電鋳法を用いて製造する。なお、本実施例は、吐出口4が吐出口間ピッチ1200dpiの一列で並んだ吐出口部材を形成する。また、穴径dが5μmの吐出口、流路に幅5μm、長さ60μm、深さ8μmの凹部を有する吐出口部材を形成した。本実施例においては、吐出量を少なくするため、吐出口の穴径を小さく形成する場合を示している。
以下、本発明の実施例を説明する。本実施例では、図7(A)及び(C)に示した液体吐出ヘッドを電鋳法を用いて製造する。なお、本実施例は、吐出口4が吐出口間ピッチ1200dpiの一列で並んだ吐出口部材を作製する。また、穴径dが10μmの吐出口、幅5μm、長さ60μm、深さ8μmの凹部を有する吐出口部材を形成した。
液体吐出ヘッドでインク滴の吐出特性を良好にするために、インク滴が形成される吐出口の外周部に位置する表面に撥水層を形成し、インクとの撥水性が高めることが行われている。そこで、本実施例では、吐出口部材のインク吐出側の表面に撥水層を形成した。
Claims (7)
- 液体を吐出する液体吐出ヘッドに使用され、液体を吐出する吐出口と、凹部を有し、前記吐出口と連通する液体の流路の壁の一部と、を有する吐出口部材の製造方法であって、
(1)前記吐出口を形成するための絶縁性の第1のレジストと、前記流路の壁の前記凹部を形成するための絶縁性の第2のレジストと、を表面に備えた、少なくとも前記表面が導電性の基体を用意する工程と、
(2)前記第1のレジストと前記第2のレジストとをマスクとして利用してめっきを行うことにより、前記吐出口部材の一部分となるめっき層を前記表面に形成する第1のめっき工程と、
(3)前記第2のレジストを除去する工程と、
(4)前記第1のレジストをマスクとしてめっきを行うことにより、前記基体の前記第2のレジストが除去されたことで露出した部分に前記壁の凹部となるめっき層を形成する第2のめっき工程と、
(5)前記第1のレジストを除去して前記吐出口を形成することと、前記基体を除去することと、を行うことにより前記吐出口部材を形成する工程と、
をこの順に有する吐出口部材の製造方法。 - 前記第1のめっき工程において形成されるめっき層は、ニッケル、パラジウム、銅、金およびロジウムから選ばれる少なくとも一つを含む請求項1に記載の吐出口部材の製造方法。
- 前記第2のめっき工程において形成されるめっき層は、前記第1のめっき工程で形成されるめっき層と同じ材料を使用して形成される請求項2に記載の吐出口部材の製造方法。
- 前記基体を用意する工程において、前記第1のレジストを被覆するように第3のレジストが設けられている前記基体を用意し、
前記第1のめっき工程において、前記第1のレジストと前記第2のレジストと前記第3のレジストとをマスクとして利用してめっき層の形成を行う請求項1乃至3のいずれかに記載の吐出口部材の製造方法。 - 前記基体を用意する工程において、前記第1のレジストが設けられた基体上に、前記第1のレジストを被覆するようにレジスト材料層を形成し、前記レジスト材料層の一部を除去して前記第3のレジストと前記第2のレジストとを形成する請求項4に記載の吐出口部材の製造方法。
- 前記第2のレジストを除去する工程において、前記2のレジストと前記第3のレジストとを一括して除去する請求項5に記載の吐出口部材の製造方法。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の吐出口部材の製造方法により製造された吐出口部材を用意する工程と、
前記吐出口部材の前記凹部を内側にして、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた基板と、前記吐出口部材と、を接合する工程と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法。
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